JP5512814B2 - 案内機構及びリニアモータ - Google Patents

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Description

本発明は、小さくすることが可能となる案内機構及びリニアモータに関する。
近年、磁性体及びコイルからなる固定子と、長尺板上に磁石列が配置されてなり、当該固定子に移動自在に取り付けられた可動子とからなるリニアモータが提案されている。このようなリニアモータには、固定子に対して可動子を磁気的中立位置に保持して移動方向に案内する案内機構が設けられることがある。固定子に対して略直線状に移動する可動子を案内するために、可動子の側面に設けられ、可動子の移動方向に延びるガイドシャフト(案内棒)を支持する鼓型ローラ(支持輪)を設けた案内機構が使われることがある(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
鼓型ローラは、ローラ面と棒部材の支持面との間に生じる差動すべりにより、大きな差動磨耗が発生することがある。また、鼓型ローラの差動磨耗を減少させるべく、鼓型ローラのローラ面とガイドシャフトとの接触点を多くした場合、各接触点における圧力が不均一となり、接触磨耗が顕著に現れることがある。特許文献3には、異なる軸部を有し、個別に回転可能な2つの平ローラでガイドシャフトを支持する案内機構が開示されている。
国際公開第2007−116507号 特開昭62−17423号公報 特開平4―90172号公報
しかしながら、従来技術では、接触磨耗を少なくすることが可能であるものの、異なる軸部を有する2つの平ローラを備えることにより、案内機構が大きくなるという問題があった。
本願は、斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、軸部に離隔挿嵌してあり、個別に回転可能な2つの支持輪を備えることにより、小さくすることが可能となる案内機構及びリニアモータを提供することにある。
本願に開示する案内機構は、固定部に対して矩形板状の可動部を長手方向に案内する案内機構において、前記可動部の長手方向に対して略平行に延びるよう前記可動部の長手方向の側面に設けてあり、前記長手方向と略垂直な断面が前記側面側から前記可動部の幅方向へ狭まる2つの案内棒と、前記固定部に設けられ、前記案内棒夫々を支持する2つの支持部群とを備え、該支持部群の支持部夫々は、前記可動部の板面に対して略垂直をなすよう前記案内棒側へ前記固定部に設けてある軸部と、個別に回転可能に前記軸部へ離隔挿嵌してあり、前記案内棒を支持する2つの支持輪とを備え、前記2つの支持輪は、対向する側面に前記案内棒の側面を支持する支持面を備え、前記支持面の各々の接線は前記軸部の中心軸上の点を通過する。
本願にあっては、可動部の両側面に可動部の移動方向に対して互いに略平行に延びる一対の案内棒が設けられる。固定部には、同一軸上に離間した2つの支持輪が、軸部が可動部に対して略垂直となるよう各案内棒に向かって突設されている。案内棒は、長手方向の側面が可動部の幅方向に狭まりながら突出し、突出面が2つの支持輪により支持される。可動部が移動する場合、案内棒を支持する2つの支持輪夫々が個別に回転して、可動部を案内する。2つの支持輪夫々の対向する側面が、可動部の幅方向に狭まりながら突出する案内棒の側面の突出面を支持する。支持面の各々の接線が、軸部の中心軸上の点を通過する。
本願に開示する案内機構は、前記各々の接線のなす角度は67°〜70°であり、前記2つの支持輪と前記軸部とは一体であることを特徴とする。
本願にあっては、支持面の各々の接線のなす角度が67°〜70°であり、2つの支持輪と軸部とは一体的に構成されている。
本願に開示する案内機構は、一方の支持部群の支持部夫々は、該支持部の軸部の一端に設けられた偏心軸部と、該偏心軸部の先端側に設けられたネジ部とを備え、前記固定部は、前記偏心軸部が貫通して前記ネジ部が突出する貫通部を備え、該支持部は、前記貫通部から突出する前記ネジ部にナットが螺合して固定してあることを特徴とする。
