JP2023154158A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】本願は、信頼性の高い真空バルブを提供するものである。
【解決手段】軸方向ストレート部分（５ｂ，１１ｂ）と径方向ストレート部分（５ａ，１１ａ）を有する金属端板（５，１１）と、少なくとも金属端板（５，１１）のいずれか一方の金属端板（５，１１）と絶縁容器（１）との間に配置されて絶縁容器（１）に固着される電界緩和フランジ（６，１２）を設け、電界緩和フランジ（６，１２）は絶縁容器（１）との固着部（６ａ，１２ａ）から軸方向に折り曲げられた第１折曲部（６ｂ，１２ｂ）が形成され、電界緩和フランジ（６，１２）の第１折曲部（６ｂ，１２ｂ）は金属端板（５，１１）の軸方向ストレート部分（５ｂ，１１ｂ）の内側面に沿うよう接合されて取り付けられたものである。
【選択図】図１

Description

本願は、真空バルブに関するものである。

真空遮断器あるいは真空開閉器などに搭載される真空バルブは、一般的に絶縁容器、シールド、固定側接点、固定側電極棒、固定側金属端板、可動側接点、可動側電極棒、ベローズカバー、ベローズ、可動側金属端板で構成されている。

前述の絶縁容器の両端面には、ロウ付け用のメタライズ層が設けられており、各金属端板と絶縁容器をロウ付けし、気密封着することで、絶縁容器の内部の真空状態を維持することが可能となる。

また、特許文献１に示す真空バルブには、電界緩和のために、絶縁容器と各金属端板の間にリング状の封着部材を設けることで、耐電圧性能が向上するようにしている。

特開平５－２９０６８８号公報

上述した従来の真空バルブは、各金属端板と絶縁容器の間に電界緩和のための封着部材が設けられていない構成で、絶縁容器の両端面にあるメタライズ層が露出した構造の場合、耐電圧性能が低下する可能性があるため、特許文献１に示すように、封着部材を設けることで耐電圧性能を向上させた真空バルブがある。

しかし、電界緩和のため、特許文献１に示すように、絶縁容器と各金属端板の間にリング状の封着部材を設けた場合、耐電圧性能は向上するが、この真空バルブを加圧ガス中に配置した場合、ガスによる圧力によって各金属端板が変形する可能性があるという問題があった。

本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、その目的は、信頼性の高い真空バルブを提供するものである。

本願に開示される真空バルブは、両端面にメタライズ層を有する絶縁容器と、前記絶縁容器の一方側に配置された軸方向ストレート部分と径方向ストレート部分を有する固定側金属端板と、前記固定側金属端板に固着された固定側電極棒と、前記固定側電極棒に設けられた固定側接点と、前記絶縁容器の他方側に配置された軸方向ストレート部分と径方向ストレート部分を有する可動側金属端板と、前記可動側金属端板にベロ－ズを介して進退自在に設けられた可動側電極棒と、前記可動側電極棒に設けられ、前記固定側接点に接離される可動側接点とを有する真空バルブであって、少なくとも前記固定側金属端板と前記可動側金属端板のいずれか一方の金属端板と前記絶縁容器との間に配置されて前記絶縁容器に固着される電界緩和フランジを設け、前記電界緩和フランジは前記絶縁容器との固着部から軸方向に折り曲げられた第１折曲部が形成され、前記電界緩和フランジの前記第１折曲部は前記金属端板の軸方向ストレート部分の内側面に沿うよう接合されて取り付けられたものである。

本願に開示される真空バルブによれば、少なくとも固定側金属端板と可動側金属端板のいずれか一方の金属端板と絶縁容器との間に電界緩和フランジが配置され、電界緩和フランジは絶縁容器との固着部から軸方向に折り曲げられた第１折曲部が形成され、電界緩和フランジの第１折曲部は前記金属端板の軸方向ストレート部分の内側面に沿うよう接合されて取り付けられたことにより、信頼性の高い真空バルブを得ることができる。

