KR102566195B1 - 진공 밸브 - Google Patents

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KR102566195B1 KR1020217033132A KR20217033132A KR102566195B1 KR 102566195 B1 KR102566195 B1 KR 102566195B1 KR 1020217033132 A KR1020217033132 A KR 1020217033132A KR 20217033132 A KR20217033132 A KR 20217033132A KR 102566195 B1 KR102566195 B1 KR 102566195B1
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마사시 가와다
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

절연통(2)과, 절연통(2)의 일단을 실링하는 고정측 플랜지(3)와, 타단을 실링하는 가동측 플랜지(4)와, 일단이 고정측 플랜지(3)에 고착되고 타단인 고정측 단면(6a)에 고정측 전극 감합축(6b)을 구비한 고정측 전극봉(6)과, 일단의 측이 벨로우즈(8)를 매개로 가동측 플랜지(4)에 연결되고 타단인 가동측 단면(7a)에 가동측 전극 감합축(7b)을 구비한 가동측 전극봉(7)과, 고정측 전극 감합축(6b)의 단부에 고착된 고정측 풍차형 전극(12)과, 가동측 전극 감합축(7b)의 단부에 고착된 가동측 풍차형 전극(13)을 구비한 진공 밸브(1)로서, 고정측 단면(6a)과, 고정측 풍차형 전극(12)의 사이에 고정측 스페이서부(14a)와, 고정측 평판부(14b)를 구비한 고정측 지지구(14)와, 가동측 단면(7a)과 가동측 풍차형 전극(13)의 사이에 가동측 스페이서부(15a)와, 가동측 평판부(15b)를 구비한 가동측 지지구(15)를 마련했다.

Description

진공 밸브
본원은 진공 밸브에 관한 것이다.
종래의 진공 밸브는, 알루미나 세라믹스 등으로 형성된 절연 원통의 양단에 생성된 메탈라이즈층에, 용기 내를 고진공으로 기밀 유지를 위해 금속 플랜지가 진공 납땜에 의해서 고착(固着)되어, 진공 용기가 되는 절연 용기가 형성되어 있다. 절연 원통의 양단에 고착된 금속 플랜지에는 각각 고정측 전극봉, 가동측 전극봉이 동축 상에 대향하여 장착되어 있고, 각 전극봉의 대향면에는 각각 고정측 전극과 가동측 전극이 고착되어 있다.
또, 가동측 전극이 기밀을 유지하면서 절연 용기의 축심 상을 가동하도록, 가동측 전극봉과 금속 플랜지의 사이에 벨로우즈(bellows)가 마련된다. 전류 차단시에 발생한 아크에 의해서 벨로우즈가 오손(汚損)되는 것을 방지하기 위해서 마련된 우산 모양의 벨로우즈 커버가, 가동측 전극봉에 고착되어 있다. 벨로우즈 자체는 전극측이 벨로우즈 커버 혹은 벨로우즈 커버와 가동측 전극봉에 납땜 접합되고, 전극의 반대측은 가동측 플랜지에 장착되어 있다. 또, 절연 용기의 내부에는 아크 쉴드가 대향하는 전극을 주위에서 둘러싸도록 마련되어 있고, 절연 용기의 내연면(inner circumferential surface)이 전류 차단시에 발생하는 아크에 의해서 오손되는 것을 방지하고 있다. 가동측 전극봉은 그 개폐의 과정에 있어서 축심 상에서 원활하게 동작하기 위해서 베어링 기능을 가지는 가이드가 가동측 전극봉의 단부에 장착되어 있다.
고정측 전극 및 가동측 전극의 종류의 하나에 풍차형 전극이 있다. 풍차형 전극은 중심부로부터 주연(周緣)부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈이 잘려 넣어지고, 복수 개의 원호부가 홈에 인접하여 형성된 전극이다. 진공 밸브에 있어서 폐극(閉極)하여 전류가 통전되고 있는 경우, 고정측 전극과 가동측 전극에 있어서의 원호부가 서로 접촉되고, 전류를 차단하는 경우, 고정측 전극과 가동측 전극을 개극(開極)함으로써, 고정측 전극과 가동측 전극의 원호부 상의 임의점에 아크가 발생한다.
차단시에 원호부 상을 고속으로 아크가 회전 이동하여, 전류 제로점을 도달할 때까지 아크에 의한 국부적인 열의 집중이 방지되어, 풍차형 전극의 손상을 경감시킬 수 있어, 진공 밸브의 차단 성능을 향상시킬 수 있다. 풍차형 전극을 조립한 진공 밸브에 있어서, 풍차형 전극은 전극봉에 마련된 전극 감합(嵌合, 끼워맞춤)축에 감합되어, 납땜 등에 의해서 고착되어 있다. 전극봉의 전극 감합축과 전극 표면의 아크 발생 지점의 거리가 길수록 아크 구동력은 강해진다.