本願にあっては、可動部の両側面夫々に設けられた案内棒を支持する2つの支持部群のうち、一方の支持部群の支持部夫々に、取付位置を調整する調整機構が設けられている。調整機構は、支持部の軸部の一端に設けられた偏心軸部と、該偏心軸部の先端側に設けられたネジ部とからなる。調整機構を有する支持部は、固定部に設けられた貫通部を偏心軸部が貫通してネジ部が突出し、当該ネジ部にナットが螺合され固定部に固定される。螺合したナットと共に偏心軸部を回転させることにより、支持部の取付位置を可動部の幅方向に移動させ、取付位置が調整される。
本願に開示する案内機構は、前記案内棒は、円柱であることを特徴とする。
本願にあっては、可動部の両側面に円柱状の案内棒が設けられ、案内棒の円弧状断面を有する側面の突出面が支持輪により支持される。
本願に開示するリニアモータは、固定子に対して矩形板状の可動子が長手方向に移動するリニアモータにおいて、前記可動子の長手方向に対して略平行に延びるよう前記可動子の長手方向の側面に設けてあり、前記長手方向と略垂直な断面が前記側面側から前記可動子の幅方向へ狭まる2つの案内棒と、前記固定子に設けられ、前記案内棒夫々を支持する2つの支持部群とを備え、該支持部群の支持部夫々は、前記可動子の板面に対して略垂直をなすよう前記案内棒側へ前記固定子に設けてある軸部と、個別に回転可能に前記軸部へ離隔挿嵌してあり、前記案内棒を支持する2つの支持輪とを備え、前記2つの支持輪は、対向する側面に前記案内棒の側面を支持する支持面を備え、前記支持面の各々の接線は前記軸部の中心軸上の点を通過する。
本願にあっては、リニアモータの可動子の両側面に、可動子の移動方向に対して互いに略平行に延びる一対の案内棒が設けられる。固定子には、同一軸上に離間した2つの支持輪が、軸部が可動子に対して略垂直となるよう各案内棒に向かって突設されている。案内棒は、長手方向の側面が可動子の幅方向に狭まりながら突出し、突出面が2つの支持輪により支持される。可動子が移動する場合、案内棒を支持する2つの支持輪夫々が個別に回転して、可動子を案内する。2つの支持輪夫々の対向する側面が、可動子の幅方向に狭まりながら突出する案内棒の側面の突出面を支持する。支持面の各々の接線が、軸部の中心軸上の点を通過する。
本願に開示するリニアモータは、前記各々の接線のなす角度は67°〜70°であり、前記2つの支持輪と前記軸部とは一体であることを特徴とする。
本願に開示するリニアモータは、一方の支持部群の支持部夫々は、該支持部の軸部の一端に設けられた偏心軸部と、該偏心軸部の先端側に設けられたネジ部とを備え、前記固定子は、前記偏心軸部が貫通して前記ネジ部が突出する貫通部を備え、該支持部は、前記貫通部から突出する前記ネジ部にナットが螺合して固定してあることを特徴とする。
本願に開示するリニアモータは、前記案内棒は、円柱であることを特徴とする。
当該装置の一観点によれば、軸部に離隔挿嵌してあり、個別に回転可能な2つの支持輪を備えることにより、小さくすることが可能となる。
リニアモータの例を示す模式的上面図である。 リニアモータの例を示す模式的側面図である。 図2のIII-III線における模式的断面図である。 図2のIV‐IV線における模式的断面図である。 案内部材を示す模式的構造断面図である。 案内部材を示す模式的構造断面図である。 案内棒の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。 案内棒の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。 案内棒の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。 案内棒の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。 案内棒の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。 案内棒の他の形状例を説明するための説明図である。 案内棒の他の形状例を説明するための説明図である。 リニアモータの他の例を示す模式的断面図である。 リニアモータの他の例を示す模式的断面図である。
