JP5516063B2 - コンビネーションマスク及び太陽電池の製造方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 66
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 90
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 65
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 59
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 38
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 35
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 28
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 28
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 15
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 8
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 8
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 claims description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 4
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004760 aramid Substances 0.000 claims description 3
- 229920003235 aromatic polyamide Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 92
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 44
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 44
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 43
- 239000010408 film Substances 0.000 description 38
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 23
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 11
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 4
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 3
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N boron tribromide Chemical compound BrB(Br)Br ILAHWRKJUDSMFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 2
- -1 etc.) Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N phosphoryl trichloride Chemical compound ClP(Cl)(Cl)=O XHXFXVLFKHQFAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N (2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dimethoxy-2-(methoxymethyl)-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-trimethoxy-6-(methoxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6r)-4,5,6-trimethoxy-2-(methoxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxane Chemical compound CO[C@@H]1[C@@H](OC)[C@H](OC)[C@@H](COC)O[C@H]1O[C@H]1[C@H](OC)[C@@H](OC)[C@H](O[C@H]2[C@@H]([C@@H](OC)[C@H](OC)O[C@@H]2COC)OC)O[C@@H]1COC LNAZSHAWQACDHT-XIYTZBAFSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWJLCYHYLZZXBE-UHFFFAOYSA-N 5-chloro-1,3-dihydroindol-2-one Chemical compound ClC1=CC=C2NC(=O)CC2=C1 WWJLCYHYLZZXBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016276 Bi2O3—SiO2—B2O3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGEKLUUHTZCSIP-UHFFFAOYSA-N Isobornyl acetate Natural products C1CC2(C)C(OC(=O)C)CC1C2(C)C KGEKLUUHTZCSIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001940 [(1R,4S,6R)-1,7,7-trimethyl-6-bicyclo[2.2.1]heptanyl] acetate Substances 0.000 description 1
- FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N [(2s,3r,4s,5r,6r)-2-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-dinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-trinitrooxy-2-(nitrooxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-3-yl]oxy-3,5-dinitrooxy-6-(nitrooxymethyl)oxan-4-yl] nitrate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O1)O[N+]([O-])=O)CO[N+](=O)[O-])[C@@H]1[C@@H](CO[N+]([O-])=O)O[C@@H](O[N+]([O-])=O)[C@H](O[N+]([O-])=O)[C@H]1O[N+]([O-])=O FJWGYAHXMCUOOM-QHOUIDNNSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- IGODOXYLBBXFDW-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpinyl acetate Chemical class CC(=O)OC(C)(C)C1CCC(C)=CC1 IGODOXYLBBXFDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001782 photodegradation Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus decaoxide Chemical compound O1P(O2)(=O)OP3(=O)OP1(=O)OP2(=O)O3 DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/022441—Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells
- H01L31/02245—Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells for metallisation wrap-through [MWT] type solar cells
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Description
こうした方法で得られる電極や発光層は、基板上に形成された凹部の内部に導電性ペーストや発光材料などを充填して形成されており、これらの材料が凹部に十分に充填され、かつ凹部周辺の基板表面上にはみださないことが要求される。しかし、従来のスクリーン印刷では、印刷安定性に問題があり、印刷位置ずれが起こり、はみだしが発生するため、設計通りの特性が得られないという難点があった。
請求項1:
枠体と、該枠体内に張設された線径20〜120μmの合成樹脂系スクリーンメッシュと、該合成樹脂系スクリーンメッシュの中央部に配設された線径10〜200μmの剛性材料系スクリーンメッシュと、該剛性材料系スクリーンメッシュ内に形成された印刷部とを備え、太陽電池用基板の所定位置に不純物拡散層形成用の拡散剤及び/又は電極形成用の導電性ペーストをスクリーン印刷するためのコンビネーションマスクであって、
上記剛性材料系スクリーンメッシュの面積割合が、一辺150〜1400mmの正方形であるスクリーンメッシュ面積全体の15%以上30%以下であることを特徴とする太陽電池製造用コンビネーションマスク。
請求項2:
スクリーン位置合わせ用の位置決めマークが、合成樹脂系スクリーンメッシュ上に形成されてなる請求項1記載のコンビネーションマスク。
請求項3:
合成樹脂系スクリーンメッシュが、ポリエステル及びナイロンより選ばれる樹脂からなり、剛性材料系スクリーンメッシュが、金属、セラミック、ガラス、アラミド及びカーボンより選ばれる材料からなるものである請求項1又は2記載のコンビネーションマスク。
請求項4:
請求項1乃至3のいずれか1項記載のコンビネーションマスクを用いた太陽電池の製造方法であって、
上記コンビネーションマスクを用いて太陽電池用基板の所定位置に所定の不純物を含む拡散剤をスクリーン印刷し、熱処理して不純物拡散層を形成する工程、及び/又は上記コンビネーションマスクを用いて太陽電池用基板の所定位置に導電性ペーストをスクリーン印刷し、焼成して電極を形成する工程を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。
請求項5:
上記電極を形成する工程が、上記太陽電池用基板に設けられた貫通孔又は溝状凹部の内部にスクリーン印刷により導電性ペーストを充填して電極を形成するものであることを特徴とする請求項4記載の太陽電池の製造方法。
請求項6:
上記不純物拡散層を形成する工程が、二段エミッタ層を構成する高濃度不純物拡散層を形成するものであることを特徴とする請求項4記載の太陽電池の製造方法。
請求項7:
上記電極を形成する工程が、上記高濃度不純物拡散層上に電極を形成するものであることを特徴とする請求項6記載の太陽電池の製造方法。
