CN103518247B - 真空阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能在不增加零件数的情况下简单地安装引导件且可使全长缩短的真空阀。真空阀包括：绝缘筒；固定侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的一端侧；可动侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的另一端侧；固定侧电极棒，其安装于所述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；可动侧电极棒，其与所述固定侧电极棒同轴配置，且设有与所述固定侧电极相对的可动侧电极，所述可动侧电极棒隔着波纹管支承在所述可动侧凸缘上；波纹管盖，其安装在所述可动侧电极棒上，并将所述波纹管覆盖，其中，所述波纹管盖的中心部呈筒状而向与所述可动侧电极相反的方向伸长，在所述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件。

Description

真空阀

技术领域

本发明涉及一种具有能自由接触、分离地安装在例如真空容器内的固定侧电极和可动侧电极的真空阀。

背景技术

以往的真空阀是在以氧化铝陶瓷这样的绝缘物作为材质的圆筒状的绝缘容器两端形成有喷镀金属层（日文：メタライズ層），为了将容器内气密地保持在高真空下，通过钎焊将金属凸缘固定安装在上述喷镀金属层上。

在固定安装于绝缘容器两端的金属凸缘上，以在同轴上相对的方式分别安装有固定侧电极棒和可动侧电极棒，在各电极棒的相对面上分别固定安装有固定侧电极和可动侧电极。

另外，虽然在可动侧电极棒与金属凸缘之间设置有波纹管来使可动侧电极在保持气密的同时能在绝缘容器的轴心上移动，但是，在可动侧电极棒上固定安装有为了防止波纹管受到电流切断时产生的电弧污染损坏而设置的伞状的波纹管盖，并将波纹管安装在波纹管盖和可动侧凸缘之间。

另外，在绝缘容器内部以环绕相对的电极的方式设置有电弧屏蔽部，从而防止绝缘容器的内沿面受到电流切断时产生的电弧污染损坏。

在可动侧金属凸缘固定安装有引导件安装板，在引导件安装板上利用螺钉安装有与可动侧电极棒嵌合的引导件。该引导件由通过螺纹紧固的螺纹紧固部分与在轴向上延伸的可动侧电极棒间的滑动部分构成，其起到使可动侧电极棒能实现沿中心轴进行打开、关闭的轴承的作用（参照专利文献1）。

另外，也存在如专利文献2那样利用引导件按压部对引导件进行保持的例子。在这种情况下，可动侧电极棒安装在端板上，并具有由绝缘材料构成的引导件，以防止上述可动侧电极棒滑动，具有圆板上的引导件按压部，以对上述引导件进行固定。在装入引导件后，利用激光焊接将引导件按压部焊接到端板上。

在专利文献3中，将引导件安装于可动侧电极棒，引导件的另一端被真空断路器的可动侧导体夹持，从而防止引导件脱落，将滑动部作为可动侧金属端板的端部及引导件，并使可动侧金属端板具有轴承功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5－314870号公报

专利文献2：日本特开昭58－169830号公报

专利文献3：日本特开2005－339865号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在上述专利文献1及专利文献2记载的现有的真空阀的引导件的安装方法中，需要螺钉及引导件安装板或是引导件按压部这样的引导件安装用构件，存在导致零件数增加这样的问题。

另外，若着眼于引导件的安装作业，则由于需要进行螺纹紧固、激光焊接，不仅使作业时间增加，而且为了通过激光焊接来安装引导件，需要昂贵的激光焊接设备，因此，存在导致制造成本增加这样的问题。

另外，在上述专利文献3记载的真空阀的引导件安装方法中，为了利用可动侧主电路端子来防止引导件下落，即使在接通状态下，也需要使引导件的一端突出到可动侧凸缘外，而与可动侧主电路端子接触，因此，其结果是，存在使真空阀的全长增长这样的问题。

