JP6342090B2

JP6342090B2 - 真空バルブ

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Publication number: JP6342090B2
Application number: JP2017558751A
Authority: JP
Inventors: 越智　聡; 聡越智; 真一三木; 大樹道念
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2016-04-19
Filing date: 2017-03-03
Publication date: 2018-06-13
Anticipated expiration: 2037-03-03
Also published as: US10650995B2; WO2017183323A1; CN209298004U; EP3447783A4; EP3447783A1; JPWO2017183323A1; US20190035578A1

Description

この発明は、例えば真空遮断器に用いられる真空バルブに関するものである。

図９は従来の真空バルブにおける接点部を拡大した断面図である。この接点１は真空容器内に配置されており、中心部から周縁部にわたって方向が滑らかに変化する渦巻き状の複数の溝が形成されている。この図において、接点１の裏面に補強板５及びスペーサー８が配置されており、電極棒６はこの補強板５及びスペーサー８を介して接点１と接合されている。

このような風車形の接点１は事故電流遮断時に風車形状に加工された接点１に沿って電流が流れることにより半径方向に磁界を発生させ、接点１間に発生した事故電流による集中アークをこの磁界により円周方向へ駆動させてやることにより、アークが接点１の一定の場所に留まることを防ぎ、遮断性能を向上させている。前記補強板５は事故電流遮断時に接点１間で発生した金属蒸気等が接点１の裏側に飛散し、セラミックス内面に付着し、耐電圧性能が低下することを防いでいる。

また、通常、接点閉極状態は接点１間に接圧力が掛かっており、さらに接点閉極動作時には接点１が衝突した瞬間に一時的にこの接圧力を超える力が発生し、接点１に多大な応力が発生し、接点１が変形する可能性がある。補強板５には接点１と接触して接点裏側に配置することにより、接点１が変形しないよう補強する役割も兼ね備えている。

補強板５の材料は通常ステンレスなどの接点１よりも強度が強く、抵抗が高いものが使用されるが、接点１と補強板５の抵抗の比率分は補強板５に電流が分流される。補強板５には風車の溝が施されていないため、補強板５に流れる電流からは磁界が発生せず、補強板５に流れる電流分だけ接点１から発生する磁界が弱くなり、遮断性能を低下させる要因となっていた。

例えば、米国特許ＵＳ８，０３９，７７１号公報のように接点と接点裏の補強板を接触させない構造とすれば、補強板に流れる電流はなくなり、接点から発生する磁界は大きくなるが、接点の補強としての機能もなくなり、接点が変形する可能性が高くなる。

特に高い接圧で使用される接点や特許第３８１２７１１号公報のように接点の中央部の窪みが大きく、周縁部で接触するような形状の場合は接点の変形が大きくなりこのような構造は採用が難しいという問題があった。

米国特許ＵＳ８，０３９，７７１号公報特許第３８１２７１１号公報

上述した従来の真空バルブは、補強板が接点の裏面に配置されており、接点を補強するために接点の全面に接触しているため事故電流遮断時の電流が接点だけではなく、補強板にも流れて、接点に流れる電流による磁界を下げてしまい、遮断性能が低下するという問題があった。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、遮断性能を向上させることを目的としており、さらに接点の補強も可能な真空バルブを提供することを目的とするものである。

この発明に係わる真空バルブは、真空容器内に接離可能に配置され、互いに接離する接触部を有するとともに中心部から周縁部にわたって円弧状の溝が複数形成された固定側接点および可動側接点と、前記固定側接点に接続された固定側電極棒と、前記可動側接点に接続された可動側電極棒と、前記固定側電極棒と前記固定側接点との間に配置され、周縁部は前記固定側接点の裏面と離間して配置される段部を有する固定側補強板と、前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に配置され、周縁部は前記可動側接点の裏面と離間して配置される段部を有する可動側補強板とを備え、前記固定側補強板の前記段部または前記可動側補強板の前記段部は、前記固定側電極棒と前記固定側接点または前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に周縁部に段部が形成されたスペーサーを配置し、前記スペーサーの前記段部に前記固定側補強板または前記可動側補強板を装着することにより、前記固定側接点または前記可動側接点の裏面と離間して配置されたものである。

