JP5566535B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

この発明は、例えば真空容器内に接離自在に取り付けられた固定側電極と可動側電極を擁する真空バルブに関するものである。

従来の真空バルブは、アルミナセラミックのような絶縁物を材質とする円筒状の絶縁容器両端にはメタライズ層が形成されており、容器内を高真空で気密保持すべく、金属フランジが、このメタライズ層にロウ付けによって固着されている。

絶縁容器両端に固着された金属フランジにはそれぞれ固定側電極棒、可動側電極棒が同軸上に対向して取り付けられており、各電極棒の対向面にはそれぞれ固定側電極と可動側電極が固着されている。

また、可動側電極が気密を保持しながら絶縁容器軸心上を可動できるよう可動側電極棒と金属フランジ間にベローズが設けられるが、電流遮断時に発生したアークによってベローズが汚損されることを防ぐために設けられた傘状のベローズカバーが可動側電極棒に固着されており、ベローズはベローズカバーと可動側フランジに取り付けられている。

また、絶縁容器内部にはアークシールドが対抗する電極を囲繞するように設けられており、絶縁容器の内沿面が電流遮断時に発生するアークによって汚損されることを防いでいる。

可動側金属フランジにはガイド取り付け板が固着されており、ガイド取り付け板には可動側電極棒に嵌合するガイドがネジにより取り付けられている。このガイドはネジ止めされるネジ止め部分と軸方向に伸びる可動側電極棒との摺動部分により構成され、可動側電極棒が中心軸上に沿っての開閉を可能とする軸受けの役目を果たしている(特許文献１参照)。

また、特許文献２のようにガイドがガイド押えによって保持されている例もある。この場合は可動側電極棒が端板に取り付けられ、この可動側電極棒の摺動防止として絶縁材料から構成されたガイドがあり、当該ガイドの固定用として、円板上のガイド押えがある。ガイド押えはガイドを組み込んだ後、レーザー溶接によって端板に溶接される。

特許文献３では可動側電極棒にガイドが取り付けられ、ガイドの他端が真空遮断器の可動側導体に挟み込まれることによりガイドの脱落を防止し、摺動部を可動側金属端板の端部とガイドとし、可動側金属端板に軸受け機能を持たせている。

特開平５−３１４８７０号公報 特開昭５８−１６９８３０号公報 特開２００５−３３９８６５号公報

上述した特許文献１および特許文献２に記載されている従来の真空バルブにおけるガイドの取り付け方法では、ネジやガイド取り付け板、あるいはガイド押えといったガイド取り付け用の部材が必要であり、部品点数の増加に繋がるという問題があった。

また、ガイドの取り付け作業に注目すると、ネジ止めやレーザー溶接を必要とし、作業時間がかかる上、レーザー溶接でガイドを取り付けるためには、高価なレーザー溶接機器が必要となるため、製作コストの増大に繋がるという問題があった。

また、上述した特許文献３に記載されている真空バルブにおけるガイド取り付け方法では、可動側主回路端子によってガイドの落下を防止させているために、閉極状態でもガイドの一端を可動側フランジ外に突出させて可動側主回路端子と接触させる必要があるため、結果的に真空バルブの全長が長くなるという問題があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、部品点数を増加させることなく簡単にガイドを取り付けられ、かつ全長の短縮化が可能な真空バルブを提供するものである。

この発明に係わる真空バルブは、絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられたものである。

また、この発明に係わる真空バルブは、絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられ、前記可動側フランジの中心部が筒形状を成して前記ガイドの外面を前記可動側電極方向に伸長し、前記可動側フランジの筒形状部の内面と前記ガイドの外面が接することにより前記可動側フランジに軸受け機能を持たせたものである。

また、この発明に係わる真空バルブは、絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられ、前記可動側フランジは、前記絶縁筒の他端側に取り付けられる可動側端部金具と、前記可動側端部金具に取り付けられ、前記ベローズを介して前記可動側電極棒を支持する可動側端板とにより構成され、前記可動側端板の中心部が筒形状を成して前記ガイドの外面を前記可動側電極方向に伸長し、前記可動側端板の筒形状部の内面と前記ガイドの外面が接することにより前記可動側端板に軸受け機能を持たせたものである。

この発明による真空バルブによれば、ベローズカバーはその中心部が筒形状を成して可動側電極と反対方向に伸長し、ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドを取り付けたことにより、部品点数を増加させることなく、かつ全長の短縮化が可能な真空バルブを得ることができる。