実施の形態
実施の形態1
以下、実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。本願に係る案内機構は、例えばリニアモータに内蔵され、リニアモータの可動子を移動方向に案内する。また、例えばディスク装置の光ピックアップの移動機構に内蔵され、光ピックアップを移動方向に案内する。本願に係るリニアモータは、例えば、載置された物体を直線状に移動させる駆動ステージに内蔵され、ステージを移動させる駆動源として用いられる。本実施の形態では、案内機構を内蔵するリニアモータを例に挙げて説明する。
図1及び図2は、リニアモータの例を示す模式的上面図及び模式的側面図である。リニアモータは、筒状の固定子1及び当該固定子1に挿通する可動子2を含む。可動子2は、長尺平板の磁石板20と、当該磁石板20の幅方向の側面夫々に設けられ、当該磁石板20の長手方向に延び、互いに略平行となる案内棒21、22を含む。案内棒21、22夫々は、長手方向に離隔配置された複数のネジ23により、磁石板20の長手方向の側面に固定されている。磁石板20には、幅方向の略中央にN極及びS極が固定子1の長手方向に交互に並ぶよう複数の永久磁石20a、20a、…を配列させた磁石列を備える。永久磁石20a、20a、…は、例えばNd−Fe―B系希土類磁石を用いるとよい。
また、永久磁石20a、20a、…は、例えば特許第4241900号又は特許第2859517号に開示された製造方法で製造された希土類磁石を用いてもよい。特に特許第4241900号に開示された製造方法で製造された永久磁石は、高い飽和磁束密度及び保持力を有しており、本願に係る有鉄心タイプのリニアモータに適している。可動子2の磁石板20は、非磁性体が好ましく、例えばSUS303、アルミニウム及びセラミック等から形成するとよい。可動子2は、固定子1及び磁石板20の磁石列が発生する磁場間の相互作用により、固定子1の筒軸方向に沿って移動する。
固定子1は、リニアモータのU相、V相及びW相に各対応する3つの固定子ユニット11が非磁性体のスペーサ10を介して連結してなる。スペーサ10の底面には、案内棒21、22に向けて開口する2つの開口部10b、10bを有する。スペーサ10には、後述の支持部としての案内部材4(図4参照)が、外側から一方の開口部10bを通過して、磁石板20の板面に対して略垂直となるよう案内棒21に向かって突設してある。また、スペーサ10には、支持部としての案内部材5が、外側から他方の開口部10bを通過して、磁石板20の板面に対して略垂直となるよう案内棒22に向かって突設してある。スペーサ10の上面には、略中央に位置する貫通部530、530(図4参照)を貫通して案内部材4、5夫々が突出する凹部10a、10aを備える。
案内部材4、5夫々は、凹部10aに突出した一端に設けられたネジ部にナット3が螺合することにより、スペーサ10に固定されている。案内棒21、22夫々は、各スペーサ10に配置された案内部材4、5により、幅方向外側が案内支持され、可動子2は、磁気的中立位置に位置するよう案内される。ここで、磁気的中立位置とは、空隙間の永久磁石20a、20a、…夫々の上面の磁極及び下面の磁極が固定子1との間で生じる吸引力が略同一となる位置である。磁気的中立位置にある可動子2には、吸引力差による曲げ応力が発生しない。スペーサ10の両側面夫々には、案内部材4、5夫々に向けて開口する開口部10cが設けられている。
図3は、図2のIII-III線における模式的断面図である。固定子ユニット11は、磁性体からなり、可動子2の挿通方向に延びるH字状断面の貫通孔を有する。固定子ユニット11の貫通孔は、磁石板20の永久磁石20a、20a、…が設けられた幅方向略中央部が挿通する空隙を有する。固定子ユニット11は、磁石板20の幅方向略中央部の上面及び下面夫々に対面するコイル11a、11bを備える。固定子ユニット11、固定子ユニット11の貫通孔の空隙及びコイル11a、11bは、磁気回路を形成する。
