JP7304798B2 - 真空バルブ - Google Patents

Description

本願は、筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に固定側電極を有する固定側電極棒が貫通される固定側端板を備えた真空バルブに関するものである。

一般的な真空バルブの構造について説明する。セラミックスなどから成る円筒状の絶縁容器の端面の一方には固定側端板、もう一方には可動側端板が接合されており、内部が密閉された真空容器を形成している。この真空容器内の軸方向に互いに対向する固定側電極及び接離可能な可動側電極が配置されており、固定側電極には固定側電極棒が、可動側電極には可動側電極棒がそれぞれ取り付けられ、固定側電極棒は固定側端板に接合される。ステンレス等の薄い金属で蛇腹状に形成されたベローズの端部が可動側端板に接合され、もう一方のベローズ端部は可動側電極棒と接合されており気密を保って開閉を可能にする。また、真空バルブは真空が持つ高い絶縁耐力により比べて非常にコンパクトに設計できる利点がある。

真空バルブにて電流を遮断する際、固定側電極と可動側電極の間にアークが発生する。このアークは非常に高温であるため、固定側電極及び可動側電極の表面が溶融、蒸発し金属蒸気が発生する。発生した金属蒸気が絶縁容器内面に付着すると絶縁容器内面の耐電圧性能の低下を引き起こす。金属蒸気付着による絶縁容器内面の耐電圧性能の低下を防ぐために、一般的に固定側電極及び可動側電極と絶縁容器内面の間に同心円状にアークシードが配置される。アークシードに金属蒸気を吸着させることで絶縁容器内面に金属蒸気が付着するのを防止する。

また、絶縁容器内面端部に金属蒸気が付着するのを防ぐため、固定側端板及び可動側端板にそれぞれ端部シールドが接合される。端部シールドの役割は金属蒸気の吸着に加え、絶縁容器端部の電界を緩和する目的もある。端板と接合される絶縁容器の端部は、一般にμmオーダの薄い金属膜が施されており、電界集中が発生しやすい箇所となるため、端部シールドによる電界緩和は有効である。

特開平１１－１３４９７９号公報 特開２００５－３２７７０９号公報

固定側端板と固定側端部シールドは別部品で構成されるため、真空バルブ組立段階においてこれらを接合する必要がある。固定側端板と端部シールドとを組立てる際には位置合わせをする治具等が必要になり作業性が悪く、固定側端板と端部シールドとの接合方法はろう付け、および溶接が一般的であるため、ろう材が必要であり、また、溶接技能を有した作業者が作業にあたる必要がある。可動側端板と可動側端部シールドとの接合についても同様である。

本願は、上記のような実情に鑑みてなされた技術を開示するものであり、その目的は、組立の作業性が向上し、耐電圧性能が安定する安価な真空バルブを提供するにある。

本願に開示される真空バルブは、筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に固定側電極を有する固定側電極棒が貫通される固定側端板を備え、前記固定側端板の前記絶縁容器側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の固定側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部から前記固定側電極の側に向かって前記固定側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の固定側端部シールド部であり、前記固定側接合部の厚さおよび前記固定側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記固定側端板の前記固定側電極棒が貫通される部分である固定側端板部の厚さの方が厚い。
また、本願に開示される他の真空バルブは、筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に可動側電極を有する可動側電極棒が貫通される可動側端板を備え、前記可動側端板の前記絶縁容器側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の可動側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部から前記可動側電極の側に向かって前記可動側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部であり、前記可動側接合部の厚さおよび前記可動側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記可動側端板の前記可動側電極棒が貫通される部分である可動側端板部の厚さの方が厚い。

