JP5203732B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
特に基板から直接電力を取り出すためのフィンガー電極は、光を遮らないよう基板上での占有面積が小さく、且つ低抵抗率を有することが要求され、そのため、ライン幅が細く厚い、すなわち、アスペクト比が高い電極を形成する必要がある。
前記電極形成工程において、第2層目の電極として銅の細線を使用することを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。
さらに、第2層目の電極がAg含有の導電性ペーストからなるものよりも、第2層目の電極が銅の細線であったほうが、材料費及び製造コストを大幅に低減することができる。
このように、第2層目の電極である銅の細線が、その表面にはんだ性材料をメッキしたものであることにより、第1層目の電極に第2層目の電極をつける際のはんだ付けの手間を簡略化することができる。
このように、第2層目の電極である銅の細線の断面の形状が、円形又は正方形であることにより、第1層目の電極上に第2層目の電極である銅の細線を配置する際、銅の細線の配置面を気にせずに第1層目の電極上に配置できるため、電極の形成工程をより簡略化することができる。
銀ペーストは、ミクロンオーダーの独立した銀粒子やそれより大きいフレーク状銀とガラスフリットが溶剤の中にあり、焼成時にそれらの銀粒子が融合してはじめて電気の導体となる。それ故、ムクの銀線に較べて比抵抗が1.5倍程度高くなる。銀の比抵抗が1.62μΩ・cmに対して銅は1.72μΩ・cmと6%程度高いが、ムクの銅線にすることの体積効果は大きい。
しかし、金属細線をはんだ等により基板に直接接着すると、基板との密着性があまりよくなく、オーム接点が取りづらいという問題があった。
まず、本発明の太陽電池について図1及び図2を参照しながら説明する。
図1は、本発明に係る太陽電池の電極の複層構造を説明するための図であり、図2は、本発明に係る太陽電池の全体の概略図である。
この第1層目の電極1と第2層目の電極2は、はんだ2aにより接着されている。
また、第2層目の電極がAg含有の電極用ペーストから形成されたものより、第2層目の電極が銅の細線であれば、材料費及び製造コストが大幅に低減されたものとなる。
本発明では、銅の細線の断面形状は特に限定されないが、円形又は正方形であることにより、第1層目の電極上に安定して接着されたものとなる。
図3及び図4は本発明に係る複層構造の電極を有する太陽電池の製造方法を説明する図である。
太陽電池は通常、表面に凹凸形状を形成するのが好ましい。その理由は,可視光域の反射率を低減させるために、できる限り2回以上の反射を受光面で行わせる必要があるためである。これら一つ一つの山のサイズは1〜20μm程度でよい。代表的な表面凹凸構造としてはV溝,U溝が挙げられる。これらは,研削機を利用して,形成可能である。また、ランダムな凹凸構造を作るには、水酸化ナトリウムにイソプロピルアルコールを加えた水溶液に浸してウェットエッチングしたり、他には、酸エッチングやリアクティブ・イオン・エッチング等を用いることが可能である。なお、図では両面に形成したテクスチャ構造は微細なため省略している。
この第1層目1の印刷は、所望の櫛形の電極パターンの開口部を有する印刷版を有するスクリーン印刷装置にAg含有の電極用ペーストを用いることで為される。このとき、第2層目に銅の細線を載せることを見越して、図5のように印刷された第1層目の電極用ペーストの中央に谷ができるようにしてもよい。このように第1層目の電極1に谷を形成しておくことで、断面形状が円形の銅の細線を使用した場合は、第1層目1との接着性をより良好なものとすることができ、複層構造の接合部分の剥離を抑制できる。
フィンガー電極の第1層目の形成に使用される電極用ペーストは、フィンガー電極を1層で形成する場合と同じように、管理することができる。
続いて焼成された第1層目の電極1の上に第2層目の電極となる銅の細線2を配置する(図4の下図参照)。配置する位置は、図4の下図のように、複数本の銅の細線2を第1層目の電極1に重なるように、銅の細線2の一方の先端を位置Aに合わせる。そして第1層目の電極1と第2層目の電極2の接着は、銅の細線2上から200℃〜300℃のアイロンを押し当ててはんだ付けする。
銀ペーストは、ミクロンオーダーの独立した銀粒子やそれより大きいフレーク状銀とガラスフリットが溶剤の中にあり、焼成時にそれらの銀粒子が融合してはじめて電気の導体となる。それ故、ムクの銀線に較べて比抵抗が1.5倍程度高くなる。銀の比抵抗が1.62μΩ・cmに対して銅は1.72μΩ・cmと6%程度高いが、ムクの銅線にすることの体積効果は大きい。
(実施例)
<太陽電池用基板の作製>
