JP5530233B2 - シーリング装置 - Google Patents

Description

本発明は、シーリング装置に関する。

最近、ディスプレイ装置は、携帯が可能な薄型の平板表示装置に代替される趨勢である。平板ディスプレイ装置のうちでも、電界発光ディスプレイ装置は、自発光型ディスプレイ装置であって、視野角が広く、かつコントラストにすぐれるだけではなく、応答速度が速いという長所を有し、次世代ディスプレイ装置として注目されている。また、発光層の形成物質が有機物から構成される有機発光ディスプレイ装置は、無機発光ディスプレイ装置に比べて、輝度、駆動電圧及び応答速度特性にすぐれ、かつ多色化が可能であるという点を有する。

一般的な有機発光ディスプレイ装置は、一対の電極、すなわち、第１電極と第２電極との間に発光層を含んだ、少なくとも１層以上の有機層が介在された構造を有する。前記第１電極は、基板上に形成されており、正孔を注入する正極（anode）の機能を果たし、前記第１電極の上部には、有機層が形成されている。前記有機層上には、電子を注入する負極（cathode）の機能を果たす第２電極が、前記第１電極と対向するように形成されている。

かような有機発光ディスプレイ装置は、周辺環境から、水分や酸素が素子内部に流入する場合、電極物質の酸化、剥離などで素子寿命が短縮され、発光効率が低下するだけではなく、発光色の変質のような問題点が発生する。

従って、有機発光ディスプレイ装置の製造において、素子を外部から隔離し、水分が浸透できないように、密封（sealing）処理が一般的に行われている。かような密封処理方法として、一般的には、有機発光ディスプレイ装置の第２電極上部に、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）のような有機高分子をラミネートしたり、吸収剤を含む金属やガラスでカバーまたはキャップ（cap）を形成し、その内部に窒素ガスを充填させた後、前記カバーまたはキャップの枠をエポキシのような密封材でカプセル密封したりする方法が使われている。

しかし、このような方法は、外部から流入する水分や酸素などの素子破壊性因子を１００％遮断することが不可能であり、素子構造が水分に特に脆弱な能動型前面発光構造の有機発光ディスプレイ装置に適用するには不利であり、これを具現するための工程も複雑である。前記のような問題点を解決するために、密封材としてフリット（frit）を使用し、素子基板とキャップとの密着性を向上させるカプセル密封方法が考案された。

ガラス基板にフリットを塗布し、有機発光ディスプレイ装置を密封する構造を使用することによって、素子基板とキャップとの間が完全に密封されるので、さらに効果的に有機発光ディスプレイ装置を保護することができる。

フリットでもってカプセル密封する方法は、フリットをそれぞれの有機発光ディスプレイ装置のシーリング部に塗布した後、レーザ照射装置が移動し、それぞれの有機発光ディスプレイ装置のシーリング部にレーザを照射してフリットを硬化させてシーリングする。

しかし、周辺に影響を及ぼさずにフリットを溶かすために、レーザを照射して局部的に熱を加えることになれば、レーザによって加熱された部分と加熱されていない部分との間に応力が発生し、フリットと基板とに、マイクロ・クラック（micro−crack）が発生し、このマイクロ・クラックが拡大することがある。また、基板の面取り工程時に、切断面にバリ（burr）が発生する割れ不良が生じるという問題点がある。

従って、本発明の主な目的は、第１基板と第２基板とを接合するとき、応力発生を最小化させ、切断面に対する割れ不良を最小化できるシーリング装置、及びこれを利用した平板ディスプレイ装置の製造方法を提供することである。

本発明の一実施形態によるシーリング装置は、接合部材を利用し、第１基板と第２基板とを接合するシーリング装置において、前記第１基板が載置されるステージと、前記第１基板と前記第２基板との間に配される前記接合部材に光を照射するハロゲンランプと、前記ハロゲンランプから発散される光を前記接合部材に向けるように反射させる反射装置と、を具備し、前記反射装置は、前記ハロゲンランプに対して凹型に形成され、前記ハロゲンランプが放射する前記光を反射させ、前記接合部材に前記光を集光させるものであり、前記ハロゲンランプは、前記光を前記接合部材に照射しつつ、前記第１基板の一方向と交差する方向に移動する。