本願に開示される真空バルブでは、筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に固定側電極を有する固定側電極棒が貫通される固定側端板を備え、前記固定側端板の前記絶縁容器側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の固定側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部から前記固定側電極の側に向かって前記固定側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の固定側端部シールド部であり、前記固定側接合部の厚さおよび前記固定側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記固定側端板の前記固定側電極棒が貫通される部分である固定側端板部の厚さの方が厚いので、組立の作業性が向上し、耐電圧性能が安定する安価な真空バルブを提供することが可能となる。
また、本願に開示される他の真空バルブでは、筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に可動側電極を有する可動側電極棒が貫通される可動側端板を備え、前記可動側端板の前記絶縁容器側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の可動側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部から前記可動側電極の側に向かって前記可動側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部であり、前記可動側接合部の厚さおよび前記可動側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記可動側端板の前記可動側電極棒が貫通される部分である可動側端板部の厚さの方が厚いので、組立の作業性が向上し、耐電圧性能が安定する安価な真空バルブを提供することが可能となる。

本願の実施の形態１を示す図で、真空バルブの全体の構造の一例を示す縦断面図である。 本願の実施の形態１を示す図で、図１Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図である。 本願の実施の形態１を示す図で、絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の一例を固定側電極の側から見た平面図である。 本願の実施の形態１を示す図で、絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の一例を可動側電極の側から見た平面図である。 本願の実施の形態２を示す図で、真空バルブの全体の構造の他の例を示す縦断面図である。 本願の実施の形態２を示す図で、図２Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図である。 本願の実施の形態２を示す図で、絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の一例を固定側電極の側から見た平面図である。 本願の実施の形態２を示す図で、絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の一例を可動側電極の側から見た平面図である。 本願の実施の形態３を示す図で、真空バルブの全体の構造の更に他の例を示す縦断面図である。 本願の実施の形態３を示す図で、図３Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図である。 本願の実施の形態３を示す図で、絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の一例を固定側電極の側から見た平面図である。 本願の実施の形態３を示す図で、絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の一例を可動側電極の側から見た平面図である。

以下、本願の実施の形態１を図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、および図１Ｄにより、実施の形態２を図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、および図２Ｄにより、実施の形態３を図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、および図３Ｄにより、それぞれ説明する。

実施の形態１．
図１Ａは真空バルブの全体の構造の一例を示す縦断面図であり、図１Ｂは図１Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図であり、図１Ｃは絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の一例を固定側電極の側から見た平面図であり、図１Ｄは絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の一例を可動側電極の側から見た平面図である。図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、および図１Ｄにおいて、１はアルミナセラミック等から構成される円筒状の絶縁容器である。２は固定側端板、３は可動側端板であり、固定側端板２及び可動側端板３は、それぞれ絶縁容器１の両端に同軸上に接合されている。固定側端板２にはその中央部の貫通孔４ｈに固定側電極棒４が貫通した状態で接合され、可動側端板３にはその中央部の貫通孔５ｈに可動側電極棒５が貫通した状態でベローズ６を介して接合されている。７は固定側電極棒４の内端側の端部に接合された固定側電極、８は可動側電極棒５の内端側の端部に接合された可動側電極で、固定側電極７と可動側電極８とは絶縁容器１の軸方向に互いに対向して配置されている。円筒状のアークシールド９は固定側電極７と可動側電極８とに跨って固定側電極７と可動側電極８の周囲を空間を隔てて囲繞するように配設されている。

固定側端板２は、単一部材から、固定側端板部２１、固定側接合部２２、固定側端部シールド部２３に細分化される。換言すれば、固定側端板部２１、固定側接合部２２、固定側端部シールド部２３は一体物の単一部品である。固定側端板部２１は固定側電極棒４と貫通孔４ｈで気密に接合される。固定側端板部２１の外周で軸方向に屈曲した先端は単一部材から割裂加工により二分割され、分割した一方を絶縁容器１端面と接合される固定側接合部２２とし、他方を絶縁容器１内面より内側に位置し絶縁容器１端部から固定側電極７に向かって軸心方向に延伸した固定側端部シールド部２３としてある。

