KR101362622B1 - 진공밸브 - Google Patents

Abstract

<과제> 고정 측 전극과 가동 측 전극의 접촉상태에 의해서 발생하는 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있는 진공밸브를 얻는 것.
<해결수단> 본 발명에 관한 진공밸브는 진공용기(1), (2), (3), (8)와, 진공용기 내에서 접리 가능에 대향하여 배치된 한 쌍의 전극(5), (6)과, 한 쌍의 전극이 대향하는 대향면의 배면 측에 배치된 보강판(10), (11)을 구비하고 있다. 또, 전극과 보강판과의 사이에 전극과 보강판에 고정된 전극의 변형흡수부재(5e)를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

진공밸브 {VACUUM VALVE}

본 발명은 진공차단기에 이용되는 진공밸브에 관한 것이다.

진공밸브는 일반적으로 세라믹 또는 유리로 이루어지는 절연원통의 양단 개구부를 고정 측 단부판(端部板) 및 가동 측 단부판으로 각각 밀봉된 기밀한 진공용기를 구비하고 있고, 이 진공용기 내에서 고정 측 단부판에는 고정 측 전극을 접합한 고정 측 전극봉이 지지 고정되며, 이 고정 측 전극과 대향하도록 절연원통의 축방향으로 이동하는 가동 측 전극이 배치되고, 이것에 가동 측 전극봉이 접속되어 있다. 이 가동 측 전극봉과 가동 측 단부판은 주름 모양의 벨로우즈(bellows)를 통하여 기밀하게 접속되고, 진공용기 내의 진공을 유지하면서 가동 측 전극 및 가동 측 전극봉을 동작시키는 것이 가능하다. 또, 전류 차단시에 전극 사이에 아크가 발생하여, 전극으로부터의 금속증기가 비산(飛散)함으로써, 이것이 절연원통 내면에 부착하여, 내연면(內沿面)의 절연성능을 저하시키는 것이 문제가 되기 때문에, 절연원통 내면의 오손(汚損) 억제를 목적으로 하여 아크쉴드(arc shield)가 전극 주위에 마련되어 있다.

수 10㎄를 넘는 대전류 차단을 행하는 경우, 차단성능 향상의 수단 중 하나로서 예를 들면 스파이럴(spiral) 구조의 전극을 이용하는 경우가 있다. 전극에 스파이럴 모양의 슬릿을 마련했기 때문에, 이 슬릿에 의해 구분된 전극 부분(블레이드(blade) 부분)에 전류가 흐른다. 이 블레이드 부분을 따라서 둘레방향으로 전류가 흐름으로써 지름방향의 자장(磁場)이 생성되고, 이 지름방향의 자장 중에서 양(兩) 전극 사이에 축방향의 아크전류가 발생함으로써, 이 아크전류는 둘레방향으로 구동력(로렌츠 힘(Lorentz force))을 받는다. 이상에 의해 아크전류는 둘레방향으로 회전하게 되기 때문에 전극표면의 국부가열이 억제되어, 차단성능을 향상시킬 수 있다.

블레이드 부분은 가늘고 긴 형상으로 강도가 비교적 약하고, 개폐조작력이 큰 것에서는 블레이드 부분의 변형이 발생하여, 차단성능이나 내(耐)전압성능의 저하를 일으키게 된다. 이 때문에, 원반 모양의 보강판을 전극의 배면에 고착시켜 블레이드 부분의 강성을 높이고 있고, 일반적으로 보강판으로서는 기계적 강성이 높고 전기저항이 큰 재료인 오스테나이트계 스테인리스 등이 사용되며, 납땜 등의 공법에 의해 전극의 배면에 고착하고 있었다(예를 들면, 특허문헌 1).

[특허문헌 1] 일본국 특개평9-190744(3 - 7페이지, 도 1 - 9)

종래의 진공밸브에서는, 전극의 배면 측에 고착한 보강판에 의해 전체적인 강성이 높아졌기 때문에, 전극은 거의 부분적인 변위(휘어짐)가 일어나지 않게 되고, 고정 측 전극과 가동 측 전극의 접촉저항은 전극표면의 미소 변형에 의한 접촉 면적에 의해서 정해져 버리기 때문에, 고정 측 전극과 가동 측 전극의 접촉상태에 의해서 접촉저항값에 개체차이가 생겨 버린다고 하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 고정 측 전극과 가동 측 전극의 접촉상태에 의해서 발생하는 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있는 진공밸브를 얻는 것을 목적으로 하는 것이다.