この発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す概略断面図である。 この発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合状態を示す構成図である。 この発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合部の拡大図である。 この発明の実施の形態２に係わる真空バルブにおけるガイドと可動側フランジを示す概略図である。 この発明の実施の形態３に係わる真空バルブにおけるガイドと可動側フランジの他の例を示す概略図である。

この発明の実施の形態４に係わる真空バルブを示す概略断面図である。 この発明の実施の形態５に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドを示す概略図である。 この発明の実施の形態６に係わる真空バルブを示す概略断面図である。 この発明の実施の形態６に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合状態を示す構成図である。 この発明の実施の形態６に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合部の拡大図である。 この発明の実施の形態７に係わる真空バルブを示す概略断面図である。

実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図１ないし図３に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す概略断面図である。図２はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合状態を示す構成図である。図３はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合部の拡大図である。

真空バルブは、アルミナセラミック等の絶縁物を材質とする円筒状の絶縁筒１に対し、その両端側には容器を形成し、かつ内部を高真空で気密保持すべく、ステンレス鋼等の金属を材質とする固定側フランジ２と可動側フランジ３が取り付けられ、これら固定側フランジ２と可動側フランジ３は絶縁筒1の両端側に形成されたメタライズ層４に真空ロウ付けによって絶縁筒１と同軸上に固着されている。

絶縁筒１の一端側に固着された固定側フランジ２には固定側電極棒５が固着され、絶縁筒１の他端側に固着された可動側フランジ３には可動側電極棒６がベローズ７を介して取り付けられている。ベローズ７の一端側と可動側フランジ３は固着されており、ベローズ７の他端側と可動側電極棒６は電流遮断時に発生するアークによるベローズ７の汚損防止を目的として設けたベローズカバー８を介して固着されている。

固定側電極棒５と可動側電極棒６の対向面には固定側電極９および可動側電極１０がそれぞれ固着されており、可動側電極９は固着している可動側電極棒６がベローズ７を介して可動側フランジ３に取り付けられているため、気密を保持したまま絶縁筒１の軸心上で、固定側電極９と接離自在となっている。

加えて、絶縁筒１の内沿面には、電流遮断時に電極間で発生するアークによる絶縁筒１の内沿面の汚損防止を目的としたアークシールド１１が対向配置された固定側電極９と可動側電極１０を囲繞するように設けられている。

上述したとおり、ベローズ７は可動側電極棒６にベローズカバー８を介して固着されている。図２に示すように、ベローズカバー８の中心部は筒形状を成し、例えば円筒形状の円筒形状部８ａを成して電極と反対方向に伸長している。ベローズカバー８の円筒形状部８ａの先端側は折曲され、円周方向に凸部８ｂを成している。一方、可動側フランジ３の中心部は筒形状を成し、例えば円筒形状の円筒形状部３ａを成して電極方向に伸長している。

熱可塑性合成樹脂等から成るガイド１２は例えば円筒形状を成しており、その内面には凹部１２ａが設けられている。ベローズカバー８は弾性を有する帯状部材より加工され、ガイド１２を押し入れることによりガイド１２の凹部１２ａがベローズカバー８の凸部８ｂに嵌合され、ガイド１２のベローズカバー８への取り付けが可能となる。この時、ガイド１２をベローズカバー８に対して押し入れ易くするために、図２に示すように、ガイド１２の先端側にテーパ部１２ｂを設けても良い。

ベローズカバー８においては、円筒形状部８ａのみを設けて接着剤等によりガイド１２を取り付けても良い。しかし、図３に示すように、ベローズカバー８の厚みをｔ、ベローズカバー８の凸部８ｂの突出寸法をａ、ガイド１２の凹部１２ａの深さ寸法をｂとした時、各寸法をｂ＞ａ＋ｔとなるよう設定することで、真空バルブを真空遮断器本体に組み込んだ際、開閉動作によるガイド外れと落下の防止が図れる。

可動側フランジ３の円筒形状部３ａはベローズカバー８に取り付けられたガイド１２と接することにより、可動側フランジ３の円筒形状部３ａとガイド１２が摺動部となり、可動側フランジ３に軸受け機能を持たすことが可能となる。