実施の形態１に係る真空バルブを示す断面図である。 実施の形態１に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態１に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態１に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。 実施の形態２に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態２に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態３に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態３に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態３に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。 実施の形態４に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態４に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態５に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態５に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態５に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。 実施の形態６に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態６に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態７に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態７に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態８に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態８に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。 実施の形態８に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。

実施の形態１．
以下、本願の実施の形態１を図１から図４に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１は実施の形態１に係る真空バルブを示す断面図である。図２は実施の形態１に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図３は実施の形態１に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図４は実施の形態１に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。

図１に示すように、実施の形態１の真空バルブは、絶縁容器１の固定側端面にメタライズ層１ａが設けられ、可動側端面にメタライズ層１ｂが設けられ、絶縁容器１内の中央部側に位置する固定側接点３を有する固定側電極棒４が固定側金属端板５の固定側貫通孔５ｃを貫通して配置されている。絶縁容器１内の中央部側に位置する固定側接点３に接離される可動側接点７を有する可動側電極棒８が可動側金属端板１１の可動側貫通孔１１ｃを貫通して配置されている。

絶縁容器１内の中央部側に固定側接点３と可動側接点７との接離に伴うアークなどが絶縁容器１の内面に付着するのを防止するシールド２が設けられている。可動側電極棒８にはベローズカバー９とベローズ１０が設けられ、絶縁容器１内を真空状態に維持するようにしている。

固定側金属端板５は絶縁容器１の一方側に配置された固定側軸方向ストレート部分５ｂと固定側径方向ストレート部分５ａを有している。固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの厚さは固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａの厚さよりも小さい厚さとした場合を示している。可動側金属端板１１は絶縁容器１の他方側に配置された可動側軸方向ストレート部分１１ｂと可動側径方向ストレート部分１１ａを有している。可動側金属端板１１の可動側軸方向ストレート部分１１ｂの厚さは可動側金属端板１１の可動側径方向ストレート部分１１ａの厚さよりも小さい厚さとした場合を示している。

固定側金属端板５と絶縁容器１との間に配置されて絶縁容器１のメタライズ層１ａに固着部６ａが固着される固定側電界緩和フランジ６を設け、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１との固定側固着部６ａから軸方向に折り曲げられた固定側第１折曲部６ｂが形成され、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂは固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うよう接合されて取り付けられる。

可動側金属端板１１と絶縁容器１との間に配置されて絶縁容器１のメタライズ層１ｂに可動側固着部１２ａが固着される可動側電界緩和フランジ１２を設け、可動側電界緩和フランジ１２は絶縁容器１との可動側固着部１２ａから軸方向に折り曲げられた可動側第１折曲部１２ｂが形成され、可動側電界緩和フランジ１２の可動側第１折曲部１２ｂは可動側金属端板１１の可動側軸方向ストレート部分１１ｂの内側面に沿うよう接合されて取り付けられる。

固定側金属端板５、可動側金属端板１１は固定側径方向ストレート部分５ａ、可動側径方向ストレート部分１１ａおよび曲面の厚さを厚くするために板材をプレス加工した後、絶縁容器１と固定側金属端板５、可動側金属端板１１の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器１の割れを防ぐために絶縁容器１側の固定側軸方向ストレート部分５ｂ、可動側軸方向ストレート部分１１ｂを機械加工で削ることで厚さが細くなるように加工されている。

また、図２以降については、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６を主体に説明する。図２に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とした場合を示している。図４に示すように、絶縁容器１と固着される固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂであり、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの長さをｃとし、固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの長さをｄとしたとき、ｃとｄとの関係はｃ≦ｄである。すなわち、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅ａが絶縁容器１の厚さ幅ｂよりも大きい、もしくは同等の厚さ幅ａ≧ｂを有し、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの長さｃが固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの長さｄより短い、もしくは同等の長さｃ≦ｄになるように折り曲げて形成されている。