また、この発明に係わる真空バルブは、真空容器内に接離可能に配置され、互いに接離する接触部を有するとともに中心部から周縁部にわたって円弧状の溝が複数形成された固定側接点および可動側接点と、前記固定側接点に接続された固定側電極棒と、前記可動側接点に接続された可動側電極棒と、前記固定側接点の裏面側中央部分に設けられ、周縁部と段差を形成する固定側突出部と、前記可動側接点の裏面側中央部分に設けられ、周縁部と段差を形成する可動側突出部と、前記固定側電極棒と前記固定側接点との間に配置され、中央部分は前記固定側突出部に接触し、周縁部は前記固定側接点の裏面と離間して配置される固定側補強板と、前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に配置され、中央部分は前記可動側突出部に接触し、周縁部は前記可動側接点の裏面と離間して配置される可動側補強板と、前記固定側電極棒と前記固定側補強板との間に装着した固定側スペーサーと、前記可動側電極棒と前記可動側補強板との間に装着した可動側スペーサーとを備えたものである。

この発明に係わる真空バルブによれば、固定側電極棒と固定側接点との間に配置され、周縁部は固定側接点の裏面と離間して配置される段部を有する補強板と、可動側電極棒と可動側接点との間に配置され、周縁部は可動側接点の裏面と離間して配置される段部を有する補強板とを備えたことにより、補強板の段部は固定側接点および可動側接点と接触しないので、接点部の強度を保ったまま真空バルブの遮断性能を向上することができる真空バルブを得ることができる。

この発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す断面図である。この発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。この発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す図１のIII−III線における断面図である。この発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおける接点部に掛かるモーメントの比較を示す断面図である。この発明の実施の形態２に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。この発明の実施の形態３に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。この発明の実施の形態４に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。この発明の実施の形態５に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。従来の真空バルブにおける接点部を示す断面図である。

実施の形態１．
以下、この発明の実施の形態１を図１から図４に基づいて説明するが、各図において、同一、または相当部材、部位については同一符号を付して説明する。図１はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す断面図である。図２はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。図３はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブを示す図１のIII−III線における断面図である。図４はこの発明の実施の形態１に係わる真空バルブにおける接点部に掛かるモーメントの比較を示す断面図である。

これら各図において、１０は真空バルブの真空容器で、例えばセラミックス材で形成されている。１１は真空容器１０の固定側に装着された固定側フランジ、１２は真空容器１０の可動側に装着されて可動側フランジ、１３は固定側フランジ１１に支持され真空容器１０内に配置された固定側電極棒、１４は可動側フランジ１２を挿通可能に貫通して真空容器１０内に配置され、固定側電極棒１３と同軸上に配置された可動側電極棒、１５は可動側電極棒１４と固定側フランジ１１に結合された薄い金属で出来た蛇腹状のベローズであり、真空バルブの真空容器１０の内部を真空に保ったまま可動側電極棒１４が可動することを可能にしている。

１６は固定側電極棒１３の先端に装着され接触部１６ａを有する固定側接点、１７は可動側電極棒１４の先端に装着され、固定側接点１６と接離する図示はしないが接触部１６ａと接触する接触部を有する可動側接点である。固定側接点１６の接触部１６ａ側の中心部に凹形状の風車部１６ｂが形成され、風車部１６ｂから周縁部に向かって円弧状の溝１６ｃが形成されている。いわゆる風車型の固定側電極が構成される。

また、可動側接点１７においても、固定側接点１６と同様に、可動側接点１７の接触部１７ａ側の中心部に凹形状の風車部１７ｂが形成され、風車部１７ｂから周縁部に向かって円弧状の溝１７ｃが形成されている。いわゆる風車型の可動側電極が構成される。