図3は本発明のコンビネーションマスクの一例を示す概略平面図である。フレーム(四角状枠体)21はスクリーン枠であり、軽量で、剛性に優れたステンレススチール、アルミニウム等が用いられる。このフレーム21内に合成樹脂系メッシュ22が張設されており、この合成樹脂系メッシュ22としては、伸縮性や弾性の高い素材であるポリエステル、ナイロン等が用いられる。この合成樹脂系メッシュ22には、必要に応じて、スクリーンを印刷装置に取り付ける際、位置を決めるための位置決めマーク25を作製する。合成樹脂系メッシュの中央部には剛性材料系メッシュ23が取り付けられており、この剛性材料系メッシュとしては、伸縮性や弾性が小さく、剛性の高い形状精度と、寸法精度に優れた金属(ステンレススチール等)、セラミックス、ガラス、アラミド、カーボン等の剛性を備えた繊維等を用いることができる。耐刷性向上、寸法・位置精度安定性向上、大型版や高メッシュでの材料コスト低減の点から、この剛性材料系素材のメッシュ内に、所定形状の印刷パターン(印刷部)24を形成する。
基板
太陽電池の基板としては、単結晶シリコン、多結晶シリコン等が用いられ、単結晶シリコン基板の場合、CZ法やFZ法などの製法で作製された単結晶シリコンインゴットから切断されたものを用いることができる。多結晶シリコン基板の場合、キャスト法や鋳型内凝固法などの製法で作製された多結晶インゴットから切り出すことで得ることができる。また、リボン法等の引き上げ法で得られた板状シリコンを用いる場合は、この板状シリコンを所定の大きさにカットし、必要に応じて表面研磨処理等を施すことで、図4(a)に示すように、受光面(表面)31aと非受光面(裏面)31bを有する所望のシリコン基板31を得ることができる(図4(a))。
次に、シリコン基板(半導体基板)31を厚み方向に貫通する貫通孔32を形成する(図4(b))。貫通孔32は、機械的ドリル、ウォータージェット、レーザー装置等を用いて、シリコン基板31の受光面側31aから裏面側31bに向けて形成することにより、裏面開口部における断面積を最小とすることが可能となる。なお、貫通孔32は、受光面全体にわたって一定のピッチで複数形成されることが好ましい。貫通孔32の円形状開口部の直径は、50〜300μmであることが好ましい。また、貫通孔32にダメージ層がある場合には、エッチングすることが好ましく、例えば、フッ酸と硝酸を2:7の質量比で混合した溶液にてミラーエッチングを行ってもよい。
次に、シリコン基板31の受光面側31aに、光反射率の低減を効果的に行うための微細な凹凸形状をもつテクスチャ構造33を形成する(図4(c))。その理由は、可視光域の反射率を低減させるために、できる限り2回以上の反射を受光面で行わせる必要があるためである。凹凸を構成する一つ一つの山の高さは1〜20μm程度でよい。代表的な表面凹凸構造としてはV溝,U溝が挙げられる。テクスチャ構造33の形成方法としては、研削機を利用することができる。また、ランダムな凹凸構造を作るには、NaOH(又はNaOHにイソプロピルアルコールを加えた水溶液)やKOHなどによるアルカリ液によるウェットエッチング法や、酸エッチング、シリコンをエッチングする性質を有するエッチングガスを用いるドライエッチング法を用いることができる。ウェットエッチング法は、先に述べた基板表層部のダメージ層を除去するプロセスに連続して行うこともできるので、特に裏面側をエッチング防止材でマスクしない限り、裏面側にもテクスチャ構造が形成されるため好ましい。ドライエッチング法は、基本的に、処理した面(受光面側)にだけ微細なテクスチャ構造33が形成される。ドライエッチング法には様々な手法があるが、特にRIE法(Reactive Ion Etching法)を用いると、広い波長域に亘って極めて低い光反射率に抑えられる微細なテクスチャ構造を広範囲に亘って短時間で形成することができるので、高効率化に極めて有効である。また、RIE法を用いると、結晶の面方位に大きく影響されないでテクスチャ構造を形成できる特徴があるので、シリコン基板として多結晶シリコン基板を用いる場合でも、多結晶シリコン基板内の各結晶粒の面方位に依存しないで、基板全域に亘って低反射率を有する微細テクスチャ構造を一様に形成することができる。
次に、シリコン基板の受光面にこの基板とは異なる導電型の第1逆導電型層34aを形成すると共に、貫通孔32の内壁にも逆導電型をなす第2逆導電型層34bを形成し、更に裏面上に第3逆導電型層34cを形成する(図4(d))。逆導電型層34を形成するためのN型化ドーピング元素としては、P(リン)を用いることが好ましく、シート抵抗が60〜300Ω/□程度のN+型とする。これによって上述のP型バルク領域との間にPN接合部が形成される。
次に、第1逆導電型層34aの上に、反射防止膜35を形成する(図4(e))。反射防止膜(兼表面保護膜)の材料としては、SiNx膜(Si3N4ストイキオメトリを中心にして組成比(x)には幅がある)、TiO2膜、SiO2膜、MgO膜、ITO膜、SnO2膜やZnO膜などを用いることができる。その屈折率及び厚みは、材料によって適宜選択されて適当な入射光に対して無反射条件を実現できるようにすればよく、例えばシリコン半導体基板である場合、屈折率は1.8〜2.3程度、厚みは50〜120nm、特に70〜100nm程度にすればよい。
反射防止膜は、受光面側電極37a(図4(g))を形成するために所定のパターンでパターニングしておいてもよい。パターニング法としては、レジストなどのマスクを用いたエッチング法(ウェットあるいはドライ)や、反射防止膜形成時にマスクを予め形成しておき、反射防止膜形成後にマスクを除去する方法等を用いることができる。なお、反射防止膜35の上に受光面側電極37aの導電性ペーストを直接塗布し、焼き付けることによって受光面側電極37aと第1逆導電型層34aとを電気的に接触させる、いわゆるファイヤースルー法を用いる場合は、上記パターニングの必要はない。
次に、シリコン基板31の裏面には、この基板31と同じ導電型の不純物が高濃度に拡散された高濃度ドープ層36を形成する(図4(f))。この高濃度ドープ層とは、シリコン基板よりもこの基板と同じ導電型の不純物のドーピング割合が多い層を意味し、シリコン基板の裏面近くでのキャリア再結合による効率低下を低減するために内部電界を形成するものである。
次に、シリコン基板31に、受光面側電極37aと貫通孔内電極37bを形成する(図4(g))。これらの電極は、シリコン基板31の受光面に塗布法を用いて導電性ペーストを塗布すればよく、金属粉末(例えば銀、銅、金、白金等)、有機ビヒクル及びガラスフリットを含有する導電性ペーストを所定の電極形状となるよう受光面に塗布し、また、貫通孔32内にも導電性ペーストを充填する。導電性ペーストとしては、生産面、特性面の両方から銀ペーストを用いることが好ましい。