本発明において、前記第１基板の一方向は、前記第１基板の１辺の長手方向でありうる。

本発明において、前記ハロゲンランプは、前記第１基板の一方向と垂直な方向に移動しつつ、前記光を前記接合部材に照射することができる。

本発明において、前記ハロゲンランプの長さは、前記第１基板の一方向の長さと同じ長さを有することができる。

本発明において、前記ハロゲンランプの長さは、前記第１基板の一方向の長さよりさらに長いものでありうる。

本発明において、前記ハロゲンランプの出力は、２ないし１０ＫＷでありうる。

本発明において、前記反射装置は、前記ハロゲンランプの長さと同一であるか、あるいはさらに長く形成されうる。

本発明において、前記反射装置は、前記ハロゲンランプに対して凹型に形成され、前記ハロゲンランプが放射する前記光を反射させ、前記接合部材に前記光を集光させうる。

本発明において、前記第２基板上に配され、前記ハロゲンランプから放射された前記光のうち、前記接合部材に向かう光は透過させ、前記接合部材が塗布されていない領域に向かう光は透過させない光遮断膜をさらに具備できる。

本発明において、前記光遮断膜は、前記第２基板上に離隔されて配されうる。

本発明において、前記第１基板と前記ステージとの間に配される反射板をさらに具備できる。

本発明において、前記第１基板は、有機発光部を有する複数個のセルを具備し、前記第２基板は、前記セルを密封するように、前記第１基板上に配され、前記接合部材は、前記セルそれぞれを取り囲むように、前記第１基板と前記第２基板との間に塗布されうる。

本発明において、前記ハロゲンランプは、前記セルが配列された一方向全体に、前記光を放射できる。

本発明において、前記ハロゲンランプは、前記セルが配列された一方向と交差する方向に移動しつつ、前記光を前記接合部材に照射することができる。

本発明において、前記ハロゲンランプは、前記セルが配列された一方向と垂直な方向に移動しつつ、前記光を前記接合部材に照射することができる。

本発明において、前記接合部材は、フリットからなりうる。

本発明の一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造方法は、接合部材を利用し、第１基板と第２基板とを接合し、ハロゲンランプを有するシーリング装置を利用した平板ディスプレイ装置の製造方法において、（ａ）前記第１基板と第２基板との間に接合部材を配する段階と、（ｂ）前記第１基板と前記第２基板とを合着する段階と、（ｃ）合着された前記第１基板と前記第２基板とを、前記シーリング装置のステージ上に載置させる段階と、（ｄ）前記ハロゲンランプから発生した光を集光しつつ、前記接合部材に照射すると同時に、前記第１基板の一方向の全体に、前記光を照射する段階と、（ｅ）前記ハロゲンランプを前記一方向と交差する方向に移動させつつ、前記接合部材に前記光を照射する段階と、（ｆ）前記照射された光によって前記接合部材を硬化させ、前記第１基板と前記第２基板とを接合する段階とを含みうる。

本発明において、前記（ｄ）段階において、前記光は、反射装置によって反射されて集光され、前記接合部材に照射されうる。

本発明において、前記（ｄ）段階において、前記第１基板の一方向は、前記第１基板の１辺の長手方向でありうる。

本発明において、前記（ｅ）段階で、前記ハロゲンランプを前記一方向と垂直な方向に移動させつつ、前記接合部材に前記光を照射することができる。

本発明において、前記接合部材は、フリットからなりうる。

本発明において、前記（ｃ）段階と前記（ｄ）段階との間に、前記ハロゲンランプから放射された前記光のうち、前記接合部材に向かう光を透過させ、前記接合部材が塗布されていない領域に向かう光を透過させない光遮断膜を、前記第２基板上に配する段階をさらに含みうる。