１８は固定側電極棒１３と固定側接点１６との間に配置されたスペーサー、１９はスペーサー１８と固定側接点１６との間に配置された補強板であり、補強板１９の周縁部は固定側接点１６の裏面１６ｄと離間した段部１９ａを有する構成である。すなわち、補強板１９の中央部分の肉厚を厚くし、補強板１９の段部１９ａは中央部分の肉厚よりも薄くしかつ段部１９ａは固定側接点１６の裏面１６ｄと離間して配置した構成である。

２０は可動側電極棒１４と可動側接点１７との間に配置されたスペーサー、２１はスペーサー２０と可動側接点１７との間に配置された補強板であり、補強板２１の周縁部は可動側接点１７の裏面１７ｄと離間した段部２１ａを有する構成である。すなわち、補強板２１の中央部分の肉厚を厚くし、補強板２１の段部２１ａは中央部分の肉厚よりも薄くしかつ段部２１ａは可動側接点１７の裏面１７ｄと離間して配置した構成である。

なお、２２は真空容器１０の内部に装着され、固定側接点１６から可動側接点１７に亘って配置されたシールドであり、固定側接点１６と可動側接点１７間に点弧されたアークから拡散する金属蒸気が真空容器１０の内壁に付着するのを防止する。

通電時は可動側接点１７が図示しない遮断器の操作機構により閉極され、図示しない接圧ばねにより加圧されており、事故電流が発生した場合に、可動側電極棒１４を操作機構により開極位置まで動かし、大電流を遮断する。固定側接点１６と可動側接点１７とが乖離した後は固定側接点１６と可動側接点１７間にアークが発生するが、このアークは電流が約１０ｋＡを超えると一か所に集中し、集中アークＡとなる。

このとき、固定側接点１６と可動側接点１７には風車形状の溝１６ｃ，１７ｃが形成されており、電流が風車の形状に沿って流れることにより磁界Ｇを発生させ、集中アークＡをこの磁界Ｇと電流Ｉによるアーク駆動力Ｋで一か所に留まることなく回転移動させることで固定側接点１６と可動側接点１７の局所過熱を抑えて遮断性能を向上させている。

例えば、固定側接点１６側について述べるが、図３に示すように、補強板１９の固定側接点１６の周縁部の裏面１６ｄと離間する厚みが薄い段部１９ａが設けられており、補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３は固定側接点１６の周縁部の厚肉部内径Ｄ１よりも大きく設定してある。すなわち、補強板１９の中央部分の肉厚を厚くし、補強板１９の段部１９ａは中央部分の肉厚よりも薄くしかつ段部１９ａは固定側接点１６の裏面１６ｄと離間して配置した構成である。そして、固定側接点１６の材料は例えば銅とクロムの複合材料で、補強板１９は例えばステンレスで構成される。

例えば図４に示すように、補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３が固定側接点１６の周縁部の厚肉部内径Ｄ１よりも小さい場合は、固定側接点１６の接圧力又は接点閉極時の衝撃により固定側接点１６の周縁部の厚肉部に軸方向の力Ｆが加わるが、この厚肉部の裏面には支えがなく、固定側接点１６の薄肉部裏の補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３部にて支えられる。

このとき、固定側接点１６の接点薄肉部Ｌには図４に記載の方向にＬ＝（Ｄ１−Ｄ３）／２の長さに応じたモーメントＭが発生する。接点閉極時にはこのモーメントＭにより強度の低い固定側接点１６の薄肉部に多大な応力が発生し、多数回の開閉動作により固定側接点１６の変形や損傷が発生する可能性が大きくなる。

しかし、この実施の形態１においては、補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３を固定側接点１６の周縁部の厚肉部内径Ｄ１よりも大きくすることにより、固定側接点１６の薄肉部の裏側を支えることが可能となり、固定側接点１６の薄肉部に掛かるモーメントは極小さくなり、固定側接点１６の変形や損傷を防ぐことが可能となる。

