JP5449720B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
(1)本発明に係る基板処理装置は、基板に処理を行う処理ブロックを有する基板処理装置であって、処理ブロックは、基板に液処理を行う液処理部と、基板に熱処理を行う熱処理部と、液処理部と熱処理部との間に設けられ基板を搬送する搬送部と、処理ブロックと他の処理装置との間で基板を受け渡すインターフェイスブロックとを備え、処理ブロック、インターフェイスブロックおよび他の処理装置は一方向に並ぶように配置され、液処理部、搬送部および熱処理部は処理ブロック内において一方向に垂直な第1の方向に順に並ぶように配置され、熱処理部は、熱処理部と搬送部との間に作業スペースが形成されるように搬送部から離間するように第1の方向に移動可能に設けられ、インターフェイスブロックは、他の処理装置と熱処理部との間に作業スペースにつながる通路スペースが形成されるように、一方向に垂直でかつ第1の方向と逆の第2の方向に移動可能に設けられるものである。
この基板処理装置においては、処理ブロック内に液処理部、熱処理部および搬送部が設けられる。熱処理部は、熱処理部と搬送部との間に作業スペースが形成されるように移動可能に設けられる。この場合、作業者は、その作業スペースにおいて処理ブロック内のメンテナンス作業を行うことができるので、作業効率が向上する。それにより、基板処理装置のメンテナンスを容易かつ短時間で行うことが可能になる。
また、この基板処理装置においては、インターフェイスブロックを移動させることにより、処理ブロックと他の処理装置との間に空間(通路スペース)を形成することができる。この場合、その空間を用いて処理ブロックのメンテナンス作業を行うことができるので、作業効率が十分に向上する。その結果、基板処理装置のメンテナンスに要する時間をさらに短縮することができる。
(2)搬送部は、基板を保持するとともに基板を搬送する搬送装置を有し、作業スペースは、熱処理部の移動により搬送装置が通過可能な大きさに形成される。
この場合、作業スペースを介して搬送装置を処理ブロックの外部に搬出することができる。それにより、基板処理装置のメンテナンスがさらに容易になる。
(3)基板処理装置は、搬送部に隣接するように設けられるインデクサブロックをさらに備え、インデクサブロックは、基板を搬送するための搬送領域を有し、搬送領域は、搬送装置が通過可能な大きさを有してもよい。
この基板処理装置においては、作業スペースおよび搬送領域を介して搬送装置を基板処理装置の外部に搬出することができる。それにより、基板処理装置のメンテナンスがさらに容易になる。
(4)基板処理装置は、インデクサブロックと搬送部との間に設けられる第1の基板載置部をさらに備え、第1の基板載置部は、インデクサブロック側に移動可能に設けられてもよい。
この場合、第1の基板載置部をインデクサブロック側に移動させることにより、搬送部内の作業スペースを拡大することができる。それにより、搬送部内におけるメンテナンス作業がさらに容易になる。
(5)処理ブロックは、第1および第2の処理ブロックを含み、第1および第2の処理ブロックは一方向に向かって並ぶように配置され、液処理部は、第1の処理ブロックに設けられる第1の液処理部および第2の処理ブロックに設けられる第2の液処理部を含み、熱処理部は、第1の処理ブロックに設けられる第1の熱処理部および第2の処理ブロックに設けられる第2の熱処理部を含み、搬送部は、第1の処理ブロックに設けられる第1の搬送部および第2の処理ブロックに設けられる第2の搬送部を含み、基板処理装置は、第1の搬送部と第2の搬送部との間に設けられる第2の基板載置部をさらに備え、第2の基板載置部は、第1の搬送部側および第2の搬送部側に移動可能に設けられてもよい。
この基板処理装置においては、第1の処理ブロックの第1の熱処理部を移動させることにより第1の熱処理部と第1の搬送部との間に作業スペースが形成される。それにより、第1の処理ブロック内におけるメンテナンス作業が容易になる。
また、第2の基板載置部を第2の搬送部側に移動させることにより、第1の搬送部内の作業スペースを拡大することができる。それにより、第1の処理ブロック内におけるメンテナンス作業がさらに容易になる。
また、第2の処理ブロックの第2の熱処理部を移動させることにより第2の熱処理部と第2の搬送部との間に作業スペースが形成される。それにより、第2の処理ブロック内におけるメンテナンス作業が容易になる。
また、第2の基板載置部を第1の搬送部側に移動させることにより、第2の搬送部内の作業スペースを拡大することができる。それにより、第2の処理ブロック内におけるメンテナンス作業がさらに容易になる。
以上の結果、基板処理装置のメンテナンスが十分に容易になる。
[2]参考形態
(1)本参考形態に係る基板処理装置は、基板に処理を行う処理ブロックを有する基板処理装置であって、処理ブロックは、基板に液処理を行う液処理部と、基板に熱処理を行う熱処理部と、液処理部と熱処理部との間に設けられ基板を搬送する搬送部とを備え、熱処理部は、熱処理部と搬送部との間に作業スペースが形成されるように搬送部から離間する方向に移動可能に設けられるものである。
図1は、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の平面図である。
図3は、図1の塗布処理部121および現像処理部131を+Y方向側から見た図である。また、図4は、図1の塗布処理部121、搬送部122および熱処理部123を−X方向側から見た図である。
図5は、図1の熱処理部123,133を−Y方向側から見た図である。また、図6は、熱処理部123を−Y方向に移動させた状態を示す図である。なお、図6は図1の塗布処理部121、搬送部122および熱処理部123を−X方向側から見た図である。