なお、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

上述したように、この実施の形態１に係る真空バルブは、固定側電界緩和フランジ６を絶縁容器１のメタライズ層１ａを被うように固着させ、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合して配置する構造とする。また、可動側電界緩和フランジ１２を絶縁容器１のメタライズ層１ｂを被うように固着させ、可動側電界緩和フランジ１２の可動側第１折曲部１２ｂの軸方向側面を可動側金属端板１１の可動側軸方向ストレート部分１１ｂの内側面に沿うように接合して配置する構造とする。

固定側電界緩和フランジ６、可動側電界緩和フランジ１２を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合するとともに可動側電界緩和フランジ１２の可動側第１折曲部１２ｂの軸方向側面を可動側金属端板１１の可動側軸方向ストレート部分１１ｂの内側面に沿うように接合することで、固定側金属端板５の部分および可動側金属端板１１の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５および可動側金属端板１１の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態２．
本願の実施の形態２を図５および図６に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図５は実施の形態２に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図６は実施の形態２に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。

本願の実施の形態２の真空バルブは、上述した実施の形態１と実質的に同様の構成である。実施の形態２においては、図５に示すように、例えば固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの先端部は固定側金属端板５のＲ加工された曲面と同じＲ寸法に折り曲げられて固定側Ｒ加工部６ｃが形成されていることが特徴である。

固定側金属端板５は加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むように、絶縁容器１と固定側金属端板５の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器割れが発生しない厚さの板材でプレス加工を実施する。

また、図５に示すように、この固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂを固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように折り曲げた部分が固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂを超えて、Ｒ加工された曲面の位置まで沿うよう接合されて取り付けられる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの先端部は固定側金属端板５のＲ加工された曲面と同じＲ寸法に折り曲げられて固定側Ｒ加工部６ｃが形成されている。

上述したように、この実施の形態２に係る真空バルブは、固定側電界緩和フランジ６を絶縁容器１のメタライズ層１ａを被うように固着させ、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合および固定側電界緩和フランジ６の固定側Ｒ加工部６ｃを固定側金属端板５のＲ加工された曲面に沿うように接合して配置する構造とする。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合および固定側電界緩和フランジ６の固定側Ｒ加工部６ｃを固定側金属端板５のＲ加工された曲面に沿うように接合することで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、図６に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側Ｒ加工部６ｃに固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分に沿う固定側補強板１３を配置して強度を高めている。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態３．
本願の実施の形態３を図７から図９に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図７は実施の形態３に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図８は実施の形態３に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図９は実施の形態３に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。

本願の実施の形態３の真空バルブは、図７に示すように、例えば固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの先端部から連続した固定側径方向ストレート部分６ｄを設け、固定側径方向ストレート部分６ｄの中央部に固定側金属端板５の固定側貫通孔５ｃと同じ径の固定側貫通孔６ｅが形成されていることが特徴である。

固定側金属端板５は加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むように、絶縁容器１と固定側金属端板５の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器割れが発生しない厚さの板材でプレス加工を実施する。

また、図７に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

また、図９に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側径方向ストレート部分６ｄの長さをｅとし、固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａの長さをｆとしたとき、ｅとｆとの関係はｅ≦ｆである。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂが固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合および固定側電界緩和フランジ６の固定側径方向ストレート部分６ｄが固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａに沿うように接合されて取り付けられる。

上述したように、この実施の形態３に係る真空バルブは、固定側電界緩和フランジ６が絶縁容器１のメタライズ層１ａを被うように固着され、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合および固定側電界緩和フランジ６の固定側径方向ストレート部分６ｄが固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａに沿うように接合されて配置する構造とする。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合および固定側電界緩和フランジ６の固定側径方向ストレート部分６ｄが固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａに沿うように接合することで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むほか、固定側金属端板５の固定側径方向ストレート部分５ａに配置する補強板も必要なくなるため、加工費および部品点数の削減が図れる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態４．
本願の実施の形態４を図１０および図１１に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１０は実施の形態４に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図１１は実施の形態４に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。