本发明为解决上述技术问题而作，其目的在于提供一种能在不增加零件数的情况下简单地安装引导件且能使全长缩短的真空阀。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的真空阀包括：绝缘筒；固定侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的一端侧；可动侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的另一端侧；固定侧电极棒，其安装于上述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；可动侧电极棒，其与上述固定侧电极棒同轴配置，且设有与上述固定侧电极相对的可动侧电极，该可动侧电极棒隔着波纹管支承在上述可动侧凸缘上；波纹管盖，其安装在上述可动侧电极棒上，并将上述波纹管覆盖，其中，上述波纹管盖的中心部呈筒状而向与上述可动侧电极相反的方向伸长，在上述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件。

另外，本发明的真空阀包括：绝缘筒；固定侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的一端侧；可动侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的另一端侧；固定侧电极棒，其安装于上述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；可动侧电极棒，其与上述固定侧电极棒同轴配置，且设有与上述固定侧电极相对的可动侧电极，上述可动侧电极棒隔着波纹管支承在上述可动侧凸缘上；波纹管盖，其安装在上述可动侧电极棒上，并将上述波纹管覆盖，其中，上述波纹管盖的中心部呈筒状而向与上述可动侧电极相反的方向伸长，在上述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，上述可动侧凸缘的中心部呈筒状而在上述引导件的外表面上向上述可动侧电极方向伸长，通过使上述可动侧凸缘的筒形状部的内表面与上述引导件的外表面接触，使上述可动侧凸缘具有轴承功能。

另外，本发明的真空阀包括：绝缘筒；固定侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的一端侧；可动侧凸缘，其安装在上述绝缘筒的另一端侧；固定侧电极棒，其安装于上述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；可动侧电极棒，其与上述固定侧电极棒同轴配置，且设有与上述固定侧电极相对的可动侧电极，上述可动侧电极棒隔着波纹管支承在上述可动侧凸缘上；波纹管盖，其安装在上述可动侧电极棒上，并将上述波纹管覆盖，其中，上述波纹管盖的中心部呈筒状而向与上述可动侧电极相反的方向伸长，在上述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，上述可动侧凸缘由可动侧端部配件和可动侧端板构成，其中，上述可动侧端部配件安装在上述绝缘筒的另一端侧，上述可动侧端板安装于上述可动侧端部配件，且隔着上述波纹管对上述可动侧电极棒进行支承，上述可动侧端板的中心部呈筒状而在上述引导件的外表面上向上述可动侧电极方向伸长，通过使上述可动侧端板的筒形状部的内表面与上述引导件的外表面接触，使上述可动侧端板具有轴承功能。

发明效果

采用根据本发明的真空阀，波纹管盖的中心部呈筒状而向与可动侧电极相反的方向伸长，在波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，从而能够获得不增加零件数且可使全长缩短的真空阀。

附图说明

图1是表示本发明实施方式1的真空阀的示意剖视图。

图2是表示本发明实施方式1的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合状态的结构图。

图3是表示本发明实施方式1的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合部的放大图。

图4是表示本发明实施方式2的真空阀中的引导件和可动侧凸缘的示意图。

图5是表示本发明实施方式3的真空阀中的引导件和可动侧凸缘的另一例的示意图。

图6是表示本发明实施方式4的真空阀的示意剖视图。

图7是表示本发明实施方式5的真空阀中的波纹管盖和引导件的示意图。

图8是表示本发明实施方式6的真空阀的示意剖视图。

图9是表示本发明实施方式6的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合状态的结构图。

图10是本发明实施方式6的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合部的放大图。

图11是表示本发明实施方式7的真空阀的示意剖视图。

具体实施方式

实施方式1

以下，基于图1至图3对本发明实施方式1进行说明，在各图中，对于相同或相当的构件和部位，标注相同的符号来进行说明。图1是表示本发明实施方式1的真空阀的示意剖视图。图2是表示本发明实施方式1的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合状态的结构图。图3是本发明实施方式1的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合部的放大图。

真空阀为了形成容器且将内部气密地保持在高真空下，而在以氧化铝陶瓷等绝缘物为材质的圆筒状的绝缘筒1的两端侧安装有以不锈钢等金属为材质的固定侧凸缘2和可动侧凸缘3，通过真空钎焊将上述固定侧凸缘2和可动侧凸缘3以与绝缘筒1同轴的方式固定安装在形成于绝缘筒1两端侧的喷镀金属层4上。