コイル11a、11bは、通電された場合、磁石板20に対して略垂直に交差する磁場を発生する。磁気的中立位置は、一般にコイル11a、11bの対面方向の中央に位置する。この場合、磁石板20は、コイル11a、11bの対面方向の中央に位置することが好適であるが、これに限るものではない。磁石板20は、例えば磁気的中立位置となるコイル11a、11bの対面方向の中央から磁石板20の板面に略垂直方向へ±0.1mm以内に位置していればよい。
図4は、図2のIV‐IV線における模式的断面図である。スペーサ10は、筒軸方向が固定子1の筒軸方向と略一致する筒状部材であり、磁石板20が挿通する。案内部材4は、案内棒21の軸方向に交差する軸部40と、当該軸部40の一端に個別に回転自在に離隔挿嵌してあり、軸部40の軸方向へ向かい合う一対の支持輪41、42とを含む。支持輪41、42は、向かい合う面の端部に設けられたテーパ状の支持面により、案内棒21の長手方向の側面を支持する。案内部材4は、軸部40の他端のネジ部に平座金3aを介してナット3が螺合し、スペーサ10に固定されている。
案内部材5は、案内棒22の軸方向に交差する軸部50と、当該軸部50の一端に個別に回転自在に離隔挿嵌してあり、軸部50の軸方向に向かい合う一対の支持輪51、52とを含む。支持輪51、52は、向かい合う面の端部に設けられたテーパ状の支持面により、案内棒22の長手方向の側面を支持する。案内部材5には、軸部50の一端に軸部50の軸方向に延び、軸部50の軸に対して偏心した偏心軸部53が設けられている。案内部材5は、偏心軸部53に設けられたネジ部に遊嵌する平座金3aを介して、ネジ部に螺合するナット3によりスペーサ10に固定されている。偏心軸部53のネジ部に螺合したナット3を回転させた場合、偏心軸部53が回転し、軸部50が磁石板20の幅方向に変位する。これにより、案内部材5の取付位置を磁石板20の幅方向に調整することが可能となる。
図5は、案内部材4を示す模式的構造断面図である。図中2点鎖線は、案内部材4により支持される案内棒21を示す。軸部40は、支持輪41、42の回転軸であり、一端に嵌め込まれた支持輪42を回転自在に挟持する支持壁を有する。また、軸部40は、支持輪42から間隙を有して嵌め込まれた支持輪41を挟持する支持壁を有する。軸部40の他端には、ナット3が螺合するネジ溝40aを備える。また、軸部40には、支持輪41、42間を離隔させるための円筒部40が嵌め込まれている。支持輪41、42夫々の内周面及び軸部40の外周面間には、鋼球41b、42bが介挿されており、支持輪41、42夫々は個別に回転可能にしてある。支持輪41、42夫々の向かい合う側面の端部に設けられたテーパ状の支持面41a、42aは、案内棒21の側面を支持する。
ここで、支持輪41、42の対向する側面の中央に位置する軸部40の中心軸上の点P1と、支持面41a、42a夫々の接線とがなす角度を接触角度θaとする。言い換えると、支持面41a、42a夫々の接線は、軸部40の中心軸上の点P1を通過する。接触角度θaは、案内棒21の半径、支持輪41、42の半径及び支持輪41、42間の距離等に応じて、接線方向の略中央が案内棒21の側面と接するよう予め決定される。そして、決定した接触角度θaを有するよう支持面41a、42aを、支持輪41、42夫々に形成するとよい。これにより、支持面41a、42aと、案内棒21の側面との摺動すべりを抑制し、摺動磨耗を低減することが可能となる。接触角度θaは、例えば67°〜70°とするとよい。
図6は、案内部材5を示す模式的構造断面図である。図中2点鎖線は、案内部材5により支持される案内棒22を示す。軸部50は、支持輪51、52の回転軸であり、一端に嵌め込まれた支持輪52を回転自在に挟持する支持壁を有する。また、軸部50は、支持輪52から間隙を有して嵌め込まれた支持輪51を挟持する支持壁を有する。軸部50の他端には、軸部50の中心軸L50に対してΔx偏心した中心軸L53を有する偏心軸部53が設けられている。偏心軸部53の先端側には、ナット3が螺合するネジ溝53aが設けられている。また、軸部50には、支持輪51、52間を離隔させるための円筒部50aが嵌め込まれている。支持輪51、52夫々の内周面及び軸部50の外周面間には、鋼球51b及び52bが介挿されており、支持輪51、52夫々は個別に回転可能にしてある。支持輪51、52夫々の向かい合う側面の端部に設けられたテーパ状の支持面51a、52aは、案内棒22の側面を支持する。