풍차형 전극의 뒤편에는, 풍차형 전극 및 전극봉보다도 전기 저항이 높은 재료인 스텐레스강 등으로 제작된 보강판이 고착되어, 전극 폐극시의 하중으로부터 전극의 변형을 방지함과 아울러, 전류 차단시에 발생하는 아크에 의해서 절연 용기의 내부가 오손되는 것을 억제하고 있다. 또, 보강판과 마찬가지로 풍차형 전극 및 전극봉보다도 전기 저항이 높은 재료로 제작된 스페이서가, 보강판과 전극봉의 사이에 마련되는 구성이 개시되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 2001-52576호
상기 특허 문헌 1에 있어서는, 풍차형 전극 및 전극봉보다도 전기 저항이 높은 재료로 제작된 보강판 및 스페이서를 풍차형 전극과 전극봉의 사이에 조립함으로써, 전극 폐극시의 하중으로부터 풍차형 전극의 변형을 방지하여 풍차형 전극을 보강할 수 있다. 또, 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산을 방지(防止)하여, 절연 용기의 내부의 오손을 억제할 수 있다. 그렇지만, 보강판 및 스페이서에 누설 전류가 흐른다고 하는 과제가 있었다. 보강판 및 스페이서에 누설 전류가 흐르면, 풍차형 전극에 흐르는 전류의 전류 밀도가 저하되어, 발생하는 자계의 자속 밀도도 저하된다. 즉, 자속 밀도에 비례한 아크의 구동력도 저하되어, 아크의 회전 속도가 느려짐으로써, 아크에 의한 국부적인 열의 집중에 의한 풍차형 전극의 손상이 경감되기 어려워져, 차단 성능의 저하를 초래하게 된다. 또, 보강판 및 스페이서를 조립함으로써 전극 감합축 이외의 지점에 전류 경로가 발생해 버려, 아크 발생 지점까지의 전류 경로가 짧아져, 아크 구동력이 저하된다. 풍차형 전극의 지름을 크게 함으로써, 전극 감합축과 풍차형 전극의 아크 발생 지점의 거리를 확보할 수 있어, 아크 구동력을 강하게 하는 것이 가능해지지만, 이 방법에서는 진공 밸브의 대형화를 초래하여, 진공 밸브의 중량 증가, 비용 증대로 이어진다고 하는 과제가 있었다.
본원은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 풍차형 전극의 보강 기능, 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산 방지 기능을 구비하고, 풍차형 전극 및 전극봉 이외의 부위에 흐르는 누설 전류를 억제한 진공 밸브를 얻는 것을 목적으로 하고 있다.
본원에 개시되는 진공 밸브는 절연통, 절연통의 일단을 실링하는 고정측 플랜지, 절연통의 타단을 실링하는 가동측 플랜지, 일단이 고정측 플랜지에 고착되고, 타단인 고정측 단면에 고정측 단면보다도 작은 외경으로 돌출되는 고정측 전극 감합축을 가진 고정측 전극봉, 일단의 측이 절연통의 내측에서 벨로우즈를 매개로 가동측 플랜지에 연결되고, 타단인 가동측 단면에 가동측 단면보다도 작은 외경으로 돌출되는 가동측 전극 감합축을 가지고, 절연통의 축방향으로 슬라이딩하는 가동측 전극봉, 고정측 전극 감합축에 고착되고, 중심부로부터 주연부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈이 잘려 넣어진 고정측 풍차형 전극, 및 가동측 전극 감합축에 고정측 풍차형 전극에 대향하여 고착되고, 중심부로부터 주연부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈이 잘려 넣어진 가동측 풍차형 전극을 구비한 진공 밸브로서, 고정측 전극 감합축과 이간(離間)되어 고정측 전극 감합축을 둘러싸는 통 모양의 고정측 스페이서부와, 고정측 스페이서부의 외주의 측면에 상기 고정측 풍차형 전극과 대향하여 외주(外周)의 밖으로 넓어지는 원반 모양의 고정측 평판부를 구비한 고정측 지지구가, 고정측 단면과 고정측 풍차형 전극의 사이에 유지됨과 아울러, 가동측 전극 감합축과 이간되어 가동측 전극 감합축을 둘러싸는 통 모양의 가동측 스페이서부와, 가동측 스페이서부의 외주의 측면에 가동측 풍차형 전극과 대향하여 외주의 밖으로 넓어지는 원반 모양의 가동측 평판부를 구비한 가동측 지지구가, 가동측 단면과 가동측 풍차형 전극의 사이에 유지된 것이다.
본원에 개시되는 진공 밸브에 의하면, 풍차형 전극의 보강 기능, 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산 방지 기능을 구비하고, 풍차형 전극 및 전극봉 이외의 부위에 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다.
도 1은 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 2는 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 3은 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극을 나타내는 평면도이다.
도 4는 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 지지구의 구성 개요를 나타내는 도면이다.
도 5는 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 다른 지지구의 구성 개요를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태 1에 따른 진공 밸브의 다른 지지구의 구성 개요를 나타내는 도면이다.
도 7은 실시 형태 2에 따른 진공 밸브의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 8은 실시 형태 2에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 9는 실시 형태 3에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 10은 실시 형태 3에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 11은 실시 형태 3에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 12는 실시 형태 4에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 13은 실시 형태 4에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 14는 실시 형태 5에 따른 진공 밸브의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 15는 실시 형태 5에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 16은 실시 형태 5에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
도 17은 실시 형태 5에 따른 진공 밸브의 풍차형 전극의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다.
이하, 본원의 실시 형태에 의한 진공 밸브를 도면에 기초하여 설명한다. 각 도면에 있어서 동일, 또는 상당 부재, 부위에 대해서는 동일 부호를 부여하여 설명한다.
실시 형태 1.
도 1은 진공 밸브(1)의 구성 개요를 나타내는 단면도, 도 2는 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 진공 밸브(1)는 절연통(2)과 고정측 플랜지(3)와 가동측 플랜지(4)로 형성된 기밀 용기의 내부에, 전류의 차단시에 개극되는 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 구비한 것이다.