この実施の形態１においては、ベローズカバー８に凸部８ｂを設けることで、ベローズカバー８にガイド１２を取り付けることが可能となり、ガイド取り付け板等の部材を可動側フランジ３に固着させる必要がなくなり、部品点数の削減を図ることが可能となる。

また、ガイド１２をベローズカバー８に取り付ける際はガイド１２をベローズカバー８に押し入れるのみであり、ネジによるガイドの締め付け作業やレーザー溶接等の煩雑な作業を回避でき、ガイドの取り付け作業時間を短縮することが可能となる。図２に示すベローズカバー８はプレス加工により製作可能なため、部品単価を安価に抑えることが可能である。

加えて、ガイド１２をベローズカバー８に取り付け、軸受け機能を有する可動側フランジ３の円筒形状部３ａを電極方向に伸長させているため、開極状態においてもガイド１２を可動側フランジ３の外部に突出させることなく可動側電極棒６を絶縁筒１の軸心に対して平行に動作させることが可能となるため、真空バルブ全長の短縮化を図ることができる。

以上で述べた部品点数の削減、ガイド取り付け作業の短縮化、ベローズカバー８の製作の容易性、真空バルブ全長の短縮化により真空バルブのコスト削減を図ることができる。

実施の形態２．
この発明の実施の形態２を図４に基づいて説明する。図４はこの発明の実施の形態２に係わる真空バルブにおけるガイドと可動側フランジを示す概略図である。

この発明の実施の形態２においては、図４に示すように、可動側フランジ３の筒形状部３ａに切欠部３ｂを設け、ガイド１２の外面に切欠部３ｂと係合する凸部１２ｃを設けることにより、可動側電極棒６とベローズカバー８の回動を回避し、ベローズ７のねじれを防止することが可能となる。また、図４では可動側フランジ３の筒形状部３ａの切欠部３ｂ、ガイド１２の凸部１２ｃともに1箇所の場合について述べたが、言うまでもなく２箇所以上設けても良いことは勿論のことである。

実施の形態３．
この発明の実施の形態３を図５に基づいて説明する。図５はこの発明の実施の形態３に係わる真空バルブにおけるガイドと可動側フランジを示す概略図である。

この発明の実施の形態３においては、上述した実施の形態２と同様に、可動側電極棒６とベローズカバー８の回動を回避し、ベローズ７のねじれを防止するため、図５に示すように、可動側フランジ３の筒形状部３ｃは多角管形状を成し、多角管形状部３ｃ内に嵌合されるようガイド１２の外周面は多角形状に形成している。

図５に示すガイド１２の外面と可動側フランジ３の多角管形部３ｃは六角形状を示しているが、言うまでもなく六角形状以外の多角形状であればいずれでも良いことは勿論のことである。

実施の形態４．
この発明の実施の形態４を図６に基づいて説明する。図６はこの発明の実施の形態４に係わる真空バルブを示す概略断面図である。

図６に示すように、１，２，４〜１２については上述した実施の形態１と同様の構成である。上述した実施の形態１における可動側フランジ３に対し、この実施の形態４における可動側フランジ１３は、絶縁筒１の他端側のメタライズ層４に取り付けられる可動側端部金具１４と、可動側端部金具１４に取り付けられ、ベローズ７を介して可動側電極棒６を支持する可動側端板１５とにより構成され、可動側端板１５の中心部が筒形状を成して例えば円筒形状部１５ａを成し、ガイド１２の外面を可動側電極方向に伸長し、可動側端板１５の円筒形状部１５ａの内面とガイド１２の外面が接することにより可動側端板１５に軸受け機能を持たせている。

このような構造とする理由は可動側端部の機械的強度を向上させるためである。例えば、上述した実施の形態１における可動側フランジ３の端板部分(ベローズ７の固着部分)の機械的強度を向上させるためにはフランジ全体の板厚上げれば良いが、絶縁筒１と可動側フランジ３には熱膨張係数に差があるため、板厚を上げるほど真空ロウ付け時に絶縁筒１に発生する応力が増大し、絶縁筒１に割れが生じる可能性があった。

そこで、この実施の形態４においては、可動側端部金具１４をメタライズ層４に固着させ、ベローズ７の接合部品を可動側端板１５に変更したことで可動側端板１５の板厚を変更し機械的強度の向上が図れる構造とした。可動側端板１５の板厚を厚くすれば、円筒形状部１５ａの板厚も厚くなり、摺動部の機械的強度も向上し、可動側端部の機械的寿命の延長が図れ、多頻度開閉用真空遮断器にも適用可能となる真空バルブを得ることができる。

