JP5460541B2 - ナノインプリント方法、液滴配置パターン作成方法および基板の加工方法 - Google Patents
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Description
また、特許文献6には、液滴が塗布される時間差で成分の蒸発時間が異なるという課題を解決するため、液適量や塗布順序を調整する方法が提案されている。
インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、モールドのライン状凹凸パターンを基板の液滴が塗布された面に押し付けて基板上に液滴を拡張して、拡張した複数の液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともにレジスト膜にライン状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
ライン状凹凸パターンを基板に押し付けたときライン状凹凸パターンに対向する基板上のライン転写領域に、ライン状凹凸パターンのライン方向に略平行な方向であるA方向に沿った液滴間隔が、A方向に略垂直な方向であるB方向に沿った液滴間隔より長くなるように、上記液滴を塗布することを特徴とするものである。
1.8≦Wa/Wb≦0.52V1/3/d・・・(1)
本明細書において、式(1)中、Vは塗布される液滴の1箇所当たりの平均体積、dは液滴拡張後の凹凸パターン転写されたレジスト膜の目標とする平均厚み(残膜も含む)を表す。
インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、モールドの直線状凹凸パターンを基板の液滴が塗布された面に押し付けて基板上に液滴を拡張して、拡張した複数の液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともにレジスト膜に直線状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
直線状凹凸パターンを基板に押し付けたとき直線状凹凸パターンに対向する基板上の直線転写領域に、複数の液滴をそれぞれ配置する位置に対応する複数の格子点からなる液滴配置パターンに従って上記液滴を塗布するものであって、
この液滴配置パターンが、直線状凹凸パターンの直線方向に略平行な方向であるA方向、およびA方向に略垂直な方向であるB方向にそれぞれ周期性を有する基本単位格子を有し、A方向の周期性の周期がB方向の周期性の周期より長いものであることを特徴とするものである。
基本単位格子は、L1=0×a+0×bおよびL2=1/2×a+1/2×bの格子点を含む単位構造からなるものであることが好ましい。
1.8≦Ta/Tb≦0.52V1/3/d・・・(2)
本明細書において、式(2)中、Vは基本単位格子を代表する格子点に対応する液滴の平均体積、dは液滴拡張後の凹凸パターン転写されたレジスト膜の目標とする平均厚み(残膜も含む)を表す。
インクジェット法により第1の基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、第1のモールドのライン状凹凸パターンを第1の基板の液滴が塗布された面に押し付けるナノインプリント方法に用いられる、液滴の配置の基準となる液滴配置パターンの作成方法において、
第1の基板とは異なる第2の基板上に上記レジスト材料からなる複数の標準量の液滴を塗布し、
ライン状凹凸パターンと同様の凹凸パターンを有する第2のモールドを第2の基板の液滴が塗布された面に押し付けて、液滴と他の液滴とが接する程度にこの基板上に拡張し、
拡張した複数の上記標準量の液滴の形状をそれぞれ楕円に近似するとともに、これらの楕円の配置を測定し、
複数の楕円が最密充填するように、測定した楕円の配置を再配置し、
再配置後の複数の楕円のそれぞれの中心を格子点として、複数の液滴をそれぞれ配置する位置に対応する複数の格子点からなる液滴配置パターンを得ることを特徴とするものである。
インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、ライン状凹凸パターンを有するモールドを基板の液滴が塗布された面に押し付けて基板上に液滴を拡張して、拡張した複数の液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともにレジスト膜にライン状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
上記に記載の液滴配置パターンの作成方法により作成された液滴配置パターンに従って、基板上に液滴を塗布することを特徴とするものである。
上記に記載のナノインプリント方法により、凹凸パターンが転写されたレジスト膜を基板上に形成し、
このレジスト膜をマスクとしてドライエッチングを行って、このレジスト膜に転写された凹凸パターンに対応した凹凸パターンを基板上に形成して、所定のパターンを有する基板を得るものである。