진공 밸브(1)의 구성에 대해서 설명한다. 진공 밸브(1)는 알루미나 세라믹 등의 절연물을 재질로 하는 원통형의 절연통(2)과, 절연통(2)의 일단을 실링하여 스텐레스강 등의 금속을 재질로 하는 고정측 플랜지(3)와, 절연통(2)의 타단을 실링하여 스텐레스강 등의 금속을 재질로 하는 가동측 플랜지(4)를 구비한다. 진공 밸브(1)의 내부는, 고진공으로 기밀 유지된다. 고정측 플랜지(3)와 가동측 플랜지(4)는, 절연통(2)의 양단에 형성된 메탈라이즈층(5)에 진공 납땜에 의해서 고착된다.
진공 밸브(1)는 고정측 전극봉(6)과 가동측 전극봉(7)을 구비한다. 고정측 전극봉(6)은 일단이 절연통(2)의 내측에서 고정측 플랜지(3)에 고착되고, 타단인 고정측 단면(6a)에 고정측 단면(6a)보다도 작은 외경으로 돌출되는 고정측 전극 감합축(6b)을 구비한다. 가동측 전극봉(7)은 일단의 측이 절연통(2)의 내측에서 벨로우즈(8)를 매개로 가동측 플랜지(4)에 연결되고, 타단인 가동측 단면(7a)에 가동측 단면(7a)보다도 작은 외경으로 돌출되는 가동측 전극 감합축(7b)을 가지고, 절연통(2)의 축방향으로 슬라이딩한다. 벨로우즈(8)의 일단과 가동측 전극봉(7)은 벨로우즈 커버(9)를 매개로 고착된다. 벨로우즈 커버(9)는 전류 차단시에 발생하는 아크에 의한 벨로우즈(8)의 오손 방지를 목적으로 하여 마련되고, 예를 들면 스텐레스강으로 제작된다. 열가소성 합성 수지 등으로 제작된 가이드(10)가, 진공 밸브(1)의 진공 실링 후에, 가동측 플랜지(4)에 장착된다. 가동측 전극봉(7)과 가이드(10)는 슬라이딩부가 되고, 가이드(10)는 베어링 기능을 가진다. 전류의 차단시에 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)의 사이에서 발생한 아크에 의한 절연통(2)의 내연면(內沿面)의 오손 방지를 목적으로 하여, 아크 쉴드(11)가 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 주위에서 둘러싸도록 마련된다.
도 2에 나타내는 것처럼, 가동측 풍차형 전극(13)은 가동측 전극 감합축(7b)에 감합되어, 납땜 등에 의해서 고착되어 있다. 덧붙여, 도 2에는 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타냈지만, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요도 마찬가지이다. 가동측 풍차형 전극(13)을 고착한 가동측 전극봉(7)이 벨로우즈(8)를 매개로 가동측 플랜지(4)에 장착되어 있기 때문에, 가동측 풍차형 전극(13)은 기밀을 유지한 채로 절연통(2)의 축심 상에서 고정측 풍차형 전극(12)과 접리(接離) 가능하다. 도 3은 실시 형태 1에 따른 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)을 나타내는 평면도이다. 가동측 풍차형 전극(13)의 중심부로부터 주연부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈(13c)이 잘려 넣어지고, 2개의 홈(13c)에 끼워져 원호부(13d)가 형성되어 있다. 고정측 풍차형 전극(12)도 같은 구성이며, 원호부(13d)와 대향하여 원호부 끼리가 접촉하는 위치에 고정측 풍차형 전극(12)의 원호부가 마련된다. 전류의 차단시에 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 개극함으로써, 원호부(13d) 상의 임의점에 아크(100)가 발생한다. 가동측 풍차형 전극(13)에 통전된 전류(IX)는, 중심으로부터 원호부(13d)의 형상을 따라서 흐르고, 또한 아크(100)를 매개로 대향하는 고정측 풍차형 전극(12)의 원호부로 흘러 간다. 이 때, 전류(IX)에 의해서 자속 밀도(BX)(도시하지 않음)가 발생한다. 아크(100)는 이 자속 밀도(BX)에 비례한 구동력(FX)을 받아, 원호부(13d) 상을 반시계 방향으로 고속으로 회전이동한다.
도 2에 나타내는 것처럼, 가동측 단면(7a)과 가동측 풍차형 전극(13)의 사이에 가동측 지지구(15)가 유지된다. 마찬가지로, 고정측 단면(6a)과 고정측 풍차형 전극(12)의 사이에는 고정측 지지구(14)가 유지된다. 도 4는 진공 밸브(1)의 가동측 지지구(15)의 구성 개요를 나타내는 도면으로, 도 4A는 단면도, 도 4B는 사시도이다. 고정측 지지구(14)도 가동측 지지구(15)와 같은 구성이다. 이후, 같은 실시 형태에 있어서는 고정측 지지구(14)와 가동측 지지구(15)의 형상은 동일하고, 동일한 기능을 가지기 때문에, 한쪽의 가동측 지지구(15) 만을 이용하여 설명한다. 가동측 지지구(15)는 가동측 전극 감합축(7b)과 이간(離間)되어 가동측 전극 감합축(7b)을 둘러싸는 통 모양의 가동측 스페이서부(15a)와, 가동측 스페이서부(15a)의 외주의 측면에 가동측 풍차형 전극(13)과 대향하여 외주의 밖으로 넓어지는 원반 모양의 가동측 평판부(15b)를 구비한다. 가동측 평판부(15b)는 가동측 풍차형 전극(13)과 접하는 가동측 스페이서부(15a)의 단부에 마련된다. 가동측 스페이서부(15a)와 가동측 전극 감합축(7b)의 사이는 공간(16)이 된다.
