JP2861757B2 - 真空バルブの電極装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空遮断器等に使用さ
れる真空バルブに関するものであり、特にアークと平行
な軸方向磁界を発生する電極構造を有する真空バルブに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空中で大電流を遮断する真空バ
ルブにおいて、遮断性能を向上させる手段として、真空
バルブに流れる電流を利用して磁界を発生させることに
より、電流遮断時のアークを拡散する工夫が行われてき
た。その一例を図５８から図６０を参照しつつ説明す
る。図５８は従来の真空バルブの概略構造を示す側面断
面図である。図５８において、真空容器４は円筒状の絶
縁容器１とその両端を閉塞するエンドプレート２、３と
により構成されており、真空容器４内には固定電極棒５
に接続された円板状の固定電極部６と可動電極棒８に接
続された円板状の可動電極部７が対向して配設されてい
る。可動電極部７は可動電極棒８に機械的に接続された
操作機構部（図示せず）により固定電極部６に対して接
離動作するよう構成されている。エンドプレート３と可
動電極棒８との間にはベローズ１０が設けられており、
真空容器４の気密を保持するとともに、可動電極棒８の
軸方向（図５８における上下方向）の移動を可能にして
いる。また、真空容器４内には固定電極部６と可動側電
極部７を包囲するようにシールド９が配設されている。

【０００３】上記のように構成された従来の真空バルブ
を有する一般的な真空遮断器において、遮断指令が入力
された真空遮断器は操作機構の駆動により可動電極部７
が固定電極部６から開離する。この時、固定電極部６と
可動電極部７の間にはアークＡが発生し、電流が固定電
極部６と可動電極部７間に流れる。このとき固定電極部
６と可動電極部７を流れる電流の方向を制御して、固定
電極部６と可動電極部７との間に軸方向の磁界を発生さ
せている。軸方向磁界は真空バルブにおいて電流を遮断
したときに発生する電極間のプラズマアークを固定電極
部６と可動電極部７の対向する面に拡散させる働きをす
る。このプラズマアークの拡散によって遮断時のアーク
電圧を低減できるとともに、各電極における温度上昇は
大幅に抑制される。

【０００４】このような軸方向磁界を発生させる電極構
造を持つ従来の真空バルブとして、特公平２−３０１３
２号公報に開示された真空バルブがある。この公報に開
示された真空バルブを図５９及び図６０に示す。図５９
はこの真空バルブにおける可動電極部の分解斜視図であ
り、図６０は図５９の可動電極部の平面図である。図５
９において、可動電極棒８の先端部には短絡部材２２を
介して可動電極２１が配設されており、可動電極２１は
可動電極棒８に固定された高抵抗材の支持部材２３によ
りその中央部において支持されている。可動電極２１の
周辺部にはその円周方向に沿って４本の腕２１ａが形成
されており、短絡部材２２には放射状に伸びる４本の腕
２２ａが形成されている。短絡部材２２の腕２２ａの端
部は可動電極２１の腕２１ａに接触しており、可動電極
２１と短絡部材２２は電気的に接続されている。

【０００５】図５９に示した可動電極２１、可動電極棒
８、短絡部材２２、支持部材２３を有する可動電極部７
は、前述の図５８に示すように固定電極部６と対向して
対をなして真空容器４内に配設されている。図６０に示
すように、アークＡが可動電極２１の対向面の略中央部
に発生した場合、電流は図６０に矢印で示す電流経路に
沿ってアーク発生点Ｐから可動電極２１の半径方向外方
（Ｘ方向）に流れ、可動電極２１の円周部に形成された
腕２１ａを通って（矢印Ｙ方向）、可動電極２１の背面
に設けられた短絡部材２２の腕２２ａを流れる（矢印Ｚ
方向）。その結果、図６０の平面図に示すように、矢印
Ｘ、Ｙ、Ｚにより囲まれた扇形の電流路が４つ形成さ
れ、右ねじの法則によって扇形の電流路を貫通する軸方
向の磁界が発生する。この磁界によってプラズマアーク
は拡散される。しかし、矢印Ｘ、Ｙ、Ｚにより囲まれた
扇形の電流路内部の磁界の強さと、その隣の扇形電流路
との間の領域に発生している磁界の強さは異っていた。
このために、固定電極部６と可動電極部７の対向面にお
ける磁界の強さは均一ではなく、プラズマアークは有効
に拡散されなかった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空バルブは遮
断時に発生したアークによる電流を対向する各電極に流
して、電極間に軸方向磁界を発生させているが、電極間
に発生する軸方向磁界が均一ではないために、従来の真
空バルブは遮断時のプラズマアークを効率高く拡散する
ことができなかった。

【０００７】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたもので、電極間における軸方向磁界を均
一にし、電極間のプラズマアークを高効率で拡散して消
弧することのできる真空バルブを得ることを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

【０００９】本発明に係る真空バルブの電極装置は、

【００１０】電極部の少なくとも一方が主電極とコイル
電極を有し、

【００１１】前記コイル電極は主電極背部に配置される
と共に、

【００１２】前記コイル電極は前記電極棒から伸びる腕
部と、この腕部から前記主電極の外周に沿って突出した
コイル部から構成され、前記腕部が前記主電極背面に対
して所定空間を有して配置され、かつ前記主電極背面と
前記コイル部の主電極側の全面が接触し、主電極及びコ
イル電極に流れる電流により電極間に垂直な軸方向磁界
を発生させるよう構成されるとともに、前記電極棒に固
定され、前記主電極背面の中央部分に当接して前記主電
極を支持する高抵抗材からなる支持部材を有し、前記支
持部材と前記主電極背面との接触面に主電極中心部から
前記コイル部先端方向に伸びる凸部と前記コイルの中間
方向に向いた凹部を有する良導電体を挿入したものであ
る。

【００１３】又、真空容器内に対向して互に接離可能に
配設され実質的な同一構造を有する一対の電極部のそれ
ぞれが、

【００１４】実質的な同一円上に形成された円弧状の複
数のコイル部と、このコイル部に接続される腕部と、前
記コイル部の端部において対向する他の電極部の方へ突
出した接触部とを有するコイル電極と、前記コイル電極
の前記接触部と円周部近傍で電気的に接触した円板状の
主電極とを具備しており、一方の電極部の複数の前記接
触部の位置が他方の電極部の複数の接触部の位置に対し
て対向するように配設され、かつ、１つの前記円弧状の
コイル部に接続される前記腕部の案内部（１３１ｂ）は
隣接する隣位置の前記円弧状のコイル部の前記接触部近
傍を経由して配置されているものである。

【００１５】又、良導電体にうず電流の流れが生じるの
を規制する高抵抗帯を設けたものである。

【００１６】又、前記良導電体に形成された高抵抗帯が
２本のスリットを交差させて構成され、当該スリットの
交差点の位置が前記良導電体の中心点の位置に対応して
いる。

【００１７】又、前記良導電体に形成された高抵抗帯が
円板状の前記良導電体の円周部から半径方向に延びる少
なくとも２つの半径方向スリットと、前記半径方向スリ
ットの中心側端部から前記円周部に沿って同一方向に円
弧状に延びる少なくとも２つの円周方向スリットとによ
り構成されている。

【００１８】又、前記良導電体に形成された高抵抗帯が
円板状の前記良導電体の中心部を通り、対向する円周部
まで到るスリットにより構成されている。

【００１９】又、前記良導電体に形成された高抵抗帯が
円板状の前記良導電体の円周部から中心を通って延びる
直線状の中心スリットと、前記中心スリットと平行で前
記円周部から前記中心スリットと逆方向に延びる複数の
スリットにより構成されている。

【００２０】又、前記良導電体に形成された高抵抗帯が
円板状の前記良導電体の円周部から中心に向かう複数の
スリットにより構成され、前記良導電体の中心部におい
て各スリットの端部が所定間隔を有して対向して形成さ
れている。

【００２１】又、前記良導電体に形成された高抵抗体が
高抵抗材料により構成されている。

【００２２】又、前記高抵抗帯を構成する高抵抗材料が
ステンレス鋼である。

【００２３】

【作用】本発明の真空バルブの電極装置によれば、真空
容器内に電極棒を介して対向して配設され、接離可能な
一対の電極部における一方の電極部において、アーク発
生時の電流は電極棒から接続導体の腕部を通ってコイル
電極のコイル部へ流れて主電極のアーク発生点へ流れ
る。各主電極にはその外周部から中心を通る直径方向の
溝が形成されているため、主電極におけるアーク発生時
の電流はその溝を迂回して流れ、主電極における電流は
略円弧状の軌跡を描いて流れる。このため、主電極間に
は軸方向磁界が発生する。

【００２４】又、コイル電極のコイル部を主電極背部へ
突出させて主電極に当設したので、コイル部と主電極表
面及び主電極空間への距離が短くなり、主電極間の軸方
向磁界強度を高めることができ、磁束漏れを少なくし磁
界分布を良好にすることができる。また、補強材上面に
良導電体を形成することにより、電流を抵抗値の高い主
電極を通じてコイル部先端に流すのではなく、一旦主電
極を貫通させ背部の良導電体に流すことにより、コイル
に流れる電流を漏れなくする。更に、円周方向の高抵抗
部を設けることにより、主電極において半径方向に漏れ
る電流を低減し、磁界強度及び分布を良好にする。ま
た、半径方向の高抵抗部を設けることにより、うず電流
による影響を低減する。

【００２５】又、遮断時における固定側電極部と可動側
電極部間に流れる電流が、固定側電極部と可動側電極部
のそれぞれにおいて、コイル電極の半径方向に延設され
た腕部と円周方向に延設されたコイル部とを流れる。同
時に主電極の案内部を流れる半径方向の電流は、コイル
電極の腕部を流れる電流に対して実質的に逆方向に流れ
るため、コイル電極の腕部を流れる電流により発生する
磁界は、主電極の案内部を流れる半径方向の電流により
発生する磁界により打ち消される。

【００２６】又、一対の電極部である固定側電極部と可
動側電極部間に流れるアーク発生時の電流が、固定主電
極と可動主電極のそれぞれの所定位置において、円周方
向と半径方向に流れるように規制されるが、固定主電極
に流れる半径方向の電流は可動主電極に流れる半径方向
の電流に対して対向する位置において実質的に逆方向に
流れる。このため、固定主電極に流れる半径方向の電流
による磁界は、対向する可動主電極に流れる半径方向の
電流による磁界により実質的に打ち消される。

【００２７】又、対向して配設された一対の電極部にお
ける対向面の外周部が曲面に形成され、かつ電極部を構
成するコイル電極の対向面に設けられた円板状の主電極
がコイル電極の直径より小さく形成されているため、電
極間の電界は緩和され、かつアーク発生時の電流が対向
して配設されたコイル電極において円弧状の軌跡を描い
て流れて電極間に軸方向磁界を発生させる。

【００２８】又、アークが発生する主電極の全面におい
てアーク拡散を維持するに充分な縦磁界強度を有するた
め、アークの局部的集中を防ぎ、アークを全面に均一に
拡散させて遮断性能を向上させる。

【００２９】又、主電極裏側に配置された良導電体に流
れる電流を、その良導電体に形成する高抵抗帯の形状に
工夫を加えることによって制御し、軸方向磁界の分布・
強度の向上やうず電流の低減を図る。即ち、良導電体を
流れるうず電流を低減したり、また良導電体を流れる電
流（主電流とうず電流）により発生する磁界が、コイル
電極を流れる電流により発生する軸方向磁界と同方向と
なるようにしたり、更に発弧したアークを速やかに拡散
したりする。

【００３０】又、コイル電極の円弧部やスリット部のよ
うな耐電圧性能を低下させる電界の高い領域をコイルカ
バーにより被覆するなどして、主電極間に露出しないよ
うに構成し、あるいは上記領域にアークが発生しないよ
うにして、電極全体としての耐電圧特性を高めるように
した。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の真空バルブの電極装置の実施
例について説明するが、発明の理解を助けるため先行技
術と併せて説明を行う。 先行技術１ 以下、真空バルブの電極装置の先行技術１を図を参照し
て説明する。 図１は先行技術の 真空バルブにおける電
極部を示す斜視図であり、図２は図１の電極部の分解斜
視図である。図１に示す真空バルブの電極部は、真空容
器内に配設されて、操作機構部（図示せず）により接離
動作するよう構成されている。図１に示す電極部は、真
空容器に絶縁固定された固定電極部２０と、操作機構部
（図示せず）の駆動により上下動作して接離動作する可
動電極部３０とにより構成されており、固定電極部２０
と可動電極部３０は実質的に同一の構造を有しており、
その一方を上下に倒立させて相対向して配置したもので
ある。図２の分解斜視図に示すように、固定電極部２０
は固定電極棒５、固定接続導体１１、支持部材１２、固
定コイル電極１３、固定主電極１４により構成されてお
り、可動電極部３０は可動電極棒８、可動接続導体１
５、支持部材１６、可動コイル電極１７、可動主電極１
８により構成されている。固定電極部２０と可動電極部
３０は前記のように同一構造を有しているため、以下、
固定電極部２０の構成について詳細に説明する。