図3に示したような方法で、太陽電池を作製する。まず、一辺が約156mmの角ウェーハで、厚さ300μm、比抵抗0.5Ω・cm、方位{100}のCZ法で育成されたホウ素ドープp型アズカットシリコン単結晶基板を用意し、濃水酸化カリウム水溶液によるエッチングを行ってダメージ層を除去した。その後、水酸化カリウム/2−プロパノール混合溶液中に浸漬して、シリコン単結晶基板の表面にテクスチャ形成を行い、その後塩酸/過酸化水素混合溶液を用いて洗浄した。
このようにして得られた太陽電池用基板Wに電極を形成する。まず、基板Wの受光面とは反対側の面(裏面)全体に、スクリーン印刷法を用いてアルミニウムペーストを塗布して乾燥させた。
次に、図4の上図のような直線状の電極パターンで電極用ペーストをスクリーン印刷により塗布し、乾燥させた。第1層目の電極用ペーストは、銀粒子、ガラスフリット、樹脂、溶剤を配合したものを使用した。
その後所望の熱プロファイルにより基板Wに熱処理を施した。これにより、厚さ20μmのアルミニウム製の裏面電極が焼成され、それと同時に線幅が約50μm、各線の間隔が約2.5mmのパターンで約15μmの高さを有するフィンガー電極の第1層目が焼成された。
この銅の細線2は、細線自体にはんだ性を持たせるため、その表面にスズ(Sn)の薄膜が被膜してあるもので、この銅の細線の断面形状は円形であり、その直径は約50μm程度である。
このように製造された太陽電池の変換効率等を測定した。その測定結果を下記の表1に示す。表1の通り、実施例によって製造された2層構造のフィンガー電極のアスペクト比(高さ/幅)は65/50となった。すなわち、幅が50μmのフィンガー電極の第1層目上に直径約50μmの銅線をはんだ付けすれば、第2層目のフィンガー電極は第1層目の電極からはみ出ることがなく、2層構造のフィンガー電極は第1層目でスクリーン印刷により焼成した幅を保つことができる。そのため、単位面積あたりのフィンガー電極の占有面積は約2%とすることができ、その変換効率は、約17.2%であった。従って電極によるシャドーロスを低減できることが分かる。
<太陽電池用基板の作製>
シリコン単結晶基板の用意から、窒化シリコン膜の形成までは、実施例と同様の方法で基板Wを作製した。
このようにして得られた太陽電池用基板Wに電極を形成する。まず、基板Wの受光面とは反対側の面(裏面)全体に、スクリーン印刷法を用いてアルミニウムペーストを塗布して乾燥させた。
次に、実施例と同様の電極パターンで電極用ペーストをスクリーン印刷により塗布し、乾燥させた。第1層目の電極用ペーストは、銀粒子、ガラスフリット、樹脂、溶剤を配合したものを使用した。
その後所望の熱プロファイルにより基板Wに熱処理を施した。これにより、厚さ20μmのアルミニウム製の裏面電極が焼成され、それと同時に線幅が約50μm、各線の間隔が約1.8±0.2mmのパターンで約20μmの高さを有するフィンガー電極の第1層目が焼成された。
このとき使用した第2層目の電極用ペーストは、第1層目の電極用ペーストと同じもの使用した。
この後、基板Wを乾燥させ、所望の熱プロファイルにより基板Wに熱処理を施した。これにより、フィンガー電極の第2層目が焼成された。
このように製造された太陽電池の変換効率等を測定した。その測定結果を下記の表1に示す。表1の通り、比較例によって製造された2層構造のフィンガー電極の変換効率は、約16.5%であった。また、アスペクト比(高さ/幅)は50/150となった。すなわち、2層とも電極用ペーストで形成すると、第1層目のフィンガー電極を幅50μmで形成することができるが、第2層目の電極用ペーストを印刷する際、印刷のズレや、ペーストの流動により第1層目の電極からペーストがだいぶはみ出してしまうことが分かる。さらに、単位面積あたりのフィンガー電極の占有面積は約6%であった。
2a…はんだ性材料、 10…複層構造のフィンガー電極、
11…パッシベーション膜兼反射防止膜、
12a…低濃度拡散層、 12b…高濃度拡散層、 13…裏面電極、
20…太陽電池、 A、B…位置、 W…(太陽電池用の)基板。
Claims (1)
- 少なくとも、基板上に複層構造のフィンガー電極を形成する工程を有する太陽電池の製造方法であって、
前記フィンガー電極形成工程において、第2層目のフィンガー電極として銅の細線を使用し、
前記銅の細線として該銅の細線の表面にはんだ性材料がメッキされたものを使用し、
前記銅の細線として該銅の細線の断面の形状が円形又は正方形であるものを使用し、
前記フィンガー電極形成工程において、基板上に第1層目のフィンガー電極となるフィンガー電極用ペーストをスクリーン印刷により所望パターンで塗布して第1層目のフィンガー電極を焼成し、該第1層目のフィンガー電極上に第2層目のフィンガー電極となる前記銅の細線を配置して、該銅の細線上から200℃〜300℃のアイロンを押し当てて前記第1層目のフィンガー電極とはんだ付けし、前記複層構造のフィンガー電極を形成し、
前記第1層目のフィンガー電極用ペーストを印刷する際、前記第1層目のフィンガー電極用ペーストの中央に谷ができるようにすることを特徴とする太陽電池の製造方法。
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