在固定安装于绝缘筒1的一端侧的固定侧凸缘2上固定安装有固定侧电极棒5，在固定安装于绝缘筒1的另一端侧的可动侧凸缘3上，隔着波纹管7安装有可动侧电极棒6。波纹管7的一端侧与可动侧凸缘3固定安装，可动侧电极棒6通过波纹管盖8而与波纹管7的另一端侧固定安装，其中，设置上述波纹管盖8的目的是为了防止波纹管7受到电流切断时产生的电弧污染损坏。

在固定侧电极棒5与可动侧电极棒6相对的相对面上，分别固定安装有固定侧电极9及可动侧电极10，由于可动侧电极9所固定安装的可动侧电极棒6隔着波纹管7安装在可动侧凸缘3上，因此，可动侧电极9能在保持气密的情况下，在绝缘筒1的轴心上与固定侧电极9自由接触、分离。

除此之外，在绝缘筒1的内沿面以将相对配置的固定侧电极9和可动侧电极10环绕的方式设置有电弧屏蔽部11，该电弧屏蔽部11的目的是为了防止绝缘筒1的内沿面受到电流切断时在电极间产生的电弧污染损坏。

如上所述，波纹管7通过波纹管盖8固定安装在可动侧电极棒6上。如图2所示，波纹管盖8的中心部呈筒状，形成有例如圆筒形状的圆筒形状部8a而向与电极相反的方向伸长。波纹管盖8的圆筒形状部8a的顶端侧被折弯，沿圆周方向形成凸部8b。另一方面，可动侧凸缘3的中心部呈筒状，形成有例如圆筒形状的圆筒形状部3a而向电极方向伸长。

由热塑性合成树脂等构成的引导件12形成为例如圆筒形状，在引导件12的内表面设置有凹部12a。利用具有弹性的带状构件加工成波纹管盖8，通过将引导件12压入波纹管盖8，来使引导件12的凹部12a与波纹管盖8的凸部8b嵌合，从而能够将引导件12安装于波纹管盖8。此时，为了易于将引导件12压入波纹管盖8，如图2所示，可以在引导件12的顶端侧设置锥形部12b。

在波纹管盖8中，也可以只设置圆筒形状部8a，并利用粘接剂等将引导件12安装于波纹管盖8。但是，如图3所示，在将波纹管盖8的厚度设定为t，将波纹管盖8的凸部8b的突出尺寸设定为a，将引导件12的凹部12a的深度尺寸设定为b时，通过将各尺寸设定为b＞a＋t，就能够在将真空阀装入到真空断路器主体内时，实现防止因打开关闭动作而使引导件脱落、下落。

通过使可动侧凸缘3的圆筒形状部3a与安装于波纹管盖8的引导件12接触，可动侧凸缘3的圆筒形状部3a和引导件12便成为滑动部，从而能够使可动侧凸缘3具有轴承功能。

在本实施方式1中，通过在波纹管盖8中设置凸部8b，能够将引导件12安装于波纹管盖8，从而不需要将引导件安装板等构件固定安装于可动侧凸缘3，能够削减零件数。

另外，在将引导件12安装于波纹管盖8时，仅将引导件12压入波纹管盖8即可，能够避免通过螺钉进行的引导件的紧固作业及激光焊接等复杂的作业，从而能够缩短引导件的安装作业时间。由于图2所示的波纹管盖8能够通过冲压加工来制造，因此，能够将零件单价抑制得较便宜。

除此之外，由于将引导件12安装于波纹管盖8，且使具有轴承功能的可动侧凸缘3的圆筒形状部3a向电极方向伸长，因此，在断路状态下，也能在不使引导件12朝可动侧凸缘3的外部突出的情况下，使可动侧电极棒6与绝缘筒1的轴心平行地动作，因此，能够缩短真空阀的全长。