ここで、支持輪51、52の対向する側面の中央に位置する軸部50の中心軸上の点P2と、支持面51a、52a夫々の接線とがなす角度を接触角度θbとする。言い換えると、支持面51a、52a夫々の接線は、軸部50の中心軸上の点P2を通過する。接触角度θbは、案内棒22の半径、支持輪51、52の半径及び支持輪51、52間の距離等に応じて、接線方向の略中央が案内棒22の側面と接するよう予め決定される。そして、決定した接触角度θbを有するよう支持面51a、52aを、支持輪51、52夫々に形成するとよい。これにより、支持面51a、52aと、案内棒22の側面との摺動すべりを抑制し、摺動磨耗を低減することが可能となる。接触角度θbは、例えば67°〜70°とするとよい。
図7A〜Eは、案内棒21の製造方法及び取付け方法を説明するための説明図である。図7A〜図7E夫々は、案内棒21の製造及び取付けにおける各工程を示す。図7Aに示す如く鉄製の円柱210の表面に、浸炭焼入れ又は高周波焼入れにより、硬化層210aが形成される。硬化層210aの厚さ、すなわち焼入れ深さは、例えば0.4〜0.5mmである。また、硬化層210aの硬度は、例えばHRC50〜60である。次に焼入れが施された円柱210の長手方向の側面が切削されて、円柱210の軸方向に延び、硬化層210aを有しない切削面211が形成される(図7B参照)。
切削面211に対して略垂直に切削面211の反対側から貫通孔212が、ドリル及びエンドミル等の工具を用いて円柱210の長手方向の側面に穿たれる(図7C参照)。図7C中の白抜矢印は、貫通孔212を穿つ方向を示す。貫通孔212を穿つ工具は、切削面211から突出する場合、切削面211に硬化層210aがないため、工具の先端にチッピングが発生する虞を低減することが可能となる。また、切削面211には硬化層210aがないため、工具の貫通出口となる切削面211の貫通孔212の開口部周辺に生じるカエリを容易に除去することが可能となる。
次に貫通孔212よりも径の長い側面開口部213がエンドミル等の工具を用いて形成される(図7D参照)。以上により、案内棒21が円柱210から製造される。案内棒21は、側面開口部213及び貫通孔212に差し込まれたネジ23が磁石板20に設けられたネジ孔20bに螺合することにより、磁石板20の側面に取り付けられる(図7E参照)。また、案内棒22も同様に鉄製の円柱から製造され、磁石板20の側面に取り付けられる。
図8A及びBは、案内棒21の他の形状例を説明するための説明図である。図8A及び図8B夫々は、案内棒21の異なる他の形状例を、支持輪41、42及び軸部40と共に示す。案内棒21、22は、円状の断面を有する円柱である場合を示したが、これに限るものではない。案内棒21、22は、可動子2の幅方向に延びる線に対して対称形状であり、かつ可動子2の幅方向に窄まる長手方向に略垂直な断面を有していればよい。図8Aに示す例では、案内棒21は、可動子2の幅方向に窄まる8角形の断面を有する。図8Bに示す例では、案内棒21は、可動子2の幅方向に2次曲線状に狭まる断面を有する。
本実施の形態では、可動子が筒状の固定子に挿通してあるリニアモータを例に挙げて説明したが、これに限るものではない。可動子に設けられた案内棒を固定子に設けられた案内部材が支持することにより、可動子が固定子に取り付けられたリニアモータであってもよい。このようなリニアモータの例を次に説明する。
図9は、リニアモータの他の例を示す模式的断面図である。リニアモータは、板状の固定子6と、固定子6に移動自在に取り付けられており略U字状断面を有する可動子7とからなる。可動子7は、矩形状の底面を有し、両側面外側には、当該底面の長手方向に延びる案内棒71、72が設けられている。固定子6は、案内棒71が延びる方向に沿って配された複数の凹部60aと、案内棒72が延びる方向に沿って配された複数の凹部60bとを上面に備える。各凹部60a及び各凹部60b夫々は、底面の略中央に案内棒71、72に向かって貫通する貫通部530、530を有する。固定子6の下面には、各凹部60a及び各凹部60bの貫通部530、530を貫通し、案内棒71、72夫々に向かって略垂直に案内部材4、5が突設してある。