固定側端板部２１の厚さをＡ、固定側接合部２２及び固定側端部シールド部２３の厚さをそれぞれＢ１、Ｂ２とした場合、Ａ＞Ｂ１、Ｂ２となるように固定側端板２は形成されている。
可動側端板３についても固定側端板２と同様の構造としてもよい。

前述の構造にすることで、固定側端板２に固定側端部シールドの機能が付加されることになり、固定側端板と固定側端部シールドを１部品に集約可能なため部品点数の削減ができる。

また、固定側端板２と固定側端部シールド部２３は同一部品で構成されるため、固定側端板と固定側端部シールドを組立てる必要がなくなり、治具等を使用した位置合わせ、ろう付けまたは溶接作業が不要となり、組立作業性が向上する。

固定側端板２と固定側端部シールド部２３が別部品で構成される場合は集積公差、組立時の位置ずれにより耐電圧性能にバラツキが生じる場合があったが、同一部品で構成することで各部品同士の位置ずれが軽減され耐電圧性能が安定する。

固定側端板部２１より固定側接合部２２及び固定側端部シールド部２３の厚さを薄い構造とすることで、１枚の金属板を割裂加工、プレス加工で製造することで固定側接合部２２と固定側端部シールド部２３を備えた固定側端板２を製造可能であり部品コストを低減できる。

さらに、固定側接合部２２の厚さが薄い方が、絶縁容器１端面とろう付けされた後の残留応力の緩和に有効であり、機械的寿命の向上に繋がる。なお、一般的にセラミックスの絶縁容器と金属製の固定側端板では熱膨張率が大きく異なるため、ろう付け部に残留応力が発生しやすい。

一方、固定側端板部２１の厚さが厚い方が、真空バルブの投入衝撃力による固定側端板部２１の変形、歪を抑制でき、耐電圧性能、遮断性能の低下を防ぐことが可能である。

可動側端板３も固定側端板２と同様の構造とすることで同等の効果を得ることができる。

実施の形態２．
図２Ａは真空バルブの全体の構造の他の例を示す縦断面図であり、図２Ｂは図２Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図であり、図２Ｃは絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の例を固定側電極の側から見た平面図であり、図２Ｄは絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の例を可動側電極の側から見た平面図である。図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、および図２Ｄにおいて、実施の形態１と同一又は相当する部分については説明を割愛し、実施の形態１との相違点について説明する。
固定側端板２は、単一部材から、固定側端板部２１、固定側接合部２２、固定側端部シールド部２３、固定側電界緩和シールド部２４に細分化される。換言すれば、固定側端板部２１、固定側接合部２２、固定側端部シールド部２３、固定側電界緩和シールド部２４は一体物の単一部品である。固定側端板部２１の外周で軸方向に屈曲した先端は単一部材から割裂加工により三分割され、分割した一方を絶縁容器１端面と接合される固定側接合部２２、もう一方は絶縁容器１内面より内側に位置し絶縁容器１端部から固定側電極７に向かって軸心方向に延伸した固定側端部シールド部２３、さらにもう一方は絶縁容器１の外側に位置し絶縁容器１端部から可動側端板３方向に向かって軸心方向に延伸した固定側電界緩和シールド部２４としてある。
可動側端板３は、単一部材から、可動側端板部３１、可動側接合部３２、可動側端部シールド部３３、可動側電界緩和シールド部3４に細分化される。換言すれば、可動側端板部３１、可動側接合部３２、可動側端部シールド部３３、可動側電界緩和シールド部３４は一体物の単一部品である。可動側端板部３１の外周で軸方向に屈曲した先端は単一部材から割裂加工により三分割され、分割した一方を絶縁容器１端面と接合される可動側接合部３２、もう一方は絶縁容器１内面より内側に位置し絶縁容器１端部から可動側電極８に向かって軸心方向に延伸した可動側端部シールド部３３、さらにもう一方は絶縁容器１の外側に位置し絶縁容器１端部から可動側端板３方向に向かって軸心方向に延伸した可動側電界緩和シールド部３４としてある。