가동측 지지구(15)는 전기 저항이 가동측 풍차형 전극(13) 및 가동측 전극봉(7)의 전기 저항보다도 높은 금속이다. 예를 들면 스텐레스강으로, 환봉 또는 파이프재로부터의 절삭 가공, 파이프재 또는 판재로부터 프레스 가공 등에 의해 가동측 지지구(15)는 제작된다. 가동측 스페이서부(15a)의 단면적은 작기 때문에, 가동측 스페이서부(15a)의 전기 저항은 높아진다. 또, 가동측 스페이서부(15a)와 가동측 전극봉(7)의 접촉 면적은 작기 때문에, 이들 사이의 저항은 높아진다. 따라서 가동측 풍차형 전극(13) 또는 가동측 전극봉(7)으로부터 가동측 스페이서부(15a)에 흐르는 누설 전류는 억제된다. 덧붙여, 가동측 지지구(15)는 일체적으로 제작되는 구성으로 한정하는 것이 아니고, 복수의 부품을 조합하여 구성하는 것이어도 상관없다.
가동측 지지구(15)는 가동측 풍차형 전극(13)의 보강 기능을 구비한다. 구체적으로는, 가동측 풍차형 전극(13)과 고정측 풍차형 전극(12)의 폐극시의 하중으로부터 가동측 풍차형 전극(13)의 변형을 방지하고, 또한 가동측 풍차형 전극(13)과 고정측 풍차형 전극(12) 사이의 접촉 면적의 증가 및 접촉 저항의 저하를 위해서 진공 밸브(1)에 가해지는 외부 가압력으로부터의 가동측 풍차형 전극(13)의 변형을 방지하는 기능이다. 또, 가동측 평판부(15b)는 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산 방지 기능을 구비한다.
가동측 스페이서부(15a)가 마련되고, 가동측 전극 감합축(7b)는 가동측 스페이서부(15a)와 동등한 길이로 마련되어 있기 때문에, 가동측 전극봉(7)으로부터 가동측 전극 감합축(7b)으로 흐르는 전류가 가동측 전극 감합축(7b)으로 집약되는데 충분한 거리가 가동측 전극 감합축(7b)에 확보되어 있다.
공간(16)을 구비했기 때문에, 가동측 전극 감합축(7b) 이외의 부위로부터 가동측 풍차형 전극(13)으로 유입되는 전류의 경로는 제한된다. 또, 차단을 반복했을 때 전극 표면의 손모(損耗)에 의해 서서히 원호 모양의 풍차형 전극의 홈이 메워지는 현상이 생겨도, 공간(16)을 구비함으로써 홈의 전면(全面)이 채워질 수 없기 때문에, 차단 성능의 저하가 억제되어, 단락 차단 수명도 개선된다.
가동측 지지구(15)의 고정에 대해 설명한다. 가동측 지지구(15)를, 가동측 지지구(15)의 접촉 지점인 가동측 풍차형 전극(13) 및 가동측 전극봉(7)에서 고정하지 않고 맞닿게 하는 것만으로 유지해도 상관없다. 또, 가동측 지지구(15)를, 가동측 지지구(15)와 가동측 풍차형 전극(13)의 접촉 지점에만 고착해도 된다. 고착의 방법은, 예를 들면 납땜(brazing)재를 가동측 지지구(15)와 가동측 풍차형 전극(13)의 사이에 끼워 넣어, 납땜에 의해 고착하는 방법이다. 고착에 의해 가동측 지지구(15)의 위치 어긋남이 억제된다. 가동측 지지구(15)와 가동측 전극봉(7)은 접촉하고 있는 것만이고, 이들 사이의 저항은 높아지기 때문에, 이들 사이에 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다. 그것에 따라, 가동측 풍차형 전극(13)에 흐르는 전류를 증대시켜, 아크 구동력을 강화하여, 차단 성능을 향상시킬 수 있다.
가동측 지지구(15)를, 가동측 지지구(15)와 가동측 전극봉(7)의 접촉 지점에서만 고착해도 된다. 고착의 방법은, 예를 들면 납땜재를 가동측 지지구(15)와 가동측 전극봉(7)의 사이에 끼워 넣어, 납땜에 의해 고착하는 방법이다. 고착에 의해 가동측 지지구(15)의 위치 어긋남이 억제된다. 가동측 지지구(15)와 가동측 풍차형 전극(13)은 접촉하고 있는 것만이고, 이들 사이의 저항은 높아지기 때문에, 이들 사이에 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다. 그것에 따라, 가동측 풍차형 전극(13)에 흐르는 전류를 증대시켜, 아크 구동력을 강화하여, 차단 성능을 향상시킬 수 있다.
가동측 지지구(15)를 가동측 지지구(15)와 가동측 풍차형 전극(13), 및 가동측 지지구(15)와 가동측 전극봉(7)의 접촉 지점에서 고착해도 된다. 고착의 방법은, 예를 들면 납땜에 의해 고착하는 방법이다. 고착에 의해 가동측 지지구(15)의 위치 어긋남이 억제된다. 단락 전류가 흘렀을 때, 외부로부터 전자력이 가동측 전극 감합축(7b)에 가해져도, 강도가 높은 재료로 제작된 가동측 지지구(15)가 가동측 풍차형 전극(13) 및 가동측 전극봉(7)의 2지점에서 고착되어 있기 때문에, 비교적 가늘고, 강도가 약한 가동측 전극 감합축(7b)의 변형을 방지할 수 있다.