【００３２】図２に示すように、固定接続導体１１は、
固定電極棒５の先端部５ａに嵌合されるリング状の保持
部１１ａと、この保持部１１ａから半径方向外方に導出
する一本の腕部１１ｂを有している。固定コイル電極１
３の外周部に設けられているリング状のコイル部１３ａ
には円周の一部を切断することによって切欠部６１が形
成されている。前記腕部１１ｂの外方端部は前記切欠部
６１の近傍の接続部１３ｚにおいて、コイル部１３ａに
電気的に接続されている。すなわち、コイル部１３ａは
一部に切欠部６１を有する環形状であり、前記腕部１１
ｂの外方端部はコイル部１３ａの一方の端部内側に接続
されている。固定コイル電極１３のコイル部１３ａの内
側には環内部１３ｂが形成されており、この環内部１３
ｂの軸方向の厚みは前記コイル部１３ａの軸方向の厚み
より薄く形成されている。環内部１３ｂには、コイル部
１３ａの切欠部６１に連なり環内部１３ｂの中心を通る
直線状（直径上）の溝４０が形成されており、溝４０の
長さはコイル部１３ａの内径と実質的に同等又はそれ以
下に形成されている。また、環円部１３ｂの中心におい
て溝４０に直交する溝５０が形成されており、溝５０の
長さはコイル部１３ａの内径と実質的に同等又はそれ以
下に形成されている。固定電極部２０のコイル部１３ａ
と腕部１１ｂ間を接続する接続部１３ｚと、前記可動電
極部３０のコイル部１７ａと腕部１５ｂ間を接続する接
続部１７ｚは、対向する切欠部６１、６１と前記コイル
部１３ａ、１７ａの中心を通る平面の両側にそれぞれ配
置されている。

【００３３】図２に示すように、支持部材１２は固定コ
イル電極１３の環内部１３ｂに形成された凹部１３ｃに
当接して固定コイル電極１３を支持しており、その材料
は例えばステンレス鋼等の高抵抗材により形成されてい
る。支持部材１２において軸方向に突設された棒状の軸
部分は固定電極棒５の先端部５ａに形成された穴に嵌入
固定されるよう構成されている。固定コイル電極１３の
可動電極部３０に対向する面に配設される円板状の固定
主電極１４には、前記固定コイル電極１３に形成された
溝４０、５０と同一形状の溝６０、７０が形成されてお
り、固定コイル電極１３の溝４０、５０と固定主電極１
４の溝６０、７０がそれぞれ重なるように、固定主電極
１４は固定コイル電極に固定されている。図２に示すよ
うに、固定主電極１４と可動主電極１８のそれぞれの対
向する面の略中央には、接触用凸部８０が形成されてお
り、対向する主電極間のアーク発生部位となっている。

【００３４】固定主電極１４、可動主電極１８、接触用
凸部８０は、真空バルブの容量、使用目的等に応じて次
に示す各種材料により形成される： （１）大容量の真空バルブに用いる場合は、Ｃｕ−Ｃｒ
系やＣｕ−Ｃｏ系の接点材料、 （２）高耐圧の真空バルブに用いる場合は、Ｃｕ−Ｗ系
やＣｕ−Ｃｒ（全体に対して５０ｗｔ％以上）系の接点
材料、 （３）接点の溶着作用の防止に特に留意する場合は、Ｃ
ｕ−Ｃｒ系やＣｕ−Ｃｏ系の接点材料中に添加物として
低融点材料（Ｂｉ、Ｓｂ、Ｐｂ又はＴｅ等）を含めた接
点材料、 （４）サージの発生を抑制する場合は、Ｃｕ−Ｃｒ系の
基材に低融点材料（Ｂｉ、Ｓｂ、Ｐｂ又はＴｅ等が全体
に対して２０ｗｔ％以下）を含めた接点材料や、ＡｇＷ
Ｃ系（添加物としてＣｏ、Ｎｉ又はＦｅ等が全体に対し
て５ｗｔ％以下）の接点材料。

【００３５】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部におけるアーク発生時の電流の流れについて、
図２を用いて説明する、。図２に示すように、固定主電
極１４と可動主電極１８の間にアークＡが発生した場合
において、電流は、例えば固定電極棒５から固定接続導
体１１を介してコイル部１３ａへ流れてアーク発生点へ
到り、可動側電極部３０においてはアーク発生点から可
動主電極１８の半径方向へ流れてコイル部１７ａを通
り、コイル部１７ａの端部から可動接続導体１５を流れ
て可動電極棒８へ到る。

【００３６】上記のように、アーク発生時の電流は、電
気抵抗の低い材料で形成された各コイル電極１３、１７
の円周部分にあるコイル部１３ａ、１７ａを通るため、
そのときの電流は同方向で実質的な円弧状の軌跡を描
く。このため、アーク発生時の主電極間には軸方向磁界
が発生する。図３及び図４は、電極部の変形例を示す斜
視図である。図３に示す電極部の固定主電極８５及び可
動主電極８６のそれぞれの対向する面には複数の接触凸
部８０ａが形成されており、電極間におけるアーク発生
部位を特定している。図４に示す電極部は平板状の固定
主電極９２と可動主電極９３により構成されており、電
極構造の簡素化を図ったものである。

【００３７】上記における電極部に形成された溝は＋
（クロス）形に形成されたものを示したが、この形状に
特定するものではなく、図５、図６、図７に示すような
溝を電極部に形成しても同様の効果を奏する。図５、図
６、図７は、各主電極及び各コイル電極に形成される溝
の形状を示した図であり、電極部における主電極だけを
取り出して示す平面図である。図５に示す主電極８８は
直線状の溝８２のみが形成されたものであり、図６に示
す主電極８９はＹ字状の溝８３が形成されたものであ
る。図７の主電極９０は星形の穴８４をその略中央に形
成したものであり、主電極９０の外周部の一部（図７に
おける下部）に切欠部６２が形成されている。以上のよ
うに各主電極及びコイル電極を以上のように構成するこ
とにより、アーク発生時に各主電極を流れる電流は、電
気抵抗の低いコイル電極のコイル部を通って略円弧状の
軌跡を描くため、上記のような電極部を有する真空バル
ブの電極間には軸方向磁界が発生して、プラズマアーク
は効果的に拡散される。さらに、電極間の電気抵抗が低
いために、大電流遮断用として用いることができる。

【００３８】先行技術２ 以技下、他の先行術の真空バルブの例２を図８を参照し
て説明する。図８は真空バルブにおける電極部を示す斜
視図である。図８において、前述の説明における部品と
同じ構造、機能を有するものについては、同じ符号を付
してその説明は省略する。図８に示す真空バルブは、真
空容器内に対向して配設された一対の電極部の固定電極
部２０と可動電極部３０が実質的に同一構造を有して接
離可能に構成されている。

【００３９】図８の真空バルブについて、前述の先行技
術１と異なる点について以下に述べる。固定電極部２０
と可動電極部３０のそれぞれの主電極９４、９５は、溝
が形成されていない実質的に平坦な円板状の金属板によ
り構成されている。主電極９４、９５は溝の形成された
各コイル電極１３、１７の対向する面に配設されてい
る。また、円板状の各主電極の対向する面の縁部は曲面
により構成されており、各主電極間における電界の集中
は緩和されている。なお、各主電極９４、９５は、前述
の説明で述べた主電極と同じ材料により構成されてい
る。

【００４０】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部におけるアーク発生時の電流の流れについて説
明する。固定主電極９４と可動主電極９５の間にアーク
Ａが発生した場合において、電流は抵抗値の小さい各コ
イル電極１３、１７の外周部にあるコイル部１３ａ、１
７ａを流れる。このため、アーク発生時の電流は、各電
極部において円弧状の軌跡を描いて流れ、電極間に均一
な軸方向磁界を発生させて、プラズマアークを高効率で
拡散する。また、実施例２の各主電極９４、９５は、平
板な形状であり、かつそれぞれの対向する面の縁部が曲
面により構成されているため耐電圧性能の優れた真空バ
ルブとなっている。

【００４１】先行技術３ 以下、他の真空バルブの先行技術例３を図９を参照して
説明する。図９は真空バルブにおける電極部を示す斜視
図である。図９において、前述の説明における部品と同
じ構造、機能を有するものについては、同じ符号を付し
てその説明は省略する。図９に示 す真空バルブは、真空
容器内に対向して配設された一対の電極部の固定電極部
２０と可動電極部３０が実質的に同一構造を有して接離
可能に構成されている。

【００４２】上記の真空バルブについて、前述の説明と
異なる点について以下に述べる。各電極部における各主
電極９６、９７と各コイル電極９１、８７には、その中
心部を通る放射状の溝６０、７０の他に、各主電極９
６、９７と各コイル電極９１、８７の中央部分に穴８１
が形成されている。各主電極９６、９７及び各コイル電
極９１、８７を機械的に支持する支持部材は前記穴８１
を塞ぐように穴８１の直径より大きく形成されている。
次に、上記のように構成された実施例３の真空バルブの
電極部におけるアーク発生時の電流の流れについて説明
する。各主電極９６、９７及び各コイル電極９１、８７
にはその中央部分に穴８１が形成されているため、遮断
時に発生するアークは中央部分に発生せず、各主電極９
６、９７の円周部近傍に発生する。このため、アーク発
生時の電流は各主電極９６、９７の円周部背面に設けら
れている各コイル部９１ａ、８７ａへ速やかに流れて、
各主電極９６、９７に流れる電流の軌跡は実質的な円形
状に近似した形となる。この結果、遮断時の電極間には
均一な軸方向磁界が発生してプラズマアークを高効率で
拡散する。

【００４３】先行技術４ 図１０は先行技術４の真空バルブに おける固定電極部２
０と可動電極部３０の電極構造を示す分解斜視図であ
る。固定電極部２０と可動電極部３０は実質的に同一構
造を有しているために、以下は可動電極部３０について
説明する。図１０において、４３は導体で構成されたコ
イル電極であり、その中心部には電極棒８の先端部８ａ
に嵌合されるリング状の保持部４３ａを有し、この保持
部４３ａから半径方向外方に４本の腕部４３ｂが伸びて
いる。そして、４３ｃは上記腕部４３ｂの先端から同一
円周方向に伸びる円弧状のコイル部であり、このコイル
部４３ｃはその上面４３ｄ全面が円板状の主電極４１の
背面に接触するように軸方向に突出して形成されてい
る。４２は主電極４１の背面を機械的に支持する支持部
材で、その主体は例えばステンレス鋼等の高抵抗材によ
り形成されており、その軸方向に突設された棒状部４２
ａは電極棒８の支持穴８ｂに挿入固定されている。その
支持部材４２における円板状の支持部４２ｂは主電極４
１の中央部を支持している。

【００４４】次に、動作を図１１を用いて説明する。図
１１の（ａ）は固定電極部２０と可動電極部３０を相対
向させた状態を示す斜視図であり、図１１の（ｂ）は可
動電極部３０の中心軸で分割された断面図である。可動
主電極４１ａにおいて発生したアークＡのアーク発生点
Ｐからの電流は、図の点線で示すように、可動主電極４
１ａの半径方向に向かって放射状に流れ、可動コイル電
極４３のコイル部４３ｃに達すると、可動主電極４１ａ
より抵抗の小さいコイル部４３ｃの内部を通り、図１１
の（ｂ）に示す可動コイル電極４３の腕部４３ｂ→保持
部４３ａを経て可動電極棒８に流れる。また、固定主電
極４１ｂ側でも点線矢印で示された方向の電流が流れ
る。そして上記のように電流が流れることにより、主電
極間に軸方向磁界が発生してアークの拡散が行われる。