本発明において、前記光遮断膜は、前記第２基板上に離隔されて配されうる。

本発明において、前記ハロゲンランプの出力は、２ないし１０ＫＷでありうる。

前記の通りになる本発明のシーリング装置は、基板上に一列に配されたセルの接合部材に、同時に光を照射して溶融するので、セル間の応力差によるクラック発生を防止できる。

本発明の一実施形態によるシーリング装置を概略的に示す斜視図である。 図１のシーリング装置を概略的に示す断面図である。 図１のシーリング装置を概略的に示す平面図である。 従来のレーザシーリング装置を利用したシーリング方法を概略的に示す図面である。 セル間に発生する応力差の分布を概略的に示す図面である。 セル間に発生するクラックＣを概略的に示す断面図である。

以下、添付された図面に図示された本発明の実施形態を参照しつつ、本発明について詳細に説明する。図面での要素の形状及び大きさは、さらに明確な説明のために誇張され、図面上の同じ符号で表示される要素は、同じ要素である。

図１は、本発明の一実施形態によるシーリング装置１００を概略的に示す斜視図であり、図２は、図１のシーリング装置１００を概略的に示す断面図である。

図１及び図２を参照すれば、本発明の一実施形態によるシーリング装置１００は、ステージ１１０、光照射部１２０及び光遮断膜１４０を具備できる。

ステージ１１０上には、第１基板１０１及び第２基板１０２が載置される。ステージ１１０上において、光照射部１２０から光が照射されることによって、第１基板１０１と第２基板１０２とを固定させることができる。そして、第１基板１０１と第２基板１０２との間には、接合部材１０３が塗布されている。

光照射部１２０は、第１基板１０１と第２基板１０２との間の接合部材１０３に光を照射して接合部材１０３を溶融させ、第１基板１０１と第２基板１０２とを接合させる。

光照射部１２０は、ハロゲンランプ１２１と反射装置１２２とからなりうる。図面には図示されていないが、光照射部１２０は、ガイド（図示せず）によって支持され、第１基板１０１及び第２基板１０２の上部を移動可能に装着されうる。

ハロゲンランプ１２１は、ガイドに沿って移動しつつ、第２基板１０２上から、接合部材１０３に向かって光を照射する。ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２上の一方向全体に光を照射することができる。詳細には、図１に図示されているように、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の横方向ｘ全体に光を同時に照射することができる。本発明はこれに限定されるものではなく、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の縦方向ｙや、第１基板１０１及び第２基板１０２の対角線方向など、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体に光を照射することができる。ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体に光を照射するために、一定長さの円柱状を有することができる。ハロゲンランプ１２１は、図１に図示されているように、円筒形に形成されうる。ハロゲンランプ１２１は、断面が円形ではない、多角形にもなりうる。

ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２上の一方向全体に光を照射することができるほどの長さを有することが望ましい。すなわち、ハロゲンランプ１２１が図１のように、第１基板１０１及び第２基板１０２の横方向全体に光を照射する場合、ハロゲンランプ１２１の長さは、第１基板１０１及び第２基板１０２の横長と同一であるか、またはそれより長くありえる。また、ハロゲンランプ１２１が第１基板１０１及び第２基板１０２の縦方向全体に光を照射する場合、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の縦長と同一であるか、またはそれより長くありえる。

ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体に光を照射しつつ、前記一方向と交差する方向に移動し、光を接合部材１０３に照射する。望ましくは、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体に光を照射しつつ、前記一方向ｘに垂直な方向ｙに移動しつつ、光を照射することができる。

図３は、図１のシーリング装置１００を概略的に示す平面図である。図３を参照すれば、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の横方向全体に光を照射することができるように配される。すなわち、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１上で、横列Ｒ１に配されたセルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Ｃ６の接合部材１０３に、同時に光を照射することができる。ハロゲンランプ１２１は、同じ列に配されたセルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Ｃ６の接合部材１０３に同時に光を照射しつつ、長手方向ｘに配されたハロゲンランプ１２１が垂直方向ｙに移動しつつ、セルの接合部材１０３に光を照射する。

