JP3812711B2

JP3812711B2 - 真空バルブ

Info

Publication number: JP3812711B2
Application number: JP2000162587A
Authority: JP
Inventors: 俊則木村; 健一小山; 博美古賀; 敦澤田
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1999-06-04
Filing date: 2000-05-31
Publication date: 2006-08-23
Anticipated expiration: 2020-05-31
Also published as: JP2001052576A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空バルブに関し、特に、その風車形電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１２は、内部を高真空状態にした真空容器中に一対の接点を気密に封入した真空バルブの全体構成を示す図である。絶縁筒２１の両端に端板２２ａ、２２ｂを取り付けて、内部を高真空状態にした真空容器２３が構成されており、真空容器２３内には、一方の端板２２ａを貫通した固定電極棒２４ａの先端に固着された固定側の電極１ａと、他方の端板２２ｂを貫通した可動電極棒２４ｂの先端に固着された可動側の電極１ｂとが対向配置されている。
【０００３】
可動電極棒２４ｂと端板２２ｂとの間にはベローズ２５が設けられている。ベローズ２５は、可動電極棒２４ｂに接続された操作器（図示せず）を駆動して、可動電極棒２４ｂを軸方向に移動させる。そして、この可動電極棒２４ｂの移動により、固定側の電極１ａと可動側の電極１ｂとが電気的に接離する。電極１ａ、１ｂ間に点弧されたアークから拡散する金属蒸気が真空容器２３の内壁に付着することを防止するために、シールド２６がシールド支え２７により絶縁筒２１の内壁に装着されている。
【０００４】
このような真空バルブにおける電極１ａ、１ｂは同形状であって、何れも電極自身に溝を設けた風車形をなしている。この溝の形成により電極内の電流経路を制限して、ほぼ円周方向に往復ループ状の電路を構成し、それによって生じる磁界によりアークを駆動して電極の円周上を移動させることにより、アークの停滞を防止して、電極の局部溶解を避け、遮断性能の向上を図っている。また、アークの発生瞬時より強力に磁気駆動するために、アークの走行面と接触面とを一致させる構造が知られている。
【０００５】
図１３，図１４は、例えば特開平４−３６８７３４号公報に開示された従来の真空バルブの風車形電極の構造図であり、図１３（ａ），図１４（ａ）はその平面図、図１３（ｂ）、図１４（ｂ）はその側面図である。
【０００６】
図中、電極棒２４（固定電極棒２４ａまたは可動電極棒２４ｂ）には、風車形電極１（固定側の電極１ａまたは可動側の電極１ｂ）が取付けられている。風車形電極１は、補助電極３１とリング状電極３２とから一体的に構成されている。補助電極３１は、電極棒２４の端部に取付けられた中心部３３と、この中心部３３に風車状または略卍状に延設されて中心部３３から外周部に向かって指向する円弧状をなした複数の腕３４と、この複数の腕３４の先端に夫々配設された接合部３５とから構成される。リング状電極３２は環状に構成され、その幅が補助電極３１の腕３４の幅と略等しくなっており、リング状電極３２は複数の接合部３５に接合されている。
【０００７】
このような構成において、両風車形電極１（固定側の電極１ａ及び可動側の電極１ｂ）が開極すると、リング状電極３２の対向電極との接触面でアークが発生する。補助電極３１とリング状電極３２との接合部３５、例えば、図１４（ａ）、（ｂ）のＡ点で、アークが発生した場合、補助電極３１の腕３４に流れる電流Ｉ1 の経路によりリング状電極３２の周方向に磁気駆動力Ｆが生じ、アークがリング状電極３２の外周を運動して回転する。
【０００８】
また、接合部３５でない位置、例えば図１４（ａ）、（ｂ）のＥ点で、アークが発生した場合にも、補助電極３１の腕３４からリング状電極３２に流れ込む電流Ｉ2 によってリング状電極３２の周方向に磁気駆動力が生じる。よって、アークはリング状電極３２上を回転運動する。
【０００９】