【００４５】上記の真空バルブにおいては、 （1）各コイル電極４３におけるコイル部４３ｃの主電
極接触面４３ｄと主電極４１ａ、４１ｂとが密着してい
るので、コイル電極４３のコイル部４３ｃから主電極表
面までの距離が短くなり、主電極間の軸方向磁界強度を
高めることができ、また、磁束漏れも生じにくい構造と
なり磁界分布が良好になる。即ち、実施例４の真空バル
ブによれば強力かつ良好な磁界分布を有する軸方向磁界
を発生させることができるので、アークを全面拡散する
能力が高まり、遮断性能がさらに向上する効果がある。 （2）また、各コイル部４３ｃの主電極接触面全面がそ
れぞれの主電極４１ａ、４１ｂの背部に接合されている
ので、機械的強度がさらに強くなる。

【００４６】実施例１ 上記先行技術における支持部材４２の主電極４１と接触
する面４２ｂに、図１２の（ａ）に示すように例えばク
ロス型（図のようにコイル部４３ｃの先端に向かう凸部
と、コイル部の中間位置に向いた凹部からなる）の良導
電体４４を形成すると、アーク発生点Ｐからの電流は、
その大部分が支持部材４２の上面に形成したクロス型の
良導電体４４に案内されて、コイル部４３ｃの先端部に
流れ込み、コイル電極４３の腕部４３ｂ→保持部４３ａ
を経て電極棒８に流れる。即ち、支持部材４２の上面に
設けた良導電体４４は、主電極４１に発生したアーク発
生時の電流をできる限りコイル部４３ｃ先端に導き、コ
イル部４３ｃに流れる電流を増大させ磁界強度を高める
働きをする。よって、その形状はコイル部４３ｃに効果
的に電流を流すならクロス型でなくても良く、例えば図
１２の（ｂ）に示すような円板形状であっても良い。な
お、この良導電体４４はアーク発生時における電極間抵
抗の低減を図るとともに、主電極４１からの支持部材４
２を通り電極棒８に漏れる電流を抑制する働きもする。
図１２の（ｃ）は可動電極部の部分断面図である。

【００４７】先行技術５ 図１３の（ａ）と（ｂ）は他の先行技術による真空バル
ブの電極構造を示した斜視図及び部分断面図である。図
１３の（ａ）において、高抵抗部４５はコイル電極４３
のコイル部４３ｃに当接している主電極４１ａ、４１ｂ
の円周方向部分の内径側に沿って設けられており、溝又
はステンレス等の高抵抗部材により形成されている。図
１３に示す高抵抗部４５は溝により構成されたものを示
す。この円周方向の高抵抗部４５により形成される円周
方向に伸びる主電極４１ａ、４１ｂの腕は、その先端部
が半径方向に伸びるコイル電極４３の腕部４３ｂの導出
位置に対応しており、その根本部がコイル電極４３のコ
イル部４３ｃの先端部に対応する位置に配置されてい
る。また、４６は主電極４１の半径方向に設けられた高
抵抗部（溝又はステンレス等の高抵抗部材、図１３は溝
により構成されたもので示す。）である。その他の構成
は前述の実施例４と同様であるので説明を省略する。こ
の真空バルブにおいて、円周方向の高抵抗部４５は、電
流をできる限りコイル電極４３のコイル部４３ｃに沿っ
て流れるように設けたものであり、このために、電極間
の磁界強度は強くなり、かつ均一となる。また、コイル
電極により軸方向磁界を発生させると、この磁界により
主電極上にうず電流が生じ、そのうず電流による逆方向
磁界が軸方向磁界を減少させる。しかし、この場合半径
方向の高抵抗部４６は、主電極４１ａ、４１ｂ上におけ
るうず電流の発生を抑制して軸方向磁界の減少を防止す
る働きをする。

【００４８】本発明におけるその他の実施例。その他の
実施例の真空バルブは、アーク発生時の電極端子間の抵
抗を低減し、アークの発生部位を限定するために図１４
（ａ）の斜視図と（ｂ）の部分断面図に示すように主電
極４１ａ、４１ｂの接触面中央部に凹部４７を形成した
ものや、図１５の斜視図に示すように凸部４８を形成し
たものがある。更に、上記実施例６ではコイル電極の腕
部４３ｄ及びコイル部４３ｃが４本形成した電極で示し
たが、操作条件や接点材料の変化、又、遮断電流値の大
きさにより磁界の強度を変化させたい場合には、コイル
電極４３の腕部４３ｂ及びコイル部４３ｃの本数を変え
る事により磁界の強さを変化させる事ができるととも
に、上記実施例と同様な効果を奏する。

【００４９】先行技術６ 従来の真空バルブは図５９及び図６０に示したように、
遮断時に発生したアークによる電流が各電極においてそ
の円周方向に流れて電極間に軸方向磁界を発生させてい
るが、それぞれの電極には円周方向以外の電流も流れて
いるため、電極間には均一な軸方向磁界が発生せず、プ
ラズマアークを効率高く拡散することが困難であった。
電極間における軸方向磁界を均一にし、電極間のプラズ
マアークを高効率で拡散することのできる真空バルブを
得るものとして図１６により、その詳細を説明する。以
下、図を参照して説明する。 図１６は真空バルブにお
ける電極部を示す斜視図であり、図１７は図１６の電極
部における可動電極部１１４の分解斜視図であり、図１
８は図１７の可動電極部１１４の断面図である。図１６
に示す真空バルブの電極部は、真空容器内に配設され
て、操作機構部（図示せず）により接離動作するよう構
成されている。図１６に示す電極部は、真空容器に絶縁
固定された固定電極部１１３と、操作機構部（図示せ
ず）の駆動により上下動作して接離動作する可動電極部
１１４とにより構成されており、固定電極部１１３と可
動電極部１１４は実質的に同一の構造を有している。図
１７の分解斜視図に示すように、可動電極部１１４は可
動電極棒８、コイル電極１３０、主電極１３１、支持部
材１３２により構成されている。

【００５０】図１７に示すように、コイル電極１３０
は、その中心部に可動電極棒８の先端部８ａに嵌合され
るリング状の保持部１３０ａを有し、この保持部１３０
ａから半径方向外方（放射状）に４本の腕部１３０ｂ、
１３０ｂ、１３０ｂ、１３０ｂが導出している。保持部
１３０ａから導出する腕部１３０ｂは２ヵ所において略
直角に屈曲しており、この腕部１３０ｂの外方端は円弧
状のコイル部１３０ｃの一端に連なり、前記腕部１３０
ｂ内の保持部１３０ａからの放射状の導出部分１３０ｄ
はコイル部１３０ｃの他端に向って導出している。それ
ぞれの腕部１３０ｂ、１３０ｂ、１３０ｂ、１３０ｂに
連なる４つのコイル部１３０ｃ、１３０ｃ、１３０ｃ、
１３０ｃは実質的に同一円周上に形成されており、これ
らのコイル部１３０ｃ、１３０ｃ、１３０ｃ、１３０ｃ
の上面は、それぞれの全面において円板状の主電極１３
１の背面に接触するように、前述の保持部１３０ａや腕
部１３０ｂより上方へ突出するよう構成されている。図
１８の断面図に示すように、支持部材１３２は主電極１
３１の背面に当接して主電極１３１を機械的に支持して
おり、その主体は例えばステンレス鋼等の高抵抗材によ
り形成されている。支持部材１３２において、軸方向に
伸びる棒状の軸部分１３２ａは可動電極棒８の先端部８
ａに形成された支持穴８ｂに嵌入固定されるよう構成さ
れている。

【００５１】図１７において、コイル電極１３０の上部
に配設される円板状の主電極１３１には、円弧状に導出
する４つの外周部１３１ａ、１３１ａ、１３１ａ、１３
１ａが形成されており、この４つの外周部１３１ａ、１
３１ａ、１３１ａ、１３１ａは実質的に同一円周上に形
成されている。これらの外周部１３１ａは前記コイル電
極１３０のコイル部１３０ｃのそれぞれの上面に重なる
よう配設されている。また、主電極１３１には、放射状
の溝１９０が形成されており、この溝１９０によりアー
ク発生点となる中心部分近傍から前記外周部１３１ａへ
連なる案内部１３１ｂが形成されている。

【００５２】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部において、アーク発生時における電流の流れに
ついて図１９を用いて説明する。図１９は図１７の可動
電極部１１４の主電極１３１とその背面にあるコイル電
極１３０を示す平面図である。可動電極部１１４が固定
電極部１１３から開離した遮断時において、アークＡが
図１６に示す主電極１３１の略中央（点Ｐで示す。）に
発生した場合、電流は主電極１３１とコイル電極１３０
を電流径路Ｒに沿って可動電極棒８へ流れる。すなわ
ち、この電流は、主電極１３１において案内部１３１ｂ
を通って半径方向へ流れ、主電極１３１の外周部１３１
ａとコイル電極１３０のコイル部１３０ｃ→腕部１３０
ｂ→保持部１３０ａ→可動電極棒８へと流れる。一方、
このときの固定電極部１１３においては、図１６におい
て矢印Ｌで示すように、電流が固定電極棒５からコイル
電極１２０の保持部１２０ａ→腕部１２０ｂ→コイル部
１２０ｃと主電極１２１の外周部１２１ａを通って主電
極１２１の案内部へ流れる。主電極１２１における電流
は、この案内部を半径方向に流れて、アークＡの発生点
Ｐへ流れる。

【００５３】図１９の可動電極部１１４の平面図に示す
ように、主電極１３１の案内部１３１ｂを半径方向に流
れるアーク発生時の電流は、その背面に配設されたコイ
ル電極１３０の腕部１３０ｂに流れる電流に対して実質
的に逆方向に流れており、その電流値は実質的に同一で
ある。このため、主電極１３１の案内部１３１ｂを半径
方向へ流れる電流により発生する磁界は、コイル電極１
３０の腕部１３０ｂに流れる電流の磁界により打ち消さ
れ、同様に、固定側電極部１１３の主電極１２１におけ
る案内部を半径方向に流れる電流による磁界は、コイル
電極１２０の腕部１２０ｂに流れる電流の磁界により打
ち消される。上記のように、各主電極１２１、１３１に
おける半径方向に流れるアーク発生時の電流による磁界
は、コイル電極１２０、１３０の腕部１２０ｂ、１３０
ｂに流れる電流による磁界により相殺され、コイル電極
１２０、１３０のコイル部１２０ｃ、１３０ｃ及び主電
極１２１、１３１の外周部１２１ａ、１３１ａに流れる
電流による軸方向磁界が発生し、各主電極間には均一な
軸方向磁界が顕在化し、遮断時に発生したプラズマアー
クは高効率で拡散される。

【００５４】先行技術７ 以下、他の先行技術の真空バルブを 図を参照して説明す
る。 図２０は本発明の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図であり、図２１は図２０の可動電極部１２４の
分解斜視図である、各図において、前述の説明における
部品と同じ構造、機能を有するものについては、同じ符
号を付してその説明は省略する。図２０において、真空
容器内に対向して配設された固定側電極部１２３と可動
側電極部１２４は、実質的同一構造を有して接離可能に
構成されている。図２１に示すように、可動電極部１２
４は、可動電極棒８、支持部材１３２、コイル電極１５
０、主電極１５１により構成されている。

【００５５】コイル電極１５０は、その中心部に可動電
極棒８の先端部８ａに嵌合されるリング状の保持部１５
０ａを有し、この保持部１５０ａから半径方向外方に４
本の腕部１５０ｂ、１５０ｂ、１５０ｂ、１５０ｂが導
出している。腕部１５０ｂは、前述の第７実施例と同じ
ように、２ヵ所において略直角に屈曲してコイル部１５
０ｃに連なっている。それぞれの腕部１５０ｂに連なる
４つのコイル部１５０ｃ、１５０ｃ、１５０ｃ、１５０
ｃは実質的に同一の円周上に形成されている。図２１に
示すように、腕部１５０ｂから連なるコイル部１５０ｃ
の端部には、上方へ突出する接触部１５０ｄが形成され
ており、この接触部１５０ｄが主電極１５１の背面に接
触するよう構成されている。図２１に示すように、コイ
ル電極１５０の保持部１５０ａから導出する各腕部１５
０ｂは、他の腕部１５０ｂに連なる接触部１５０ｄの方
向に実質的に導出しており、屈曲部分を介してコイル部
１５０ｃへ連なるよう構成されている。コイル電極１５
０の接触部１５０ｄにより接触される主電極１５１は、
前述の第７実施例の主電極１３１と同じように真空バル
ブの容量、使用目的等に応じて各種材料により構成され
て、円板状に形成されている。

