JP2011258320A - 真空バルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁容器1の可動側端部に接続する可動側端板5の内側に、円筒状の金属製ベローズシールド金具10を接合する。これにより、電極を開極する時に可動側電極9と固定側電極8から周辺に飛散し、アークシールド11に沿って降下する金属スパッタによるベローズ7の汚損を防止し、ベローズ7の耐久性を確保する。
【選択図】図1
Description
絶縁容器の両端に固着された金属端板にはそれぞれ固定側電極棒、可動側電極棒が同軸上に対向して取り付けられており、各電極棒の対向面にはそれぞれ固定側電極と可動側電極が固着されている。
円筒状の絶縁容器と、
この絶縁容器の一端部に接合されて絶縁容器の内部を真空に封止する固定側端板と、絶縁容器の軸方向中央に向かって伸びる固定側電極棒と、
絶縁容器の他端部に絶縁容器と同軸に接合された可動側端板と、
可動側端板に開けた穴を進退可能に貫通して絶縁容器の軸方向中央に向かって伸びる可動側電極棒と、
固定側電極棒の可動側電極棒と対向する端面に取り付けた固定側電極と、
可動側電極棒の固定側電極棒と対向する端面に取り付けた可動側電極と、
絶縁容器の内周面に支持されて、可動側電極と固定側電極の周囲を取り囲むように設けたアークシールドと、
可動側端板に開けた穴の縁に一端を固定し、可動側電極棒を取り囲んで絶縁容器の軸方向中央に向かって伸縮し、他端が可動側電極棒の周囲に接合されることによって絶縁容器内部と外部の気密を確保するベローズを備えた真空バルブにおいて、
可動側端板に固定されたベローズシールド部によって、ベローズが取り囲まれていることを特徴とするものである。
ベローズシールド部によって、ベローズが取り囲まれていることを特徴とするものなので、ベローズの汚損の抑制を実現できる。
この発明に係る真空バルブの実施の形態1を図を用いて説明する。
図1は、真空バルブ100の概略断面図である。図1において、絶縁容器1は、アルミナセラミック等の絶縁物を材質とする円筒状の容器である。絶縁容器1の両端部には薄いメタライズ層2を設けている。固定側端板3はフランジ形状をしたステンレス鋼等の金属製の蓋であって、絶縁容器1と同軸の側面部3aと、絶縁容器1の端部を外部と封止するための端面部3bで構成されている。そして、この固定側端板3が、絶縁容器1の一端のメタライズ層2に真空ロウ付けによって固着されている。
絶縁容器1の他端には、先に説明した固定側端板3とほぼ同形状をした可動側端板5が固定されている。この可動側端板5の端面部5bにも中心に穴が開いていて、この穴を貫通して可動側電極棒6が絶縁容器1と同軸に、絶縁容器の中心に向かって挿入されている。可動側電極棒6は、電極の開閉に応じて図1上下方向に動く。したがって、この可動側電極棒6は可動側端板5の端面部5bには固定されていない。
固定側電極棒4及び可動側電極棒6の対向する面にはそれぞれ固定側電極8と可動側電極9が固定されている。可動側電極棒6が移動することにより、閉極、開極することができる。
図2に示すように、可動側電極棒6の外径をr、アークシールドしぼり部11aの内径をR、ベローズシールド金具10の端面シールド部10bの穴の直径をφとすると、φはr<φ<Rである。また、アークシールド11における金属スパッタの跳ね返り、および真空バルブ100製作時における軸ずれを考慮し、φはφ≧r+2mmであることが望ましい。
また、図3に示すようにベローズシールド金具10の側面シールド部10aに段部10cを設けることで絶縁容器1内面とベローズシールド金具10との間隔を大きくとることができる。これによって、絶縁容器1内面とベローズシールド金具10間の等電位線の間隔を広げることができ、容器内の可動側の電界をより緩和することが可能となる。
このような構造のベローズシールド金具10を使用すると、テーパ形状部10dに飛散した金属スパッタが、下方、すなわち可動側端板5の方向に落ちていくため真空バルブ100の動作時における金属スパッタの浮上を抑制できる。これにより真空バルブ100の動的耐電圧性能の向上させることができる。
特にベローズ7の汚損抑制に関しては、従来のベローズ保護具とは異なり、ベローズシールド金具10の側面シールド部10aおよび端面シールド部10bがベローズ7全面を囲繞しているため、アーク発生時に飛散した金属スパッタがベローズ7に付着する確率を飛躍的に低減でき、ベローズ7の真空劣化に対する信頼性を向上させることができる。また、ベローズ7の谷部に金属スパッタが付着する確率も飛躍的に低減できることから、多頻度開閉用真空バルブへの適用に優れた効果を発揮する。
また、1つの部品にメタライズ層近傍の電界緩和機能とベローズ7の汚損抑制機能を持たせたことで、部品点数を削減することが可能となる。更に、ベローズシールド金具10は、プレス加工によって製作可能であるため部品コストは割安で、真空バルブ100全体のコスト削減に貢献できる。
この発明の実施形態2を図を用いて実施の形態1と異なる部分を中心に説明する。
図5は、この実施の形態に係る真空バルブ200の概略断面図である。
実施の形態1では可動側端板5自体を絶縁容器1の端部に設けたメタライズ層2とベローズ7の端部に接続することにより絶縁容器1を密閉していた。この実施の形態では、側面部2051、端面部2052、ベローズシールド部2053をフランジ状部材2050として一体成型し、絶縁容器1の密閉は、端面部2052とベローズ7の端部間を密閉する円環状の気密保持板2060を使用している。
この2つの部品を組み合わせることにより、実施の形態1の可動側端板5とベローズシールド金具10の組合せと同様の効果を奏する。