まず、本発明の第1のナノインプリント方法の実施形態について説明する。なお、本実施形態ではレジスト膜を光硬化させる光硬化方式のナノインプリントを例として説明する。
光硬化性樹脂は、特に制限されるものではないが、本実施形態では例えば重合性化合物R−1に、光重合開始剤(2質量%)、下記界面活性剤W−1(0.1質量%)、下記界面活性剤W−2(0.04質量%)、下記酸化防止剤A−1およびA−2(各1質量%)を加えて調製された光硬化性樹脂を用いることができる。上記の手順により作成した光硬化性樹脂は波長360nmの紫外光により硬化することができる。溶解性の悪いものについては少量のアセトンまたは酢酸エチルを加えて溶解させた後、溶媒を留去することが好ましい。
<重合性化合物>
R−1:ベンジルアクリレート(ビスコート#160:大阪有機化学株式会社製)
<光重合開始剤>
P−1:2,4,6−トリメチルベンゾイル−エトキシフェニル−ホスフィンオキシド
(Lucirin TPO−L:BASF社製)
<界面活性剤>
W−1:フッ素系界面活性剤(トーケムプロダクツ株式会社製:フッ素系界面活性剤)
W−2:シリコーン系界面活性剤
(大日本インキ化学工業株式会社製:メガファックペインタッド31)
<酸化防止剤>
A−1:スミライザーGA80(住友化学工業株式会社製)
A−2:アデカスタブAO503(株式会社ADEKA製)
本実施形態で使用するSiモールドは、例えば以下の手順により製造することができる。まず、Si基材上に、スピンコートなどでノボラック系樹脂、アクリル樹脂などのフォトレジスト液を塗布し、フォトレジスト層を形成する。その後、Si基材にレーザ光(又は電子ビーム)を照射し、フォトレジスト層表面に所定のパターンを露光する。その後、フォトレジスト層を現像処理し、露光部分を除去して、除去後のフォトレジスト層のパターンをマスクにしてRIEなどにより選択エッチングを行い、所定のパターンを有するSiモールドを得る。
Siモールドに対しては、光硬化性樹脂の露光を可能とするために石英基板を用いる。石英基板は、光透過性を有し、厚みが0.3mm以上であれば、特に制限されることなく、目的に応じて適宜選択される。例えば、石英基板表面をシランカップリング剤で被覆したものや、石英基板上にCr、W、Ti、Ni、Ag、Pt、Auなどからなる金属層を積層したものや、石英基板上にCrO2、WO2、TiO2などからなる金属酸化膜層を積層したものや、前記積層体の表面をシランカップリング剤で被覆したもの、などが挙げられる。金属層または金属酸化膜層の厚みは、通常30nm以下、好ましくは20nm以下、にする。30nmを超えるとUV透過性が低下し、光硬化性樹脂の硬化不良が起こりやすい。
Siモールドには転写するパターンとしてライン状凹凸パターンが形成されている。「ライン状凹凸パターン」とは、パターンを液滴に押し付けた際にそのパターン形状に起因して、液滴の拡張方向に異方性が生じて液滴の形状を楕円に近似することができるような凹凸パターンを意味し、特に複数の液滴の楕円形状の長軸方向が一定の方向を向くような凹凸パターンを「直線状凹凸パターン」という。
基板上に光硬化性樹脂の液滴を配置する際は、インクジェットプリンターを用いる。光硬化性樹脂をノズルから吐出するインクジェットヘッドには、ピエゾ方式、サーマル方式、静電方式などが挙げられる。これらの中でも、液適量や吐出速度の調整が可能なピエゾ方式が好ましい。基板上に光硬化性樹脂の液滴を配置する前には、あらかじめ液滴量や吐出速度を設定及び調整する。例えば、液適量は、凹凸パターンの凹部の空間体積が大きい領域では多くしたり、凹部の空間体積が小さい領域や凹部がない領域では少なくしたりして調整することが好ましい。調整後、所定の液滴配置パターンに従って、基板上に液滴を配置する。
1.8≦Wa/Wb≦0.52V1/3/d・・・(1)
式(1)中、Vは塗布される液滴の1箇所当たりの平均体積、dは液滴拡張後の凹凸パターン転写されたレジスト膜の目標とする平均厚み(残膜も含む)を表す。
モールドと基板間の雰囲気を減圧または真空雰囲気にした後に、モールドを押し付けることで残留気体を低減する。ただし、高真空雰囲気下では硬化前の光硬化性樹脂が揮発し、均一な膜厚を維持することが困難となる可能性がある。そこで、好ましくはモールドと基板間の雰囲気を、He雰囲気または減圧He雰囲気にすることで残留気体を低減する。Heは石英基板を透過するため、取り込まれた残留気体(He)は徐々に減少する。Heの透過には時間を要すため減圧He雰囲気とすることがより好ましい。
モールドを押し付けて光硬化性樹脂膜を形成した後、モールドを光硬化性樹脂膜から剥離する。剥離させる方法としては、例えばモールドまたは基板のどちらかの外縁部を保持し、他方の基板またはモールドの裏面を吸引保持した状態で、外縁の保持部もしくは裏面の保持部を押圧と反対方向に相対移動させることで剥離させる方法が挙げられる。