実施の形態５．
この発明の実施の形態５を図７に基づいて説明する。図７はこの発明の実施の形態５に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドを示す概略図である。そして、図７（ａ）は真空バルブにおけるベローズカバーとガイドを示す斜視図であり、図７（ｂ）は真空バルブにおけるベローズカバーを示す正面図であり、図７（ｃ）は真空バルブにおけるガイドを示す正面図である。

この実施の形態５においては、可動側電極棒とベローズカバー、ガイドの形状が異なるのみであり、それ以外の構造は上述した実施の形態１と同様であるので省略する。

真空バルブを真空遮断器本体に取り付ける際に、取り付けの作業性を考慮して可動側電極棒６を円柱形状ではなく多角形状にする場合がある。その場合、図７に示すように、ベローズカバー８に円筒形状部８ａを設けるのではなく、その中心部が多角管形状を成して例えば多角管形状部８ｃを成し、ベローズカバー８の多角管形状部８ｃの側面に凸部８ｄを設けている。一方、ガイド１２の内周面をベローズカバー８の多角管形状部８ｃと同様の多角形状部１２ｄとし、その多角形状部１２ｄの内面に凹部１２ｅが設けられ、ベローズカバー８の凸部８ｄにガイド１２の凹部１２ｅが嵌合されるようになっている。

以上のような構造とすることで、可動側電極棒６を絶縁筒１の軸心に対して平行に動作させることが可能となる。

図７においては、ベローズカバー８の多角管形状部８ｃは六角形状を示しているが、可動側電極棒６の形状に合わせて、多角管形状部８ｃの形状を変えても良い。また、図７において、ベローズカバー８の多角管形状部８ｃの側面に設けた凸部８ｄは３箇所設けられた場合を示しているが、言うまでもなく何箇所設けても良く同様の効果を奏する。

この実施の形態５によって、上述した実施の形態1と同様にベローズカバー８にガイド１２を取り付けることが可能であるため、ガイド取り付け板等の部材を可動側フランジに固着させる必要がなくなり、部品点数の低減を図ることが可能となる。

また、ガイド１２はベローズカバー８に押し入れるのみで取り付けることができるため、ガイド１２の取り付け作業時間を短縮することが可能となる。

なお、図７に示すベローズカバー８もプレス加工により製作可能なため、部品単価を安価に抑えることが可能である。

また、ガイド１２をベローズカバー８に取り付け、軸受け機能を有する可動側フランジ３の円筒形状部３ａを電極方向に伸長させているため、開極状態においてもガイド１２を可動側フランジ３の外部に突出させることなく可動側電極棒６の軸心運動が可能なため、真空バルブ全長の短縮化を図ることができる。

加えて、ベローズカバー８の多角管形部８ｃの形状を可動側電極棒６の形状と合わせることによって、可動側電極棒６に対するベローズカバー８の多角管形状部８ｃの内接面積を増加させることができ、通電時に発生する電磁力に対する可動側電極棒６の強度をより効果的に補強することが可能となる。

また、図７に示すベローズカバー８を組み込んだ上で、図６に示す上述した実施の形態４における真空バルブの概略断面図のように可動側フランジ１３を可動側端部金具１４と可動側端板１５によって構成しても良く同様の効果を奏する。

実施の形態６．
この発明の実施の形態６を図８ないし図１０に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図８はこの発明の実施の形態６に係わる真空バルブを示す概略断面図である。図９はこの発明の実施の形態６に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合状態を示す構成図である。図１０はこの発明の実施の形態６に係わる真空バルブにおけるベローズカバーとガイドの嵌合部の拡大図である。

上述した図1に示す実施の形態１における真空バルブの概略断面図と比較した場合、異なる箇所はベローズカバーとガイドの構造のみであるため、変更箇所以外の部位の説明を省略する。

この実施の形態６においては、図８に示すように、ベローズカバー８の中心部は円筒形状を成して例えば円筒形状部８ａを成し、電極と反対方向に可動側電極棒６を囲繞するように伸長している。そして、ベローズカバー８の円筒形状部８ａの伸長側先端部が折り返されて折り返し部８ｅが形成されている。（図９参照）