本願の実施の形態４の真空バルブは、例えば固定側電界緩和フランジ６が固定側第１折曲部６ｂの先端部から内周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた固定側第２折曲部６ｆを有し、固定側第２折曲部６ｆから固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａに向かって折り曲げられた固定側第３折曲部６ｇを有し、固定側第３折曲部６ｇが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在されたことが特徴である。

固定側金属端板５は加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むように、絶縁容器１と固定側金属端板５の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器割れが発生しない厚さの板材でプレス加工を実施する。

また、図１０に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

上述したように、この実施の形態４に係る真空バルブは、固定側電界緩和フランジ６を絶縁容器１のメタライズ層１ａを被うように固着させ、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するようにした構造とする。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するようにすることで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇの一部が絶縁容器１のメタライズ層１ａの端面を超えて配置されることで、電流遮断時に発生する金属蒸気あるいは金属スパッタの飛散を抑制することが可能となり、絶縁容器１の内沿面の汚損防止を図ることができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態５．
本願の実施の形態５を図１２から図１４に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１２は実施の形態５に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図１３は実施の形態５に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図１４は実施の形態５に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。

本願の実施の形態５の真空バルブは、例えば固定側電界緩和フランジ６が固定側第１折曲部６ｂの先端部から内周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた固定側第２折曲部６ｆを有し、固定側第２折曲部６ｆから固定側固着部６ａに向かって折り曲げられた固定側第３折曲部６ｇを有し、固定側第３折曲部６ｇが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在され、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの外側が固定側第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げられて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられた固定側第４折曲部６ｈを有することが特徴である。なお、固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂは固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂと固定側第４折曲部６ｈとの間に位置して配置されている。

固定側金属端板５は加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むように、絶縁容器１と固定側金属端板５の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器割れが発生しない厚さの板材でプレス加工を実施する。

図１２に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

また、図１４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈの長さをｇとし、固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの長さをｄとしたとき、ｇとｄとの関係はｇ≦ｄである。

上述したように、この実施の形態５に係る真空バルブは、固定側電界緩和フランジ６を絶縁容器１のメタライズ層１ａを被うように固着させ、固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するようにした構造とする。また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈを固定側第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられた構造とする。これにより、固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂは固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂと固定側第４折曲部６ｈとの間に配置された構造となり、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６との機械的強度が向上する。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するように配置すること、および固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈを固定側第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられたことで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇの一部が絶縁容器１のメタライズ層１ａの端面を超えて配置されることで、電流遮断時に発生する金属蒸気あるいは金属スパッタの飛散を抑制することが可能となり、絶縁容器１の内沿面の汚損防止を図ることができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態６．
本願の実施の形態６を図１５および図１６に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１５は実施の形態６に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図１６は実施の形態６に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。

本願の実施の形態６の真空バルブは、上述した実施の形態５と実質的に同様の構成である。実施の形態６においては、図１５に示すように、例えば固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈに固定側ネジ穴１４が形成され、固定側電解緩和リング１５は固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈに形成した固定側ネジ穴１４に固定側ネジ１６が螺入されて固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈに螺着されたことが特徴である。

固定側金属端板５は加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むように、絶縁容器１と固定側金属端板５の平均線膨張係数の大きな差異から生じる絶縁容器割れが発生しない厚さの板材でプレス加工を実施する。

図１５に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。また、上述した図１４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈの長さをｇとし、固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの長さをｄとしたとき、ｇとｄとの関係はｇ≦ｄである。

