JP5456607B2 - 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 - Google Patents
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Description
3 ベース
4 Xガイド
5 Xステージ
6 Yガイド
7 Yステージ
8 θステージ
10 チャック
11 ゲート
20 光ビーム照射装置
20a ヘッド部
21 レーザー光源ユニット
22 光ファイバー
23 レンズ
24 ミラー
25 DMD(Digital Micromirror Device)
26 投影レンズ
27 DMD駆動回路
31,33 リニアスケール
32,34 エンコーダ
40 レーザー測長系制御装置
41 レーザー光源
42,44 レーザー干渉計
43,45 バーミラー
60 ステージ駆動回路
70 主制御装置
71 描画制御部
72 メモリ
73 バンド幅設定部
74 中心点座標決定部
75 座標決定部
76 描画データレイヤ制御回路
77 DMD傾斜演算部
78 データシフト回路
81 描画データ生成部
82 描画図形座標メモリ
83 座標補正回路
84 描画データ生成回路
Claims (8)
- フォトレジストが塗布された基板を支持するチャックと、
複数のミラーを直交する二方向に配列した空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有する光ビーム照射装置と、
前記チャックと前記光ビーム照射装置とを相対的に移動する移動手段とを備え、
前記移動手段により前記チャックと前記光ビーム照射装置とを相対的に移動して、前記光ビーム照射装置からの光ビームにより基板を走査し、前記光ビーム照射装置の空間的光変調器の1つのミラーで反射された光が基板へ照射される領域と、他のミラーで反射された光が基板へ照射される領域が、光ビームによる基板の走査に伴って部分的に重なる多重露光を行って、基板にパターンを描画する露光装置であって、
描画データを記憶するメモリと、描画データを、光ビームによる基板の走査方向と直交する方向において、前記光ビーム照射装置の空間的光変調器の隣接するミラーの中心点間の距離に応じた等間隔の座標毎に分けて、等間隔の座標毎にまとめて前記メモリに書き込む制御回路とを有し、光ビームによる基板の走査に伴い、描画データを等間隔の座標毎にまとめて前記メモリから読み出して前記光ビーム照射装置の駆動回路へ供給する描画制御手段を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記メモリは、複数のレイヤを有し、
前記制御回路は、描画データを、等間隔の座標毎に前記メモリの各レイヤに振り分けて、等間隔の座標毎にまとめて前記メモリの各レイヤに書き込むことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記光ビーム照射装置は、空間的光変調器が光ビームによる基板の走査方向に対して傾いて配置され、
前記描画制御手段は、前記制御回路が前記メモリに書き込む描画データの座標を、前記光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きに応じて走査方向に補正する第1の補正回路と、前記メモリから読み出した描画データの座標を、前記光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きに応じて走査方向と直交する方向に補正する第2の補正回路とを有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の露光装置。 - フォトレジストが塗布された基板をチャックで支持し、
チャックと、複数のミラーを直交する二方向に配列した空間的光変調器、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系を含むヘッド部を有する光ビーム照射装置とを、相対的に移動して、光ビーム照射装置からの光ビームにより基板を走査し、
光ビーム照射装置の空間的光変調器の1つのミラーで反射された光が基板へ照射される領域と、他のミラーで反射された光が基板へ照射される領域が、光ビームによる基板の走査に伴って部分的に重なる多重露光を行って、基板にパターンを描画する露光方法であって、
描画データを、光ビームによる基板の走査方向と直交する方向において、光ビーム照射装置の空間的光変調器の隣接するミラーの中心点間の距離に応じた等間隔の座標毎に分けて、等間隔の座標毎にまとめてメモリに記憶し、
光ビームによる基板の走査に伴い、描画データを等間隔の座標毎にまとめてメモリから読み出して光ビーム照射装置の駆動回路へ供給することを特徴とする露光方法。 - メモリに複数のレイヤを設け、
描画データを、等間隔の座標毎にメモリの各レイヤに振り分けて、等間隔の座標毎にまとめてメモリの各レイヤに書き込むことを特徴とする請求項4に記載の露光方法。 - 光ビーム照射装置の空間的光変調器を、光ビームによる基板の走査方向に対して傾けて配置し、
メモリに書き込む描画データの座標を、光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きに応じて走査方向に補正し、
メモリから読み出した描画データの座標を、光ビーム照射装置の空間的光変調器の傾きに応じて走査方向と直交する方向に補正することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の露光方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
- 請求項4乃至請求項6のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
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