固定側端板部２１の厚さをＡ、固定側接合部２２、固定側端部シールド部２３、固定側電界緩和シールド部２４の厚さをそれぞれＢ１、Ｂ２、Ｂ３とした場合、Ａ＞Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３となるように固定側端板２は形成されている。

可動側端板についても固定側端板と同様の構造としてもよい。

固定側端板２に固定側電界緩和シールド部２４を付加することで、実施の形態１の効果に加えて、絶縁容器１外周端部の電界を緩和し耐電圧性能を向上させることができる。

一般に絶縁容器１外周端部の電界緩和を行う場合、電界緩和シールドを別途取り付ける必要があるが、固定側端板２に固定側電界緩和シールド部２４を付加することで部品点数を削減できる。

可動側端板３も固定側端板２と同様の構造とすることで同等の効果を得ることができる。

実施の形態３．
図３Ａは真空バルブの全体の構造の更に他の例を示す縦断面図であり、図３Ｂは図３Ａにおける点線の円Ｂで囲まれた領域を拡大して例示した断面図であり、図３Ｃは絶縁容器および固定側電極棒を組み付けてない状態の固定側端板の例を固定側電極の側から見た平面図であり、図３Ｄは絶縁容器および可動側電極棒を組み付けてない状態の可動側端板の例を可動側電極の側から見た平面図である。図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、および図３Ｄにおいて、実施の形態１と同一又は相当する部分については説明を割愛し、実施の形態１との相違点について説明する。固定側端板２は、単一部材から、固定側端板部２１、固定側接合部２２、アークシールド部２５に細分化される。換言すれば、固定側端板部２１、固定側接合部２２、アークシールド部２５は一体物の単一部品である。固定側端板部２１の外周で軸方向に屈曲した先端は二分割され、分割した一方を絶縁容器１端面と接合される固定側接合部２２、一方は絶縁容器１内面より内側に位置し絶縁容器１端部から可動側端板３に向かって軸心方向に可動側電極８を十分に覆うまで延伸したアークシールド部２５としてある。

固定側端板部２１の厚さをＡ、固定側接合部２２、アークシールド部２５の厚さをそれぞれＢ１、Ｂ４とした場合、Ａ＞Ｂ１、Ｂ４となるように固定側端板２は形成されている。

固定側端板２にアークシールド部２５を付加することで、部品点数を削減することが可能である。一般にアークシールドは絶縁容器１と溶接、圧着、ろう付け等で接合されるが、これら作業が不要となり、より安価な真空バルブを得ることができる。

固定側端板部２１より固定側接合部２２及びアークシールド部２５の厚さを薄い構造とすることで、１枚の金属板を割裂加工、プレス加工で製造することで固定側接合部２２とアークシールド部２５を備えた固定側端板２を製造可能であり部品コストを低減できる。