また、風車接点においては対向する風車形状に沿って電流Ｉが流れることにより半径方向に磁界Ｇが発生し、集中アークＡと磁界Ｇにより、図３に示すように、アーク駆動力Ｋが発生し、集中アークＡが固定側接点１６の円周に沿って駆動されるが、この風車形状に流れる電流Ｉに比例して磁界Ｇの強度が強くなり、アーク駆動力Ｋも大きくなる傾向がある。

図９に示す従来の構造においては、接点１の裏面の全面に補強板５が接触しており、補強板５に電流が分流される。補強板５には風車形状の溝が形成されていないため、補強板５に分流された電流は風車形状には流れないため磁界を発生できない。また補強板５に流れる電流分だけ接点風車形状に流れる電流も低下するため、発生する磁界が低下していた。

この実施の形態１による真空バルブにおいては、図２および図３に示すように、補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３より外径側の領域において、補強板１９の段部１９ａは固定側接点１６とは接触していないため、電流はすべて固定側接点１６に流れる。また、従来補強板に溝が切っていないため電流が流れていた図３に示す補強板１９の段部１９ａのハッチング部分に電流が流れないため、固定側接点１６の磁界強度が従来よりも約２割向上しており、遮断性能が約1割向上した。

固定側接点１６の直径Ｄ１の内側部分については固定側接点１６と補強板１９が接触しており、補強板１９内に電流が分流され風車の形状に沿って流れる電流が減少し、磁界が低下するが、アークは発孤後直ぐに電磁力により周縁部に移動し、周縁部を回転し始めるため遮断性能への影響は少ない。特に特許第３８１２７１１号のような接触部が周縁部に位置している形状についてはアークの発生がこの周縁部の接触部に限られるため、直径Ｄ１内の部分の磁界が遮断性能に与える影響は微小である。

補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３は大きくすると固定側接点１６の補強としての効果は大きくなるが、同時に補強板１９に流れる電流が増えることにより磁界は低下していく傾向があり、固定側接点１６の外周径Ｄ２に達すると従来の構造と磁界強度が同じになる。

よって、補強板１９の固定側接点１６と接触している部分の径Ｄ３は固定側接点１６の外周径Ｄ２よりも小さくする必要がある。好ましくは、Ｄ１＜Ｄ３＜（Ｄ１＋Ｄ２）／２の範囲が磁界強度を向上させる効果が大きく有効である。また、固定側接点１６と補強板１９を接触させないためには段差が０．５ｍｍ以上あることが好ましい。

大電流遮断時にはアークにより固定側接点１６と可動側接点１７間から発生する金属蒸気が風車型の固定側接点１６の溝１６ｃを通って軸方向に飛散し、真空バルブ内のセラミックス材で形成された真空容器１０内側等に飛散して耐電圧性能が低下するが、補強板１９により固定側接点１６の溝１６ｃから飛散した金属蒸気を遮蔽し、耐電圧性能の低下を防ぐという役割がある。

この補強板１９の外径Ｄ４が大きい方が遮蔽効果は大きくなるが、固定側接点１６の外周径Ｄ２よりも大きくなると、補強板１９の先端の電界強度が高くなり、耐電圧性能が低下してしまうため固定側接点１６の外周径Ｄ２よりも小さくすることが望ましい。

補強板１９と固定側接点１６は一般的にろう付け等の方法により接合されるが、ろう付け時の温度が高すぎると補強板１９と固定側接点１６間のろう材が接点表面近くまで這い上がってくることがあるが、ろう材が接点表面近傍にあると大電流遮断時のアークによりろう材が溶融し、遮断性能を低下させる可能性があるためろう付け温度の管理が重要となる。

この実施の形態１による形状においては、固定側接点１６の裏面１６ｄにおいて固定側接点１６と補強板１９がろう付けされる面積が少なく、ろう材量を少なくすることが可能となり、ろう付け温度が高い場合でもよりろう材が接点表面近傍に這い上がりにくくすることが可能となり、ろう付け時の温度管理が容易になり、より信頼性の高い真空バルブが容易に製作できるという効果も得られる。