가동측 지지구(15)의 다른 구성예에 대해 설명한다. 도 5는 실시 형태 1에 따른 진공 밸브(1)의 다른 가동측 지지구(15)의 구성 개요를 나타내는 도면으로, 도 5A는 단면도, 도 5B는 사시도이다. 고정측 지지구(14)도 가동측 지지구(15)와 같은 구성이다. 가동측 평판부(15b)와 가동측 스페이서부(15a)는, R 가공부(17)를 매개로 연결되어 있다. 가동측 지지구(15)의 제작을 절삭 가공 혹은 프레스 가공으로 행한 경우, 가동측 평판부(15b)와 가동측 스페이서부(15a)의 연결부인 R 가공부(17)를 R 형상으로 하는 것은 용이하여, 가공성은 향상된다. 또, R 형상으로 함으로써 폐극시의 충격 및 외부 가압력에 의한 하중에 따른 연결부의 응력 집중을 완화시킬 수 있다. 덧붙여, 이들 효과를 얻기 위해서, R 가공부(17)의 R의 치수는 가동측 지지구(15)의 두께 이상인 것이 바람직하다. 또, 도 6은 실시 형태 1에 따른 진공 밸브(1)의 또 다른 가동측 지지구(15)의 구성 개요를 나타내는 도면으로, 도 6A는 단면도, 도 6B는 사시도이다. 가동측 지지구(15)의 가동측 평판부(15b)와 가동측 스페이서부(15a)는, 테이퍼 가공부(18)를 매개로 연결되어 있다. 테이퍼 가공부(18)를 마련함으로써, R 가공부(17)의 경우와 같은 효과가 얻어진다.
이상과 같이, 이 진공 밸브(1)는 고정측 단면(6a)과 고정측 풍차형 전극(12)의 사이에 고정측 지지구(14)를 마련하고, 가동측 단면(7a)과 가동측 풍차형 전극(13)의 사이에 가동측 지지구(15)를 마련했기 때문에, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)의 보강 기능을 구비함과 아울러, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13) 및 고정측 전극봉(6)과 가동측 전극봉(7) 이외의 부위에 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다. 또, 고정측 지지구(14)와 가동측 지지구(15)는 고정측 평판부(14b)와 가동측 평판부(15b)를 구비하기 때문에, 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산 방지 기능을 구비한다. 또, 누설 전류가 억제되어 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)에 공급되는 전류가 증대되기 때문에, 개극시에 발생하는 자계의 자속 밀도가 향상되어, 아크의 구동력 증대에 따른 아크의 회전 속도 가속에 의해서, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 대형화시키지 않고 차단 성능을 향상시킬 수 있다.
실시 형태 2.
실시 형태 2에 따른 진공 밸브(1)에 대해 설명한다. 도 7은 진공 밸브(1)의 구성 개요를 나타내는 단면도, 도 8은 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 2에 따른 진공 밸브(1)는, 실시 형태 1에서 나타낸 진공 밸브(1)의 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)의 각각에 노치부(12a, 13a)를 마련한 구성으로 되어 있다. 덧붙여, 도 8에는 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타냈지만, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요도 마찬가지이다.
가동측 평판부(15b)와 접하는 가동측 풍차형 전극(13)의 단면의 주위에, 노치부(13a)가 마련된다. 고정측 풍차형 전극(12)에는 노치부(12a)가 마련된다. 노치부(12a, 13a)는, 예를 들면 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)의 제작 후에, 절삭 가공에 의해 형성된다.
이상과 같이, 이 진공 밸브(1)는 노치부(12a, 13a)를 마련하고, 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)와 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)의 접촉 면적은 작아지기 때문에, 이들 사이의 저항이 높아져, 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)으로부터 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)에 흐르는 누설 전류는 억제된다. 또, 누설 전류가 억제되어 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)에 공급되는 전류가 증대되기 때문에, 개극시에 발생하는 자계의 자속 밀도가 향상되어, 아크의 구동력 증대에 따른 아크의 회전 속도 가속에 의해서, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 대형화시키지 않고 차단 성능을 향상시킬 수 있다.
실시 형태 3.
실시 형태 3에 따른 진공 밸브(1)에 대해 설명한다. 도 9는 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 3에 따른 진공 밸브(1)는, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)를 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)에 감합하여 마련한 구성으로 되어 있다. 덧붙여, 도 9에는 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타냈지만, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요도 같기 때문에 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성에 대한 부호도 함께 도 9에 나타내고, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요에 대한 설명은 생략한다.
가동측 단면(7a)의 주위를 따라서 마련한 단면 노치부(7c)와 가동측 지지구(15)의 가동측 스페이서부(15a)를 감합한다. 단면 노치부(7c)는, 예를 들면 가동측 전극봉(7)의 제작 후에, 절삭 가공에 의해 형성된다.
가동측 지지구(15)를 가동측 전극봉(7)에 감합하는 구성은, 도 10의 단면도에 나타내는 구성이어도 상관없다. 가동측 단면(7a)에 마련한 홈부(7d)와 가동측 지지구(15)의 가동측 스페이서부(15a)를 감합한다. 또, 가동측 지지구(15)를 가동측 전극봉(7)에 감합하는 구성은, 도 11의 단면도에 나타내는 구성이어도 상관없다. 가동측 지지구(15)의 가동측 스페이서부(15a)의 타단의 내주(內周)로부터 외주를 향해서 노치하여 마련한 단차부(15c)에 가동측 단면(7a)의 외주를 감합시킨다.