この実施の形態６に係る真空バルブは、上述した実施の形態５の構成に加え、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈに固定側電解緩和リング１５を固定側ネジ１６により螺着したものである。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するように配置すること、および固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈを固定側第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられたことで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇの一部が絶縁容器１のメタライズ層１ａの端面を超えて配置されることで、電流遮断時に発生する金属蒸気あるいは金属スパッタの飛散を抑制することが可能となり、絶縁容器１の内沿面の汚損防止を図ることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈの側面に固定側ネジ穴１４を設けたことで、真空バルブの外部に後付けで固定側電界緩和リング１５を取り付けることが可能となり、真空バルブの外部の電界も緩和することができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態７．
本願の実施の形態７を図１７および図１８に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１７は実施の形態７に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図１８は実施の形態７に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。

本願の実施の形態７の真空バルブは、上述した実施の形態５の構成に加え、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈから外周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた固定側第５折曲部６ｉを有し、固定側第５折曲部６ｉから固定側固着部６ａに向かって折り曲げられた固定側第６折曲部６ｊを有し、固定側第６折曲部６ｊが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在され、固定側第６折曲部６ｊにメタライズ層１ａの高さ位置付近にロウ付け後のロウまわりを確認するための固定側確認穴１７が設けられたことが特徴である。

図１７に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材とし、上述した図４に示すように、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面の幅をａとし、絶縁容器１の厚さ幅をｂとしたとき、ａとｂとの関係はａ≧ｂである。

この実施の形態７に係る真空バルブは、上述した実施の形態５の構成に加え、固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈの先端部に固定側第５折曲部６ｉを設け、固定側第５折曲部６ｉから固定側固着部６ａに向かって折り曲げられた固定側第６折曲部６ｊを設け、固定側第６折曲部６ｊが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在され、固定側第６折曲部６ｊにメタライズ層１ａの高さ位置付近に固定側確認穴１７を設け、固定側確認穴１７からロウ付け後のロウまわりを確認するようにしている。

固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するように配置すること、および固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈを固定側第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられたことで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇの一部が絶縁容器１のメタライズ層１ａの端面を超えて配置されることで、電流遮断時に発生する金属蒸気あるいは金属スパッタの飛散を抑制することが可能となり、絶縁容器１の内沿面の汚損防止を図ることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第６折曲部６ｊが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１外に位置するように配置することで、真空バルブの外部の電界も緩和することができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第６折曲部６ｊの側面に固定側確認穴１７を設けることで、ロウ付け後のロウまわりの状態を確認することができる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

実施の形態８．
本願の実施の形態８を図１９から図２１に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１９は実施の形態８に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジを示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図２０は実施の形態８に係る真空バルブにおける固定側電界緩和フランジと固定側金属端板と絶縁容器との組立状態を示す図であり、（ａ）は断面図で、（ｂ）は斜視図である。図２１は実施の形態８に係る真空バルブにおける寸法関係を示す断面図である。

本願の実施の形態８の真空バルブは、一例として上述した実施の形態７の構成に加え、例えば固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面に絶縁容器１に係合される固定側ザグリ部１８が形成され、図２１に示すように、絶縁容器１の厚さ幅をｂとし、固定側ザグリ部１８のザグリ幅をｈとしたとき、ｂとｈとの関係はｂ≦ｈであることが特徴である。