上述した図２および図３においては、固定側電極棒１３、固定側接点１６、補強板１９について述べたが、図示しないが、可動側電極棒１４、可動側接点１７、補強板２１についても同様の構成となっており、同様の効果を奏する。

実施の形態２．
この発明の実施の形態２を図５に基づいて説明する。図５はこの発明の実施の形態２に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。

この発明の実施の形態２における図５に示す形状においては、補強板２３の形状が薄板を曲げた形状となっている。すなわち、薄板状の補強板２３の中央部分を例えばプレス加工にて凹形状部として固定側接点１６と接触している部分とすることにより、補強板２３の周縁部が固定側接点１６の裏面１６ｄと離間した段部２３ａを構成することができ、上述した実施の形態１と実質的に同等の形状に構成することができる。このような形状においても、上述した実施の形態１の効果と同様の効果が得られ、さらに補強板２３をプレス加工にて製作できるため、より安価に製作できるという効果が得られる。

実施の形態３．
この発明の実施の形態３を図６に基づいて説明する。図６はこの発明の実施の形態３に係わる真空バルブを示す断面図である。

この発明の実施の形態３における図６に示す形状においては、固定側電極棒１３と固定側接点１６との間にその固定側接点１６側の周縁部に段部１８ａが形成されたスペーサー１８を配置し、スペーサー１８の段部１８ａに固定側補強板２４を装着することにより、固定側補強板２４の周縁部に固定側接点１６の裏面１６ｄと離間した段部２４ａを構成することができ、上述した各実施の形態と同様の効果を奏する。

なお、スペーサー１８と固定側補強板２４を一体構造体とすればさらに部品点数を減らすことができ、より安価に製作できるという効果が得られる。

実施の形態４．
この発明の実施の形態４を図７に基づいて説明する。図７はこの発明の実施の形態４に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。

この実施の形態４における図７に示す固定側補強板２５の形状はステンレス薄板を折り曲げた形状となっており、固定側補強板２５の周縁部は固定側接点１６の裏面１６ｄと離間した段部２５ａを構成するとともにスペーサー２６と一体化した構造となっている。スペーサー２６には固定側補強板２５を支える役割があるが、固定側補強板２５を軸方向に曲げて、固定側電極棒１３の径とのはめ合せにより位置決め機能を持たせている。

これにより、固定側補強板２５はプレス加工にて製作が可能となり、部品点数削減と低コスト化を同時に図ることができる。また、上述した実施の形態１における遮断性能向上及び固定側接点１６の補強についての効果も同様に得られる。

実施の形態５．
この発明の実施の形態５を図８に基づいて説明する。図８はこの発明の実施の形態５に係わる真空バルブにおける接点部を示す断面図である。

この発明の実施の形態５における図８の形状においては、固定側接点１６の裏面側中央部分に固定側突出部２７を設け、固定側補強板２８の中央部分は固定側接点１６の固定側突出部２７に接触し、周縁部は固定側接点１６の裏面１６ｄと離間して配置される段部２８ａを有した構成である。

固定側補強板２８には板状であり、段差は設けられておらず、平坦なワッシャー状の形状となっている。この実施の形態５においては、固定側接点１６の裏面側中央部分に固定側突出部２７を設けて段差を設けており、この固定側突出部２７が固定側補強板２８と接触している部分径Ｄ３となり、上述した実施の形態１における遮断性能の向上と固定側接点１６の補強についての効果も同様に得られる。

この発明の実施の形態５によれば、固定側補強板２８の形状は単純になり、プレス加工等により安価に製作することが可能となる。固定側接点１６の裏面側中央部分に固定側突出部２７を設けて段差をつけることが必要となるが、固定側接点１６は元々機械加工で製作することが一般的であるため段差を追加することによるコストアップは小さく、全体として安価に製作できるというメリットがある。

また、この図８におけるスペーサー１８と固定側補強板２８を一体化した構造とすることも部品点数の削減が可能であり有効な手段となり、上述した各実施の形態と同様の効果が得られる。