次に、本発明の第2のナノインプリント方法の実施形態について説明する。なお、本実施形態でも、前述の実施形態と同様にレジスト膜を光硬化させるナノインプリントリソグラフィーを例として説明する。本実施形態は、ライン状凹凸パターンが直線状凹凸パターンとみなすことができる場合であって、液滴配置パターンが周期的な格子点群からなる2次元座標から構成される点で、前述の実施形態と異なる。したがって、その他の同様の構成要素についての詳細な説明は、必要のない限り省略する。
1.8≦Ta/Tb≦0.52V1/3/d・・・(2)
次に、本発明の第3のナノインプリント方法およびそれに用いる液滴配置パターンの作成方法の実施形態について説明する。なお、本実施形態でも、前述の実施形態と同様にレジスト膜を光硬化させるナノインプリントリソグラフィーを例として説明する。本実施形態は、特に本発明の液滴配置パターンの作成方法を実施し、これによって作成された液滴配置パターンにしたがって液滴を基板上に塗布する点で、第1の実施形態と異なる。したがって、その他の同様の構成要素についての詳細な説明は、必要のない限り省略する。
なお、上記第1から第3のナノインプリント方法および液滴配置パターンの作成方法の実施形態では、光硬化性樹脂を用いた光硬化方式のナノインプリントについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、熱硬化性樹脂を用いた熱硬化方式でもよい。
本実施形態では、本発明のナノインプリント方法において、複数の液滴を塗布するインクジェットヘッドにより規定される上記A方向の解像度を、同じインクジェットヘッドにより規定される上記B方向の解像度よりも小さく設定する場合について説明する。なお、本発明の第3のナノインプリント方法については、上記「A方向」および上記「B方向」を、それぞれ再配置を行った楕円の「長軸方向」および「短軸方向」として取り扱えばよい。
次に、本発明の基板の加工方法の実施形態について説明する。本実施形態では、Siモールドを原盤として、前述した第1のナノインプリント方法を用いて基板の加工を行う。
なお、上記基板の加工方法の実施形態では、第1のナノインプリント方法を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第2または第3のナノインプリント方法を用いてもよい。
(Siモールドの作製)
まず、Si基材上に、スピンコートによりPMMA(polymenthyl methacrylate)などを主成分とするフォトレジスト液を塗布し、フォトレジスト層を形成した。その後、Si基材を回転させながら、線幅100nm、ピッチ200nmの同心円パターンに対応して変調した電子ビームを照射し、半径15mmから30mmの範囲のフォトレジスト層全面に同心円パターンを露光した。その後、フォトレジスト層を現像処理し、露光部分を除去して、除去後のフォトレジスト層のパターンをマスクにしてRIEにより溝深さが80nmになるように選択エッチングを行い、同心円パターンを有する第1のSiモールドを得た。
重合性化合物R−1に、光重合開始剤P−1(2質量%)、下記界面活性剤W−1(0.1質量%)、下記界面活性剤W−2(0.04質量%)、下記酸化防止剤A−1およびA−2(各1質量%)を加えて調製された前述の光硬化性樹脂を用いた。
厚さ0.525mmの石英ウエハの表面に、光硬化性樹脂との密着性に優れるシランカップリング剤であるKBM−5103(信越化学工業株式会社製)により表面処理をした。KBM−5103をPGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)で1質量%に希釈し、スピンコート法により基板表面に塗布した。続いて、塗布基板をホットプレート上で120℃、20分の条件でアニールし、シランカップリング剤を基板表面に結合させた。
ピエゾ方式のインクジェットプリンターであるFUJIFILM Dimatix社製DMP−2831を使用した。インクジェットヘッドには専用の10plヘッドであるDMC−11610を使用した。液滴量が10plとなるように、あらかじめ吐出条件を設定及び調整した。液滴配置パターンは、前述した本発明の液滴配置パターン作製方法で作成した。この液滴配置パターンにおける液滴間隔のWaおよびWbは、それぞれ1000μmおよび250μmであった。そして、あらかじめ吐出条件を設定及び調整し、この液滴配置パターンに従いライン転写領域に液滴を配置した。
液滴配置パターンに対してSiモールド上の凹凸パターンを位置合わせするため、Siモールドと石英基板をギャップが0.1mm以下になる位置まで近接させ、石英基板の背面から顕微鏡で液滴配置パターンとモールド上の凹凸パターンを観察しながら、Siモールドまたは石英基板のステージを移動させることにより、位置合わせをした。Siモールドと石英基板間の空間を99体積%以上のHeガスで置換し、その後50kPaまで減圧することにより、減圧He雰囲気をつくった。減圧He条件でSiモールドを光硬化性樹脂からなる液滴に接触させた。接触後、液滴が拡張する様子を、石英基板の背面から顕微鏡で観察し、液滴拡張過程の楕円形状の画像を取得した。接触状態を1分間保持し、360nmの波長を含む紫外光により、照射量が300mJ/cm2となるように露光し、光硬化性樹脂膜を硬化させた。