(a)概略構成
図7は、図1の搬送部122,132の構成を説明するための図である。なお、図7は、搬送部122,132を−Y方向側から見た図である。
次に、搬送機構127について説明する。図8は、搬送機構127を示す斜視図である。
図9は、インターフェイスブロック14の内部構成を示す図である。なお、図9は、インターフェイスブロック14を+X方向側から見た図である。
以下、本実施の形態に係る基板処理装置100の各構成要素の動作について説明する。
以下、図1および図7を主に用いてインデクサブロック11の動作を説明する。
以下、図1、図3、図5および図7を主に用いて塗布ブロック12の動作について説明する。なお、以下においては、簡便のため、搬送機構127のX方向およびZ方向の移動の説明は省略する。
以下、図1、図3、図5および図7を主に用いて現像ブロック13の動作について説明する。なお、以下においては、簡便のため、搬送機構137のX方向およびZ方向の移動の説明は省略する。
以下、図9を主に用いてインターフェイスブロック14の動作について説明する。
図5および図7に示すように、インデクサブロック11は筐体110を有し、インターフェイスブロック14は筐体140を有する。また、上述したように、塗布ブロック12は筐体120を有し、現像ブロック13は筐体130を有する。
上記のように、本実施の形態においては、熱処理部123,133を移動させることにより、作業スペース200,300を形成することができる。それにより、基板処理装置100内における作業者の作業効率が向上する。
基板載置部PASS1〜PASS8(図7参照)がX方向に移動可能に設けられてもよい。この場合、基板載置部PASS1〜PASS8をX方向に移動させることにより、搬送部122,132内において作業者のためのスペースを大きくすることができる。それにより、搬送部122,132内における作業がさらに容易になる。なお、基板載置部PASS1〜PASS8は、例えば、X方向に100mm移動可能に設けられる。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
12 塗布ブロック
13 現像ブロック
14 インターフェイスブロック
15 露光装置
21〜24 塗布処理室
31〜34 現像処理室
41,43,45 給気ユニット
42,44 排気ユニット
100 基板処理装置
112,122,132 搬送部
121 塗布処理部
123,133 熱処理部
131 現像処理部
Claims (5)
- 基板に処理を行う処理ブロックを有する基板処理装置であって、
前記処理ブロックは、
基板に液処理を行う液処理部と、
基板に熱処理を行う熱処理部と、
前記液処理部と前記熱処理部との間に設けられ基板を搬送する搬送部と、
前記処理ブロックと他の処理装置との間で基板を受け渡すインターフェイスブロックとを備え、
前記処理ブロック、前記インターフェイスブロックおよび前記他の処理装置は一方向に並ぶように配置され、
前記液処理部、前記搬送部および前記熱処理部は前記処理ブロック内において前記一方向に垂直な第1の方向に順に並ぶように配置され、
前記熱処理部は、前記熱処理部と前記搬送部との間に作業スペースが形成されるように前記搬送部から離間するように前記第1の方向に移動可能に設けられ、
前記インターフェイスブロックは、前記他の処理装置と前記熱処理部との間に前記作業スペースにつながる通路スペースが形成されるように、前記一方向に垂直でかつ前記第1の方向と逆の第2の方向に移動可能に設けられることを特徴とする基板処理装置。 - 前記搬送部は、基板を保持するとともに基板を搬送する搬送装置を有し、
前記作業スペースは、前記熱処理部の移動により前記搬送装置が通過可能な大きさに形成されることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記搬送部に隣接するように設けられるインデクサブロックをさらに備え、
前記インデクサブロックは、基板を搬送するための搬送領域を有し、
前記搬送領域は、前記搬送装置が通過可能な大きさを有することを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。 - 前記インデクサブロックと前記搬送部との間に設けられる第1の基板載置部をさらに備え、
前記第1の基板載置部は、前記インデクサブロック側に移動可能に設けられることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。 - 前記処理ブロックは、第1および第2の処理ブロックを含み、
前記第1および第2の処理ブロックは一方向に向かって並ぶように配置され、
前記液処理部は、前記第1の処理ブロックに設けられる第1の液処理部および前記第2の処理ブロックに設けられる第2の液処理部を含み、
前記熱処理部は、前記第1の処理ブロックに設けられる第1の熱処理部および前記第2の処理ブロックに設けられる第2の熱処理部を含み、
前記搬送部は、前記第1の処理ブロックに設けられる第1の搬送部および前記第2の処理ブロックに設けられる第2の搬送部を含み、
当該基板処理装置は、前記第1の搬送部と前記第2の搬送部との間に設けられる第2の基板載置部をさらに備え、
前記第2の基板載置部は、前記第1の搬送部側および前記第2の搬送部側に移動可能に設けられることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板処理装置。
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