본 발명에 관한 진공밸브는, 진공용기와, 진공용기 내에서 접리(接離) 가능에 대향하여 배치된 한 쌍의 전극과, 한 쌍의 전극이 대향하는 대향면의 배면 측에 배치된 보강판을 구비하고 있다.

또, 전극과 보강판과의 사이에 전극과 보강판에 고정된 전극의 변형흡수부재를 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 관한 진공밸브에 의하면, 전극과 보강판과의 사이에 양자에 고정된 전극의 변형흡수부재를 마련했기 때문에, 이 변형흡수부재를 압축하거나, 또는 굽힘변형시킴으로써, 전극의 변형을 흡수하여, 부분적으로 휘게 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 고정 측과 가동 측에서 서로 상대방의 전극의 표면형상에 조화되도록 전극을 변형시킬 수 있다. 따라서, 전극의 복수 개소의 접촉부를 얻는 것이 안정적으로 가능하게 되어, 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공밸브의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공밸브의 고정 측 전극의 확대 평면도(a) 및 확대 단면도(b)이다.
도 3은 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공밸브의 고정 측 전극을 배면 측으로부터 투영한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공밸브의 고정 측 전극의 확대 평면도(a) 및 확대 단면도(b)이다.
도 5는 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공밸브의 링의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공밸브의 링의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공밸브의 링의 평면도(a) 및 D-D 단면도(b)이다.

실시형태 1.

도 1은 본 발명의 실시형태 1에 관한 진공밸브의 단면도, 도 2의 (a), (b)는 이 진공밸브의 고정 측 전극 주변의 확대 평면도 및 확대 단면도, 도 3은 고정 측 전극을 배면 측으로부터 투영한 도면이다. 도 1에서, 1은 알루미나 세라믹스 등으로 이루어지는 절연원통이고, 2는 절연원통(1)의 한쪽의 단부 개구부를 덮는 고정 측 단부판, 3은 절연원통(1)의 다른 쪽의 단부 개구부를 덮는 가동 측 단부판이며, 고정 측 단부판(2), 가동 측 단부판(3)은 각각 절연원통(1)의 단면에 납땜에 의해 같은 축상에 장착되어 있다.

4는 고정 측 단부판에 납땜 접합된 고정 측 전극봉, 5는 고정 측 전극봉에 납땜 접합된 고정 측 전극, 6은 고정 측 전극(5)에 대향하여 배치된 가동 측 전극, 7은 가동 측 전극(6)에 납땜 접합된 가동 측 전극봉, 8은 예를 들면 얇은 스테인리스로 주름 모양으로 형성되어 진공 기밀을 유지하면서 가동 측 전극봉(7)이 절연원통(1)의 축방향으로 이동 가능하도록 배치된 벨로우즈이다. 이 벨로우즈(8)에 의해 고정 측 전극(5)과 가동 측 전극(6)이 진공 기밀을 유지하면서 접리 가능하게 되어 있으며, 절연원통(1), 고정 측 단부판(2), 가동 측 단부판(3) 및 벨로우즈(8)에 의해 진공용기가 구성되어 있다. 아크쉴드(9)는 전류 차단시에 전극 사이에서 발생하는 아크에 의한 금속증기가 절연원통(1)의 내면에 부착하는 양을 억제하기 위해, 고정 측 전극(5)과 가동 측 전극(6)의 주위를 둘러싸도록 배치되어 있다.