熱可塑性合成樹脂等から成るガイド１２は円筒形状を成しているが、図９に示すように、その一端部は折り返されて折り返し部１２ｆが形成されている。ベローズカバー８は弾性を有する帯状部材より加工され、ガイド１２を押し入れることにより、ガイド１２の折り返し部１２ｄがベローズカバー８の折り返し部８ｅに嵌合され、ガイド１２のベローズカバー８への取り付けが可能となる。

図９に示すように、ベローズカバー８の厚みをｔ、ベローズカバー８の折り返し部８ｅの折り返し寸法をＡ、ガイド１２の折り返し部１２ｆの折り返し寸法をＢ、ガイド１２の折り返し部１２ｆの返しの寸法をＣとした時、各寸法をＢ＞Ａ＋２ｔかつＢ−Ａ＞２ｔが成り立つように設定することで、ベローズカバー８の折り返し部８ｅとガイド１２の折り返し部１２ｆの嵌合が実現され、さらにＣ＞ｔ／２とすることで、真空バルブを真空遮断器本体に組み込んだ際、開閉動作によるガイド外れと落下の防止が図れる。

可動側フランジ３の円筒形状部３ａは上述した実施の形態１と同様に、ベローズカバー８に取り付けられたガイド１２と接することにより、可動側フランジ３の円筒形状部３ａとガイド１２が摺動部となり、可動側フランジ３に軸受け機能を持たすことが可能となる。

この実施の形態６においては、上述した実施の形態１と同様、ガイド取り付け板等の部材が不要となるため、部品点数の低減を図ることが可能である。また、ガイド１２をベローズカバー８に取り付ける際に、ネジによるガイドの締め付け作業等の煩雑な作業を回避できるため、ガイドの取り付け作業時間を短縮することが可能である。図９に示すベローズカバー８もプレス加工により製作可能なため、部品単価を安価に抑えることが可能である。

ガイド１２をベローズカバー８に取り付けたことで、開極状態においてもガイド１２を可動側フランジ３の外部に突出させることなく可動側電極棒６を絶縁筒１の軸心に対して平行に動作させることが可能となるため、真空バルブ全長の短縮化を図ることができる。

また、この実施の形態６においては、ガイド１２は可動側電極棒６と近接しているベローズカバー８の円筒形状部８ａと可動側フランジ３の円筒形状部３ａに挟み込まれる位置にあるため、薄肉化した状態でもその強度を保つことが可能となる。すなわち、薄肉化によりガイド１２の材料費削減に繋がる。以上で述べた部品点数の削減、ガイド取り付け作業の短縮化、ベローズカバー８の製作の容易性、真空バルブ全長の短縮化およびガイド１２の薄肉化により、真空バルブのコスト削減が実現可能となる。

ベローズカバー８は可動側電極棒６を広範囲にわたり囲繞しているため、通電時に発生する電磁力に対する補強材として可動側電極棒６の曲げ防止を効果的に図ることができる。

また、この実施の形態６においても、図４に示すように、ガイド１２の外面に凸部１２ｃを設け、可動側フランジ３に切欠部３ｂを設けることにより、可動側電極棒６とベローズカバー８の回動を回避し、ベローズ７のねじれを防止することが可能となる。図４ではガイド１２の凸部１２ｃ、可動側フランジ３の切欠部３ｂともに1箇所であるが、言うまでもなく２箇所以上設けても良い。

実施の形態７．
この発明の実施の形態７を図１１に基づいて説明する。図１１はこの発明の実施の形態７に係わる真空バルブを示す概略断面図である。

この実施の形態７においては、図１１に示すように、１，２，４〜１２，８ａ，８ｅ，１２ｆについては上述した実施の形態６と同様の構成である。上述した実施の形態６における可動側フランジ３に対し、この実施の形態７における可動側フランジ１３は、絶縁筒１の他端側のメタライズ層４に取り付けられる可動側端部金具１４と、可動側端部金具１４に取り付けられ、ベローズ７を介して可動側電極棒６を支持する可動側端板１５とにより構成され、可動側端板１５の中心部が筒形状を成して例えば円筒形状部１５ａを成し、ガイド１２の外面を可動側電極方向に伸長し、可動側端板１５の円筒形状部１５ａの内面とガイド１２の外面が接することにより可動側端板１５に軸受け機能を持たせている。