【００５６】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部において、アーク発生時における電流の流れに
ついて説明する。可動電極部１２４が固定電極部１２３
から開離した遮断時において、アークＡが主電極１５１
の図２０及び図２１に示す位置に発生した場合、電流は
主電極１５１とコイル電極１５０を矢印Ｌで示す方向へ
流れる。すなわち、この電流は、主電極１５１において
その半径方向へ流れて、コイル電極１５０の接触部１５
０ｄ→コイル部１５０ｃ→腕部１５０ｂ→保持部１５０
ａ→可動電極棒８へと流れる。一方、固定電極部１２３
においては、アーク発生時の電流は固定電極棒５から保
持部１４０ａ→腕部１４０ｂ→コイル部１４０ｃ→接触
部１４０ｄ→固定側の主電極１４１へと流れ、この主電
極１４１においてその半径方向に流れる。

【００５７】図２１に示すように、遮断時において主電
極１５１を流れる電流は、接触部１５０ｄを通してコイ
ル部１５０ｃ及び腕部１５０ｂに流れており、このと
き、腕部１５０ｂを流れる電流の方向は主電極１５１に
おいて流れる半径方向の電流の向きと実質的に逆方向で
あるため、主電極１５１において流れる半径方向の電流
により発生する磁界は、コイル電極１５０の腕部１５０
ｂに流れる電流の磁界により実質的に打ち消される。ま
た、固定電極部１２３においても主電極１４１における
半径方向に流れる電流による磁界は、コイル電極１４０
の腕部１４０ｂに流れる電流の磁界により実質的に打ち
消される。上記のように、コイル電極１４０、１５０の
腕部１４０ｂ、１５０ｂの導出方向を主電極１４１、１
５１において流れるアーク発生時の電流の向きに実質的
に一致させることにより、遮断時の主電極間には、均一
な軸方向磁界が発生し、遮断時に発生するプラズマアー
クは有効に拡散される。

【００５８】先行技術８ 以下、他の真空バルブの先行技術例を図を参照して説明
する。図２２は真空バルブにおける電極部のコイル電極
１６０を示す平面図である。コイル電極１６０以外は、
前述の実施例２の真空バルブの電極部と同じ構成であ
る。図２２に示すように、コイル電極１６０は、その中
心部に可動電極棒に嵌合されるリング状の保持部１６０
ａを有し、この保持部１６０ａから半径方向外方に４本
の腕部１６０ｂ、１６０ｂ、１６０ｂ、１６０ｂが導出
している。実施例９のコイル電極１６０は、腕部１６０
ｂに連なって第１のコイル部１６０ｃ及び第２のコイル
部１６０ｄが屈曲部分を介して形成されており、４つの
第１のコイル部１６０ｃ、１６０ｃ、１６０ｃ、１６０
ｃ及び４つの第２のコイル部１６０ｄ、１６０ｄ、１６
０ｄ、１６０ｄはそれぞれが実質的に同一の円周上に形
成されている。したがって、コイル電極１６０のコイル
部は２重構造を有するよう構成されている。

【００５９】第２のコイル部１６０ｄの各端部には、前
述のコイル部１５０ｃと同様に、接触部１６０ｅがそれ
ぞれ突設されており、この接触部１６０ｅが主電極の背
面に接触するよう構成されている。また、保持部１６０
ａから導出する腕部１６０ｂは、他の腕部１６０ｂに連
なる接触部１６０ｅの方向に導出するよう構成されてい
る。上記のように、コイル電極１６０の腕部１６０ｂの
実質的な導出方向を主電極において流れるアーク発生時
の電流の向きと実質的に一致させるとともに、コイル電
極１６０を２重構造とすることにより、電極間には磁界
強度の大きい均一な軸方向磁界が発生し、プラズマアー
クは高効率で拡散される。尚、本発明はコイル電極の腕
部が４本で構成されたもので説明したが、本発明の真空
バルブにおける腕部は４本に限定されるものではなく、
複数本であれば上記各実施例と同様の効果を奏する。

【００６０】先行技術９ 以下、他の真空バルブの例を図を参照して説明する。図
２３は真空バルブにおける電極部を示す斜視図であり、
図２４は図２３の電極部の分解斜視図である。図２３に
示す真空バルブの電極部は、真空容器内に配設されて、
操作機構部（図示せず）により接離動作するよう構成さ
れている。図２３に示す電極部は、真空容器に絶縁固定
された固定電極部２１３と、操作機構部（図示せず）の
駆動により上下動作して接離動作する可動電極部２１４
とにより構成されており、固定電極部２１３と可動電極
部２１４は実質的に同一の構造を有している。図２４の
分解斜視図に示すように、固定電極部２１３は固定電極
棒５、固定コイル電極２２０、固定主電極２２１、支持
部材２３２ａにより構成されており、可動側電極部２１
４は可動電極棒８、可動コイル電極２３０、可動主電極
２３１、支持部材２３２ｂにより構成されている。

【００６１】可動電極部２１４の可動コイル電極２３０
は、その中心部に可動電極棒８の先端部８ａに嵌合され
るリング状の保持部２３０ａを有し、この保持部２３０
ａから半径方向外方（放射状）に４本の腕部２３０ｂ、
２３０ｂ、２３０ｂ、２３０ｂが導出している。各腕部
２３０ｂの外方端は円弧状の各コイル部２３０ｃの一端
に連なっており、これらのコイル部２３０ｃ、２３０
ｃ、２３０ｃ、２３０ｃは実質的に同一円周上に形成さ
れている。図２４に示すコイル部２３０ｃ、２３０ｃ、
２３０ｃ、２３０ｃの上面は、それぞれの全面において
円板状の可動主電極２３１の背面に接触するように、前
述の保持部２３０ａや腕部２３０ｂより上方へ突出する
よう構成されている。

【００６２】図２４に示すように、可動主電極２３１に
は円周から中心に向って形成された第１の溝２４０と、
円周方向に沿って形成された第２の溝２５０と、この第
２の溝の端より中心に向って形成された第３の溝２６０
が設けられている。このため、可動主電極２３１には、
その中心部分から半径方向（放射状）に伸びる第１の腕
２３１ａとその第１の腕２３１ａに連なり円弧状に形成
された第２の腕２３１ｂが形成されている。この可動主
電極２３１に形成された円弧状の４つの第２の腕２３１
ｂ、２３１ｂ、２３１ｂ、２３１ｂは実質的に同一円周
上に形成されている。

【００６３】可動主電極２３１の固定主電極２２１に対
向する面の略中央には接触用凸部２３４が形成されてお
り、対向する固定主電極２２１との間のアーク発生部位
となっている。可動電極部２１４の可動主電極２３１
は、その背面中央に形成された凹部（図示せず）に嵌着
され可動電極棒８に嵌入固定された支持部材２３２ｂに
より機械的に支持されている。可動主電極２３１は固定
主電極２２１に対して回動せずに上下動作するよう構成
されており、可動主電極２３１と固定主電極２２１は常
に所定位置が対向するよう構成されている。支持部材２
３２ｂは、例えばステンレス鋼等の高抵抗材により形成
されており、アーク発生時における可動主電極２３１と
可動電極棒８間の直接的な電流の流れを抑制している。
一方、固定電極部２１３は、上記可動電極部２１４と実
質的に同一構造を有しており、互いに点対称的に配設さ
れており、固定主電極２２１の第１の腕２２１ａと可動
主電極２３１の第１の腕２３１ａはそれぞれ実質的に同
一方向に導出するよう配置されている。

【００６４】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部におけるアーク発生時の電流の流れについて、
図２５を用いて説明する。図２５はアーク発生時におけ
る固定主電極２２１と可動主電極２３１を電流が流れた
場合を示す平面図である。同図において固定主電極２２
１及び可動主電極２３１はそれぞれ固定主電極２２１と
可動主電極２３１だけを取り出して示す図で、何れも図
２３の軸上上方から見た平面図である。図２５におい
て、点Ｐはアークの発生点であり、矢印は電流の流れる
方向を示している。図２５の上部に示す固定主電極２２
１における電流の流れは、固定主電極２２１の背面にあ
る固定コイル電極２２０の腕部２２０ｂを通った電流が
固定主電極２２１の第２の腕２２１ｂに沿って円周方向
に流れる。第２の腕２２１ｂを通った電流は第１の腕２
２１ａを通って半径方向へ流れてアーク発生点Ｐに向
う。このとき、図２５の下部に示す可動主電極２３１に
おいては、電流がアーク発生点Ｐから第１の腕２３１ａ
を通って半径方向へ流れ、その円周に沿って形成された
第２の腕２３１ｂを流れる。可動主電極２３１の第２の
腕２３１ｂを流れた電流は、その背面にある可動コイル
電極２３０の腕部２３０ｂを通り可動電極棒８へ流れ
る。

【００６５】図２５に示すように、固定主電極２２１に
流れる半径方向の電流Ｌ１と可動主電極２３１に流れる
半径方向の電流Ｌ２は、それぞれの対向する位置にあ
り、かつ実質的に逆向きに流れているため、固定主電極
２２１に流れる半径方向の電流Ｌ１により発生する磁界
は、可動主電極２３１に流れる半径方向の電流Ｌ２によ
り発生する磁界により実質的に打ち消される。したがっ
て、電極間には固定主電極２２１の第２の腕２２１ｂと
可動主電極２３１の第２の腕２３１ｂのそれぞれに流れ
る円周方向の電流により均一な軸方向磁界が発生し、遮
断時に発生した電極間のプラズマアークは有効に拡散さ
れる。

【００６６】先行技術１０ 以下、他の真空バルブを図２６を参照して説明する。図
２６は真空バルブにおける電極部を示す斜視図である。
図において、前述の説明における部品と同じ構造、機能
を有するものについては、同じ符号を付してその説明は
省略する。図２６に示す固定電極部２１３と可動電極部
２１４は、真空容器内に対向して配設されており実質的
に同一構造を有して接離可能に構成され、点対称的に配
置されている。固定電極部２１３及び可動電極部２１４
は、前述の先行技術と同じように構成されており、すな
わち、固定電極部２１３は固定電極棒５、固定コイル電
極２２０、固定主電極２４１及び支持部材により構成さ
れており、可動電極部２１４は可動電極棒８、可動コイ
ル電極２３０、可動主電極２５１及び支持部材により構
成されている。

【００６７】図２６に示すように、可動主電極２５１に
は円周から中心に向う第１の溝２４０に連なって円周方
向に沿って形成された第２の溝２５０と、この第２の溝
２５０の端より中心に向って形成された第３の溝２６０
と、この第３の溝２６０に連なって円周方向に形成され
た第４の溝２９０が設けられている。このため、可動主
電極２５１には、屈曲された第１の腕２５１ａとその第
１の腕２５１ａに連なり円弧状に形成された第２の腕２
５１ｂが形成されている。この可動主電極２５１に形成
された円弧状の４つの第２の腕２５１ｂ、２５１ｂ、２
５１ｂ、２５１ｂは実質的に同一円周上に形成されてい
る。

【００６８】上記のように構成された真空バルブの電極
部におけるアーク発生時の電流の流れについて、図２７
を用いて説明する。図２７は固定主電極２４１と可動主
電極２５１を流れるアーク発生時の電流の方向を示す図
である。同図に示す固定主電極２４１及び可動主電極２
５１は、何れも図２６の軸上上方から見た平面図であ
る。図２７において、点Ｐはアーク発生点、矢印は電流
の流れる方向を示している。可動電極部２１４が固定電
極部２１３から開離した遮断時において、アークＡが図
２７に示す位置（点Ｐ）に発生した場合、固定主電極２
４１と可動主電極２５１における電流は、矢印Ｌ１及び
Ｌ２で示す半径方向へ流れる。図２７に示すように、固
定主電極２４１に流れる半径方向の電流Ｌ１の径路と可
動主電極２５１に流れる半径方向の電流Ｌ２の径路は、
それぞれ対向する位置にあり、かつ実質的に逆向きに流
れるよう配設されている。このため、固定主電極２４１
に流れる半径方向の電流Ｌ１により発生する磁界は、可
動主電極２５１に流れる半径方向の電流Ｌ２により発生
する磁界により実質的に打ち消される。また、このとき
の電流は、固定主電極２４１の第１の腕２４１ａと可動
主電極２５１の第１の腕２５１ａにおいて円周方向に流
れるため、この真空バルブは電極間の軸方向磁界強度が
高められている。上記のように、固定主電極２４１及び
可動主電極２５１に複数の溝を形成して、アーク発生時
におけるそれぞれの半径方向に流れる電流の径路を所定
方向に規制し、かつ固定主電極２４１と可動主電極２５
１が所定位置において対向するよう配置されているた
め、遮断時の電極間には均一な軸方向磁界が発生し、プ
ラズマアークは有効に拡散される。