고정 측 전극(5)과 가동 측 전극(6)이 대향하는 대향면의 배면 측에는 보강판(10, 11)이 각각 배치되어, 후에 상세히 설명하는 돌기부(변형흡수부재)(5e)를 통하여 고정 측 전극(5) 및 가동 측 전극(6)과 납땜됨과 동시에, 고정 측 전극봉(4)과 가동 측 전극봉(7)에 납땜에 의해 접합되어 있다. 이들 보강판(10, 11)은 각 전극(5, 6)과 일체화되어 각 전극(5, 6)에 적절한 강성을 부여함으로써, 차단기가 투입되었을 때에 양 전극(5, 6)이 충돌할 때의 기계적인 충격 또는 분리시의 용착을 떼어내는 힘에 의해, 전극이 크게 변형하여, 파손하는 것을 방지하고 있다.

다음으로 전극의 구조의 상세한 내용에 대해서 설명하지만, 고정 측 전극(5)과 가동 측 전극(6)은 각 대향면끼리의 중간위치의 면에 대해서 대칭이므로, 도 2를 이용하여 고정 측 전극(5)에 대해서만 설명한다. 고정 측 전극(5)의 외형에 대해서는 수 10㎄를 넘는 대전류 차단을 행함에 있어서 유효한 전극 구조 중 하나로서, 본 실시형태에서는 도 2에 나타내는 바와 같이 스파이럴 형상을 채용하고 있고, 스파이럴 형상의 슬릿(5a)을 마련함으로써, 스파이럴 형상의 블레이드 부분(5b)이 형성되어 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이 스파이럴 형상의 블레이드 부분의 안을 전류가 둘레방향으로 흐르기 때문에, 지름방향의 자장이 생성되고, 이 지름방향의 자장 중에서 양 전극 사이에 축방향의 아크전류가 발생함으로써, 이 아크전류가 둘레방향의 구동력(로렌츠 힘)을 받는다. 도 2에서는 스파이럴 형상인 것을 나타내고 있지만, 둘레방향으로 전류를 흘릴 수 있는 것이면 다른 형상이라도 되고, 예를 들면 원형 형상을 가지는 것이라도 상관없다.

고정 측 전극봉(4)의 선단은 지름이 가는 부분(4a)이 형성되어 있으며, 이 4a에 보강판(11)의 구멍부(11a)와 고정 측 전극(5)의 구멍부(5c)를 끼워 넣어 납땜으로 고정한다. 고정 측 전극(5)은 가동 측 전극(6)과의 대향면의 중앙부가 원형으로 움푹 패인 형상을 가지고 있고, 고정 측 전극(5)의 외경 치수를 φA, 중앙 리세스(recess)부의 지름 치수를 φB, 고정 측 전극(5)의 구멍부(5c)의 지름 치수를 φC로 하면, 고정 측 전극(5)과 가동 측 전극(6)과의 접촉부(5d)는 치수 φA와 치수 φB의 사이의 영역으로서 규정되고, 또, 치수 φB는 치수 φC 이상으로 하고 있다.

고정 측 전극(5)의 중앙 리세스부와 접촉부(5d)와의 단차(段差) 치수에 대해서는 차단성능의 관점으로부터 6㎜ 이내로 하는 것이 바람직하다. 이것은 단차를 크게 할수록 전극(5)이 두꺼워져 재료비용이 고가가 되는데다가, 상술한 아크에 작용하는 자계강도가 저하하여, 결과적으로 구동력이 작아지기 때문에, 아크를 전극(5)의 외주부에서 둘레방향으로 회전시키는 속도가 저하하여, 차단성능의 저하를 일으키게 되기 때문이다.

고정 측 전극(5)의 접촉부(5d)에 대응하는 배면 측에 돌기부(변형흡수부재)(5e)가 선반가공 등에 의해 형성되어 있고, 이 돌기부(5e)와 보강판(11)이 납땜에 의해 고정된다. 차단기를 투입했을 때, 양 전극(5, 6)이 충돌하는 것에 의한 기계적 충격력에 의해, 이 변형흡수부재(5e)를 압축하거나, 또는 굽힘변형시킴으로써, 전극(5)의 블레이드 부분(5b)의 변형을 흡수하여, 부분적으로 휘게 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 돌기부(5e)의 형상, 특히 보강판(11)과의 접합 면적이나, 도 3과 같이 전극(5)을 배면 측에서 보았을 경우의 하나의 블레이드 부분(5b)에 형성된 돌기부(5e)의 단면적에 대해서는, 차단기에 탑재되었을 때의 전극(5, 6) 사이에 작용하는 하중, 즉 투입시의 기계적 충격력 및 갈라 놓아 때의 용착을 떼어내는 힘에 저항하여, 전극(5)이 크게 변형하지 않도록 결정되지 않으면 안 된다. 또, 돌기부(5e)의 전극(5)의 배면 측에서 보았을 때의 단면적을 작게 함으로써, 돌기부(5e)의 강성을 저하시켜 변형하기 쉬워지기 때문에, 블레이드 부분(5b)이 휘는 것에 의한 전극(5, 6) 사이의 접촉 정도를 개선할 수 있다.