固定側端板２に代わって可動側端板３にアークシールド部を付加してもよい。

実施の形態１、２、３の構造を組み合わせた真空バルブを構成してもよい。

本願の技術的特徴は、前述と観点を若干変えると、図１Ａ、図１Ｂ、図１Ｃ、図２Ｄ、図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、図２Ｄ、図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、および図３Ｄに例示してあるように、以下のような技術的特徴１から技術的特徴９がある。
技術的特徴１： 筒状の絶縁容器１、および絶縁容器１の端部と接合され内端に固定側電極７を有する固定側電極棒４が貫通される固定側端板２を備え、固定側端板２の絶縁容器１の側の先端が同一部材から分割されており、分割された一方が絶縁容器１と接合される筒状の固定側接合部２２であり、分割された他方が絶縁容器１の内側および外側の少なくとも一方に位置し絶縁容器１の固定側端板２の側の端部から固定側電極７の側に向かって固定側電極棒４の延在方向に延伸しており絶縁容器１の固定側端板２の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の固定側端部シールド部２３，２４であり、固定側接合部２２の厚さおよび固定側端部シールド部２３の厚さのいずれの厚さよりも固定側端板２の固定側電極棒４が貫通される部分である固定側端板部２１の厚さの方が厚い真空バルブである。
技術的特徴２： 技術的特徴１において、固定側接合部２２および固定側端部シールド部２３のいずれも円筒状であり、固定側接合部２２および固定側端部シールド部２３，２４が同心である真空バルブである。
技術的特徴３： 筒状の絶縁容器１、および絶縁容器１の端部と接合され内端に可動側電極８を有する可動側電極棒５が貫通される可動側端板３を備え、可動側端板３の絶縁容器１の側の先端が同一部材から分割されており、分割された一方が絶縁容器１と接合される筒状の可動側接合部３２であり、分割された他方が絶縁容器１の内側および外側の少なくとも一方に位置し絶縁容器１の可動側端板３の側の端部から可動側電極８の側に向かって可動側電極棒５の延在方向に延伸しており絶縁容器１の可動側端板３の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部３３であり、可動側接合部３２の厚さおよび可動側端部シールド部３３の厚さのいずれの厚さよりも可動側端板３の可動側電極棒５が貫通される部分である可動側端板部３１の厚さの方が厚い真空バルブである。
技術的特徴４： 技術的特徴３において、可動側接合部３２および可動側端部シールド部３３のいずれも円筒状であり、可動側接合部３２および可動側端部シールド部３３は同心である真空バルブである。

技術的特徴５： 技術的特徴１において、絶縁容器１の端部と接合され内端に可動側電極８を有する可動側電極棒５が貫通される可動側端板３を備え、可動側端板３の絶縁容器１の側の先端が同一部材から分割されており、分割された一方が絶縁容器１と接合される筒状の可動側接合部３２であり、分割された他方が絶縁容器１の内側および外側の少なくとも一方に位置し絶縁容器１の可動側端板３の側の端部から可動側電極８の側に向かって可動側電極棒５の延在方向に延伸しており絶縁容器１の可動側端板３の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部３３であり、可動側接合部３２の厚さおよび可動側端部シールド部３３の厚さのいずれの厚さよりも可動側端板３の可動側電極棒５が貫通される部分である可動側端板部３１の厚さの方が厚い真空バルブである。
技術的特徴６： 技術的特徴５において、固定側接合部２２および固定側端部シールド部２３のいずれも円筒状であり、固定側接合部２２および固定側端部シールド部２３は同心であり、可動側接合部３２および可動側端部シールド部３３のいずれも円筒状であり、可動側接合部３２および可動側端部シールド部３３は同心である真空バルブである。
技術的特徴７： 技術的特徴５または技術的特徴６において、固定側接合部２２および固定側端部シールド部２３の固定側電極７の側から見た形状と、可動側接合部３２のおよび可動側端部シールド部３３の可動側電極８の側から見た形状とが同じである真空バルブである。
技術的特徴８： 技術的特徴５から技術的特徴７のいずれか一において、固定側端部シールド部２３が絶縁容器１の内側に位置して固定側電極７および可動側電極８のいずれをも囲繞しており、固定側端部シールド部２３がアークシールドの機能も有している真空バルブである。
技術的特徴９： 技術的特徴５から技術的特徴７のいずれか一において、可動側端部シールド部３３が絶縁容器１の内側に位置して可動側電極８および固定側電極７のいずれをも囲繞しており、可動側端部シールド部３３がアークシールドの機能も有している真空バルブである。

なお、各図中、同一符合は同一または相当部分を示す。
なお、本願は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。