이상과 같이, 이 진공 밸브(1)는 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)를, 단면 노치부(6c, 7c) 또는 홈부(6d, 7d) 또는 단차부(14c, 15c)를 이용하여 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)에 감합하는 구성이기 때문에, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)가 용이하게 위치 결정되어, 진공 밸브(1)의 조립성을 용이하게 향상시킬 수 있다. 또, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)와 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)이 감합하여 고정되어 있기 때문에, 가동측 지지구(15) 및 고정측 지지구(14)의 위치 어긋남이 억제된다. 또, 가동측 지지구(15) 및 고정측 지지구(14)가 감합하여 고정되어 있기 때문에, 단락 전류가 흘렀을 때, 외부로부터 전자력이 고정측 전극 감합축(6b) 및 가동측 전극 감합축(7b)에 가해져도, 비교적 가늘고 강도가 약한 고정측 전극 감합축(6b) 및 가동측 전극 감합축(7b)의 변형을 방지할 수 있다. 또, 가동측 지지구(15) 및 고정측 지지구(14)를 홈부(6d, 7d)에서 감합하여 고정했을 경우, 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)의 외경 치수에 의존하지 않고 가동측 지지구(15) 및 고정측 지지구(14)를 설계할 수 있다. 또, 가동측 지지구(15) 및 고정측 지지구(14)를 단차부(14c, 15c)에서 감합하여 고정했을 경우, 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)의 측면의 일부가 단차부(14c, 15c)의 측면으로 덮이기 때문에, 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)의 주변의 전계 완화 및 내전압 성능의 향상을 도모할 수 있다.
실시 형태 4.
실시 형태 4에 따른 진공 밸브(1)에 대해 설명한다. 도 12는 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 4에 따른 진공 밸브(1)는, 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)가 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)과 접하는 구성으로 되어 있다. 덧붙여, 도 12에는 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타냈지만, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요도 같기 때문에 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성에 대한 부호도 함께 도 12에 나타내고, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요에 대한 설명은 생략한다.
가동측 평판부(15b)를 가동측 단면(7a)과 접하는 가동측 스페이서부(15a)의 단부에 마련한다. 가동측 지지구(15)는 스텐레스강 등의 전기 저항이 높은 금속으로, 환봉 또는 파이프재로부터의 절삭 가공, 파이프재 또는 판재로부터 프레스 가공 등에 의해 제작된다. 덧붙여, 가동측 지지구(15)는 일체적으로 제작되는 구성으로 한정하는 것이 아니고, 복수의 부품을 조합하여 구성하는 것이어도 상관없다.
본 실시 형태에서 나타낸 가동측 지지구(15)를 이용한 다른 진공 밸브(1)의 구성예에 대해 설명한다. 도 13은 실시 형태 4에 따른 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 가동측 단면(7a)과 대향하는 가동측 풍차형 전극(13)의 단면에 마련한 홈부(13b)와 가동측 지지구(15)의 가동측 스페이서부(15a)를 감합한다. 홈부(13b)는, 예를 들면 가동측 풍차형 전극(13)의 제작 후에, 절삭 가공에 의해 형성된다.
이상과 같이, 이 진공 밸브(1)는 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)가 각각 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)과 접하는 구성으로 했기 때문에, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)와 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)의 접촉 면적이 축소되어, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)에 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)으로부터 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다. 또, 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)의 외주부와 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)가 이간되어 접하기 때문에, 주로 아크가 구동했을 때 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)의 외주부에 흐르는 전류가 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)로 분류(分流)되는 것을 억제할 수 있다. 또, 누설 전류가 억제되어 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)에 공급되는 전류가 증대되기 때문에, 개극시에 발생하는 자계의 자속 밀도가 향상되고, 아크의 구동력 증대에 따른 아크의 회전 속도 가속에 의해서, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 대형화시키지 않고 차단 성능을 향상시킬 수 있다. 또, 홈부(12b)와 홈부(13b)를 마련했을 경우, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)가 용이하게 위치 결정되어, 진공 밸브(1)의 조립성을 용이하게 향상시킬 수 있어, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)의 위치 어긋남이 억제된다. 또, 홈부(12b)와 홈부(13b)를 마련했을 경우, 홈부(12b)와 홈부(13b)가 형성된 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)의 부위에서는 전극 끼리가 대향하는 면에 보다 가까운 위치에 전류가 흘러 전류 밀도가 향상되고, 개극시에 발생하는 자계의 자속 밀도가 향상되기 때문에, 차단 성능을 더욱 향상시킬 수 있다.
덧붙여, 실시 형태 4에서는 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)를 실시 형태 1과는 상이한 위치에 마련한 예를 나타냈지만, 실시 형태 1에서 나타낸 고정측 지지구(14) 또는 가동측 지지구(15)와 실시 형태 4에서 나타낸 고정측 지지구(14) 또는 가동측 지지구(15)를 조합해서 설치해도 상관없다.
실시 형태 5.
실시 형태 5에 따른 진공 밸브(1)에 대해 설명한다. 도 14는 진공 밸브(1)의 구성 개요를 나타내는 단면도, 도 15는 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 실시 형태 5에 따른 진공 밸브(1)의 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)는, 고정측 스페이서부(14a) 및 가동측 스페이서부(15a) 각각의 일단과 타단의 사이에 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)를 각각 마련한 구성으로 되어 있다. 덧붙여, 도 15에는 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타냈지만, 고정측 풍차형 전극(12)의 주위의 구성 개요도 마찬가지이다.
가동측 스페이서부(15a)의 일단인 가동측 풍차형 전극(13)과 접하는 단부의 외주로부터 내주를 향해서 노치하여 마련한 감합부(15d)에, 가동측 평판부(15b)가 감합되어 마련된다. 마찬가지로, 고정측 스페이서부(14a)의 일단인 고정측 풍차형 전극(12)과 접하는 단부의 외주로부터 내주를 향해서 노치하여 마련한 감합부(14d)에, 고정측 평판부(14b)가 감합되어 마련된다. 가동측 스페이서부(15a)는 스텐레스강 등의 전기 저항이 높은 금속으로, 예를 들면 파이프재로부터 감합부(15d)를 절삭 가공으로 형성함으로써 제작된다. 가동측 평판부(15b)는 스텐레스강 등의 전기 저항이 높은 금속으로, 예를 들면 판재를 프레스 가공함으로써 제작된다.