이상과 같이 본 실시형태에 관한 진공밸브에 의하면, 전극(5)과 보강판(11)과의 사이에 양자에 고정된 전극(5)의 돌기부(변형흡수부재)(5e)를 마련했기 때문에, 차단기를 투입했을 때, 양 전극(5, 6)이 충돌하는 것에 의한 기계적 충격력에 의해, 이 변형흡수부재(5e)를 압축하거나, 또는 굽힘변형시킴으로써, 전극(5)의 블레이드 부분(5b)의 변형을 흡수하여, 부분적으로 휘게 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 고정 측과 가동 측에서 서로 상대방의 전극의 표면형상에 조화되도록 전극(5)을 변형시킬 수 있다. 따라서, 블레이드 부분(5b)의 복수 매에 걸쳐서 복수 개소의 접촉부를 얻는 것이 안정적으로 가능하게 되어, 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있다.

또, 전극(5, 6) 사이의 전자반발력은 통전 전류의 대략 자승에 비례하여 크게 되는바, 상기에 나타낸 바와 같이 양 전극(5, 6) 사이를 조화되기 쉽게 하여 접촉 개소를 증대할 수 있어, 통전 전류를 분류(分流)할 수 있기 때문에, 양 전극 사이의 전자반발력 저감을 도모할 수 있음으로써 발호(發弧)현상을 억제할 수 있다. 이것에 의해 단시간의 대전류 통전 후 또는 대전류 투입 후의 용착을 떼어내는 힘의 저감을 도모할 수 있기 때문에, 차단기의 조작기구 및 조작력 전달기구를 간소화하여, 소형화할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 관한 진공밸브에 의하면, 돌기부(변형흡수부재)(5e)는 접촉부(5d)에 대응하는 배면 측에 마련하고 있음으로써, 차단기 투입시의 기계적 충격에 의한 압축력을 직접적으로 받게 되기 때문에, 돌기부(변형흡수부재)(5e)가 압축되기 쉬워져, 전극의 블레이드 부분(5b)이 보다 상대방의 가동 측 전극(6)의 형상에 충실히 조화되기 쉬워지게 되기 때문에, 더욱 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있다.

또, 돌기부(변형흡수부재)(5e)는 전극(5)의 배면 측에 형성되어 있기 때문에, 선반가공 등에 의해 용이하고 또한 염가로 가공할 수 있음과 동시에, 전극(5)과 일체로 형성되어 있기 때문에 부품점수의 삭감을 도모할 수 있다.

또한, 이상 서술한 효과에 대해서는, 고정 측 전극(5) 또는 가동 측 전극(6) 중 어느 한쪽의 배면 측에 마련해도 얻을 수 있지만, 양 전극의 배면 측에 마련하는 편이 양 전극의 변형을 상보(相補)할 수 있어, 상대 측 전극으로의 조화가 더욱 개선되기 때문에, 보다 한층 높은 효과를 얻을 수 있다.

실시형태 2.

도 4의 (a), (b)는 본 발명의 실시형태 2에 관한 진공밸브의 고정 측 전극 주변의 확대 평면도 및 확대 단면도이다. 본 실시형태에 관한 진공밸브는 전극 주변의 부품 이외는 실시형태 1과 동일하기 때문에, 이 부분 이외의 설명에 대해서는 생략한다. 실시형태 1에서는 고정 측 전극(5)의 접촉부(5d)의 배면 측에 돌기부(5e)를 형성하고 있었지만, 본 실시형태에서는, 고정 측 전극(5)과는 별도의 부재의 링(12)을 고정 측 전극(5)의 배면 측에서 고정 측 전극(5)과 보강판(11)과의 사이에 배치하고 있는 점이 차이가 난다.