１ 絶縁容器、２ 固定側端板、２１ 固定側端板部、２２ 固定側接合部、２３ 固定側端部シールド部、２４ 固定側電界緩和シールド部、２５ アークシールド部、３ 可動側端板、３１ 可動側端板部、３２ 可動側接合部、３３ 可動側端部シールド部、３４ 可動側電界緩和シールド部、４ 固定側電極棒、４ｈ 貫通孔、５ 可動側電極棒、５ｈ 貫通孔、６ ベローズ、７ 固定側電極、８ 可動側電極、９ アークシールド。

Claims (9)

1. 筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に固定側電極を有する固定側電極棒が貫通される固定側端板を備え、前記固定側端板の前記絶縁容器の側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の固定側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部から前記固定側電極の側に向かって前記固定側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記固定側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の固定側端部シールド部であり、前記固定側接合部の厚さおよび前記固定側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記固定側端板の前記固定側電極棒が貫通される部分である固定側端板部の厚さの方が厚いことを特徴とする真空バルブ。
2. 請求項１に記載の真空バルブにおいて、前記固定側接合部および前記固定側端部シールド部のいずれも円筒状であり、前記固定側接合部および前記固定側端部シールド部は同心であることを特徴とする真空バルブ。
3. 筒状の絶縁容器、および前記絶縁容器の端部と接合され内端に可動側電極を有する可動側電極棒が貫通される可動側端板を備え、前記可動側端板の前記絶縁容器の側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の可動側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部から前記可動側電極の側に向かって前記可動側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部であり、前記可動側接合部の厚さおよび前記可動側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記可動側端板の前記可動側電極棒が貫通される部分である可動側端板部の厚さの方が厚いことを特徴とする真空バルブ。
4. 請求項３に記載の真空バルブにおいて、前記可動側接合部および前記可動側端部シールド部のいずれも円筒状であり、前記可動側接合部および前記可動側端部シールド部は同心であることを特徴とする真空バルブ。
5. 請求項１に記載の真空バルブにおいて、前記絶縁容器の端部と接合され内端に可動側電極を有する可動側電極棒が貫通される可動側端板を備え、前記可動側端板の前記絶縁容器の側の先端が同一部材から分割されており、前記分割された一方が前記絶縁容器と接合される筒状の可動側接合部であり、前記分割された他方が前記絶縁容器の内側および外側の少なくとも一方に位置し前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部から前記可動側電極の側に向かって前記可動側電極棒の延在方向に延伸しており前記絶縁容器の前記可動側端板の側の端部における電界の集中を緩和する筒状の可動側端部シールド部であり、前記可動側接合部の厚さおよび前記可動側端部シールド部の厚さのいずれの厚さよりも前記可動側端板の前記可動側電極棒が貫通される部分である可動側端板部の厚さの方が厚いことを特徴とする真空バルブ。
6. 請求項５に記載の真空バルブにおいて、前記固定側接合部および前記固定側端部シールド部のいずれも円筒状であり、前記固定側接合部および前記固定側端部シールド部は同心であり、前記可動側接合部および前記可動側端部シールド部のいずれも円筒状であり、前記可動側接合部および前記可動側端部シールド部は同心であることを特徴とする真空バルブ。
7. 請求項５または請求項６に記載の真空バルブにおいて、前記固定側接合部および前記固定側端部シールド部の前記固定側電極の側から見た形状と、前記可動側接合部のおよび前記可動側端部シールド部の前記可動側電極の側から見た形状とが同じであることを特徴とする真空バルブ。
8. 請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の真空バルブにおいて、前記固定側端部シールド部が前記絶縁容器の内側に位置して前記固定側電極および前記可動側電極のいずれをも囲繞しており、前記固定側端部シールド部がアークシールドの機能も有していることを特徴とする真空バルブ。
9. 請求項５から請求項７のいずれか一項に記載の真空バルブにおいて、前記可動側端部シールド部が前記絶縁容器の内側に位置して前記可動側電極および前記固定側電極のいずれをも囲繞しており、前記可動側端部シールド部がアークシールドの機能も有していることを特徴とする真空バルブ。

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