以上のようにして、本発明に係るコンビネーションマスクを用いて製造した太陽電池が完成する。
次に、本発明のコンビネーションマスクを用いたスクリーン印刷方法を、太陽電池の製造工程の中で、基板上に形成された溝状の凹部に導電性ペーストを充填して電極を形成する工程を例に挙げて説明する。
図5(A)に示すように、基板として、P型単結晶シリコン基板41を用意する。次に、この基板41をNaOH水溶液等に浸し、スライスによるダメージ層をエッチングで取り除く。
ダメージエッチングを行った基板41にランダムテクスチャを形成する。なお、図5では両面に形成したテクスチャ構造は微細なため省略している。
ダメージエッチング及びテクスチャの形成は製造例1と同様の方法で行うことができる。
表面に形成されたリンガラスをフッ酸でエッチングした後、製造例1と同様の手法でエミッタ層42上に表面保護膜(兼反射防止膜)であるシリコン窒化膜43を堆積する。
次に、第1層目の電極45aにはんだ付けされた銅の細線45bを切断し、太陽電池40を製造することができる。
下記のコンビネーションマスクでの印刷テストを行い、寸法精度の変化を調べた。
枠サイズ:550×550mm、ステンレススチール製メッシュサイズ:250×250mm(メッシュ面積の30%)、ステンレススチール製メッシュ線径:25μmの印刷部のメッシュ織物のコンビネーションマスクを用いた。なお、印刷部以外は線径20μmのポリエステルのメッシュ織物で構成されていた。印刷条件は、マキタ印刷機を使用し、スキージ幅200mm、スキージの移動距離210mmで、0.2MPaのスキージ圧力を加え、300mm/secの速度で6000枚の印刷を行った。
枠サイズ:550×550mm、ステンレススチール製メッシュサイズ:400×400mm(メッシュ面積の52%)のコンビネーションマスクを使用した以外は実施例1と同様に印刷した。
従来法では繰り返し印刷する必要があったが、本発明のスクリーンマスクを用いれば、同じ工程数で、高アスペクト比の電極を形成することができる。
2 溝状凹部
3 開口窓
4 スクリーンマスク
5 導電性ペースト
6 スキージ
7 スクリーンチャックテーブル
11,21 フレーム
12,22 合成樹脂系メッシュ
13 金属系メッシュ
23 剛性材料系メッシュ
14,24 印刷部
15,25 位置決めマーク
31 基板
31a 受光面(表面)
31b 非受光面(裏面)
32 貫通孔
33 テクスチャ
34 逆導電型層
34a 第1逆導電型層
34b 第2逆導電型層
34c 第3逆導電型層
35 反射防止膜
36 高濃度ドープ層
37a 表面電極(受光面側電極)
37b 貫通孔内電極
38 裏面電極(集電電極)
39 出力取出電極
40 太陽電池
41 シリコン基板
42a 高濃度不純物拡散層
42b 低濃度不純物拡散層
43 シリコン窒化膜
44 裏面電極
45 表面電極
45a 第1層目電極
45b 銅ワイヤー
45c はんだ(導電性接着剤)
Claims (7)
- 枠体と、該枠体内に張設された線径20〜120μmの合成樹脂系スクリーンメッシュと、該合成樹脂系スクリーンメッシュの中央部に配設された線径10〜200μmの剛性材料系スクリーンメッシュと、該剛性材料系スクリーンメッシュ内に形成された印刷部とを備え、太陽電池用基板の所定位置に不純物拡散層形成用の拡散剤及び/又は電極形成用の導電性ペーストをスクリーン印刷するためのコンビネーションマスクであって、
上記剛性材料系スクリーンメッシュの面積割合が、一辺150〜1400mmの正方形であるスクリーンメッシュ面積全体の15%以上30%以下であることを特徴とする太陽電池製造用コンビネーションマスク。 - スクリーン位置合わせ用の位置決めマークが、合成樹脂系スクリーンメッシュ上に形成されてなる請求項1記載のコンビネーションマスク。
- 合成樹脂系スクリーンメッシュが、ポリエステル及びナイロンより選ばれる樹脂からなり、剛性材料系スクリーンメッシュが、金属、セラミック、ガラス、アラミド及びカーボンより選ばれる材料からなるものである請求項1又は2記載のコンビネーションマスク。
- 請求項1乃至3のいずれか1項記載のコンビネーションマスクを用いた太陽電池の製造方法であって、
上記コンビネーションマスクを用いて太陽電池用基板の所定位置に所定の不純物を含む拡散剤をスクリーン印刷し、熱処理して不純物拡散層を形成する工程、及び/又は上記コンビネーションマスクを用いて太陽電池用基板の所定位置に導電性ペーストをスクリーン印刷し、焼成して電極を形成する工程を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 上記電極を形成する工程が、上記太陽電池用基板に設けられた貫通孔又は溝状凹部の内部にスクリーン印刷により導電性ペーストを充填して電極を形成するものであることを特徴とする請求項4記載の太陽電池の製造方法。
- 上記不純物拡散層を形成する工程が、二段エミッタ層を構成する高濃度不純物拡散層を形成するものであることを特徴とする請求項4記載の太陽電池の製造方法。
- 上記電極を形成する工程が、上記高濃度不純物拡散層上に電極を形成するものであることを特徴とする請求項6記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010115291A JP5516063B2 (ja) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | コンビネーションマスク及び太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010115291A JP5516063B2 (ja) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | コンビネーションマスク及び太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011240623A JP2011240623A (ja) | 2011-12-01 |