石英基板の外縁部を保持し、Siモールドの裏面を吸引保持した状態で、裏面の保持部を押圧と反対方向に相対移動させることでSiモールドを剥離し、凹凸パターン転写された第1の光硬化性樹脂膜を得た。
凹凸パターンが転写された光硬化性樹脂膜をマスクにして、下記に示すようにドライエッチングを行い、光硬化性樹脂膜に形成された凹凸パターンに基づく凹凸形状を石英基板上に形成し、所定の凹凸パターンを有する第1の石英モールドを得た。まず、パターン凹部に存在する残膜を酸素プラズマエッチングにより除去し、パターン凹部の石英基板を露出させた。その際、凹凸パターン領域内の最も厚い残膜を除去できる条件にあわせてエッチング量を設定した。次に、フッ素系ガスにより、パターン凸部をマスクにして石英基板のRIEを行った。エッチング深さが80nmになるようにRIEの条件を設定した。最後に、パターン凸部の残渣を酸素プラズマエッチングにより除去した。
(Siモールドの作製)
Si基材をXYステージ上で走査しながら、線幅100nm、ピッチ200nmの直線状凹凸パターンに対応して変調した電子ビームを照射し、10mm角の範囲のフォトレジスト層全面に直線状凹凸パターンを露光した。上記と同様の手法により、直線状凹凸パターンを有する第2のSiモールドを得た。
液滴配置パターンの液滴間隔WaおよびWbが共に500μmである点以外は、上記実施例1と同様の工程を実施し、凹凸パターン転写された光硬化性樹脂膜および所定の凹凸パターンを有する石英モールドを得た。
「比較例2」
液滴配置パターンの液滴間隔WaおよびWbが共に500μmである点以外は、上記実施例2と同様の工程を実施し、凹凸パターン転写された光硬化性樹脂膜および所定の凹凸パターンを有する石英モールドを得た。
上記実施例1および2並びに比較例1および2で得られた光硬化性樹脂膜の凹凸パターンを、光学顕微鏡(倍率50倍〜1,500倍)の暗視野測定で検査した。
まず倍率50倍で2mm角の視野を規定する。次に測定視野を走査し、残留気体による欠陥の有無を測定する。残留気体による欠陥は、正常なパターンで見られない散乱光を検出した場合を対象とした。残留気体による欠陥の欠陥総数をカウントした。1cm角当たりの欠陥数が0個の場合を欠陥なし(OK)、1個以上の場合を欠陥あり(NG)とした。
表1に示すように、Siモールドの凹凸パターンを正確に反転し、欠陥がなくかつ残膜ムラのない光硬化性樹脂膜を得ることができた。また、線幅及びパターン高さが均一な石英モールドを得ることができ、本発明により良好な基板加工を行えることが確認できた。
実施例2と同様にSiモールドを作製し、実施例2と同様の光硬化性樹脂および基板を用意し、次のような塗布工程を実施して、液滴の塗布に要した塗布時間の評価を行った。
ピエゾ方式のインクジェットプリンターであるFUJIFILM Dimatix社製DMP−2831を使用した。インクジェットヘッドには専用の1plヘッドであるDMC−11601を使用した。液滴量が1plとなるように、あらかじめ吐出条件を設定及び調整した。液滴配置パターンは、前述した本発明の液滴配置パターン作製方法で作成した。この液滴配置パターンにおけるA方向の格子点間隔LaおよびB方向の格子点間隔Lbは、それぞれ316μmおよび79μmとなった。
インクジェットヘッドを副走査方向に対してθ2回転させて吐出口の実効間隔を158μmとした以外は、実施例3と同様に液滴を配置した(図16b)。
従来法にしたがって、A方向の解像度を322dpiと設定し、B方向の解像度322dpiに合わせた点以外は、実施例3と同様に液滴を配置した。
2 モールド
3 基板
4 レジスト膜
10 インクジェットヘッド
12 吐出口
A ライン方向
B ライン方向に垂直な方向
BM ビットマップ
D 液滴
G インクジェットヘッドの傾き方向
L 格子点
P1 ライン状凹凸パターン
P2 直線状凹凸パターン
R1 ライン転写領域
R2 直線転写領域
Sm インクジェット法における主走査方向
Sv インクジェット法における副走査方向
U 基本単位格子
Wa A方向の液滴間隔
Wb B方向の液滴間隔
Ta A方向の格子点の周期
Tb B方向の格子点の周期
La A方向の格子点間隔
Lb B方向の格子点間隔
x 吐出口同士の配置間隔
y 吐出口の副走査方向に沿った実効間隔
Claims (14)
- インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、モールドのライン状凹凸パターンを前記基板の前記液滴が塗布された面に押し付けて該基板上に前記液滴を拡張して、拡張した複数の該液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともに該レジスト膜に前記ライン状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