これ以外の構成は実施の形態1と同様なので省略する。
しかし、絶縁容器1と端板には熱膨張係数に差があるため、板厚を上げるほど真空ロウ付け時に絶縁容器1に発生する応力が増大し、絶縁容器1に割れが生じる危険があった。 そこで、本実施の形態では、フランジ状部材2050を一体成形してその端部にフランジ形状部を設け、ベローズ7の接合部分を気密保持板2060に変更したことで気密保持板2060の板厚を変更可能としてベローズ7の接合部の機械的強度の向上が図れる構造とした。
また、実施の形態1と同様に可動側電極棒6の外径をr、アークシールド11のしぼり部11aの内径をR、端面シールド部2053bの穴の直径をφとした場合、φは、r<φ<Rであること、また、φはφ≧r+2mmであることが望ましい。
また、実施の形態1と同様、図6に示すようにベローズシールド部2053の側面シールド部2053aに段部2053cを設けたり、図7に示すように側面シールド部2053aにテーパ形状部2053dを設けて絶縁容器1内面とベローズシールド部2053との間隔を広くし、絶縁容器1の可動側端部の電界緩和が図れる構造としても良い。
また、1つの部品であるフランジ状部材2050にメタライズ層2近傍の電界緩和機能とベローズ7の汚損抑制機能を持たせたことで、部品点数を削減することが可能となる。
また、フランジ状部材2050は、構造上プレス加工によって容易に製作可能であるため、部品コストは割安であり、真空バルブ200全体の製造コストの削減に繋がる。
また、この実施の形態2で示した構造としたことにより、可動側端部の機械的強度をフレキシブルに向上させることが可能となる。
更に、フランジ状部材2050と機密保持板のロウ付け部の状態を外部から視認できるので、組み立て完成後の真空バルブ200の品質を均一に確保できる。
3 固定側端板、3a 側面部、3b 端面部、4 固定側電極棒、
5 可動側端板、5a 側面部、5b 端面部、6 可動側電極棒、
7 ベローズ、8 固定側電極、9 可動側電極、
10 ベローズシールド金具、10a 側面シールド部、
10b 端面シールド部、10c,2053c 段部、
10d,2053d テーパ形状部、11 アークシールド、11a しぼり部、
2050 フランジ状部材、2051 側面部、2052 端面部、
2053 ベローズシールド部、2053a 側面シールド部、
2053b 端面シールド部、2060 気密保持板。
Claims (8)
- 円筒状の絶縁容器と、
この絶縁容器の一端部に接合されて前記絶縁容器の内部を真空に封止する固定側端板と、前記絶縁容器の軸方向中央に向かって伸びる固定側電極棒と、
前記絶縁容器の他端部に前記絶縁容器と同軸に接合された可動側端板と、
前記可動側端板に開けた穴を進退可能に貫通して前記絶縁容器の軸方向中央に向かって伸びる可動側電極棒と、
前記固定側電極棒の前記可動側電極棒と対向する端面に取り付けた固定側電極と、
前記可動側電極棒の前記固定側電極棒と対向する端面に取り付けた可動側電極と、
前記絶縁容器の内周面に支持されて、前記可動側電極と前記固定側電極の周囲を取り囲むように設けたアークシールドと、
前記可動側端板に開けた穴の縁に一端を固定し、前記可動側電極棒を取り囲んで前記絶縁容器の軸方向中央に向かって伸縮し、他端が前記可動側電極棒の周囲に接合されることによって前記絶縁容器内部と外部の気密を確保するベローズを備えた真空バルブにおいて、
前記可動側端板に固定されたベローズシールド部によって、前記ベローズが取り囲まれている真空バルブ。 - 前記絶縁容器は両端面にメタライズ層を有し、前記ベローズシールド部は前記可動側端板と同電位にあることを特徴とする請求項1に記載の真空バルブ。
- 前記ベローズシールド部は円筒形状である請求項1又は請求項2に記載の真空バルブ。
- 前記ベローズシールド部は、円筒状の側面シールド部と、
この側面シールド部の前記絶縁容器の中央側端部を、前記絶縁容器の径方向内側に曲折して構成され、前記可動側電極棒が進退可能に貫通する環状の端面シールド部とで構成する請求項3に記載の真空バルブ。 - 前記可動側端板は、
前記絶縁容器の端部に前記絶縁容器の軸方向に突出するよう接合した端板側面部と、
前記端板側面部が概略直角に前記絶縁容器の径方向内側に折曲して形成する端板端面部と、前記端板端面部が更に前記固定電極棒方向に概略直角に折曲して形成する前記ベローズシールド部とが一体として成型されたフランジ状部材及び、
前記端板端面部と、前記ベローズの前記可動側電極から遠い方の端部に接続して前記絶縁容器の気密を確保する環状の気密保持板からなる請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の真空バルブ。 - 前記アークシールド端部内径をR、前記端面シールド部の穴の内径をφ、前記端面シールド部の穴の内周面が対向する前記可動側電極棒の外径をrとするとき、r<φ<Rかつφ≧r+2mmが成立する請求項4又は請求項5に記載の真空バルブ。
- 前記ベローズシールド部は、段差であって、この段差を挟んで前記可動側電極側の内径が小さくなる段差を有する請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の真空バルブ。
- 前記ベローズシールド部は、テーパ形状部であって、前記可動側電極側の内径が次第に小さくなるテーパ形状部を有する請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載の真空バルブ。
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