가동측 지지구(15)의 다른 구성예에 대해 설명한다. 도 16은 실시 형태 5에 따른 진공 밸브(1)의 가동측 풍차형 전극(13)의 주위의 구성 개요를 나타내는 단면도이다. 가동측 스페이서부(15a)의 타단인 가동측 단면(7a)과 접하는 단부의 외주로부터 내주를 향해서 노치하여 마련한 감합부(15d)에 가동측 평판부(15b)가 감합되어 마련된다. 도 15, 도 16의 어느 것에 나타낸 구성에 있어서도, 가동측 풍차형 전극(13)의 가동의 방향에 대해 감합부(15d)의 길이를 바꿈으로써, 가동측 평판부(15b)가 가동측 스페이서부(15a)에 마련되는 위치를 용이하게 바꿀 수 있다. 또, 가동측 지지구(15)와 가동측 풍차형 전극(13)의 접촉 면적을 보다 작게 구성하는 경우는, 도 15에 나타낸 구성이 바람직하다. 가동측 지지구(15)와 가동측 전극봉(7)의 접촉 면적을 보다 작게 구성하는 경우는, 도 16에 나타낸 구성이 바람직하다.
가동측 지지구(15)를 별체의 가동측 스페이서부(15a)와 가동측 평판부(15b)로 형성하는 예에 대해 나타냈지만, 도 17의 단면도에 나타내는 것처럼, 가동측 지지구(15)가 일체적으로 제작되는 것이어도 상관없다. 가동측 지지구(15)는 스텐레스강 등의 전기 저항이 높은 금속으로, 예를 들면 환봉 또는 파이프재로부터의 절삭 가공에 의해 제작된다.
이상과 같이, 이 진공 밸브(1)의 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)는 고정측 스페이서부(14a) 및 가동측 스페이서부(15a) 각각의 일단과 타단의 사이에 고정측 평판부(14b) 및 가동측 평판부(15b)를 마련한 구성이기 때문에, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)와 고정측 풍차형 전극(12) 및 가동측 풍차형 전극(13)의 접촉 면적과, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)와 고정측 전극봉(6) 및 가동측 전극봉(7)의 접촉 면적이 함께 축소되어, 고정측 지지구(14) 및 가동측 지지구(15)에 흐르는 누설 전류를 억제할 수 있다. 또, 누설 전류가 억제되어 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)에 공급되는 전류가 증대되기 때문에, 개극시에 발생하는 자계의 자속 밀도가 향상되어, 아크의 구동력 증대에 따른 아크의 회전 속도 가속에 의해서, 고정측 풍차형 전극(12)과 가동측 풍차형 전극(13)을 대형화시키지 않고 차단 성능을 향상시킬 수 있다. 또, 감합부(14d, 15d)를 마련하여 고정측 평판부(14b), 가동측 평판부(15b)를 설치했을 경우, 임의의 위치에 고정측 평판부(14b), 가동측 평판부(15b)를 마련할 수 있기 때문에, 전류 차단시에 발생하는 금속 스패터의 비산 방지 기능을 얻고 싶은 위치에 고정측 평판부(14b), 가동측 평판부(15b)를 배치할 수 있다.
또 본원은 다양한 예시적인 실시 형태 및 실시예가 기재되어 있지만, 1개, 또는 복수의 실시 형태에 기재된 다양한 특징, 양태, 및 기능은 특정의 실시 형태의 적용에 한정되는 것이 아니라, 단독으로, 또는 다양한 조합으로 실시 형태에 적용 가능하다.
따라서, 예시되어 있지 않은 무수한 변형예가, 본원 명세서에 개시되는 기술의 범위 내에 있어서 상정된다. 예를 들면, 적어도 1개의 구성요소를 변형하는 경우, 추가하는 경우 또는 생략하는 경우, 더 나아가서는, 적어도 1개의 구성요소를 추출하여, 다른 실시 형태의 구성요소와 조합하는 경우가 포함되는 것으로 한다.