고정 측 전극(5)과는 별도의 부재로 한 것에 의해, 필요로 하는 강성에 따라서 임의의 재료를 선정하는 것이 가능하게 된다. 보강판(11)으로서는 오스테나이트계 스테인리스가, 전극(5, 6)의 재료로서는 동크롬계 합금이 각각 일반적으로 사용되고 있지만, 이들 재료보다도 강성이 작은 것으로서, 예를 들면 무산소동을 사용하는 것도 가능하게 되며, 이것에 의해 전극(5)의 블레이드 부분(5b)을 상대방 전극의 표면형상에 의해 충실히 조화롭게 하도록 하는 것이 가능하게 된다.

링(12)의 형상으로서는 도 5에 나타내는 통상의 링(12a)은 조립성, 제작성의 관점으로부터 바람직하다. 그러나, 12a의 형상을 가지는 것을 전극(5, 6)의 배면 측에 납땜에 의해 고정하면, 스파이럴 형상을 가지는 슬릿(5a)에 의해서 분단되어 있는 인접하는 블레이드 부분(5b)끼리를 이 링(12a)에서 단락해 버려, 인접하는 블레이드 부분(5b)을 지나가는 누설 전류가 크게 되기 때문에, 블레이드 부분(5b)을 둘레방향으로 흐르는 전류값의 저하 및 그에 근거하는 자장의 저하를 일으켜, 아크에 대한 구동력이 저하하는 것이 문제가 된다.

그래서, 도 6에 나타내는 링(12b)을 이용하여, 블레이드 부분(5b)의 배면 측은 링(12a)과 같은 폭이지만, 슬릿부(5a)의 배면 측은 그것보다도 폭이 좁은 부분(12c)을 형성하여 이 부분의 저항값을 상승시킴으로써, 인접하는 블레이드 부분(5b)을 지나가는 누설 전류의 저감을 도모하여, 차단성능을 개선하는 것을 이용해도 된다. 혹은 도 7에 나타내는 링(12d)과 같이, 슬릿부(5a)의 배면 측은 두께가 얇아지도록 형성된 12e(도 7의 (b)의 단면 D-D 참조)를 가지는 것이라도, 마찬가지로 12e 부분의 저항값을 상승시킬 수 있기 때문에, 누설 전류를 작게 할 수 있어 차단성능 개선에는 기여할 수 있다.

또한 이상적으로는, 둘레방향으로 분단된 것으로서, 블레이드 부분의 배면 측만 원호 모양의 부품을 이용하는 것으로 하면, 부품점수가 증가하게 되지만 인접하는 블레이드 부분(5b) 사이의 저항값을 가장 크게 하는 것이 가능하다. 상기 어느 경우라도, 조립 작업성 개선을 위해서 고정 측 전극(5) 또는 보강판(11) 중 어느 한쪽 또는 양측에 링(12a, 12b, 12d)과의 위치결정용의 단차부를 형성해도 된다.

이상과 같이 본 실시형태에 관한 진공밸브에 의하면, 전극(5)과 보강판(11)과의 사이에 양자에 고정된 링(변형흡수부재)(12)을 마련했기 때문에, 차단기를 투입했을 때, 양 전극(5, 6)이 충돌하는 것에 의한 기계적 충격력에 의해, 이 변형흡수부재(12)를 압축하거나, 또는 굽힘변형시킴으로써, 전극(5)의 블레이드 부분(5b)의 변형을 흡수하여, 부분적으로 휘게 하는 것이 가능하게 되기 때문에, 고정 측과 가동 측에서 서로 상대방의 전극의 표면형상에 조화되도록 전극(5)을 변형시킬 수 있다. 따라서, 블레이드 부분(5b)의 복수 매에 걸쳐서 복수 개소의 접촉부를 얻는 것이 안정적으로 가능하게 되어, 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있다.