固定子6の下面から突設する案内部材4、5により、案内棒71、72が案内支持される。可動子7の底面内側には、略U字断面を有し、両側面が底面に対して略平行に配置してあるヨーク73が設けられている。また、固定子6の下面には、略L字状断面を有し、固定子6の移動方向に延びるコイル部60を備える。コイル部60は、複数のコイルが固定子6の長手方向に配設された矩形板状のコイル板と、当該コイル板の長手方向の一端に略垂直に設けられた支持板とを含む。固定子6のコイル板は、固定子6の下面に略平行であり、コイルに通電された場合、コイル板の板面に略垂直に交差する磁場を発生する。
コイル部60は、支持板が固定子6の下面に取り付けられて、固定子6の下面に固定されている。また、コイル部60のコイル板は、ヨーク73の両側面間の略中央にヨークの両側面と略平行になるよう配置される。ヨーク73は、両側面内側にヨーク73の長手方向に配列された複数の永久磁石からなる磁石列73a、73bを備える。磁石列73a、73bは、コイル部60のコイル板の上面及び下面夫々に空隙を有して対面する。可動子7は、案内部材4、5により案内支持され、磁石列73a、73b及びコイル部60のコイル板が発生する磁場間の相互作用により、固定子6に対して移動する。尚、固定子6及び可動子7を含むリニアモータを例に挙げて説明したが、これに限るものではない。例えば、可動子7を固定し、固定子として機能させ、固定子6を移動自在にし、可動子として機能させてもよい。次に、可動子が固定子に取り付けられたリニアモータの他の例を説明する。
図10は、リニアモータの他の例を示す模式的断面図である。リニアモータは、板状の固定子8と、固定子8に移動自在に取り付けられた矩形板状の可動子9とを含む。可動子9には、長手方向に延び、幅方向に互いに対向する矩形板状のヨーク93、93が上面に突設してある。ヨーク93、93の可動子9の幅方向外側の板面夫々には、可動子9の長手方向に延びる案内棒91、92が設けられている。固定子8は、案内棒91が延びる方向に沿って配された複数の凹部80aと、案内棒92が延びる方向に沿って配された複数の凹部80bとを上面に備える。
各凹部80a及び各凹部80b夫々は、底面の略中央に案内棒91、92に向かって貫通する貫通部530、530を有する。固定子8の下面には、各凹部80a及び各凹部80bの貫通部530、530を貫通し、案内棒91、92夫々に向かって略垂直に案内部材4、5が突設してある。固定子8の下面から突設する案内部材4、5により、案内棒91、92が案内支持される。また、固定子8の下面には、可動子9の移動方向に延びる有鉄心コイル80を備える。有鉄心コイル80は、コイルに通電された場合、ヨーク93、93の板面に略垂直に交差する磁場を発生する。
ヨーク93、93は、有鉄心コイル80に空隙を有して対面し、長手方向に配列された複数の永久磁石からなる磁石列93a、93bを対向する面に備える。可動子9は、案内部材4、5により案内支持され、磁石列93a、93b及び有鉄心コイル80が発生する磁場間の相互作用により、固定子8に対して移動する。尚、可動子9および固定子8を含むリニアモータを例に挙げて説明したが、これに限るものではない。例えば、可動子9を固定して固定子として機能させ、固定子8を移動自在にして可動子として機能させてもよい。
本実施の形態では、個別に回転可能な2つの支持輪41、42及び2つの支持輪51、52夫々が、案内棒を支持するため、接触摩擦を低減することが可能となる。また、2つの支持輪41、42と、2つの支持輪51、52夫々が、一つの軸部40及び一つの軸部50に離隔挿嵌することにより、案内機構を小さくすることが可能となる。
1、6、8 固定子
10 スペーサ
10a、60a、60b、80a、80b 凹部
10b、10c 開口部
11 固定子ユニット
11a、11b コイル
23 ネジ
2、7、9 可動子
20 磁石板
20a 永久磁石