図４は、従来のレーザシーリング装置を利用したシーリング方法を概略的に示す。図４を参照すれば、従来のレーザシーリング装置は、スポットビーム（spot beam）ＳＢを利用し、それぞれのセルＣ１を取り囲む接合部材１０３を時計回り方向か逆時計回り方向に照射して溶融した後、隣接したセルＣ２に移動し、前記セルＣ２を取り囲む接合部材１０３を照射して溶融した。このように、個別セル単位でレーザを照射するので、レーザが照射されたセルＣ１と、前記セルＣ１と隣接してレーザが照射されていないセルＣ２との間に応力差が発生し、セル間にマイクロ・クラックＣＲ（図５Ｂ）が形成されうる。これによって、セル単位で面取りする工程で、切断面にバリ（burr）が発生する割れ不良が発生しうるという問題点があった。

図５Ａは、セル間に発生する応力差の分布を概略的に示し、図５Ｂは、セル間に発生するクラックＣＲを概略的に示す断面図である。図５Ａ及び図５Ｂを参照すれば、レーザビームを照射された接合部材１０３ａと、レーザビームを照射されていない接合部材１０３ｂとの間には、温度差によって応力Ｆの差が発生し、レーザビーム既照射の接合部材１０３ａとレーザビーム未照射の接合部在１０３ｂとの間の基板上に、クラックＣＲが発生しうる。

しかし、本発明の一実施形態によるシーリング装置１００は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向に配列されたセルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Ｃ６全体に光を照射するので、セルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Ｃ６間に発生しうる応力の差を最小化しうる。それによって、セルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，…，Ｃ６それぞれを面取りする工程で発生する切断面割れ不良を防止できる。

ハロゲンランプ１２１は、ほぼ２ないし１０Ｋｗの出力を有することができる。

反射装置１２２は、ハロゲンランプ１２１上に配され、ハロゲンランプ１２１から放射される光を接合部材１０３に向けるように、反射させて集光させうる。反射装置１２２は、ハロゲンランプ１２１の形状によって、さまざまな形状を有することができるが、図１に図示されているように、円筒形であるハロゲンランプ１２１に対して、反射装置１２２は、凹型に形成されうる。反射装置１２２は、ハロゲンランプ１２１の長さと同一であるか、あるいはさらに長く形成されうる。

光遮断膜１４０は、第２基板１０２の上側に載置される。光遮断膜１４０は、ハロゲンランプ１２１から放射された光のうち、接合部材１０３に向かう光は透過させ、接合部材１０３が塗布されていない領域に向かう光は透過させない。セルＣ１の内部には、発光部１０４が存在する。ハロゲンランプ１２１から放射される光は、接合部材１０３を溶融させるほどの高温であるから、前記光が発光部１０４に照射される場合には、発光部１０４を劣化させることがある。従って、光遮断膜１４０は、ハロゲンランプ１２１から照射される光が、接合部材１０３にのみ照射され、発光部１０４には照射させない。光遮断膜１４０は、接着部材１０３に対応する領域にパターンが形成されており、ハロゲンランプ１２１から照射される光が接合部材１０３に照射され、発光部１０４には光遮断膜１４０によって前記光が遮断され照射されず、前記光から発光部１０４を保護することができる。

光遮断膜１４０は、第２基板１０２上に離隔されて配されうる。すなわち、光遮断膜１４０と第２基板１０２との間には、所定の間隔ｔが存在しうる。光遮断膜１４０は、ハロゲンランプ１２１から放射される光を受けるようになるので、その温度が上昇することになるので、光遮断膜１４０が第２基板１０４に密着して配される場合には、光遮断膜１４０の温度が、第１基板１０１及び第２基板１０２に伝達され、発光部１０４に影響を与えることがある。従って、本発明は、光遮断膜１４０と第２基板１０２との間に、一定の間隔ｔを維持し、加熱された光遮断膜１４０から発光部１０４への熱伝達を防止し、前記間隔ｔでの気流を介して、光遮断膜１４０を冷却させることができる。

反射板１５０は、第１基板１０１とステージ１１０との間に配される。反射板１５０は、光遮断膜１４０と第１基板１０１及び第２基板１０２とを透過した光を反射し、前記光によってステージ１１０が加熱されることを防止する。