1: 진공 밸브 2: 절연통
3: 고정측 플랜지 4: 가동측 플랜지
5: 메탈라이즈층 6: 고정측 전극봉
6a: 고정측 단면 6b: 고정측 전극 감합축
6c: 단면 노치부 6d: 홈부
7: 가동측 전극봉 7a: 가동측 단면
7b: 가동측 전극 감합축 7c: 단면 노치부
7d: 홈부 8: 벨로우즈
9: 벨로우즈 커버 10: 가이드
11: 아크 쉴드 12: 고정측 풍차형 전극
12a: 노치부 12b: 홈부
13: 가동측 풍차형 전극 13a: 노치부
13b: 홈부 13c: 홈
13d: 원호부 14: 고정측 지지구
14a: 고정측 스페이서부 14b: 고정측 평판부
14c: 단차부 14d: 감합부
15: 가동측 지지구 15a: 가동측 스페이서부
15b: 가동측 평판부 15c: 단차부
15d: 감합부 16: 공간
17: R 가공부 18: 테이퍼 가공부
100: 아크

Claims (15)

  1. 절연통,
    상기 절연통의 일단을 실링하는 고정측 플랜지,
    상기 절연통의 타단을 실링하는 가동측 플랜지,
    일단이 상기 고정측 플랜지에 고착되고, 타단인 고정측 단면에 상기 고정측 단면보다도 작은 외경으로 돌출되는 고정측 전극 감합축을 가진 고정측 전극봉,
    일단의 측이 상기 절연통의 내측에서 벨로우즈를 매개로 상기 가동측 플랜지에 연결되고, 타단인 가동측 단면에 상기 가동측 단면보다도 작은 외경으로 돌출되는 가동측 전극 감합축을 가지고, 상기 절연통의 축방향으로 슬라이딩하는 가동측 전극봉,
    상기 고정측 전극 감합축에 고착되고, 중심부로부터 주연부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈이 잘려 넣어진 고정측 풍차형 전극, 및 상기 가동측 전극 감합축에 상기 고정측 풍차형 전극에 대향하여 고착되고, 중심부로부터 주연부를 향해서 소용돌이 모양의 복수의 홈이 잘려 넣어진 가동측 풍차형 전극을 구비한 진공 밸브로서,
    상기 고정측 전극 감합축과 이간(離間)되어 상기 고정측 전극 감합축을 둘러싸는 통 모양의 고정측 스페이서부와, 상기 고정측 스페이서부의 외주의 측면에 상기 고정측 풍차형 전극과 대향하여 상기 외주의 밖으로 넓어지는 원반 모양의 고정측 평판부를 구비한 고정측 지지구가, 상기 고정측 단면과 상기 고정측 풍차형 전극의 사이에 유지됨과 아울러,
    상기 가동측 전극 감합축과 이간되어 상기 가동측 전극 감합축을 둘러싸는 통 모양의 가동측 스페이서부와, 상기 가동측 스페이서부의 외주의 측면에 상기 가동측 풍차형 전극과 대향하여 상기 외주의 밖으로 넓어지는 원반 모양의 가동측 평판부를 구비한 가동측 지지구가, 상기 가동측 단면과 상기 가동측 풍차형 전극의 사이에 유지된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 평판부를 상기 고정측 풍차형 전극과 접하는 상기 고정측 스페이서부의 단부에 마련하거나, 또는 상기 가동측 평판부를 상기 가동측 풍차형 전극과 접하는 상기 가동측 스페이서부의 단부에 마련한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 평판부를 상기 고정측 풍차형 전극과 접하는 상기 고정측 스페이서부의 단부에 마련함과 아울러, 상기 고정측 평판부와 접하는 상기 고정측 풍차형 전극의 단면의 주위에 노치부를 구비하거나, 또는 상기 가동측 평판부를 상기 가동측 풍차형 전극과 접하는 상기 가동측 스페이서부의 단부에 마련함과 아울러, 상기 가동측 평판부와 접하는 상기 가동측 풍차형 전극의 단면의 주위에 노치부를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 스페이서부의 일단과 타단의 사이에 상기 고정측 평판부를 마련하거나, 또는 상기 가동측 스페이서부의 일단과 타단의 사이에 상기 가동측 평판부를 마련한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 스페이서부의 일단의 외주로부터 내주를 향해서 노치하여 마련한 감합부에 상기 고정측 평판부를 감합하여 마련하거나, 또는 상기 가동측 스페이서부의 일단의 외주로부터 내주를 향해서 노치하여 마련한 감합부에 상기 가동측 평판부를 감합하여 마련한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 평판부를 상기 고정측 단면과 접하는 상기 고정측 스페이서부의 단부에 마련하거나, 또는 상기 가동측 평판부를 상기 가동측 단면과 접하는 상기 가동측 스페이서부의 단부에 마련한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 단면과 대향하는 상기 고정측 풍차형 전극의 단면에 마련한 홈부와 상기 고정측 스페이서부를 감합하거나, 또는 상기 가동측 단면과 대향하는 상기 가동측 풍차형 전극의 단면에 마련한 홈부와 상기 가동측 스페이서부를 감합한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 평판부와 상기 고정측 스페이서부는 R 가공부 혹은 테이퍼 가공부를 매개로 연결되거나, 또는 상기 가동측 평판부와 상기 가동측 스페이서부는 R 가공부 혹은 테이퍼 가공부를 매개로 연결된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 단면의 주위를 따라서 마련한 노치부와 상기 고정측 스페이서부를 감합하거나, 또는 상기 가동측 단면의 주위를 따라서 마련한 노치부와 상기 가동측 스페이서부를 감합한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 단면에 마련한 홈부와 상기 고정측 스페이서부를 감합하거나, 또는 상기 가동측 단면에 마련한 홈부와 상기 가동측 스페이서부를 감합한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  11. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정측 스페이서부의 타단의 내주로부터 외주를 향해서 노치하여 마련한 단차부에 상기 고정측 단면을 감합하여 마련하거나, 또는 상기 가동측 스페이서부의 타단의 내주로부터 외주를 향해서 노치하여 마련한 단차부에 상기 가동측 단면을 감합하여 마련한 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  12. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정측 지지구는 상기 고정측 전극봉의 전기 저항보다도 전기 저항이 높은 금속이고,
    상기 가동측 지지구는 상기 가동측 전극봉의 전기 저항보다도 전기 저항이 높은 금속인 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  13. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정측 지지구와 상기 고정측 풍차형 전극이 고착되거나, 또는 상기 가동측 지지구와 상기 가동측 풍차형 전극이 고착된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  14. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정측 지지구와 상기 고정측 전극봉이 고착되거나, 또는 상기 가동측 지지구와 상기 가동측 전극봉이 고착된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
  15. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정측 지지구와 상기 고정측 풍차형 전극 및 상기 고정측 지지구와 상기 고정측 전극봉이 고착되거나, 또는 상기 가동측 지지구와 상기 가동측 풍차형 전극 및 상기 가동측 지지구와 상기 가동측 전극봉이 고착된 것을 특징으로 하는 진공 밸브.
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