以上のように、従来の両風車形電極１では、アークはリング状電極３２で発生し、アークの発生直後からアークが磁気駆動される。この結果、アークが発生してから磁気駆動するまでの停滞により生じる両風車形電極１の局部的な温度上昇が防止され、遮断性能の向上を図れる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述したような従来の真空バルブの風車形電極１では、隣合う接合部３５、３５の間、例えば図１５のＥ1 点で、アークが発生した場合、腕３４ａを経由してアークに流れ込む電流Ｉ2 の他に、腕３４ｂを経由する電流Ｉ3 が流れる。この電流Ｉ3 はアークの回転を妨げる方向の力Ｆ3 を生じるため、アークが発生してから磁気駆動するまでの時間が短くならず、遮断性能は向上しないという問題がある。
【００１１】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、固定側の電極と可動側の電極との接触面のどこでアークが発生した場合にも、アークの発生直後から強力にアークを磁気駆動でき、遮断性能を向上することができる真空バルブを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
第１発明に係る真空バルブは、真空容器内に接離可能に配置されている一対の風車形電極を備え、前記風車形電極には中心部から周縁部にわたって渦巻き状の複数の溝が形成されており、前記風車形電極は、その中心部に位置して、前記溝によって分画されている複数の風車部と、その周縁部に位置して、前記溝によって分割されており、前記風車部より厚さが厚い複数の接触部とを有しており、前記一対の風車形電極の閉極時に互いの前記接触部同士が接触するようにしてあり、前記一対の風車形電極が開極された際に前記接触部に発生したアークに前記風車部を介して流れ込む電流によって発生する、アークに対して駆動力として作用する磁束密度のうち、一方の電極の風車部を介してアークに流れ込む電流によって発生し、アークの足部の自電極の接触面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束密度の前記接触面に平行な成分が、前記接触面のどの位置においても電流１ｋＡに対して０．０１テスラ以上となるようにしてあることを特徴とする。
【００１３】
第１発明の真空バルブの風車形電極にあっては、その中心部から周縁部にわたって渦巻き状に指向する複数の溝によって分画された複数の風車部と、その複数の溝によって分割された、風車部より厚い複数の接触部とを有し、しかも、電流遮断時にその接触部の任意の位置に発生したアークに風車部を介して流れ込む電流によって発生し、アークの足部の接点表面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束密度の接点表面に平行な成分が、電流１ｋＡあたり０．０１テスラ（１００ガウス）以上とする。よって、アークが発生してから回転を開始するまでの時間が短縮され、高い遮断能力が得られる。
【００１４】
第２発明に係る真空バルブは、第１発明において、風車形電極の外径をＤ、接触部の内径をＤi とした場合に、Ｄi ≧０．４Ｄであることを特徴とする。
【００１５】
第２発明の真空バルブの風車形電極にあっては、Ｄi ≧０．４Ｄ（Ｄ：風車形電極の外径，Ｄi ：接触部の内径）を満たしており、アークの足の部分の駆動に寄与する磁束密度を電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上とすることができる。
【００１６】
第３発明に係る真空バルブは、第１または第２発明において、風車部と接触部との厚さの差が５ｍｍ以下であることを特徴とする。
【００１７】
第３発明の真空バルブの風車形電極にあっては、接触部の風車部からの突出高さを５ｍｍ以下としており、アークの足の部分の駆動に寄与する磁束密度を電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上とすることができる。
【００１８】
第４発明に係る真空バルブは、第１〜第３発明の何れかにおいて、各風車形電極は一対の各電極棒に接合されており、該電極棒のその接合部の径をｄ、接触部の内径をＤi とした場合に、ｄ≦０．６Ｄi であることを特徴とする。
【００１９】
第４発明の真空バルブの風車形電極にあっては、ｄ≦０．６Ｄi （ｄ：電極棒の接合部の径，Ｄi ：接触部の内径）を満たしており、アークの足の部分の駆動に寄与する磁束密度を電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上とすることができる。
【００２０】
第５発明に係る真空バルブは、第１〜第４発明の何れかにおいて、Ｃｒを２０〜６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系材料にて前記風車形電極が形成されていることを特徴とする。