以下、本発明の一実施形態による平板ディスプレイ装置の製造方法を説明する。

まず、第１基板１０１と第２基板１０２とを設ける。第１基板１０１上に、発光部１０４を配し、第２基板１０２上には、接合部材１０３を配する。

次に、第１基板１０１と第２基板１０２とを合着する。第１基板１０１と第２基板１０２とを合着した場合、接合部材１０３は、発光部１０４を取り囲むようになる。

次に、合着された第１基板１０１及び第２基板１０２を、シーリング装置１００のステージ１１０上に載置させる。ステージ１１０は、ハロゲンランプ１２１から光を照射する間、第１基板１０１及び第２基板１０２を固定させる。

第１基板１０１及び第２基板１０２をステージ１１０上に載置させた後、ハロゲンランプ１２１から放射された光を接合部材１０３に照射するが、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体に接合部材１０３に、前記光を同時に照射する。ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体を照射する。図３に図示されているように、ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の横方向ｘ全体を同時に照射することができる。

ハロゲンランプ１２１は、第１基板１０１及び第２基板１０２の一方向全体を照射しつつ、前記一方向と交差する方向に移動し、接合部材１０３に光を照射する。ハロゲンランプ１２１が第１基板１０１及び第２基板１０２の横方向ｘ全体を同時に照射する場合、ハロゲンランプ１２１は、前記横方向ｘの垂直な方向の縦方向ｙに移動しつつ、接合部材１０３に光を照射することができる。

前記光が照射された接合部材１０３は、溶融されて硬化し、第１基板１０１と第２基板１０２とを接合させる。

ハロゲンランプ１２１から放射された光は、反射装置１２２によって反射されて集光され、接合部材１０３に照射される。

ハロゲンランプ１２１から放射された光は、第２基板１０２上に配された光遮断膜１４０によって、接合部材１０３が塗布された領域は透過するが、接合部材１０３が塗布されていない領域は透過しない。

接合部材１０３は、フリットでありうる。

前述の平板ディスプレイ装置は、第１基板と第２基板とが接合され、第１基板と第２基板との間に発光部が存在することを意味し、有機発光ディスプレイ装置、プラズマディスプレイ装置などを含む。また、液晶ディスプレイ装置も含む。

本発明は、前述の実施形態及び添付された図面によって限定されるものではなく、特許請求の範囲によって限定するものであり、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想を外れない範囲内で、多様な形態の置換、変形及び変更が可能であるということは、当技術分野の当業者に自明なことである。

１００ シーリング装置、
１０１ 第１基板、
１０２ 第２基板、
１０３ 接合部材、
１０３ａ 照射される接合部材、
１０３ｂ 照射されていない接合部材、
１０４ 発光部、
１１０ ステージ、
１２０ 光照射部、
１２１ ハロゲンランプ、
１２２ 反射装置、
１４０ 光遮断膜、
１５０ 反射板、
Ｃ セル、
ＣＲ クラック、
Ｆ 応力、
Ｒ 列、
ＳＢ スポットビーム。

Claims (23)