通过如上所述的零件数的削减、引导件安装作业的简化、波纹管盖8的制造容易性的提高、真空阀全长的缩短，能够削减真空阀的成本。

实施方式2

基于图4，对本发明实施方式2进行说明。图4是表示本发明实施方式2的真空阀中的引导件和可动侧凸缘的示意图。

在本发明实施方式2中，如图4所示，在可动侧凸缘3的筒形状部3a上设置有缺口部3b，在引导件12的外表面设置有与缺口部3b卡合的凸部12c，从而能够避免可动侧电极棒6与波纹管盖8的转动，并能够防止波纹管7扭转。另外，在图4中，对可动侧凸缘3的筒形状部3a的缺口部3b和引导件12的凸部12c均设置1处的情况进行了说明，但也可以设置2处以上，这点是不言自明的。

实施方式3

基于图5，对本发明实施方式3进行说明。图5是表示本发明实施方式3的真空阀中的引导件和可动侧凸缘的示意图。

在本发明实施方式3中，与上述实施方式2相同，为了避免可动侧电极棒6与波纹管盖8的转动而防止波纹管7扭转，如图5所示，可动侧凸缘3的筒形状部3c形成为多边管形状，将引导件12的外周面形成为多边形，以嵌合在多边管形状部3c内。

图5所示的引导件12的外表面和可动侧凸缘3的多边管形状部3c为六边形，但也可以是除六边形以外的多边形，这点是不言自明的。

实施方式4.

基于图6，对本发明实施方式4进行说明。图6是表示本发明实施方式4的真空阀的示意剖视图。

如图6所示，符号1、2、4～12为与上述实施方式1相同的结构。与上述实施方式1中的可动侧凸缘3相对的是，本实施方式4中的可动侧凸缘13由可动侧端部配件14和可动侧端板15构成，其中，上述可动侧端部配件14安装在绝缘筒1的另一端侧的喷镀金属层4上，上述可动侧端板15安装在可动侧端部配件14上，并通过波纹管7对可动侧电极棒6进行支承，可动侧端板15的中心部呈筒状而形成例如圆筒形状部15a，在引导件12的外表面上向可动侧电极方向伸长，通过使可动侧端板15的圆筒形状部15a的内表面与引导件12的外表面接触，使可动侧端板15具有轴承功能。

形成为这种结构的理由是为了提高可动侧端部的机械强度。例如，为了提高上述实施方式1中的可动侧凸缘3的端板部分（波纹管7的固定安装部分）的机械强度，虽然只要增加整个凸缘的板厚即可，但由于绝缘筒1与可动侧凸缘3的热膨胀系数不同，因此，越是增加板厚，在真空钎焊时在绝缘筒1上产生的应力就越大，从而有可能使绝缘筒1产生断裂。

因此，在本实施方式4中，形成为如下结构：通过将可动侧端部配件14固定安装在喷镀金属层4上，且将波纹管7的接合部件变更为可动侧端板15，从而来改变可动侧端板15的板厚，以实现机械强度的提高。若增加可动侧端板15的板厚，则圆筒形状部15a的板厚也增加，而使滑动部的机械强度也得到提高，并能够实现可动侧端部的机械寿命的延长，从而能够获得也可应用在多频度开关用真空断路器中的真空阀。

实施方式5

基于图7，对本发明实施方式5进行说明。图7是表示本发明实施方式5的真空阀中的波纹管盖和引导件的示意图。此外，图7（a）是表示真空阀中的波纹管盖和引导件的立体图，图7（b）是表示真空阀中的波纹管盖的主视图，图7（c）是表示真空阀中的引导件的主视图。

在本实施方式5中，仅在可动侧电极棒、波纹管盖和引导件的形状上与上述实施方式1有所不同，除此之外的结构与上述实施方式1相同，因此省略说明。

在将真空阀安装到真空断路器主体内时，考虑到安装的作业性，有时将可动侧电极棒6形成为多边形而不是圆柱形状。在这种情况下，如图7所示，不是在波纹管盖8上设置圆筒形状部8a，而是使波纹管盖8的中心部呈多边管形状来形成例如多边管形状部8c，并在波纹管盖8的多边管形状部8c的侧面设置凸部8d。另一方面，将引导件12的内周面形成为与波纹管盖8的多边管形状部8c相同形状的多边形部12d，在该多边形部12d的内表面设置有凹部12e，从而能够使引导件12的凹部12e与波纹管盖8的凸部8d嵌合。

