JP5500686B2 - シリカガラスルツボ - Google Patents
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Description
以下、図1〜図2を用いて、本発明の一実施形態のシリカガラスルツボについて説明する。図1は、本実施形態のシリカガラスルツボの構造を示す断面図であり、図2は、図1中の領域Aの拡大図である。
シリカガラスルツボ1の壁3は、図1に示した断面図のように、曲率が比較的大きいコーナー部32と、上面に開口した縁部を有する円筒状の側部31と、直線または曲率が比較的小さい曲線からなるすり鉢状の底部33を有する。本発明において、コーナー部とは、側部31と底部33を連接する部分で、コーナー部の曲線の接線がシリカガラスルツボの側部31と重なる点から、底部と共通接線を有する点までの部分のことを意味する。
ここで言う鉱化元素とは、ガラスの結晶化を促進する元素を示し、無機塩、硝酸塩、炭酸塩、硫酸塩、酢酸塩、シュウ酸塩、弗化塩、リン酸塩、酸化物、過酸化物、水酸化物、塩化物などの状態でガラスに混在する状態、Siと原子置換した状態、イオン化した状態、あるいは3Al2O3・2SiO2などの化合物の状態で、シリカガラス中に存在する。鉱化元素の種類としては、Na、K、Li、Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、Cu、Agなどが挙げられる。
本実施形態のシリカガラスルツボ1は、(1)石英ガラスルツボの外形を規定する碗状の内表面を有するモールドを回転させながら、その内部の底部及び側面上に結晶質又は非晶質のシリカ粉を所定厚さに堆積させることによってシリカ粉層を形成し、(2)このシリカ粉層をアーク放電によって融解させた後に冷却することによって、製造することができる。
シリコンインゴットは、(1)本実施形態のシリカガラスルツボ1内で多結晶シリコンを溶融させてシリコン融液を生成し、(2)シリコン種結晶の端部を前記シリコン融液中に浸けた状態で前記種結晶を回転させながら引き上げることによって製造することができる。シリコン単結晶の形状は、上側から円柱状のシリコン種結晶、その下に円錐状のシリコン単結晶、上部円錐底面と同じ径を持つ円柱状のシリコン単結晶(以下、直胴部と称する)、頂点が下向きである円錐状のシリコン単結晶からなる。
弱:流速 0.1m3/s
中:流速 1m3/s
強:流速 10m3/s
◎:単結晶率が0.80以上〜0.99未満
○:単結晶率が0.70以上〜0.80未満
△:単結晶率が0.60以上〜0.70未満
×:単結晶率が0.60未満
Claims (2)
- シリコン単結晶の引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、前記ルツボの壁の外表面から内表面に向かって厚さ2mmの領域のシリカガラスのラマンスペクトルでの492cm−1におけるピークの面積強度I1と、606cm−1におけるピークの面積強度I2の比I2/I1が0.67〜1.17であるシリカガラスルツボ。
- 前記領域のシリカガラスは、鉱化元素の含有量が20ppm以下であり、
前記鉱化元素は、Na、K、Li、Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、CuまたはAgから選択される請求項1に記載のルツボ。
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