JP5398074B2 - 石英ガラスルツボの製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
本願は、2007年 7月28日に、日本に出願された特願2007-196814号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
(1)モールドの溶融空間内面に堆積した石英粉層を加熱溶融しガラス化して石英ガラスルツボを製造方法において、
前記加熱溶融中に前記溶融空間に押し込み給気を行って前記溶融空間の気圧を周囲よりも高くし、溶融空間と周囲との間に100Pa以上の気圧差を形成した状態で加熱溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
(2)内部に溶融空間を有するモールドを収納する加熱炉を備え、加熱炉内にはモールド内部の溶融空間に向かうアーク電極が設けられており、モールドの溶融空間内面に堆積した石英粉層をアーク放電によって加熱溶融しガラス化して石英ガラスルツボを製造する装置において、
アーク電極の側方からモールドの溶融空間に向かって空気を吹き出す手段と、該空気吹出手段の吹き出し口よりも下側に加熱炉内の空気を排出する排気口が設けられており、モールドの溶融空間の気圧を周囲よりも高くし、モールドの溶融空間と周囲との間に100Pa以上の気圧差を形成すること
を特徴とする石英ガラスルツボの製造装置。
20 加熱炉
21 電極
22 支持台
23 給気ダクト
24 側壁
25 排気路
26 後壁
27 扉
30 石英粉層
C 石英ガラスルツボ
加熱炉20は、アーク溶融時に扉27を閉めて炉内を閉鎖可能となっている。
なお、図には左端の炭素電極21のみに支持部22a等を示しているが、他の電極も同様の構成によって支持されており、個々の炭素電極21の高さも個別に制御可能とすることができる。
具体的には、図示する例では、支持台22の下側であって電極21の側方に給気ダクト23が設けられている。該給気ダクト23は炉内上部を通過して炉外の給気手段(図示省略)に接続している。給気ダクト23は電極21の両側に2箇所設けられており、電極21からの距離が等しく設定され、両側給気ダクト23の間のほぼ中央に電極21が位置し、平面視した電極21の中心位置に対して、アーク溶融時のモールド10中心軸が一致するように設定されている。
搬入工程においては、石英粉層30が充填されたモールド10を図示しない移動手段によって、扉27の開放された加熱炉20内に搬入して、扉27を閉塞する。この際、電極21はモールド10の搬入に支障がないように上側の搬入時高さ位置に設定される。
給気開始工程においては、電力供給開始後に、給気手段によって、給気ダクト23から気流を噴出して、溶融空間内を加圧する。電力供給前に気体を噴出した場合には、石英粉が飛散する等石英粉層30表面が設定した状態から変化するが可能性があるため好ましくない。
この際、給気ダクト23から噴出する気流を制御して、溶融空間内がその周囲よりも100Pa以上高い気圧差を有するとともに、この気圧差を維持するように制御する。
Claims (2)
- モールドの溶融空間内面に堆積した石英粉層を加熱溶融しガラス化して石英ガラスルツボを製造方法において、
前記加熱溶融中に前記溶融空間に押し込み給気を行って前記溶融空間の気圧を周囲よりも高くし、溶融空間と周囲との間に100Pa以上の気圧差を形成した状態で加熱溶融することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。 - 内部に溶融空間を有するモールドを収納する加熱炉を備え、加熱炉内にはモールド内部の溶融空間に向かうアーク電極が設けられており、モールドの溶融空間内面に堆積した石英粉層をアーク放電によって加熱溶融しガラス化して石英ガラスルツボを製造する装置において、
アーク電極の側方からモールドの溶融空間に向かって空気を吹き出す手段と、該空気吹出手段の吹き出し口よりも下側に加熱炉内の空気を排出する排気口が設けられており、モールドの溶融空間の気圧を周囲よりも高くし、モールドの溶融空間と周囲との間に100Pa以上の気圧差を形成することを特徴とする石英ガラスルツボの製造装置。
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