通过形成如上所述的结构，能够使可动侧电极棒6与绝缘筒1的轴心平行地动作。

在图7中，波纹管盖8的多边管形状部8c为六边形，但也可以与可动侧电极棒6的形状相应地对多边管形状部8c的形状进行改变。另外，在图7中，示出了设置在波纹管盖8的多边管形状部8c的侧面的凸部8d为3处的情况，但不用说，无论设置几处均可，其能获得相同的效果。

采用本实施方式5，由于能够与上述实施方式1同样地将引导件12安装于波纹管盖8，因此，不需要将引导件安装板等构件固定安装在可动侧凸缘上，从而能够减少零件数。

另外，能够仅通过将引导件12压入波纹管盖8来将引导件12安装于波纹管盖8，因此，能够缩短引导件12的安装作业时间。

另外，图7所示的波纹管盖8也能通过冲压加工来制造，因此，能够将零件单价抑制得较便宜。

另外，由于将引导件12安装于波纹管盖8，且使具有轴承功能的可动侧凸缘3的圆筒形状部3a向电极方向伸长，因此，在断路状态下，也能在不使引导件12朝可动侧凸缘3的外部突出的情况下，实现可动侧电极棒6的轴心运动，因此，能够缩短真空阀的全长。

除此之外，通过使波纹管盖8的多边管形状部8c的形状与可动侧电极棒6的形状匹配，就能够增加波纹管盖8的多边管形状部8c与可动侧电极棒6的内接面积，从而能更有效地增强可动侧电极棒6的耐受通电时产生的电磁力的强度。

另外，也可以在装入了图7所示的波纹管盖8的基础上，如图6所示的上述实施方式4中的真空阀的示意剖视图那样，利用可动侧端部配件14和可动侧端板15来构成可动侧凸缘13，其能获得相同的效果。

实施方式6

基于图8至图10，对本发明实施方式6进行说明，在各图中，对于相同或相当的构件和部位，标注相同的符号来进行说明。图8是表示本发明实施方式6的真空阀的示意剖视图。图9是表示本发明实施方式6的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合状态的结构图。图10是本发明实施方式6的真空阀中的波纹管盖与引导件的嵌合部的放大图。

在与上述图1所示的实施方式1中的真空阀的示意剖视图进行比较的情况下，由于不同之处仅在于波纹管盖和引导件的结构，因此，省略对变更部位以外的部位的说明。

在本实施方式6中，如图8所示，波纹管盖8的中心部呈圆筒形状而形成例如圆筒形状部8a，该圆筒形状部8a向与电极相反的方向以环绕可动侧电极棒6的方式伸长。并且，将波纹管盖8的圆筒形状部8a的伸长侧前端部折回而形成折回部8e（参照图9）。

由热塑性合成树脂等构成的引导件12呈圆筒形状，如图9所示，引导件12的一端部折回而形成折回部12f。利用具有弹性的带状构件加工成波纹管盖8，通过将引导件12压入波纹管盖8，使引导件12的折回部12d与波纹管盖8的折回部8e嵌合，从而能够将引导件12安装于波纹管盖8。

如图9所示，在将波纹管盖8的厚度设定为t，将波纹管盖8的折回部8e的折回尺寸设定为A，将引导件12的折回部12f的折回尺寸设定为B，将引导件12的折回部12f的返回尺寸设定为C时，将各尺寸设定为使B＞A＋2t且B－A＞2t成立，从而实现波纹管盖8的折回部8e与引导件12的折回部12f的嵌合，此外通过使C＞t/2，能够在将真空阀装入到真空断路器主体内时，防止因打开关闭动作而引起的引导件的脱落和下落。

可动侧凸缘3的圆筒形状部3a与上述实施方式1相同，通过与安装于波纹管盖8的引导件12接触，使可动侧凸缘3的圆筒形状部3a和引导件12成为滑动部，从而能使可动侧凸缘3具有轴承功能。

在本实施方式6中，与上述实施方式1相同，由于不需要引导件安装板等构件，因此，能够减少零件数。另外，在将引导件12安装于波纹管盖8时，能够避免通过螺钉进行的引导件的紧固作业等复杂的作业，因此，能够缩短引导件的安装作业时间。图9所示的波纹管盖8也能通过冲压加工来制造，因此，能够将零件单价抑制得较为便宜。