【００２１】
第５発明の真空バルブの風車形電極にあっては、遮断性能が高い、Ｃｒを２０〜６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系材料にて形成されており、高い遮断能力を発揮できる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて具体的に説明する。
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による真空バルブの風車形電極の構造を示す斜視図、図２は同じくその平面図、図３は図２のＡ−Ａ′線における断面図である。
【００２３】
図において、６は固定側または可動側の銅製の電極棒であり、電極棒６には固定側または可動側の風車形電極（以下単に電極という）１が固着されている。電極１は、その中央に貫通する円形の接合穴７が設けられた偏平円筒状をなしており、その接合穴７の中途まで、細く絞られた電極棒６の先端部６ａが挿入された態様で、電極１が電極棒６に固着されている。そして、外部から電極棒６を介して、真空容器（図示せず）内の電極１に電流が導かれるようになっている。
【００２４】
電極１は、Ｃｒを２０〜６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系の接点材料で形成されている。Ｃｒを２０〜６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系の接点材料は、遮断性能の点で優れており、この材料を用いることにより遮断性能の向上を図っている。
【００２５】
電極１の中心部から周縁部にわたって表面から裏面まで到る概略渦巻き形状の４本の溝２が切られている。電極１は、その周縁部に位置して、溝２にて分割された厚さが厚い４個の接触部３と、その中心部に位置して、溝２にて４個に分画された厚さが薄い風車部４とから構成されている。そして、固定側の電極棒６と可動側の電極棒６とが接近した際に、互いの接触部３、３同士が接触するようになっている。
【００２６】
電極１の裏面には、機械的強度を補うためのステンレス製の補強板５が設けられている。また、電極棒６の肩部と補強板５との間には、ステンレス製のスペーサ８が介在され、ロウ付けによって、これらの電極棒６、補強板５及びスペーサ８が一体固着されている。スペーサ８は、この電極１及び電極棒６の接合部の強度を確保するために設けられており、電流の流れをその接合部（接合穴７）の径以内に制限するために、電極棒６の材料の銅より抵抗が大きいステンレス製としている。
【００２７】
なお、このような構成において、電極１の外径をＤ、接触部３の内径をＤi 、電極１の高さをＨ、接触部３と風車部４との厚さの差（接触部３の突出高さ）をｈ、接合穴７の径をｄとする。
【００２８】
次に、動作について説明する。真空バルブの通電時には、固定側の電極１の接触部３と可動側の電極１の接触部３とが接触しており、電流遮断時には、その両電極１、１の接触部３、３は解離して、各接触部３、３上にアークが発生する。このアークは、接触部３上の任意の位置で発生し、図２では２箇所のアーク９、９′を例として示している。
【００２９】
電極棒６を流れる電流Ｉ1 は、接合穴７に固着されたその先端部６ａを介して電極１へ流れ込み、アーク９が発生している接触部３に対応した風車部４を流れて接触部３のアーク９へ流入する。この電流の流れを、図２では電流Ｉ2 として示している。この電流Ｉ2 の半径方向成分によってアーク９は半径方向への駆動力を受け、電流Ｉ2 の円周方向成分によってアーク９は円周方向への駆動力を受ける。
【００３０】
その結果、例えばアーク９はアーク９′の位置の方向に向かって移動し、一方、アーク９′は図２において時計回り方向の隣の接触部３へ移動する。よって、アークが接触部３の上で発生した直後から駆動力が働いてアークが回転を始め、その後、このような動作が連続的に行われて、アーク発生中は、接触部３の上をアークが実質的に回転運動することになる。
【００３１】