JP5516063B2 true JP5516063B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=45407761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010115291A Active JP5516063B2 (ja) | 2010-05-19 | 2010-05-19 | コンビネーションマスク及び太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5516063B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013161871A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 印刷装置及びそれを用いた太陽電池セルの製造方法 |
CN102582219A (zh) * | 2012-02-21 | 2012-07-18 | 常熟市方塔涂料化工有限公司 | 一种双层太阳能网板印刷定位点的制作方法 |
CN102602183B (zh) * | 2012-03-06 | 2014-05-14 | 英利能源(中国)有限公司 | 选择性发射极电池正电极的印刷方法 |
JP6103066B2 (ja) * | 2013-09-11 | 2017-03-29 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の外部電極形成方法 |
JP6120984B2 (ja) | 2013-11-07 | 2017-04-26 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池およびその製造方法、太陽電池モジュール |
JP2016092238A (ja) | 2014-11-05 | 2016-05-23 | 信越化学工業株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0633028A (ja) * | 1992-07-16 | 1994-02-08 | Arakawa Chem Ind Co Ltd | スクリーン印刷製版における紗張り用の接着剤およびスクリーン印刷用アルミ枠へのスクリーン紗の固着方法 |
JP3297546B2 (ja) * | 1994-08-31 | 2002-07-02 | マイクロ・テック株式会社 | コンビネーション紗張りスクリーン及びコンビネーション紗張りスクリーンの製造方法及びコンビネーション紗張りスクリーンの補強方法 |
JPH1142866A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-02-16 | Ibiden Co Ltd | 印刷用マスク |
JP3504173B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2004-03-08 | 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン | マスク交換可能な印刷用コンビネーション・マスク版 |
JP2606700Y2 (ja) * | 1998-10-07 | 2000-12-18 | 普烈 粕谷 | スクリーン印刷用のスクリーン |
JP2000335132A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-05 | Meiko:Kk | パターン印刷用製版 |
JP2002154281A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-05-28 | Tdk Corp | スクリーン印刷版及び印刷方法 |
JP4249777B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2009-04-08 | 普烈 粕谷 | スクリーン印刷用スクリーン |
JP2004155204A (ja) * | 2001-01-16 | 2004-06-03 | Hirotake Kasuya | 平面鏡 |
JP2007090838A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Tdk Corp | スクリーン版 |
JP2007210301A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Tdk Corp | スクリーン版 |
JP2008001016A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Murakami:Kk | ホットメルト印刷用スクリーンマスク |
JP5242034B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2013-07-24 | 株式会社Nbcメッシュテック | 薄膜印刷用スクリーン、その製造方法及び薄膜印刷用スクリーン版 |
JP2008162197A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Murakami:Kk | スクリーンマスクおよびその製造法 |
JP5529395B2 (ja) * | 2008-05-26 | 2014-06-25 | 株式会社Nbcメッシュテック | 高精度かつ高耐久性のコンビネーションスクリーン版 |
-
2010
- 2010-05-19 JP JP2010115291A patent/JP5516063B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011240623A (ja) | 2011-12-01 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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