図１９に示すように、固定側電界緩和フランジ６は絶縁容器１の平均線膨張係数に近い例えば銅などの金属を母材としている。固定側電界緩和フランジ６を上述したような形状にすることで、絶縁容器１の端面のメタライズ層１ａ，１ｂの電界を緩和することが可能となり、耐電圧性能を向上させることができる。かつ固定側電界緩和フランジ６の固定側第１折曲部６ｂの軸方向側面を固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの内側面に沿うように接合させるとともに、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇを絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１内に位置するように配置すること、および固定側電界緩和フランジ６の固定側第４折曲部６ｈを第１折曲部６ｂと同方向に折り曲げて固定側金属端板５の固定側軸方向ストレート部分５ｂの外側面に沿うよう接合されて取り付けられたことで、固定側金属端板５の部分における軸方向の厚みを増加することが可能となり、真空バルブを加圧ガス中に配置した場合でも、ガス圧による固定側金属端板５の変形を抑制でき、機械的強度を向上させることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第３折曲部６ｇの一部が絶縁容器１のメタライズ層１ａの端面を超えて配置されることで、電流遮断時に発生する金属蒸気あるいは金属スパッタの飛散を抑制することが可能となり、絶縁容器１の内沿面の汚損防止を図ることができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第６折曲部６ｊが絶縁容器１のメタライズ層１ａを超える位置まで延在させて絶縁容器１外に位置するように配置することで、真空バルブの外部の電界も緩和することができる。

また、固定側金属端板５の加工時に加工費が高価な機械加工（削り加工）を実施しないで済むため、加工費の削減が図れる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側第６折曲部６ｊの側面に固定側確認穴１７を設けることで、ロウ付け後のロウまわりの状態を確認することができる。

また、固定側電界緩和フランジ６の固定側固着部６ａの底面に絶縁容器１に係合される固定側ザグリ部１８を設けたことにより、固定側電界緩和フランジ６と絶縁容器１との位置決めが可能となり、専用の位置決め治具を用いなくても容易に真空バルブを組み立てることができる。

上述した説明は固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６について述べたが、詳細な図示はしていないが、可動側金属端板１１および可動側電界緩和フランジ１２についても、固定側金属端板５と固定側電界緩和フランジ６と同じ構造になっている。

また、固定側電界緩和フランジ６は固定側金属端板５に、及び可動側電界緩和フランジ１２は可動側金属端板１１にそれぞれ配置した場合について述べたが、これに限定されるものではなく、固定側金属端板５にだけ固定側電界緩和フランジ６を設けてもよく、あるいは可動側金属端板１１にだけ可動側電界緩和フランジ１２を設けてもよい。

本願は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。

本願は、信頼性の高い真空バルブの実現に好適である。

１ 絶縁容器、１ａ メタライズ層、１ｂ メタライズ層、２ シールド、３ 固定側接点、４ 固定側電極棒、５ 固定側金属端板、５ａ 固定側径方向ストレート部分、５ｂ 固定側軸方向ストレート部分、６ 固定側電界緩和フランジ、６ａ 固定側固着部、６ｂ 固定側第１折曲部、６ｃ 固定側Ｒ加工部、６ｄ 固定側径方向ストレート部分、６ｆ 固定側第２折曲部、６ｇ 固定側第３折曲部、６ｈ 固定側第４折曲部、６ｉ 固定側第５折曲部、６ｊ 固定側第６折曲部、７ 可動側接点、８ 可動側電極棒、９ ベローズカバー、１０ ベローズ、１１ 可動側金属端板、１１ａ 可動側径方向ストレート部分、１１ｂ 可動側軸方向ストレート部分、１２ 可動側電界緩和フランジ、１２ａ 可動側固着部、１２ｂ 可動側第１折曲部、１３ 固定側補強板、１５ 固定側電界緩和リング、１６ 固定側ネジ、１７ 固定側確認穴、１８ 固定側ザグリ部

Claims (14)