各部の寸法（具体的には、上記Ｄ、Ｄi、，Ｈ、ｈ、ｄ）を変化させた複数の電極１を作製し、それらの各電極１について、発生したアークが高速回転を始めるまでの時間ｔと電流遮断能力Ｉp とを計測すると共に、各電極１の発生磁束密度の計算を行った。磁束密度の計算は、３次元渦電流解析ソフトＥｄｄｙ−ＴＭ（株式会社フォトン）を用いて行った。なお、磁束密度は、アークに対して駆動力として作用する磁束密度のうち、一方の電極の風車部を介してアークに流れ込む電流によって発生し、アークの足部の自電極の接触面から０．５ｍｍの範囲に対して駆動力として作用する磁束密度の前記接触面に平行な成分を求めた。電極とアークの導電率を５．０×１０⁷Ω^-1ｍ^-1とした。計算の結果、磁束密度は接触面上の位置によって異なり、電極中心に最も近い位置（図２の９の位置）で一番小さく、先端部（図２の９’の位置）で最も大きいことが分かった。アークの駆動特性は高速度カメラを用いて調べた。電流Ｉ１および電流Ｉ２によってアーク９の足部に発生し、接点表面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する電流１ｋＡあたりの磁束密度Ｂとそのときの前記時間ｔとの関係を図４に示す。ここで、磁束密度は注目しているアークの足部が接する側の電極を流れる電流によって生じる値で、接触面上で磁束密度が最も小さくなる、電極中心に近い位置での値を示す。また、その磁束密度Ｂとそのときの前記電流遮断能力Ｉp との関係を図５に示す。
【００３２】
例えば平成１０年電気学会全国大会１５０１に示されているように、風車形電極において、アークは接触部で発弧後１ｍｓ以内にゆっくりと動き始め（停滞モード）、その後、速度が急速に増加し（加速モード）、さらに、金属蒸気を吹き出しながら高速で回転（高速モード）する。さらに、遮断性能は高速モードに移行するまでの時間と密接な関係があることが分かっている。図４，図５の結果から、電流１ｋＡあたりの発生磁束密度が０．０１テスラ（１００ガウス）以上のところを接触部３としアークを発生させることにより、前記時間ｔが大幅に短縮され、前記電流遮断能力Ｉp もそれに応じて増加することが判る。
【００３３】
以上のように、本発明では、接触部３にアークを発生させ、そのアークの足の部分（接点表面から０．５ｍｍの範囲）の駆動に寄与する磁束密度のうち、前記アークの足に接する側の電極からの寄与が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となるように構成されているので、アークが発生してから回転を開始するまでの時間を短縮でき、その結果、高い遮断能力を得ることができる。また、溝２を電極１の外周端部まで設けているので、従来の風車形電極のように電流が隣の接触部から流れ込んでアークの駆動力が低下することがない。
なお、アークに駆動力として作用する磁束密度は電極表面に近い方が大きく、離れるにつれ減少する。図１６は対向電極の一方を流れる電流によって電極中心に最も近い位置に生じる磁束密度の、電極表面からの垂直距離に対する依存性を示す。従って、実際に固定・可動電極を対向させたときにアークに作用する全磁束密度は、一方の電極による磁束密度より大きく、また、電極間ギャップでの磁束密度分布は、ギャップ中心で最小値をとる、下に凸の分布となる。さらに、遮断時、固定・可動電極のギャップ長は刻々と変化するので、両電極を流れる電流によってアークの足の部分に生じる磁束密度も時間的に変化する。本発明では、アークの足に接する側の電極からの寄与が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上とし、必要な磁束密度を明確化した。この結果、アークが接触面上のどこで発弧しても、発弧直後からアークを強力に駆動し、アークの停滞時間を短くする作用がある。
【００３４】
次に、このような良好な遮断能力を得るための電極１の各部の設計仕様（具体的には、上記Ｄ、Ｄi、ｈ、ｄ）について説明する。まず、Ｄi ≧０．４Ｄとする。図６は、前述した各部の寸法が異なる複数の電極１による試験結果から求められたＤi ／Ｄと電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。Ｄi ／Ｄを０．４以上、つまり、Ｄi ≧０．４Ｄとすることにより、電流遮断能力が大幅に向上していることが判る。なお、この条件を満たす場合に、アークの足の部分（接点表面から０．５ｍｍの範囲）の駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となっている。
【００３５】
また、ｈを５ｍｍ以下とする。図７は、前述した各部の寸法が異なる複数の電極１による試験結果から求められたｈと電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。ｈを５ｍｍ以下とすることにより、電流遮断能力が大幅に向上していることが判る。なお、この条件を満たす場合にも、アークの足の部分（接点表面から０．５ｍｍの範囲）の駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となっている。