前記ライン状凹凸パターンを前記基板に押し付けたとき該ライン状凹凸パターンに対向する該基板上のライン転写領域に、前記ライン状凹凸パターンのライン方向に略平行な方向であるA方向に沿った液滴間隔が、該A方向に略垂直な方向であるB方向に沿った液滴間隔より長くなるように、前記液滴を塗布することを特徴とするナノインプリント方法。 - 前記A方向の平均の液滴間隔Waと前記B方向の平均の液滴間隔Wbとの比Wa/Wbが下記式(1)を満たすことを特徴とする請求項1に記載のナノインプリント方法。
1.8≦Wa/Wb≦0.52V1/3/d・・・(1)
(式(1)中、Vは塗布された前記液滴の1箇所当たりの平均体積、dは前記レジスト膜の平均厚みを表す。) - 前記複数の液滴を塗布するインクジェットヘッドにより規定される前記A方向の解像度を、前記インクジェットヘッドにより規定される前記B方向の解像度よりも小さく設定することを特徴とする請求項1または2に記載のナノインプリント方法。
- 前記A方向および前記B方向のうち一方の方向をインクジェット法における主走査方向、他方の方向を副走査方向と設定し、
複数の液滴をそれぞれ配置する位置に対応する複数の格子点からなる液滴配置パターンに従って前記液滴を塗布する際に、前記副走査方向に沿った格子点間隔が、前記インクジェットヘッドの吐出口の前記副走査方向に沿った実効間隔の整数倍となるように、前記インクジェットヘッドを設定することを特徴とする請求項3に記載のナノインプリント方法。 - インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、モールドの直線状凹凸パターンを前記基板の前記液滴が塗布された面に押し付けて該基板上に前記液滴を拡張して、拡張した複数の該液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともに該レジスト膜に前記直線状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
前記直線状凹凸パターンを前記基板に押し付けたとき該直線状凹凸パターンに対向する該基板上の直線転写領域に、複数の液滴をそれぞれ配置する位置に対応する複数の格子点からなる液滴配置パターンに従って前記液滴を塗布するものであって、
該液滴配置パターンが、前記直線状凹凸パターンの直線方向に略平行な方向であるA方向、および該A方向に略垂直な方向であるB方向にそれぞれ周期性を有する基本単位格子を有し、前記A方向の周期性の周期が前記B方向の周期性の周期より長いものであることを特徴とするナノインプリント方法。 - 前記A方向の一周期を表すベクトルaおよび前記B方向の一周期を表すベクトルbの両始点をいずれかの前記格子点の一つにとり、前記基本単位格子を該ベクトルaおよび該ベクトルbが作る平行四辺形とした場合に、
前記基本単位格子が、L1=0×a+0×bおよびL2=1/2×a+1/2×bの格子点を含む単位構造からなるものであることを特徴とする請求項5に記載のナノインプリント方法。 - 前記A方向の一周期の長さTaと前記B方向の一周期の長さTbとの比Ta/Tbが下記式(2)を満たすことを特徴とする請求項5または6に記載のナノインプリント方法。
1.8≦Ta/Tb≦0.52V1/3/d・・・(2)
(式(2)中、Vは基本単位格子を代表する格子点に対応する液滴の平均体積、dは前記レジスト膜の平均厚みを表す。) - 前記複数の液滴を塗布するインクジェットヘッドにより規定される前記A方向の解像度を、前記インクジェットヘッドにより規定される前記B方向の解像度よりも小さく設定することを特徴とする請求項5から7いずれかに記載のナノインプリント方法。
- 前記A方向および前記B方向のうち一方の方向をインクジェット法における主走査方向、他方の方向を副走査方向と設定し、
前記液滴配置パターンに従って前記液滴を塗布する際に、前記副走査方向に沿った格子点間隔が、前記インクジェットヘッドの吐出口の前記副走査方向に沿った実効間隔の整数倍となるように、前記インクジェットヘッドを設定することを特徴とする請求項8に記載のナノインプリント方法。 - インクジェット法により第1の基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、第1のモールドのライン状凹凸パターンを前記第1の基板の前記液滴が塗布された面に押し付けるナノインプリント方法に用いられる、前記液滴の配置の基準となる液滴配置パターンの作成方法において、
前記第1の基板とは異なる第2の基板上に前記レジスト材料からなる複数の標準量の液滴を塗布し、
前記ライン状凹凸パターンの少なくとも一部と同一の凹凸パターンを有する第2のモールドを前記第2の基板の前記液滴が塗布された面に押し付けて、前記液滴と他の前記液滴とが接する程度に該基板上に拡張し、