【００６９】図２８は固定主電極２４１と可動主電極２
５１の変形例を示す固定主電極２６１と可動主電極２７
１の平面図であり、固定主電極２６１と可動主電極２７
１に形成される溝を図２８に示すように形成することに
より、アーク発生時の固定主電極２６１と可動主電極２
７１を流れる半径方向の電流の径路は、さらに規制され
所望の位置に限定することが可能となる。このため、対
向して配置された固定主電極２６１と可動主電極２７１
を流れる半径方向の電流の径路は、対向する位置におい
て真の逆向きに近づき、各電極を流れる半径方向の電流
により発生する磁界は実質的に打ち消され、電極間には
均一な軸方向磁界が発生する。

【００７０】実施例２ 以下、他の真空バルブの実施例を図２９を参照して説明
する。図２９は真空バルブにおける電極部を示す斜視図
である。図において、前述の実施例における部品と同じ
構造、機能を有するものについては、同じ符号を付して
その説明は省略する。図２９に示す固定電極部２１３と
可動電極部２１４は、真空容器内に対向して配設されて
おり、実質的に同一構造を有して接離可能に構成され、
点対称的に配置されている。

【００７１】図２９に示すように、固定コイル電極２８
２は、その中心部に固定電極棒５を嵌合するリング状の
保持部２８２ａと、この保持部２８２ａから半径方向外
方（放射状）に導出する腕部２８２ｂと、この腕部２８
２ｂに連なるコイル部２８２ｃにより構成されている。
固定コイル電極２８２のコイル部２８２ｃの端部には可
動電極部２１４の方向に突出した接触部２８２ｄが形成
されており、固定主電極２８１に電気的に接触するよう
構成されている。一方、可動コイル電極２９２は、前記
固定コイル電極２８２と同様に、コイル部２９２ｃの端
部には固定電極部２１３の方向に突出した接触部２９２
ｄが形成されており、可動主電極２９１に電気的に接触
するよう構成されている。

【００７２】以上のように、固定コイル電極２８２の各
接触部２８２ｄと可動コイル電極２９２の各接触部２９
２ｄは対向する方向にそれぞれ突設されているため、ア
ーク発生時に流れる電流は固定主電極２８１と可動主電
極２９１のそれぞれの対向する位置において実質的に逆
向きの半径方向に流れる。このため、固定主電極２８１
に流れる半径方向の電流により発生する磁界と可動主電
極２９１に流れる半径方向の電流により発生する磁界は
実質的に打ち消される。上記のように固定電極部２１３
と可動電極部２１４を構成することにより、アーク発生
時における固定主電極２８１と可動主電極２９１を流れ
る実質的な半径方向の電流は打ち消されて、各コイル電
極のコイル部を流れる電流により電極間には均一な軸方
向磁界が発生し、プラズマアークは高効率で拡散され
る。なお、上記実施例では固定コイル電極及び可動コイ
ル電極の腕部が４本により構成されたもので示したが、
本発明はこれに限定するものではなく、複数本の腕部に
よりそれぞれのコイル電極を構成すれば、上記各実施例
と同様の効果を奏する。

【００７３】先行技術１１ 真空遮断器は適用される電圧に対応するように、商用周
波数の電圧と衝撃波の電圧に耐える高い耐電圧性能が要
求される。このため、真空遮断器に用いられる真空バル
ブは固定側電極と可動側電極間を高い耐電圧性能を有す
るように構成する必要がある。この要求を満たす為、軸
方向磁界を発生する従来の真空バルブの電極は、主電極
の外径とコイル電極の外径がほぼ等しくなるように構成
されているので、耐電圧性能を向上させるためには、主
電極の外径部の曲率半径を大きくしなければならなかっ
た。曲率半径を大きくするためには、主電極の厚みを厚
くしなければならず、真空バルブの小形化を阻害してい
た。そこで電極間に均一な軸方向磁界を発生させるとと
もに電極間の耐電圧性能を高め、遮断性能の優れた真空
バルブを得るものについて、以下その詳細を説明する。
以下、図を参照して説明する。図３０は真空バルブにお
ける電極部を示す斜視図であり、図３１は図３０の電極
部の分解斜視図であり、図３２は図３０の電極部におけ
る可動電極部３３０の断面図である。図３０に示す真空
バルブの電極部は、真空容器内に配設されて、操作機構
部（図示せず）により接離動作するよう構成されてい
る。電極部は真空容器に絶縁固定された固定電極部３２
０と、操作機構部（図示せず）の駆動により上下動作し
て接離動作する可動電極部３３０とにより構成されてお
り、固定電極部３２０と可動電極部３３０は実質的に同
一の構造を有し、その一方を上下に倒立させて相対向し
て配置したものである。図３１の分解斜視図に示すよう
に、固定電極部３２０は固定電極棒５、固定コイル電極
３１１、支持部材３１２、固定主電極３１３により構成
されており、可動電極部３３０は可動電極棒８、可動コ
イル電極３１６、支持部材３１５、可動主電極３１４に
より構成されている。

【００７４】図３１に示すように、固定コイル電極３１
１は、その中心部に固定電極棒５を嵌合するリング状の
保持部３１１ａと、この保持部３１１ａから半径方向外
方（放射状）に導出する４本の腕部３１１ｂ、３１１
ｂ、３１１ｂ、３１１ｂと、各腕部３１１ｂに連なるコ
イル部３１１ｃにより構成されている。可動コイル電極
３１６は、その中心部に可動電極棒８の先端部８ａに嵌
合されるリング状の保持部３１６ａを有し、この保持部
３１６ａから半径方向外方（放射状）に４本の腕部３１
６ｂ、３１６ｂ、３１６ｂ、３１６ｂが導出している。
腕部３１６ｂの外方端は円弧状のコイル部３１６ｃの一
端に連なり、それぞれのコイル部３１６ｃは実質的に同
一円周上に形成されている。図３１に示すように、これ
らのコイル部３１６ｃの上面（固定側電極部３２０に対
向する面）には段差が形成されており、前記可動主電極
３１４が嵌め込まれるよう構成されている。

【００７５】図３１に示すように、可動コイル電極３１
６に嵌め込まれる可動主電極３１４には、複数の溝３９
０により、円弧状に導出する４つの外周部３１４ａ、３
１４ａ、３１４ａ、３１４ａが形成されており、これら
の外周部３１４ａ、３１４ａ、３１４ａ、３１４ａは実
質的に同一円周上に形成されている。可動主電極３１４
の外周部３１４ａは前記可動コイル電極３１６のコイル
部３１６ｃの上面に形成された段部に嵌め込まれるよう
構成されている。また、可動主電極３１４の固定主電極
３１３に対向する面には、その中央部にアークの発生部
位となる接触凸部３１４ｂが形成されている。固定主電
極３１３は前記可動主電極３１４と同様に、固定主電極
３１３の複数の外周部３１３ａは円弧状に形成され、そ
して接触凸部が可動電極部３３０に対向する面に形成さ
れている。

【００７６】図３２は可動電極部３３０の断面図であ
り、可動主電極３１４が可動コイル電極３１６に嵌め込
まれた状態を示す。図３２に示すように、可動主電極３
１４における固定主電極３１３に対向する面の外周部は
曲率半径ｃ₁を有する曲面状に形成されており、この可
動主電極３１４が固着される可動コイル電極３１６はそ
のコイル部３１６ｃの対向面の外周部が曲率半径ｃ₂を
有する曲面状に形成されている。また、可動主電極３１
４の中央部に形成された接触凸部３１４ｂの外縁は曲率
半径ｃ₃を有するよう曲面により構成されている。図３
２に示すように、コイル部３１６ｃの外周部の曲率半径
ｃ₂は、可動主電極３１４の外周部の曲率半径ｃ₁より同
等又はそれ以上に大きく形成されている。

【００７７】固定コイル電極３１１及び可動コイル電極
３１６は、その主体がＣｕ、Ｃｕ＋ＣｒのようなＣｕ合
金又はＡｇ合金等の材料により構成されている。図３２
に示すように、支持部材３１５は可動主電極３１４の背
面に当接して可動主電極３１４を機械的に支持してお
り、その主体は例えばステンレス鋼等の高抵抗材により
形成されている。支持部材３１５の軸方向に伸びる棒状
の軸部分は可動電極棒８の先端部８ａに形成された支持
穴に嵌入固定されるよう構成されている。

【００７８】次に、上記のように構成された真空バルブ
の電極部においてアーク発生時の電流の流れについて図
３０を用いて説明する。可動電極部３３０が固定電極部
３２０から開離した遮断時において、アークＡは固定主
電極３１３及び可動主電極３１４の接触凸部間に発生す
る。このとき、電流は、例えば固定電極棒５から固定コ
イル電極３１１を介して固定主電極３１３のアーク発生
点へ流れる。同時に、可動電極部３３０においては、ア
ーク発生点から可動主電極３１４、可動コイル電極３１
６を介して可動電極棒８へ流れる。このとき、各電極部
３２０、３３０のコイル部３１１ｃ、３１６ｃにおいて
その円周方向に電流が流れるため、電極間には軸方向磁
界が発生し、遮断時に発生するプラズマアークは拡散さ
れ消弧される。以上のように構成された真空バルブにお
いて、各電極部３２０、３３０の外周部は、主電極とコ
イル電極の外周部に形成された曲面により電界は緩和さ
れており、かつ各コイル電極３１１、３１６のコイル部
３１１ｃ、３１６ｃが直線的に対向するよう構成されて
いるため、電極間には高効率の軸方向磁界が発生する。
このため、実施例１３の真空バルブは耐電圧性能及び遮
断性能が優れ、高圧回路の開閉器として用いることがで
きる。

【００７９】先行技術１２ 以下、真空バルブの他の例を図を参照して説明する。図
３３は 真空バルブにおける電極部を示す斜視図であり、
図３４は図３３の電極部における可動電極部３３０の断
面図である。各図において、前述の説明における部品と
同じ構造、機能を有するものについては、同じ符号を付
してその説明は省略する。図３３に示す固定電極部３２
０と可動電極部３３０は、真空容器内に対向して配設さ
れており、実質的に同一構造を有して接離可能に構成さ
れ、点対称的に配置されている。図３３及び図３４に示
すように、可動電極部３３０は曲面形状の外周部を有す
る可動コイル電極３１６が放射状の複数の溝３６０と円
周方向の溝３５０とを有する可動主電極３２４を嵌め込
むよう構成されている。可動主電極３２４に形成された
半径方向に伸びる放射状の複数の溝３６０は、アーク発
生時の可動主電極３２４における電流の流れる方向を所
望の方向に規制するものであり、可動コイル電極３１６
のコイル部３１６ｃを円周方向に流れる電流により電極
間には均一な軸方向磁界が発生する。

【００８０】図３４に示すように、支持部材３１５の可
動主電極３２４と接触している上面には、例えば、クロ
ス型又は円板型の良導体で形成された導電体３１７が設
けられており、可動主電極３２４に流れ込んだ電流を可
動主電極３２４の外周部３２４ａへ効率的に導くように
構成されている。この導電体３１７を可動主電極３２４
の背面に接触させることにより、各主電極の外周部及び
各コイル電極のコイル部へアーク発生時の電流が効率高
く導かれて、電極間の軸方向磁界強度は高められる。

【００８１】図３４に示すように、コイル部３１６ｃの
外周部の曲率半径ｃ₂は、可動主電極３２４の外周部３
２４ａの曲率半径ｃ₁より同等又はそれ以上に大きく形
成されている。上記のように構成された実施例１４の真
空バルブにおいて、各電極部の対向面における電界の集
中は緩和されており、かつ各コイル電極のコイル部が直
接的に対向するよう構成されているため、真空バルブは
耐電圧性能及び遮断性能が優れたものとなっている。