上述した実施の形態２から実施の形態５においては、固定側接点１６側を主体に述べたが、図示はしていないが、可動側接点１７側についても、同様に適用することができ、同様の効果を奏する。

なお、この発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。

この発明は、接点部の強度を保ったまま真空バルブの遮断性能を向上することができる真空バルブの実現に好適である。

１０真空容器、１３固定側電極棒、１４可動側電極棒、１６固定側接点、１６ａ接触部、１６ｃ溝、１６ｄ裏面、１７可動側接点、１７ａ接触部、１７ｃ溝、１７ｄ裏面、１８スペーサー、１９固定側補強板、１９ａ段部、２０スペーサー、２１可動側補強板、２１ａ段部、２３固定側補強板、２３ａ段部、２４固定側補強板、２４ａ段部、２５固定側補強板、２５ａ段部、２６スペーサー、２７固定側突出部、２８固定側補強板、２８ａ段部

Claims

真空容器内に接離可能に配置され、互いに接離する接触部を有するとともに中心部から周縁部にわたって円弧状の溝が複数形成された固定側接点および可動側接点と、前記固定側接点に接続された固定側電極棒と、前記可動側接点に接続された可動側電極棒と、前記固定側電極棒と前記固定側接点との間に配置され、周縁部は前記固定側接点の裏面と離間して配置される段部を有する固定側補強板と、前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に配置され、周縁部は前記可動側接点の裏面と離間して配置される段部を有する可動側補強板とを備え、前記固定側補強板の前記段部または前記可動側補強板の前記段部は、前記固定側電極棒と前記固定側接点または前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に周縁部に段部が形成されたスペーサーを配置し、前記スペーサーの前記段部に前記固定側補強板または前記可動側補強板を装着することにより、前記固定側接点または前記可動側接点の裏面と離間して配置されたことを特徴とする真空バルブ。
前記固定側補強板と前記スペーサーまたは前記可動側補強板と前記スペーサーは、一体構造体として構成されたことを特徴とする請求項１に記載の真空バルブ。
前記固定側補強板の前記固定側接点と接触している部分または前記可動側補強板の前記可動側接点と接触している部分の径Ｄ３、前記固定側接点または前記可動側接点の径Ｄ２、前記固定側接点または前記可動側接点の周縁部の厚肉部内径Ｄ１とした場合に、Ｄ１＜Ｄ３＜Ｄ２であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の真空バルブ。
前記固定側補強板の前記段部と前記固定側接点または前記可動側補強板の前記段部と前記可動側接点との隙間が０．５ｍｍ以上あることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブ。
前記固定側補強板または前記可動側補強板はステンレス材で形成されたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の真空バルブ。
前記固定側接点または前記可動側接点はＣｒを２０から６０重量％含むＣｕ−Ｃｒ系材料にて形成されたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の真空バルブ。
真空容器内に接離可能に配置され、互いに接離する接触部を有するとともに中心部から周縁部にわたって円弧状の溝が複数形成された固定側接点および可動側接点と、前記固定側接点に接続された固定側電極棒と、前記可動側接点に接続された可動側電極棒と、前記固定側接点の裏面側中央部分に設けられ、周縁部と段差を形成する固定側突出部と、前記可動側接点の裏面側中央部分に設けられ、周縁部と段差を形成する可動側突出部と、前記固定側電極棒と前記固定側接点との間に配置され、中央部分は前記固定側突出部に接触し、周縁部は前記固定側接点の裏面と離間して配置される固定側補強板と、前記可動側電極棒と前記可動側接点との間に配置され、中央部分は前記可動側突出部に接触し、周縁部は前記可動側接点の裏面と離間して配置される可動側補強板と、前記固定側電極棒と前記固定側補強板との間に装着した固定側スペーサーと、前記可動側電極棒と前記可動側補強板との間に装着した可動側スペーサーとを備えたことを特徴とする真空バルブ。
前記固定側補強板と前記固定側スペーサーまたは前記可動側補強板と前記可動側スペーサーは、一つの構造体として構成されたことを特徴とする請求項７に記載の真空バルブ。