拡張した複数の前記標準量の前記液滴の形状をそれぞれ楕円に近似するとともに、該楕円の配置を測定し、
複数の該楕円が最密充填するように、測定した該楕円の配置を再配置し、
再配置後の複数の該楕円のそれぞれの中心を格子点として、複数の前記液滴をそれぞれ配置する位置に対応する複数の格子点からなる液滴配置パターンを得ることを特徴とする液滴配置パターンの作成方法。 - インクジェット法により基板上にレジスト材料からなる複数の液滴を塗布し、ライン状凹凸パターンを有するモールドを前記基板の前記液滴が塗布された面に押し付けながら該基板上に前記液滴を拡張して、拡張した複数の該液滴の結合からなるレジスト膜を形成するとともに該レジスト膜に前記ライン状凹凸パターンを転写するナノインプリント方法において、
請求項10に記載の液滴配置パターンの作成方法により作成された液滴配置パターンに従って、前記基板上に前記液滴を塗布することを特徴とするナノインプリント方法。 - 前記複数の液滴を塗布するインクジェットヘッドにより規定される前記楕円の長軸方向の解像度を、前記インクジェットヘッドにより規定される前記楕円の短軸方向の解像度よりも小さく設定することを特徴とする請求項11に記載のナノインプリント方法。
- 前記長軸方向および前記短軸方向のうち一方の方向をインクジェット法における主走査方向、他方の方向を副走査方向と設定し、
前記液滴配置パターンに従って前記液滴を塗布する際に、前記副走査方向に沿った格子点間隔が、前記インクジェットヘッドの吐出口の前記副走査方向に沿った実効間隔の整数倍となるように、前記インクジェットヘッドを設定することを特徴とする請求項12に記載のナノインプリント方法。 - 請求項1から9および11から13いずれかに記載のナノインプリント方法により、凹凸パターンが転写されたレジスト膜を基板上に形成し、
該レジスト膜をマスクとしてドライエッチングを行って、該レジスト膜に転写された凹凸パターンに対応した凹凸パターンを前記基板上に形成して、所定のパターンを有する基板を得る基板の加工方法。
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JP2014048952A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Dexerials Corp | 透明導電性素子およびその製造方法、入力装置、電子機器、ならびに導電部の形成方法 |
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JP6395352B2 (ja) * | 2013-07-12 | 2018-09-26 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 |
JP6300459B2 (ja) | 2013-07-12 | 2018-03-28 | キヤノン株式会社 | インプリント装置およびインプリント方法、それを用いた物品の製造方法 |
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US10120276B2 (en) | 2015-03-31 | 2018-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article |
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US10035296B2 (en) * | 2016-10-13 | 2018-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Methods for controlling spread of imprint material |
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Family Cites Families (19)
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---|---|---|---|---|
WO2005047975A2 (en) * | 2003-11-12 | 2005-05-26 | Molecular Imprints, Inc. | Dispense geometry and conductive template to achieve high-speed filling and throughput |
US20050106321A1 (en) * | 2003-11-14 | 2005-05-19 | Molecular Imprints, Inc. | Dispense geometery to achieve high-speed filling and throughput |
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