この実施の形態７においては、可動側端部金具１４をメタライズ層４に固着させ、ベローズ７の接合部品を可動側端板１５に変更したことで可動側端板１５の板厚を変更し機械的強度の向上が図れる構造とした。可動側端板１５の板厚を厚くすれば、円筒形状部１５ａの板厚も厚くなり、摺動部の機械的強度も向上し、可動側端部の機械的寿命の延長が図れ、多頻度開閉用真空遮断器にも適用可能となる真空バルブを得ることができる。

この発明は、部品点数を増加させることなく簡単にガイドを取り付けられ、かつ全長の短縮化を図ることができる真空バルブの実現に好適である。

１ 絶縁筒
２ 固定側フランジ
３ 可動側フランジ
３ａ 円筒形状部
３ｂ 切欠部
３ｃ 多角管形状部
５ 固定側電極棒
６ 可動側電極棒
７ ベローズ
８ ベローズカバー
８ａ 円筒形状部
８ｂ 凸部
８ｃ 多角管形状部
８ｄ 凸部
８ｅ 折り返し部
９ 固定側電極
１０ 可動側電極
１２ ガイド
１２ａ 凹部
１２ｃ 凸部
１２ｅ 凹部
１２ｆ 折り返し部
１３ 可動側フランジ
１４ 可動側封止金具
１５ 可動側端板
１５ａ 円筒形状部

Claims (9)

1. 絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられたことを特徴とする真空バルブ。
2. 絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられ、前記可動側フランジの中心部が筒形状を成して前記ガイドの外面を前記可動側電極方向に伸長し、前記可動側フランジの筒形状部の内面と前記ガイドの外面が接することにより前記可動側フランジに軸受け機能を持たせたことを特徴とする真空バルブ。
3. 絶縁筒と、前記絶縁筒の一端側に取り付けられた固定側フランジと、前記絶縁筒の他端側に取り付けられた可動側フランジと、前記固定側フランジに取り付けられ、固定側電極が設けられた固定側電極棒と、前記固定側電極棒と同軸上に配置され、前記固定側電極と相対向する可動側電極が設けられ、ベローズを介して前記可動側フランジに支持される可動側電極棒と、前記可動側電極棒に取り付けられて前記ベローズを覆うベローズカバーとを備えた真空バルブであって、前記ベローズカバーは、その中心部が筒形状を成して前記可動側電極と反対方向に伸長し、前記ベローズカバーの筒形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられ、前記可動側フランジは、前記絶縁筒の他端側に取り付けられる可動側端部金具と、前記可動側端部金具に取り付けられ、前記ベローズを介して前記可動側電極棒を支持する可動側端板とにより構成され、前記可動側端板の中心部が筒形状を成して前記ガイドの外面を前記可動側電極方向に伸長し、前記可動側端板の筒形状部の内面と前記ガイドの外面が接することにより前記可動側端板に軸受け機能を持たせたことを特徴とする真空バルブ。
4. 前記ベローズカバーは、その中心部が円筒形状を成しており、前記ベローズカバーの円筒形状部の側面に凸部が設けられ、前記ガイドに凹部が設けられ、前記ベローズカバーの凸部に前記ガイドの凹部が嵌合されたことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の真空バルブ。
5. 前記可動側フランジの筒形状部に切欠部を設け、前記ガイドの外面に前記切欠部と係合する凸部を設けたことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
6. 前記可動側フランジの筒形状部は多角管形状を成し、前記多角管形状部内に嵌合されるよう前記ガイドの外周は多角形状に形成されたことを特徴とする請求項２に記載の真空バルブ。
7. 上記ベローズカバーは、その中心部が多角管形状を成しており、前記ベローズカバーの多角管形状部に絶縁物により構成されたガイドが取り付けられたことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の真空バルブ。
8. 上記ベローズカバーは、その中心部が多角管形状を成しており、前記ベローズカバーの多角管形状部の側面に凸部が設けられ、上記ガイドに凹部が設けられ、前記ベローズカバーの凸部に前記ガイドの凹部が嵌合されたことを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ。
9. 上記ベローズカバーは、その中心部が円筒形状を成しており、前記ベローズカバーの円筒形状部の伸長側先端部が折り返されており、前記ガイドの一端部も折り返されており、前記ベローズカバーの折り返し部に前記ガイドの折り返し部が嵌合されことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の真空バルブ。

Images