【００３６】
また、ｄ≦０．６Ｄi とする。図８は、前述した各部の寸法が異なる複数の電極１による試験結果から求められたｄ／Ｄi と電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。ｄ／Ｄi を０．６以下、つまり、ｄ≦０．６Ｄi とすることにより、電流遮断能力が大幅に向上していることが判る。なお、この条件を満たす場合にも、アークの足の部分（接点表面から０．５ｍｍの範囲）の駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となっている。
【００３７】
実施の形態２．
図９は、本発明の実施の形態２による真空バルブの風車形電極の構造を示す断面図である。図９において図３と同一の番号，符号を付したものは、同一または同様のものを示す。実施の形態２では、電極１に接合穴は設けられておらず、電極棒６の径が細くなった先端部が、直接電極１（補強板５）に固着される接合部１０となっている。なお、この接合部１０の径ｄは、ｄ≦０．６Ｄi の条件を満たす。
【００３８】
なお、電極１の他の形状（溝２、接触部３、風車部４の形状）は、実施の形態１と同様であり、アークの足部の接点表面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束密度の接点表面に平行な成分が、電流１ｋＡに対して０．０１テスラ以上となるように接触部３を突出させている。
【００３９】
この実施の形態２では、実施の形態１における接合穴７，スペーサ８を加工する作業が不要である。また、実施の形態２での発生磁束密度は、接合穴７を設ける実施の形態１の場合と同レベルとなるので、実施の形態１と同様に十分な遮断能力を確保できる。このように、実施の形態２では、電極の製造を簡易化でき、同時に高い遮断性能を得られるという効果がある。
【００４０】
実施の形態３．
図１０は、本発明の実施の形態３による真空バルブの風車形電極の構造を示す平面図、図１１は図１０のＡ−Ａ′線における断面図である。図１０、図１１において図２、図３と同一の番号、符号を付したものは、同一または同様のものを示す。実施の形態３では、渦巻き形状の溝２の個数を６個としている。
【００４１】
なお、電極１の接触部３、風車部４はその分割個数、分画個数が夫々６個になるだけであって、その基本的な形状は実施の形態１と同じである。アークの足部の接点表面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束密度の接点表面に平行な成分が、電流１ｋＡに対して０．０１テスラ以上となるように接触部３を突出させている。
【００４２】
接触部３にアークを発生させ、そのアークの足の部分の駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となるような構成にする場合には、渦巻き形状の溝２の個数には関係なく、アークが発生してから回転を開始するまでの時間を短縮でき、その結果、高い遮断能力を得ることが可能である。
【００４３】
【発明の効果】
以上詳述したように、第１発明の真空バルブでは、風車形電極の周縁の接触部にアークを発生させ、アークに対して駆動力として作用する磁束密度のうち、一方の電極の風車部を介してアークに流れ込む電流によって発生し、アークの足部の自電極の接触面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束密度の前記接触面に平行な成分が、前記接触面のどの位置においても電流１ｋＡに対して０．０１テスラ以上となるように構成したので、アークが発生してから回転を開始するまでの時間を短縮でき、その結果、高い遮断能力を得ることができるという効果がある。
【００４４】
第２発明の真空バルブでは、風車形電極の外径をＤ、接触部の内径をＤi とした場合に、Ｄi ≧０．４Ｄとなるようにしたので、アークの足の部分の駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となり、高い遮断能力を得ることができるという効果がある。
【００４５】
第３発明の真空バルブでは、風車形電極の接触部の突出高さを５ｍｍ以下となるようにしたので、アークの足の部分に駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となり、高い遮断能力を得ることができるという効果がある。
【００４６】
第４発明の真空バルブでは、電極棒の接合部の径をｄ、接触部の内径をＤi とした場合に、ｄ≦０．６Ｄi となるようにしたので、アークの足の部分に駆動に寄与する磁束密度が電流１ｋＡあたり０．０１テスラ以上となり、高い遮断能力を得ることができるという効果がある。