【００８２】先行技術１３ 以下、真空バルブの他の例を図を参照して説明する。図
３５は真空 バルブにおける電極部を示す斜視図であり、
図３６は図３５の電極部における可動電極部３３０の断
面図である。各図において、前述の実施例又は先行技術
における部品と同じ構造、機能を有するものについて
は、同じ符号を付してその説明は省略する。

【００８３】図３５に示す固定電極部３２０と可動電極
部３３０は、真空容器内に対向して配設されており、実
質的に同一構造を有して接離可能に構成され、点対称的
に配置されている。図３５に示すように、固定コイル電
極３２１は、その中心部に固定電極棒５を嵌合するリン
グ状の保持部３２１ａと、この保持部３２１ａから半径
方向外方（放射状）に導出する４本の腕部３２１ｂ、３
２１ｂ、３２１ｂ、３２１ｂと、各腕部３２１ｂに連な
るコイル部３２１ｃにより構成されている。固定コイル
電極３２１のコイル部３２１ｃの端部に形成された接触
部３２１ｄは、固定主電極の背面（図３５における上
面）に固着される保持導体３１８に電気的に接触するよ
う突設されている。

【００８４】図３６は、固定電極部３２０と同じように
構成された可動電極部３３０の断面図である。図３６に
示すように、可動主電極３３４の背面（図３５における
下面）には良導体である保持導体３１８が固着されてお
り、この保持導体３１８に可動コイル電極３２６のコイ
ル部３２６ｃの端部に形成された接触部３２６ｄが電気
的に接触するよう構成されている。保持導体３１８の外
周部の曲率半径ｃ₂は、可動主電極３３４の外周部の曲
率半径ｃ₁より同等又はそれ以上に大きく形成されてい
る。上記のように構成された実施例１５の真空バルブに
おいて、各電極部の対向面における電界の集中は緩和さ
れており、かつ各コイル電極に設けられた良導体の保持
導体３１８が直接的に対向するよう構成されているた
め、電極間には高効率の軸方向磁界が発生する。

【００８５】先行技術１４ 以下、真空バルブの他の先行技術例を図を参照して説明
する。図３７は 真空バルブにおける電極部を示す斜視図
である。図３７において、前述の説明における部品と同
じ構造、機能を有するものについては、同じ符号を付し
てその説明は省略する。また、図３７に示す固定電極部
３２０と可動電極部３３０は、真空容器内に対向して配
設されており、実質的に同一構造を有して接離可能に構
成され、点対称的に配置されている。

【００８６】図３７に示すように、可動コイル電極３１
６の固定電極部３２０に対向する面には円板状の可動主
電極３４４が設けられており、この可動主電極３４４の
直径は可動コイル電極３１６におけるコイル部３１６ｃ
の内径より小さく構成されている。また、可動コイル電
極３１６の対向する面の外周部の曲率半径ｃ₂は、可動
主電極３４４の外周部の曲率半径ｃ₁より同等又はそれ
以上に大きく形成されている。このため、前述の各実施
例の真空バルブの各電極部の対向面における電界の集中
は緩和されている。図３８は変形例を示すものであり、
図３８はこの真空バルブの電極部を示す斜視図である。
この変形例は、各コイル電極３１１、３１６の対向する
面に複数の可動主電極３５４が設けられており、それら
の間は溝３９０により実質的に分割されている。図３８
に示すように、可動コイル電極３１６の対向する面の外
周部の曲率半径ｃ₂は、可動主電極３５４の外周部の曲
率半径ｃ₁より同等又はそれ以上に大きく形成されてい
る。上記のように構成された真空バルブにおいて、各電
極部の対向面における電界は緩和されており、かつ電極
間には高効率で軸方向磁界が発生する。

【００８７】先行技術１５ 従来の真空バルブにおいて、コイル部により印加される
磁界は主電極全面において均一ではなく、コイル部の半
径方向において強さの異なる軸方向磁界分布を持ってお
り、中心部で強く、周辺部では弱くなっている。特に、
周辺部においてはアーク拡散に必要な適正磁界強度に達
していない場合があり、アークの局部的集中が生じるお
それがあった。

【００８８】図３９にアークが主電極の全面で均一にな
るように構成し、アークの集中を防ぎ、遮断性能を向上
させるものの詳細を説明する。まず、図３９の（ａ）に
真空バルブの可動電極部の電極構造の分解斜視図を示
す。なお、可動電極部と固定電極部は同一構造を有して
いる。図３９の（ａ）において、電極棒８の先端部８ａ
にはアーム型接続片４１０が取り付けられており、この
アーム型接続片４１０は中心部に上記先端部８ａに嵌合
されるリング部４１０ｃを有し、このリング部４１０ｃ
の外周部には２本の半径方向外方に伸びるアーム部４１
０ａ、４１０ｂが形成されている。そして、このアーム
型接続片４１０には２個の円弧状導体４２０ａ、４２０
ｂから構成されたコイル電極４２０が固着されており、
一方の円弧状導体４２０ａの一端に一方の上記アーム部
４１０ａが、他方の円弧状導体４２０ｂの一端に他方の
上記アーム部４１０ｂが接合されて、同一円周方向にコ
イル電流が流れるよう構成されている。コイル電極４２
０の上面（固定電極部に対向する面）には主電極４３０
が接合されており、コイル電極４２０の一方の円弧状導
体４２０ａの上面が主電極４３０の一方の円弧状コイル
部４３０ａの背面に当設され、他方の円弧状導体４２０
ｂの上面が他方の円弧状コイル部４３０ｂの背面に当設
されるよう構成されている。そして、この主電極４３０
の円弧状コイル部４３０ａ、４３０ｂは、基端部４３０
ｃを介して主電極の中央部４３０ｄに連なっている。ま
た、４０８は支持部材であり、その軸方向に突出した棒
状部４０８ａは電極棒８の支持穴８ｂに挿入固着され
る。この支持部材４０８における円板状の支持部４０８
ｂは主電極４３０の中央部４３０ｄを背面より支持して
いる。

【００８９】上記電極部が相対向する真空バルブにおい
て、図３９の（ｂ）の可動電極部の平面図に示すよう
に、電流遮断時に主電極表面の点Ｐでアークが発生した
場合、電流は電流経路Ｔに沿って点Ｐから中央部４３０
ｄを半径方向外方に進み、基端部４３０ｃを介してコイ
ル部４３０ａ、４３０ｂに流れる。その後、電流の大部
分は主電極材料より低抵抗材で構成されたコイル電極４
２０の円弧状導体４２０ａ、４２０ｂに流れ込み、アー
ム部４１０ａ、４１０ｂを介して電極棒８に流れる。そ
して、上記コイル電極４２０の円弧状導体４２０ａ、４
２０ｂを流れる電流により、電極間には軸方向磁界が発
生し、主電極間のアーク電圧を低減すると共に、アーク
の集中は防止される。

【００９０】（適正磁界の範囲） 図４０の（ａ）は上記図３９の（ａ）の電極部を使用し
た真空バルブの側面断面図を示し、図４０の（ｂ）はそ
の軸方向磁界の半径方向分布図を示す。図４０の（ｂ）
に示すように、コイル電極４２０あるいは主電極４３０
のコイル部４３０ａ、４３０ｂに流れる電流により発生
した軸方向磁界は、半径方向中央部で強く周辺部で弱い
分布（図４０の（ｂ）の実線）になり、アークの拡散を
維持するのに必要な軸方向磁界強度（以下、適正磁界と
呼ぶ）以上の磁界が発生する範囲は、図４０の（ｂ）の
Ｒで示す範囲となる。図４０のものは上記適正磁界強度
より強い磁界の発生している範囲（Ｒ範囲内）に、アー
ク拡散部分となる主電極を配置したものである。ここで
適正磁界の発生する範囲についてより具体的に説明する
と、軸方向磁界は主として電極部の外径、コイル電極形
状、コイル巻数、電極間距離によって異なるが、例えば
電極部外径８０ｍｍ、電極間距離５ｍｍで図４１に示す
ような電極部４４０の場合、図４１中のＤ領域（斜線
部）では電流１ｋＡ当たり５４ガウス以上の軸方向磁界
が発生する（実測値）。即ち、適正磁界は主電極（接
点）材料によって異なるが、５４ガウス以上が最適磁界
であるような接点材料に対しては図４１に示す電極部４
４０のＤ領域が適正磁界内領域となる。

【００９１】図４２の（ａ）と（ｂ）は真空バルブにお
ける可動電極部の電極構造の分解斜視図をその平面図で
ある。図４２において、４５０はアーク拡散部となる中
央部４５０ｃとそこから半径外方に伸びる腕部４５０
ａ、４５０ｂを有する主電極であり、コイル電極４２０
の円弧状導体４２０ａ、４２０ｂの上面の一端に上記腕
部４５０ａ、４５０ｂの背面が接合される。そして、主
電極４５０の中央部４５０ｃの半径Ｒ１は、上述した適
正磁界強度の範囲内（図４０の（ｂ）における０≦Ｒ１
≦Ｒの範囲内）に設定し、具体的には、図４１に示した
場合では０≦Ｒ１≦２５ｍｍに設定すれば良い。即ちア
ーク拡散部である主電極４５０の中央部４５０ｃは、そ
の全面においてアーク拡散を維持するに充分な軸方向の
磁界強度を有するため、アークの局部的集中を防止で
き、遮断性能がさらに向上する。

【００９２】上記において示した電極構造はその一例で
あり、軸方向磁界を発生させる一般的な電極構造を有す
る真空バルブ、例えば特公昭５８ー２６１３２号及び実
公昭６２ー４５４０１号公報等の真空バルブに適用でき
る。

【００９３】実施例３ 本発明は、主電極裏面側に配置された良導電体に流れる
電流を制御し、コイル電極により発生する軸方向磁界を
有効に利用するものであり、以下にその詳細を説明す
る。まず、図４３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に本発明に
係る実施例の前提となる真空バルブの電極構造の分解斜
視図、平面図及び側面断面図を示す。図４３において、
電極棒８の先端８ａには、中心のリング部５１０ｃ及び
半径方向外方に延びるアーム部５１０ａ、５１０ｂから
構成される導電型のアーム型接続片５１０が取り付けら
れ、このアーム型接続片５１０には２個の円弧状導体５
２０ａ、５２０ｂから構成されるコイル電極５２０が固
着されている。そして、一方の円弧状導体５２０ａの一
端には一方のアーム部５１０ａが、他方の円弧状導体５
２０ｂの一端には他方のアーム部５１０ｂが接合され、
円弧状導体５１０ａ、５１０ｂ中を同一円周方向に向か
ってコイル電流が流れるように構成されている。コイル
電極５２０の上面には主電極５３０が接合されており、
コイル電極５２０一方の円弧状導体５２０ａの上面が円
弧状コイル部５３０ａの背面に当設され、他方の円弧状
導体５２０ｂの上面が円弧状コイル部５３０ｂの背面に
当設されるように配置され、この主電極５３０の円弧状
コイル部５３０ａ、５３０ｂは、基端部５３０ｃを介し
て主電極５３０の中央部５３０ｄに連なっている。そし
て、この主電極５３０は、耐アーク、耐電圧性能に優れ
た材料から構成している。また、５０８はその基部が高
抵抗材料より成る支持部材であり、図４３の（ｃ）に示
すように棒状部５０８ａが電極棒８の支持穴８ｂに挿入
固着され、棒状部５０８ａに連なる円板状の支持部５０
８ｂの上面には、主電極５３０の接触抵抗の低減及びコ
イル電極５２０に流れる電流の割合を高めるために、例
えばＣｕ等からなる良導電体５８０が形成されている。

【００９４】次に、上記装置の動作について説明する。
図４３の（ｂ）と（ｃ）に示すように、主電極開離時に
主電極表面のＰ点でアークが発生した場合、電流は電流
経路Ｒに沿ってＰ点から主に主電極裏面に設けた良導電
体５８０を通って半径方向外方に進み、主電極基端部５
３０ｃを介してコイル部５３０ａ、５３０ｂに流れる。
その後、コイル電極５３０の円弧状導体５２０ａ、５２
０ｂに流れ込み、アーム部５１０ａ、５１０ｂを介して
電極棒８に流れる。そして、上記コイル電極５２０の円
弧状導体５２０ａ、５２０ｂを流れる円周方向電流によ
り、軸方向の磁界が発生し、主電極間のアーク電圧を低
減すると共に、アークの集中を防ぐ。