1. 接合部材を利用し、第１基板と第２基板とを接合するシーリング装置において、
   前記第１基板が載置されるステージと、
   前記第１基板と前記第２基板との間に配される前記接合部材に光を照射するハロゲンランプと、
   前記ハロゲンランプから発散される光を前記接合部材に向けるように反射させる反射装置と、を具備し、
   前記反射装置は、前記ハロゲンランプに対して凹型に形成され、前記ハロゲンランプが放射する前記光を反射させ、前記接合部材に前記光を集光させるものであり、
   前記ハロゲンランプは、前記光を前記接合部材に照射しつつ、前記第１基板の一方向と交差する方向に移動することを特徴とするシーリング装置。
2. 前記第１基板の一方向は、前記第１基板の１辺の長手方向であることを特徴とする請求項１に記載のシーリング装置。
3. 前記ハロゲンランプは、前記光を前記接合部材に照射しつつ、前記第１基板の一方向と垂直な方向に移動することを特徴とする請求項１または２に記載のシーリング装置。
4. 前記ハロゲンランプの長さは、前記第１基板の一方向の長さと同じ長さを有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のシーリング装置。
5. 前記ハロゲンランプの長さは、前記第１基板の一方向の長さよりさらに長いことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のシーリング装置。
6. 前記ハロゲンランプの出力は、２ないし１０ＫＷであることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のシーリング装置。
7. 前記反射装置は、前記ハロゲンランプの長さと同一であるか、あるいはさらに長く形成されうることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のシーリング装置。
8. 前記第２基板上に配され、前記ハロゲンランプから放射された前記光のうち、前記接合部材に向かう光は透過させ、前記接合部材が塗布されていない領域に向かう光は透過させない光遮断膜をさらに具備することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のシーリング装置。
9. 前記光遮断膜は、前記第２基板上に離隔されて配されることを特徴とする請求項８に記載のシーリング装置。
10. 前記第１基板と前記ステージとの間に配される反射板をさらに具備することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載のシーリング装置。
11. 前記第１基板は、有機発光部を有する複数個のセルを具備し、
    前記第２基板は、前記セルを密封するように、前記第１基板上に配され、
    前記接合部材は、前記セルそれぞれを取り囲むように、前記第１基板と前記第２基板との間に塗布されることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載のシーリング装置。
12. 前記ハロゲンランプは、前記セルが配列された一方向の全体に、前記光を放射できることを特徴とする請求項１１に記載のシーリング装置。
13. 前記ハロゲンランプは、前記光を前記接合部材に照射しつつ、前記セルが配列された一方向と交差する方向に移動することを特徴とする請求項１２に記載のシーリング装置。
14. 前記ハロゲンランプは、前記光を前記接合部材に照射しつつ、前記セルが配列された一方向と垂直方向に移動することを特徴とする請求項１３に記載のシーリング装置。
15. 前記接合部材は、フリットからなることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載のシーリング装置。
16. 接合部材を利用し、第１基板と第２基板とを接合し、ハロゲンランプを有するシーリング装置を利用した平板ディスプレイ装置の製造方法において、
    （ａ）前記第１基板と前記第２基板との間に前記接合部材を配する段階と、
    （ｂ）前記第１基板と前記第２基板とを合着する段階と、
    （ｃ）合着された前記第１基板と前記第２基板とを、前記シーリング装置のステージ上に載置させる段階と、
    （ｄ）前記ハロゲンランプから発生した光を集光しつつ前記接合部材に照射すると同時に、前記第１基板の一方向の全体に前記光を照射する段階と、
    （ｅ）前記ハロゲンランプを、前記接合部材に前記光を照射しつつ、前記一方向と交差する方向に移動させる段階と、
    （ｆ）前記照射された光によって前記接合部材を硬化させ、前記第１基板と前記第２基板とを接合する段階と、
    を含む平板ディスプレイ装置の製造方法。
17. 前記（ｄ）段階において、
    前記光は、反射装置によって反射されて集光され、前記接合部材に照射されることを特徴とする請求項１６に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
18. 前記（ｄ）段階において、
    前記第１基板の一方向は、前記第１基板の１辺の長手方向であることを特徴とする請求項１６または１７に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
19. 前記（ｅ）段階は、
    前記ハロゲンランプを、前記接合部材に前記光を照射しつつ、前記一方向と垂直な方向に移動させることを特徴とする請求項１６から１８のいずれか１項に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
20. 前記接合部材は、フリットからなることを特徴とする請求項１６から１９のいずれか１項に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
21. 前記（ｃ）段階と前記（ｄ）段階との間に、
    前記ハロゲンランプから放射された前記光のうち、前記接合部材に向かう光を透過させ、前記接合部材が塗布されていない領域に向かう光を透過させない光遮断膜を、前記第２基板上に配する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１６から２０のいずれか１項に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
22. 前記光遮断膜は、前記第２基板上に離隔されて配されることを特徴とする請求項２１に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。
23. 前記ハロゲンランプの出力は、２ないし１０ＫＷであることを特徴とする請求項１６から２２のいずれか１項に記載の平板ディスプレイ装置の製造方法。

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