20b ネジ孔
21、22、71、72、91、92 案内棒
3 ナット
3a 平座金
4、5 案内部材
40、50 軸部
41、42、51、52 支持輪
41a、42a、51a、52a 支持面
41b、42b、51b、52b 鋼球
53 偏心軸部
60 コイル部
80 有鉄心コイル
θa、θb 接触角度
210 円柱
210a 硬化層
211 切削面
212 貫通孔
213 側面開口部
530 貫通部
73、93 ヨーク
73a、73b、93a、93b 磁石列

Claims (8)

  1. 固定部に対して矩形板状の可動部を長手方向に案内する案内機構において、
    前記可動部の長手方向に対して略平行に延びるよう前記可動部の長手方向の側面に設けてあり、前記長手方向と略垂直な断面が前記側面側から前記可動部の幅方向へ狭まる2つの案内棒と、
    前記固定部に設けられ、前記案内棒夫々を支持する2つの支持部群と
    を備え、
    該支持部群の支持部夫々は、
    前記可動部の板面に対して略垂直をなすよう前記案内棒側へ前記固定部に設けてある軸部と、
    個別に回転可能に前記軸部へ離隔挿嵌してあり、前記案内棒を支持する2つの支持輪と
    を備え
    前記2つの支持輪は、対向する側面に前記案内棒の側面を支持する支持面を備え、
    前記支持面の各々の接線は前記軸部の中心軸上の点を通過することを特徴とする案内機構。
  2. 前記各々の接線のなす角度は67°〜70°であり、前記2つの支持輪と前記軸部とは一体であることを特徴とする請求項1に記載の案内機構。
  3. 一方の支持部群の支持部夫々は、
    該支持部の軸部の一端に設けられた偏心軸部と、
    該偏心軸部の先端側に設けられたネジ部と
    を備え、
    前記固定部は、前記偏心軸部が貫通して前記ネジ部が突出する貫通部を備え、
    該支持部は、前記貫通部から突出する前記ネジ部にナットが螺合して固定してある
    ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の案内機構。
  4. 前記案内棒は、円柱であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか一つに記載の案内機構。
  5. 固定子に対して矩形板状の可動子が長手方向に移動するリニアモータにおいて、
    前記可動子の長手方向に対して略平行に延びるよう前記可動子の長手方向の側面に設けてあり、前記長手方向と略垂直な断面が前記側面側から前記可動子の幅方向へ狭まる2つの案内棒と、
    前記固定子に設けられ、前記案内棒夫々を支持する2つの支持部群と
    を備え、
    該支持部群の支持部夫々は、
    前記可動子の板面に対して略垂直をなすよう前記案内棒側へ前記固定子に設けてある軸部と、
    個別に回転可能に前記軸部へ離隔挿嵌してあり、前記案内棒を支持する2つの支持輪と
    を備え
    前記2つの支持輪は、対向する側面に前記案内棒の側面を支持する支持面を備え、
    前記支持面の各々の接線は前記軸部の中心軸上の点を通過することを特徴とするリニアモータ。
  6. 前記各々の接線のなす角度は67°〜70°であり、前記2つの支持輪と前記軸部とは一体であることを特徴とする請求項5に記載のリニアモータ。
  7. 一方の支持部群の支持部夫々は、
    該支持部の軸部の一端に設けられた偏心軸部と、
    該偏心軸部の先端側に設けられたネジ部と
    を備え、
    前記固定子は、前記偏心軸部が貫通して前記ネジ部が突出する貫通部を備え、
    該支持部は、前記貫通部から突出する前記ネジ部にナットが螺合して固定してある
    ことを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のリニアモータ。
  8. 前記案内棒は、円柱であることを特徴とする請求項5から請求項7までのいずれか一つに記載のリニアモータ。
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