【００９５】しかしながら前述したように、上記電極構
成だと図４３の（ｂ）の点線矢印Ｔに示すように、良導
電体５８０内にうず電流が発生し、このうず電流がコイ
ル電極５２０により発生する軸方向磁界を弱める働きを
する。そこで、本実施例では図４４の（ａ）の電極部の
平面図に示すように、良導電体５８０にその端部が良導
電体５８０の外周端部まで達しないようなクロス状のス
リット５８１を設ける。このクロス状のスリット５８１
を設けることにより、実線矢印Ｕのようにうず電流の流
れが妨げられ、コイル電極５２０ａ、５２０ｂにより発
生する軸方向磁界を弱めることなく、アークの拡散を促
進する。更に、図４４の（ａ）に示すように、主電極開
離時にアークがＱ２点で発生した場合、電流は経路Ｒに
沿ってＱ２点から半径方向外方に進み、良導電体５８０
のスリット５８１の外側を通ってコイル部５３０ａ、５
３０ｂ及びコイル電極５２０ａ、５２０ｂに流れる。図
４４の（ｂ）の電極部の側面断面図に示すように、電流
が図において上の主電極５３０から点Ｑ１→点Ｑ２→下
の主電極４３０を経て矢印で示すように流れる。その結
果、右ねじの法則により図の紙面に垂直で手前に向う方
向の磁場が発生し、点Ｑ１とＱ２間に発生したアークは
フレミング左手の法則により図の左方向への磁気駆動力
Ｆを受ける。このように、Ｑ２点で発弧したアークは磁
気駆動力Ｆにより速やかに中心部に向かって駆動され
る。

【００９６】実施例４ 本発明に係る真空バルブは、図４５の電極部の平面図に
示すように、実施例１８で示した良導電体５８０に、電
流を所定の径路を通って流すための円周部から半径方向
に延びる半径方向スリット５８２と、そのスリット５８
２の端部より円周方向に円弧状に延びる円周方向スリッ
ト５８３を形成している。このために良導電体５８０を
流れる電流が、コイル部５３０ａ、５３０ｂの背面に当
設されているコイル電極５２０ａ、５２０ｂに流れる円
周方向電流と同方向になるように構成されており、良導
電体５８０を流れる電流により発生する磁界が、コイル
電極５２０ａ、５２０ｂに接触したコイル部５３０ａ、
５３０ｂと共に軸方向磁界を強めることができる。

【００９７】実施例５ 本発明に係る真空バルブは、図４６の電極部の平面図に
示すように良導電体５８０に、中心からその円周部にま
で達するスリット５８４を設けて良導電体５８０を分割
することにより、うず電流が分断され、うず電流による
悪影響が大幅に低減されている。また、図４７の電極部
の平面図に示すように、本発明に係る真空バルブによれ
ば、一端が円周端部に達しないスリット５８５を複数本
（櫛形スリット）設けることにより、うず電流の低減を
図ることもできる。

【００９８】実施例６ 本発明に係る真空バルブは、図４８の電極部の平面図に
示すように、良導電体５８０にその円周部から中心部に
まで達しないスリット５８６を設けることにより、うず
電流の低減を図るとともに、図のＱ点でアークが発弧し
た場合、前述の実施例１８とは逆に、相対向する上下一
対の電極間において、例えば上側の電極では半径方向外
向きに、下側の電極では半径方向内向きに、全体として
アークを介してコの字状の電流が流れるために、アーク
に直交する磁界が発生する。その結果、発弧したアーク
に図４８の矢印Ｆの方向の磁気駆動力が働き、アークは
速やかに外方向に向かって駆動される。

【００９９】本発明におけるその他の実施例 上記実施例では、良導電体５８０を支持部材５０８の上
面に形成した例について説明したが、本発明に係る真空
バルブでは、主電極５３０の裏面に単独で接合する構成
や、一体に形成して構成したものもある。また上記実施
例では、良導電体にスリットを形成したが、ステンレス
等の高抵抗体を設けても良い。また、軸方向磁界を発生
させるコイル部も２個のものに限らず、１、３、４その
他複数個でも良く、電極構造も軸方向磁界を発生させる
一般的な電極構造を有する真空バルブ、例えば特公昭５
８ー２６１３２号及び実公昭６２ー４５４０１号公報等
の真空バルブに適用可能である。

【０１００】実施例７ 本発明は、電極部の電界を緩和し、再発弧又は再点弧を
防ぎ、耐電圧性能を向上させるものであり、以下にその
詳細を説明する。まず、図４９に本発明に係る実施例の
前提となる真空バルブの電極構造の分解斜視図を示す。
図４９において、電極棒８の先端部８ａにはアーム型接
続片６１０が取り付けられており、このアーム型接続片
６１０は中心部に上記先端部８ａに嵌合されるリング部
６１０ｃを有し、このリング部６１０ｃの外周部には２
本の半径方向外方に伸びるアーム部６１０ａ、６１０ｂ
が形成されている。そして、このアーム型接続片６１０
には２個の円弧状導体６２０ａ、６２０ｂから構成され
るコイル電極６２０が固着されており、一方の円弧状導
体６２０ａの一端に一方のアーム部６１０ａが、他方の
円弧状導体６２０ｂの一端に他方のアーム部６１０ｂが
接合されて、同一円周方向にコイル電流が流れるよう構
成されている。また、コイル電極６２０の円弧状導体６
２０ａ、６２０ｂには、上記アーム部６１０ａ、６１０
ｂが接合する端部と反対側の端部に、突起状の接合部６
２０ｃ、６２０ｄが内径向きに設置されている。そして
この接合部６２０ｃ、６２０ｄを介して円板状の主電極
６３０がコイル電極６２０に接合されている。なお、６
０８は支持部材であり、その棒状部６０８ａは電極棒８
の支持穴８ｂに挿入固着され、円板状の支持部６０８ｂ
は主電極６３０の中央部６３０ｄを背面より支持してい
る。

【０１０１】そして、図５０の（ａ）と（ｂ）の平面図
と側面断面図に示すように、主電極開離時に主電極表面
のＰ点でアークが発生した場合、電流は電流経路Ｒに沿
って主電極のＰ点から半径方向外方に進み、コイル電極
６２０の接合部６２０ｃ、６２０ｄを介して円弧状導体
６２０ａ、６２０ｂに流れる。その後、円弧状導体６２
０ａ、６２０ｂの他端に接合されているアーム部６１０
ａ、６１０ｂを介して電極棒８に流れる。そして、上記
のようなコイル電極６２０の円弧状導体６２０ａ、６２
０ｂを流れる円周方向電流により、相対向する主電極間
に軸方向磁界が発生し、アーク電圧を低減すると共に、
アークの拡散を促進する。

【０１０２】（耐電性の低下） しかしながら前述したように、コイル電極６２０の円弧
部（図４９の円弧状導体６２０ａ、６２０ｂ）、あるい
は主電極外縁と円弧状導体内内縁間スリット部は、遮断
後に高電界領域となり、アークの再発弧又は再点弧を招
き、耐電圧特性を低下させる要因となっている。そこで
本発明は、上記のようなコイル電極の円弧部や主電極部
に形成されたスリット部を電極間に露出させず、あるい
は上記高電界領域にアークを発生させなくするものであ
る。

【０１０３】（構成） 図５１及び図５２の（ａ）と（ｂ）は実施例２２に係る
真空バルブの電極構造を示す分解斜視図、平面図及び側
面断面図を示し、図４９及び図５０と同一符号は同様の
構成部品を表わしている。６４０はコイル電極６２０の
円弧状導体６２０ａ、６２０ｂを主電極の対向面側に露
出させないように被覆する円筒状のコイルカバーであ
り、主電極６３０の構成材料に比べて耐電圧特性の良い
金属材料で構成する。即ち、主電極６３０は無酸素銅等
により構成されているので、コイルカバー６４０の材料
としてはＳＵＳ、アルミ合金、銅合金等を使用すると良
い。本実施例２２によれば、コイル電極６２０の円弧状
導体６２０ａ、６２０ｂを主電極材料より耐電圧特性の
良いコイルカバー６４０により被覆することにより、コ
イル電極６２０の円弧状導体部分を保護し、電極全体と
しての耐電圧特性の向上を図ることができる。

【０１０４】また図５３の（ａ）と（ｂ）の電極部の平
面部（コイルカバー６４１を斜線にて示す。）と側面断
面図に示すように、コイル電極６２０の円弧状導体６２
０ａ、６２０ｂと主電極６３０の間のスリット部も被覆
するようなコイルカバー６４１を設ければ、コイルの円
弧状導体部分及びスリット部分の耐電圧特性を向上する
ことができる。

【０１０５】更に、主電極構造に合せた形状のコイルカ
バーを取り付けても良い。即ち、図５４の（ａ）、
（ｂ）、（ｃ）の斜視図、平面図、側面図に示すよう
に、主電極６３０に腕部６３０ａ、６３０ｂを設けた場
合、主電極６３０の腕部６３０ａ、６３０ｂよりその中
央部を高くし、コイルカバー６４２の裏面に溝６４２ａ
を設けて、コイル電極６２０の円弧部あるいは電極部の
対向面に表われるスリット部を被覆しても前述の実施例
２２と同様の効果がある。

【０１０６】実施例８ 上記実施例ではコイルカバー６４０、６４１、６４２と
して、アーク拡散電極である主電極６３０よりも耐電圧
特性の良い材料で構成したものを使用したが、この実施
例２３ではコイルカバーの材料として主電極の材料より
アーク電圧の高い材料を使用する。即ち、このアーク電
圧の高いコイルカバーにより、実施例の図（図５１〜図
５４）と同じようにコイル電極の円弧部あるいはスリッ
ト部を被覆することによって、主電極から拡散したアー
クがコイルカバーで発生するのを妨げ、その結果として
電極の耐電圧特性を向上させる。主電極（アーク拡散電
極）６３０よりアーク電圧が高いコイルカバーの組み合
わせとしては、主電極材料がＡｇＷＣ系合金の場合はコ
イルカバー材料としてＣｕ合金が、主電極材料としてＣ
ｕＣｒ系合金の場合はコイルカバー材料としてＭｏ等が
使用される。上記実施例では主電極６３０がコイル電極
６２０よりもその直径において小さい場合について説明
したが、主電極の背部にほぼ同一径のコイル電極を有す
る真空バルブ、例えば特公昭５８ー２６１３２号及び実
公昭６２ー４５４０１号公報等の真空バルブであっても
同様の効果を有する。

【０１０７】実施例９ 本発明に係る真空バルブの実施例では、図５５に示すよ
うに、主電極６５０を２段の円板状構成とし、下部の円
板に、コイル電極６２０の円弧状導体６２０ａ、６２０
ｂと合致する円弧状のコイル部６５０ａ、６５０ｂを設
けるために半径方向スリット６６０及び円周方向スリッ
ト６６１を形成する。そして、２段の円板を首部６５０
ｄ（中央部）で連結し、上部の円板部６５０ｅをアーク
拡散電極とする。実施例によれば、半径方向スリット６
６０、円周方向スリット６６１、及びコイル電極６２０
の円弧部６２０ａ、６２０ｂが、アーク拡散電極である
円板部６５０ｅにより覆われて表面に露出していないた
め、この領域が高電界とならず、耐電圧特性を向上させ
ることができる。

【０１０８】実施例１０ 本発明に係る真空バルブの実施例では、図５６の
（ａ）、（ｂ）の側面図と平面図および図５７の分解斜
視図に示すように、主電極６８０の背面（対向面を表面
とする。）に円周方向溝（高抵抗体を埋め込んでも良
い）６８１及び半径方向溝６８２を設ける。図５７の分
解斜視図において主電極６８０のみ背面側を示してい
る。主電極６８０の背面に当設すると共に円周方向溝６
８１の外径より小さな導体板６９０が設けられている。
この導体板６９０の表面には軸方向磁界を補償するため
の半径方向高抵抗体６９１（スリット等）が形成されて
いる。主電極６８０の円周方向溝６８１及び半径方向溝
６８２がアーク拡散電極面に露出していないために、電
極の耐電圧特性を向上することができる。主電極６８０
の中心部からコイル電極６２０へ流れる電流のほとんど
が、スリット６８１、６８２の間である腕部６８３を流
れて、コイル電極６２０の円周方向電流となり軸方向磁
界を強める働きをする。