通过将引导件12安装于波纹管盖8，在断路状态下，也能在不使引导件12朝可动侧凸缘3的外部突出的情况下，使可动侧电极棒6与绝缘筒1的轴心平行地动作，因此，能够缩短真空阀的全长。

另外，在本实施方式6中，引导件12位于被与可动侧电极棒6接近的波纹管盖8的圆筒形状部8a和可动侧凸缘3的圆筒形状部3a夹持的位置，因此，即使在使引导件12为薄壁的状态下，也能确保引导件12的强度。即，能通过薄壁化来削减引导件12的材料费。利用如上所述的零件数的削减、引导件安装作业的简化、波纹管盖8的制造容易性的提高、真空阀全长的缩短及引导件12的薄壁化，能够实现真空阀的成本削减。

由于波纹管盖8在很大范围内将可动侧电极棒6环绕，因此，作为耐受通电时产生的电磁力的加强件，能够有效地防止可动侧电极棒6的弯曲。

另外，在本实施方式6中，如图4所示，也在引导件12的外表面设置凸部12c，在可动侧凸缘3设置缺口部3b，从而能够避免可动侧电极棒6与波纹管盖8的转动，并能防止波纹管7的扭转。在图4中，引导件12的凸部12c和可动侧凸缘3的缺口部3b均为1处，但不用说也可以设置2处以上。

实施方式7

基于图11，对本发明实施方式7进行说明。图11是表示本发明实施方式7的真空阀的示意剖视图。

在本实施方式7中，如图11所示，符号1、2、4～12、8a、8e、12f是与上述实施方式6相同的结构。与上述实施方式6中的可动侧凸缘3相对的是，本实施方式7中的可动侧凸缘13由可动侧端部配件14和可动侧端板15构成，其中，上述可动侧端部配件14安装在绝缘筒1的另一端侧的喷镀金属层4上，上述可动侧端板15安装于可动侧端部配件14，且通过波纹管7对可动侧电极棒6进行支承，可动侧端板15的中心部呈筒状而形成例如圆筒形状部15a，在引导件12的外表面上向可动侧电极方向伸长，通过使可动侧端板15的圆筒形状部15a的内表面与引导件12的外表面接触，使可动侧端板15具有轴承功能。

在本实施方式7中，形成为如下结构：将可动侧端部配件14固定安装在喷镀金属层4上，将波纹管7的接合部件变更为可动侧端板15，从而改变可动侧端板15的板厚，以实现机械强度的提高。若增加可动侧端板15的板厚，圆筒形状部15a的板厚也增加，滑动部的机械强度也得到提高，并能够实现可动侧端部的机械寿命的延长，从而能够获得也可应用在多频度开关用真空断路器中的真空阀。

工业上的可利用性

本发明能够理想地实现在不增加零件数的情况下就可简单地安装引导件且可使全长缩短的真空阀。

（符号说明）

1绝缘筒

2固定侧凸缘

3可动侧凸缘

3a圆筒形状部

3b缺口部

3c多边管形状部

5固定侧电极棒

6可动侧电极棒

7波纹管

8波纹管盖

8a圆筒形状部

8b凸部

8c多边管形状部

8d凸部

8e折回部

9固定侧电极

10可动侧电极

12引导件

12a凹部

12c凸部

12e凹部

12f折回部

13可动侧凸缘

14可动侧密封配件

15可动侧端板

15a圆筒形状部

Claims (12)

1.一种真空阀，该真空阀包括：

绝缘筒；

固定侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的一端侧；

可动侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的另一端侧；

固定侧电极棒，其安装于所述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；

可动侧电极棒，其与所述固定侧电极棒同轴配置，且设有与所述固定侧电极相对的可动侧电极，所述可动侧电极棒隔着波纹管支承在所述可动侧凸缘上；

波纹管盖，其安装在所述可动侧电极棒上，并将所述波纹管覆盖，

其特征在于，

所述波纹管盖的中心部呈筒状而向与所述可动侧电极相反的方向伸长，在所述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，所述引导件与所述可动侧电极棒及所述波纹管盖成为一体而在所述绝缘筒的轴心方向上移动。