【００４７】
第５発明の真空バルブでは、遮断性能が高い、Ｃｒを２０〜６０ｗｔ％含むＣｕ−Ｃｒ系材料にて風車形電極を形成するようにしたので、高い遮断能力を得ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１による真空バルブの風車形電極の構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１による真空バルブの風車形電極の構造を示す平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ′線における断面図である。
【図４】発生磁束密度Ｂとアークが高速回転を始めるまでの時間ｔとの関係を示すグラフである。
【図５】発生磁束密度Ｂと電流遮断能力Ｉｐの関係を示すグラフである。
【図６】Ｄi ／Ｄ（Ｄｉ：接触部の内径、Ｄ：電極の外径）と電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。
【図７】接触部と風車部との厚さの差（接触部の突出高さ）ｈと電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。
【図８】ｄ／Ｄi （ｄ：接合穴の径、Ｄi ：接触部の内径）と電流遮断能力Ｉp との関係を示すグラフである。
【図９】本発明の実施の形態２による真空バルブの風車形電極の構造を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態３による真空バルブの風車形電極の構造を示す平面図である。
【図１１】図１０のＡ−Ａ′線における断面図である。
【図１２】真空バルブの全体構成を示す図である。
【図１３】従来の真空バルブの風車形電極の構造を示す概略図である。
【図１４】従来の真空バルブの風車形電極の動作を説明するための概略図である。
【図１５】従来の真空バルブの風車形電極の問題点を説明するための概略図である。
【図１６】磁束密度の電極表面からの距離に対する依存性を示すグラフである。
【符号の説明】
１電極（風車形電極）、２溝、３接触部、４風車部、５補強板、
６電極棒、７接合穴、８スペーサ、９、９′ アーク、１０接合部。

Claims

真空容器内に接離可能に配置されている一対の風車形電極を備え、
前記風車形電極には中心部から周縁部にわたって方向が滑らかに変化する渦巻き状の複数の溝が形成されており、
前記風車形電極は、その中心部に位置して前記溝によって分画されている複数の風車部と、その周縁部に位置して前記溝によって分割されており、前記風車部より厚さが厚い複数の接触部とを有し、前記一対の風車形電極の閉極時に互いの前記接触部同士が接触するようにしてあり、
前記一対の風車形電極が開極された際に前記接触部に発生したアークに前記風車部を介して流れ込む電流によって発生し、アークに対して駆動力として作用する磁束のうち、一方の電極の風車部を介してアークに流れ込む電流によって発生し、アークの足部の自電極の接触面から０．５ｍｍの範囲に対してアーク駆動力として作用する磁束の前記接触面に平行な成分の磁束密度が、前記接触面のどの位置においても電流１ｋＡに対して０．０１テスラ以上となるようにしてあり、
前記電極は電極の中央に貫通して形成された接合穴に先端部が挿入された電極棒によって支持され、前記電極は前記接合穴の内周面だけで前記電極棒の先端部に嵌合されてなり、前記電極と前記電極棒との間の電流は、実質的に前記接合穴の内周面だけを通して流れるようにされていることを特徴とする真空バルブ。
風車形電極の外径をＤ、接触部の内径をＤi とした場合に、Ｄi ≧０．４Ｄであることを特徴とする請求項１記載の真空バルブ。
風車部と接触部との厚さの差が５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の真空バルブ。
風車形電極はそれぞれ電極棒に接合されており、該電極棒のその接合部の径をｄ、風車形電極の接触部の内径をＤi とした場合に、ｄ≦０．６Ｄi であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の真空バルブ。
前記風車形電極がＣｒを２０〜６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系材料にて形成されていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の真空バルブ。