【０１０９】

【発明の効果】図１２の実施例に示した真空バルブの電
極によれば、前記主電極背面と前記コイル部の主電極側
の全面が接触する構成、及び、主電極棒に固定され、主
電極背面の中央部分に当接して主電極を支持する高抵抗
材からなる支持部材を有し、前記支持部材と前記主電極
背面との接触面に主電極中心部からコイル部先端方向に
伸びる良導電帯を挿入した構成により、主電極がコイル
部全面で機械的に保持されるので強度が向上し、しかも
全面で接触しているにもかかわらず、アーク発生点から
の電流の大部分が良導電帯の凸部に案内されてコイル部
の先端に流れ込み、もってコイルの円周部分の長い距離
を流れる電流が増え、磁界強度を高め得るという効果が
得られる。

【０１１０】図１０−１５の実施例に示した真空バルブ
によればコイル電極のうち外周部を囲むコイル部を、主
電極背部へ突出させ主電極に当設したので、コイル電極
の軸方向磁界強度を高めることができ、磁束漏れを少な
くし磁界分布を良好にすることができる。その結果、遮
断時のアークを拡散することができ、遮断性能に優れた
真空バルブを提供できる。また、コイル電極自身の機械
的強度が高い真空バルブを提供できる。

【０１１１】図１６−２２の実施例に示した真空バルブ
の電極によれば、コイル電極の腕部の実質的な導出方向
を主電極に流れるアーク発生時の半径方向の電流の向き
と実質的に一致させることにより、主電極からコイルの
ほうへに流れる半径方向の電流により発生する磁界は、
コイル電極の腕部に流れる電流による磁界と互いに打 ち
消し合い、もって遮断時の電極間に均一な軸方向磁界を
発生し、プラズマアークを有効に拡散できると言う効果
が得られる。

【０１１２】図２３−２９の実施例に示した真空バルブ
によれば、対向して配置された固定主電極と可動主電極
において、半径方向に流れる電流を各電極の対向する位
置に流し、かつその流れの方向を実質的に逆方向となる
よう構成することにより、遮断時のプラズマアークを有
効に拡散することができる遮断性能の優れた真空バルブ
を提供できる。

【０１１３】図３０−３８の実施例に示した真空バルブ
によれば対向して配設された電極部の対向面における外
周部が曲面により構成されており、電極部における主電
極の直径をコイル電極の直径より小さく構成することに
より、両電極部の対向面における電界の集中は緩和さ
れ、耐電圧性能及び遮断性能の優れた真空バルブを得る
ことができる。

【０１１４】図４２の実施例に示した真空バルブによれ
ば、アークが発生する主電極の全面においてアーク拡散
を維持するに充分な軸方向磁界強度を有するため、アー
クの局部的集中を防ぎ、アークを全面に均一に拡散させ
て遮断性能を向上させる効果がある。

【０１１５】図４４−４８の実施例に示した真空バルブ
によれば主電極の裏側に設置した良導電体に高抵抗帯を
設けたので、良導電体に流れるうず電流の低減が図れ、
コイル部により発生する軸方向磁界の強度及び分布が良
好になる効果がある。

【０１１６】図５１−５７の実施例に示した真空バルブ
によればコイル電極の円弧部やスリット部のような耐電
圧性能を低下させる電界の高い領域をコイルカバー等に
より被覆して、主電極間に露出しないように構成したの
で、電極全体としての耐電圧特性を高めることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示す
斜視図。

【図２】 図１の電極部の分解斜視図。

【図３】 図１の真空バルブにおける電極部の変形例を
示す斜視図。

【図４】 図１の真空バルブにおける電極部の変形例を
示す斜視図。

【図５】 図１の電極部における主電極の変形例を示す
平面図。

【図６】 図１の電極部における主電極の変形例を示す
平面図。

【図７】 図１の電極部における主電極の変形例を示す
平面図。

【図８】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示す
斜視図。

【図９】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示す
斜視図。

【図１０】 先行技術の真空バルブの電極構造を示す分
解斜視図である。

【図１１】 図１０の電極構造の斜視図及び部分断面図
である。

【図１２】 本発明の実施例１の電極構造を示す斜視図
及び部分断面図である。

【図１３】 先行技術の電極構造を示す斜視図及び部分
断面図である。

【図１４】 本発明のその他の実施例に係る電極構造を
示す斜視図及び部分断面図である。

【図１５】 本発明のその他の実施例に係る電極構造を
示す斜視図である。

【図１６】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図である。

【図１７】 図１６の可動側電極部の分解斜視図であ
る。

【図１８】 図１７の可動側電極部の要部の断面図であ
る。

【図１９】 図１７の可動電極部の平面図である。

【図２０】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図である。

【図２１】 図２０の可動側電極部の分解斜視図であ
る。

【図２２】 先行技術の真空バルブにおけるコイル電極
の平面図である。

【図２３】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図２４】 図２３の電極部の分解斜視図。

【図２５】 図２４の電極部を流れる電流の方向を示す
平面図。

【図２６】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図２７】 図２６の電極部を流れる電流の方向を示す
平面図。

【図２８】 図２６の電極部の変形例を示す平面図。

【図２９】 本発明の実施例２の真空バルブにおける電
極部に示す斜視図。

【図３０】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図３１】 図３０の電極部の分解斜視図。

【図３２】 図３０の可動側電極部の断面図。

【図３３】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図３４】 図３３の可動側電極部の断面図。

【図３５】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図３６】 図３５の可動電極部の断面図。

【図３７】 先行技術の真空バルブにおける電極部を示
す斜視図。

【図３８】 先行技術の変形例を示す電極部の斜視図。

【図３９】 本発明の前提技術に係る真空バルブの電極
構造を示す分解斜視図及び平面図である。

【図４０】 図３９の電極構造の側面断面図及び縦方向
磁界強度分布図である。

【図４１】 適正磁界強度領域を表わす電極構造の平面
図である。

【図４２】 先行技術の真空バルブの電極構造を示す分
解斜視図及び平面図である。

【図４３】 本発明の前提技術に係る真空バルブの電極
構造を示す分解斜視図、平面図及び側面断面図である。

【図４４】 本発明の実施例３に係る真空バルブの電極
構造を示す平面図及び側面断面図である。

【図４５】 本発明の実施例４の真空バルブの電極部を
示す平面図である。

【図４６】 本発明の実施例５の真空バルブの電極構造
を示す平面図である。

【図４７】 本発明の実施例５に係る真空バルブの電極
構造の変形例を示す平面図である。

【図４８】 本発明の実施例６の真空バルブの電極構造
を示す平面図である。

【図４９】 本発明の前提技術に係る真空バルブの電極
構造を示す分解斜視図である。

【図５０】 図４９の電極構造の動作を説明するための
平面図及び側面断面図である。

【図５１】 実施例７と８に係る真空バルブの電極構造
を示す分解斜視図である。

【図５２】 実施例７と８の電極構造を示す平面図及び
側面断面図である。

【図５３】 実施例７と８の他の電極構造を示す平面図
及び側面断面図である。

【図５４】 実施例７と８の他の電極構造を示す分解斜
視図である。

【図５５】 実施例９の電極構造を示す分解斜視図であ
る。

【図５６】 実施例１０の電極構造を示す側面断面図と
平面図である。

【図５７】 実施例１０の電極構造を示す分解斜視図。

【図５８】 従来の真空バルブの概略構造を示す側面断
面図である。

【図５９】 従来の真空しや断器の可動側電極部の分解
斜視図である。

【図６０】 図５８の可動側電極部の平面図である。

【符号の説明】

５ 固定電極棒 ８ 可動電極棒 １１ 固定接続導体 １１ａ 保持部 １１ｂ 腕部 １３ 固定コイル電極 １３ａ コイル部 １４ 固定主電極 １５ 可動接続導体 １７ 可動コイル電極 １８ 可動主電極 ６０ 溝 ６１ 切欠部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平4−335147 (32)優先日 平４(1992)11月19日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平5−165429 (32)優先日 平５(1993)７月５日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平5−181300 (32)優先日 平５(1993)７月22日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平5−181301 (32)優先日 平５(1993)７月22日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平5−165430 (32)優先日 平５(1993)７月５日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） 前置審査 (72)発明者 小山 健一 尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三菱電 機株式会社 中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−195528（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−312122（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−272530（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01H 33/66

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に電極棒を介して接離可能に
   設けられ、電路の開閉を行う一対の電極部を有する真空
   バルブの電極装置であって、 前記電極部の少なくとも一方が主電極とコイル電極を有
   し、前記コイル電極は主電極背部に配置されると共に、
   前記コイル電極は前記電極棒から伸びる腕部と、この腕
   部から前記主電極の外周に沿って突出したコイル部から
   構成され、前記腕部が前記主電極背面に対して所定空間
   を有して配置され、かつ前記主電極背面と前記コイル部
   の主電極側の全面が接触し、主電極及びコイル電極に流
   れる電流により電極間に垂直な軸方向磁界を発生させる
   よう構成されるとともに、 前記電極棒に固定され、前記主電極背面の中央部分に当
   接して前記主電極を支持する高抵抗材からなる支持部材
   を有し、前記支持部材と前記主電極背面との接触面に主
   電極中心部から前記コイル部先端方向に伸びる凸部と前
   記コイルの中間方向に向いた凹部を有する良導電体を挿
   入したことを特徴とする真空バルブの電極装置。
2. 【請求項２】 真空容器内に対向して互に接離可能に配
   設され実質的な同一構造を有する一対の電極部のそれぞ
   れが、 実質的な同一円上に形成された円弧状の複数のコイル部
   と、このコイル部に接続される腕部と、前記コイル部の
   端部において対向する他の電極部の方へ突出した接触部
   とを有するコイル電極と、 前記コイル電極の前記接触部と円周部近傍で電気的に接
   触した円板状の主電極とを具備しており、 一方の電極部の複数の前記接触部の位置が他方の電極部
   の複数の接触部の位置に対して対向するように配設さ
   れ、かつ、１つの前記円弧状のコイル部に接続される前
   記腕部の案内部（１３１ｂ）は隣接する隣位置の前記円
   弧状のコイル部の前記接触部近傍を経由して配置されて
   いることを特徴とする真空バルブの電極装置。
3. 【請求項３】 良導電体は、この良導電体にうず電流の
   流れが生じるのを規制する高抵抗帯を設けたものである
   ことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブの電極装
   置。
4. 【請求項４】 前記良導電体に形成された高抵抗帯が２
   本のスリットを交差させて構成され、当該スリットの交
   差点の位置が前記良導電体の中心点の位置に対応してい
   る請求項３記載の真空バルブの電極装置。
5. 【請求項５】 前記良導電体に形成された高抵抗帯が円
   板状の前記良導電体の円周部から半径方向に延びる少な
   くとも２つの半径方向スリットと、前記半径方向スリッ
   トの中心側端部から前記円周部に沿って同一方向に円弧
   状に延びる少なくとも２つの円周方向スリットとにより
   構成された請求項３記載の真空バルブの電極装置。
6. 【請求項６】 前記良導電体に形成された高抵抗帯が円
   板状の前記良導電体の中心部を通り、対向する円周部ま
   で到るスリットにより構成された請求項３記載の真空バ
   ルブの電極装置。
7. 【請求項７】 前記良導電体に形成された高抵抗帯が円
   板状の前記良導電体の円周部から中心を通って延びる直
   線状の中心スリットと、前記中心スリットと平行で前記
   円周部から前記中心スリットと逆方向に延びる複数のス
   リットにより構成された請求項３記載の真空バルブの電
   極装置。
8. 【請求項８】 前記良導電体に形成された高抵抗帯が円
   板状の前記良導電体の円周部から中心に向かう複数のス
   リットにより構成され、前記良導電体の中心部において
   各スリットの端部が所定間隔を有して対向して形成され
   た請求項３記載の真空バルブの電極装置。
9. 【請求項９】 前記良導電体に形成された高抵抗体が高
   抵抗材料により構成された請求項３記載の真空バルブの
   電極装置。
10. 【請求項１０】 前記高抵抗帯を構成する高抵抗材料が
    ステンレス鋼である請求項９記載の真空バルブの電極装
    置。