또, 전극(5, 6) 사이의 전자반발력은 통전 전류의 대략 자승에 비례하여 크게 되는바, 상기에 나타낸 바와 같이 양 전극(5, 6) 사이를 조화되기 쉽게 하여 접촉 개소를 증대할 수 있어, 통전 전류를 분류할 수 있기 때문에, 양 전극 사이의 전자반발력 저감이 도모할 수 있음으로써 발호현상을 억제할 수 있다. 이것에 의해 단시간의 대전류 통전 후 또는 대전류 투입 후의 용착을 떼어내는 힘의 저감을 도모할 수 있기 때문에, 차단기의 조작기구 및 조작력 전달기구의 간소화하여, 소형화할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 관한 진공밸브에 의하면, 링(변형흡수부재)(12)은 접촉부(5d)에 대응하는 배면 측에 마련되어 있음으로써, 차단기 투입시의 기계적 충격에 의한 압축력을 직접적으로 받게 되기 때문에, 링(변형흡수부재)(12)이 압축되기 쉬워져, 전극의 블레이드 부분(5b)이 보다 상대방의 가동 측 전극(6)의 형상에 충실히 조화되기 쉬워지게 되기 때문에, 더욱 접촉저항의 개체차를 작게 할 수 있다.

본 실시형태에 관한 진공밸브에 의하면, 링(변형흡수부재)(12)은 전극(5)과는 별도의 부재로서 구성되어 있기 때문에, 필요로 하는 강성에 따라서 임의의 재료를 선정하는 것이 가능하게 되어, 설계 자유도가 향상하는 이점이 있다.

또, 링(변형흡수부재)(12b, 12d)은 슬릿(5a)의 배면 측에 폭이 좁은 부분(12c) 혹은 두께가 얇은 부분(12e)이 형성되며, 전극(5)의 블레이드 부분(5b)과 고정되지 않는 부분의 저항값이 블레이드 부분(5b)과 고정된 부분의 저항값과 비교해서 크기 때문에, 인접하는 블레이드 부분(5b)을 지나가는 누설 전류의 저감을 도모하여, 아크전류에 작용하는 구동력 저하를 억제함으로써, 차단성능 개선을 도모할 수 있다.

1 절연원통 2 고정 측 단부판
3 가동 측 단부판 5 고정 측 전극
5a 슬릿 5b 블레이드 부분
5d 접촉부 5e 돌기부(변형흡수부재)
6 가동 측 전극 8 벨로우즈
10 보강판 11 보강판
12 링(변형흡수부재) 12a 링(변형흡수부재)
12b 링(변형흡수부재) 12c 폭이 좁은 부분
12d 링 12e 두께가 얇은 부분

Claims (5)

1. 진공용기와,
   상기 진공용기 내에서 접리(接離) 가능에 대향하여 배치된 한 쌍의 전극과,
   상기 한 쌍의 전극이 대향하는 대향면의 배면 측에 배치된 보강판과,
   상기 전극과 상기 보강판과의 사이에 마련된, 상기 전극의 변형흡수부재를 구비한 진공밸브에 있어서,
   상기 변형흡수부재는 상기 전극의 배면 측에 형성된 돌기부인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
2. 진공용기와,
   상기 진공용기 내에서 접리 가능에 대향하여 배치된 한 쌍의 전극과,
   상기 한 쌍의 전극이 대향하는 대향면의 배면 측에 배치된 보강판과,
   상기 전극과 상기 보강판과의 사이에 마련된, 상기 전극의 변형흡수부재를 구비한 진공밸브에 있어서,
   상기 변형흡수부재는 링 형상인 것을 특징으로 하는 진공밸브.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 전극은 외형이 스파이럴(spiral) 형상 또는 원형 형상으로서 슬릿을 마련하여 둘레방향으로 연장하는 블레이드(blade) 부분이 형성된 것을 특징으로 하는 진공밸브.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 변형흡수부재는 상기 전극의 상기 블레이드 부분과 고정되지 않는 부분의 저항값이 상기 블레이드 부분과 고정된 부분의 저항값과 비교해서 큰 것을 특징으로 하는 진공밸브.
5. 삭제

Images