1. 両端面にメタライズ層を有する絶縁容器と、前記絶縁容器の一方側に配置された軸方向ストレート部分と径方向ストレート部分を有する固定側金属端板と、前記固定側金属端板に固着された固定側電極棒と、前記固定側電極棒に設けられた固定側接点と、前記絶縁容器の他方側に配置された軸方向ストレート部分と径方向ストレート部分を有する可動側金属端板と、前記可動側金属端板にベローズを介して進退自在に設けられた可動側電極棒と、前記可動側電極棒に設けられ、前記固定側接点に接離される可動側接点とを有する真空バルブであって、少なくとも前記固定側金属端板と前記可動側金属端板のいずれか一方の金属端板と前記絶縁容器との間に配置されて前記絶縁容器に固着される電界緩和フランジを設け、前記電界緩和フランジは前記絶縁容器との固着部から軸方向に折り曲げられた第１折曲部が形成され、前記電界緩和フランジの前記第１折曲部は前記金属端板の軸方向ストレート部分の内側面に沿って接合されたことを特徴とする真空バルブ。
2. 前記電界緩和フランジの平均線膨張係数は前記絶縁容器の平均線膨張係数と同等の金属で構成されたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
3. 前記金属端板の前記軸方向ストレート部分の厚さは前記金属端板の前記径方向ストレート部分の厚さよりも小さく形成されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
4. 前記電界緩和フランジの前記固着部の底面の幅をａとし、前記絶縁容器の厚さ幅をｂとしたとき、前記ａと前記ｂとの関係はａ≧ｂであり、前記電界緩和フランジの前記第１折曲部の長さをｃとし、前記金属端板の軸方向ストレート部分の長さをｄとしたとき、前記ｃと前記ｄとの関係はｃ≦ｄであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
5. 前記電界緩和フランジの前記第１折曲部は前記金属端板のＲ加工された曲面と同じＲ寸法に折り曲げられたＲ加工部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
6. 前記電界緩和フランジの前記Ｒ加工部に補強版が設けられたことを特徴とする請求項５に記載の真空バルブ。
7. 前記電界緩和フランジは前記第１折曲部から前記金属端板の前記径方向ストレート部分に沿って延在するストレート部分を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
8. 前記電界緩和フランジの前記ストレート部分の長さをｅとし、前記金属端板の前記径方向ストレート部分の長さをｆとしたとき、前記ｅと前記ｆとの関係はｅ≦ｆであることを特徴とする請求項７に記載の真空バルブ。
9. 前記電界緩和フランジは前記第１折曲部から内周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた第２折曲部を有し、前記第２折曲部から前記固着部に向かって折り曲げられた第３折曲部を有し、前記第３折曲部が前記絶縁容器の前記メタライズ層を超える位置まで延在されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
10. 前記電界緩和フランジは前記第１折曲部から内周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた第２折曲部を有し、前記第２折曲部から前記固着部に向かって折り曲げられた第３折曲部を有し、前記第３折曲部が前記絶縁容器の前記メタライズ層を超える位置まで延在され、前記電界緩和フランジの前記固着部の外側が前記第１折曲部と同方向に折り曲げられて前記金属端板の外側面に沿うよう接合されて取り付けられた第４折曲部を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空バルブ。
11. 前記電界緩和フランジの前記第４折曲部の長さをｇとし、前記金属端板の軸方向ストレート部分の長さをｄとしたとき、前記ｇと前記ｄとの関係はｇ≦ｄであることを特徴とする請求項１０に記載の真空バルブ。
12. 前記電界緩和フランジの前記第４折曲部に電解緩和リングが螺着されたことを特徴とする請求項１０に記載の真空バルブ。
13. 前記電界緩和フランジの前記第４折曲部から外周側に向かって軸方向と直交する方向に折り曲げられた第５折曲部を有し、前記第５折曲部から前記固着部に向かって折り曲げられた第６折曲部を有し、前記第６折曲部が前記絶縁容器の前記メタライズ層を超える位置まで延在され、前記第６折曲部に前記メタライズ層の高さ位置に確認穴が形成されたことを特徴とする請求項１０に記載の真空バルブ。
14. 前記電界緩和フランジの前記固着部の底面に前記絶縁容器に係合されるザグリ部が形成され、前記絶縁容器の厚さ幅をｂとし、前記ザグリ部のザグリ幅をｈとしたとき、前記ｂと前記ｈとの関係はｂ≦ｈであることを特徴とする請求項１０に記載の真空バルブ。

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