2.一种真空阀，该真空阀包括：

绝缘筒；

固定侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的一端侧；

可动侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的另一端侧；

固定侧电极棒，其安装于所述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；

可动侧电极棒，其与所述固定侧电极棒同轴配置，且设有与所述固定侧电极相对的可动侧电极，所述可动侧电极棒隔着波纹管支承在所述可动侧凸缘上；

波纹管盖，其安装在所述可动侧电极棒上，并将所述波纹管覆盖，

其特征在于，

所述波纹管盖的中心部呈筒状而向与所述可动侧电极相反的方向伸长，在所述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，所述引导件与所述可动侧电极棒及所述波纹管盖成为一体而在所述绝缘筒的轴心方向上移动，所述可动侧凸缘的中心部呈筒状而在所述引导件的外表面上向所述可动侧电极方向伸长，通过使所述可动侧凸缘的筒形状部的内表面与所述引导件的外表面接触，使所述可动侧凸缘具有轴承功能。

3.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为圆筒形状，在所述波纹管盖的圆筒形状部的侧面设置有凸部，在所述引导件设置有凹部，所述引导件的凹部与所述波纹管盖的凸部嵌合。

4.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

在所述可动侧凸缘的筒形状部设置有缺口部，在所述引导件的外表面设置有与所述缺口部卡合的凸部。

5.如权利要求4所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为多边管形状，在所述波纹管盖的多边管形状部的侧面设置有凸部，在所述引导件设置有凹部，所述引导件的凹部与所述波纹管盖的凸部嵌合。

6.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述可动侧凸缘的筒形状部形成为多边管形状，将所述引导件的外周形成为多边形，以嵌合到所述多边管形状部内。

7.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为多边管形状，在所述波纹管盖的多边管形状部安装有由绝缘物构成的引导件。

8.如权利要求2所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为圆筒形状，所述波纹管盖的圆筒形状部的伸长侧前端部折回，所述引导件的一端部也折回，所述引导件的折回部与所述波纹管盖的折回部嵌合。

9.一种真空阀，该真空阀包括：

绝缘筒；

固定侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的一端侧；

可动侧凸缘，其安装在所述绝缘筒的另一端侧；

固定侧电极棒，其安装于所述固定侧凸缘，并设置有固定侧电极；

可动侧电极棒，其与所述固定侧电极棒同轴配置，且设有与所述固定侧电极相对的可动侧电极，所述可动侧电极棒通过波纹管支承在所述可动侧凸缘上；

波纹管盖，其安装在所述可动侧电极棒上，并将所述波纹管覆盖，

其特征在于，

所述波纹管盖的中心部呈筒状而向与所述可动侧电极相反的方向伸长，在所述波纹管盖的筒形状部安装有由绝缘物构成的引导件，所述引导件与所述可动侧电极棒及所述波纹管盖成为一体而在所述绝缘筒的轴心方向上移动，

所述可动侧凸缘由可动侧端部配件和可动侧端板构成，其中，所述可动侧端部配件安装在所述绝缘筒的另一端侧，所述可动侧端板安装于所述可动侧端部配件，且隔着所述波纹管对所述可动侧电极棒进行支承，所述可动侧端板的中心部呈筒状而在所述引导件的外表面上向所述可动侧电极方向伸长，通过使所述可动侧端板的筒形状部的内表面与所述引导件的外表面接触，使所述可动侧端板具有轴承功能。

10.如权利要求9所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为圆筒形状，在所述波纹管盖的圆筒形状部的侧面设置有凸部，在所述引导件设置有凹部，所述引导件的凹部与所述波纹管盖的凸部嵌合。

11.如权利要求9所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为多边管形状，在所述波纹管盖的多边管形状部安装有由绝缘物构成的引导件。

12.如权利要求9所述的真空阀，其特征在于，

所述波纹管盖的中心部形成为圆筒形状，所述波纹管盖的圆筒形状部的伸长侧前端部折回，所述引导件的一端部也折回，所述引导件的折回部与所述波纹管盖的折回部嵌合。