JP5430655B2 - ろう材およびこれを用いた放熱基体ならびに電子装置 - Google Patents
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Description
下、前記元素A,BおよびCの各含有量がそれぞれ2質量%以上22質量%以下、1質量%以上8質量%以下、1質量%以下8質量%以下であり、残部が前記銀からなることを特徴とするものである。
前記元素A,BおよびCの各含有量がそれぞれ2質量%以上22質量%以下、1質量%以上8質量%以下、1質量%以下8質量%以下であり、残部が前記銀からなることから、支持基板,回路部材および放熱部材との濡れ性が良好であり、支持基板を構成する非金属成分と元素Bとが反応することによって、支持基板と回路部材および放熱部材との接合強度を高くすることができる。さらに、融点の低い元素Aを含むことにより、ろう材からなるそれぞれの接合層と支持基板,回路部材または放熱部材との間に生じる空隙を減少させつつ、融点の高い元素Cを含むことにより、ろう材の粘性が高くなり過ぎるのを抑えて接合部における不要なはみ出しを制御することができる。
21:支持基板
31,32:接合層
41:回路部材
42:放熱部材
Claims (8)
- 銀および銅と、インジウム,亜鉛および錫から選択される少なくとも1種の元素Aと、チタン,ジルコニウム,ハフニウムおよびニオブから選択される少なくとも1種の元素Bと、モリブデン,オスミウム,レニウムおよびタングステンから選択される少なくとも1種の元素Cとを含むろう材であって、前記銀、前記銅、前記元素A,BおよびCの含有量の合計100質量%のうち、前記銅の含有量が35質量%以上50質量%以下、前記元素A,BおよびCの各含有量がそれぞれ2質量%以上22質量%以下、1質量%以上8質量%以下、1質量%以下8質量%以下であり、残部が前記銀からなることを特徴とするろう材。
- 酸素の含有量は2質量%以下であることを特徴とする請求項1に記載のろう材。
- 絶縁性の支持基板の第1主面側に銅を含む回路部材を、前記第1主面に対向する第2主面側に放熱部材をそれぞれ設けてなる放熱基体であって、前記回路部材は、前記支持基板の前記第1主面上に複数個並べて配置されて、請求項1に記載のろう材からなるそれぞれの接合層を介して前記支持基板と接合されていることを特徴とする放熱基体。
- 前記接合層における前記元素Cの平均結晶粒径が3μm以上10μm以下であることを特徴とする請求項3に記載の放熱基体。
- 前記支持基板は、セラミックスを構成する全成分100質量%に対して50質量%以上を占める主成分が、窒化珪素または窒化アルミニウムからなるセラミックスであることを特徴とする請求項3に記載の放熱基体。
- 前記元素Bが前記支持基板の前記第1主面近傍の金属元素と化学結合していることを特徴とする請求項3に記載の放熱基体。
- 前記接合層は、炭素の含有量が0.05質量%以下であることを特徴とする請求項3に記載の放熱基体。
- 請求項3に記載の放熱基体における前記回路部材上に電子部品を搭載したことを特徴とする電子装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011516053A JP5430655B2 (ja) | 2009-05-27 | 2010-05-27 | ろう材およびこれを用いた放熱基体ならびに電子装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009127292 | 2009-05-27 | ||
JP2009127292 | 2009-05-27 | ||
PCT/JP2010/059000 WO2010137651A1 (ja) | 2009-05-27 | 2010-05-27 | ろう材およびこれを用いた放熱基体ならびに電子装置 |
JP2011516053A JP5430655B2 (ja) | 2009-05-27 | 2010-05-27 | ろう材およびこれを用いた放熱基体ならびに電子装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2010137651A1 JPWO2010137651A1 (ja) | 2012-11-15 |
JP5430655B2 true JP5430655B2 (ja) | 2014-03-05 |
Family
ID=43222756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011516053A Active JP5430655B2 (ja) | 2009-05-27 | 2010-05-27 | ろう材およびこれを用いた放熱基体ならびに電子装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9012783B2 (ja) |
EP (1) | EP2436475B1 (ja) |
JP (1) | JP5430655B2 (ja) |
CN (1) | CN102448663B (ja) |
WO (1) | WO2010137651A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5845559B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2016-01-20 | 住友ベークライト株式会社 | 接着体 |
FR2984781B1 (fr) * | 2011-12-22 | 2014-01-24 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'assemblage par brasage d'un substrat comprenant du pyrocarbone avec des pieces comprenant du pyrocarbone. |
JP5815427B2 (ja) * | 2012-01-27 | 2015-11-17 | 京セラ株式会社 | ろう材およびこれを用いて接合してなる接合体 |
JP6319643B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2018-05-09 | 日立金属株式会社 | セラミックス−銅接合体およびその製造方法 |
CN102699567A (zh) * | 2012-06-14 | 2012-10-03 | 中南大学 | 一种含锆的铜银钛钎料合金 |
US9700964B2 (en) * | 2013-03-15 | 2017-07-11 | Lincoln Global, Inc. | Boric acid free flux |
JP6257229B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2018-01-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 合金及びろう材 |
TWI512150B (zh) * | 2013-11-29 | 2015-12-11 | Nat Inst Chung Shan Science & Technology | Preparation of copper - clad copper - clad copper clad copper |
JP6456676B2 (ja) * | 2014-09-10 | 2019-01-23 | Jx金属株式会社 | 金属セラミック接合基板及び、その製造方法 |
EP3629370B1 (en) * | 2015-09-28 | 2022-08-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Circuit substrate and semiconductor device |
JP6729224B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2020-07-22 | 三菱マテリアル株式会社 | セラミックス/アルミニウム接合体、絶縁回路基板、パワーモジュール、ledモジュール、熱電モジュール |
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CN101332545A (zh) | 2008-06-23 | 2008-12-31 | 哈尔滨工业大学 | 活性钎料及其制备方法 |
-
2010
- 2010-05-27 CN CN201080022985.8A patent/CN102448663B/zh active Active
- 2010-05-27 US US13/322,111 patent/US9012783B2/en active Active
- 2010-05-27 WO PCT/JP2010/059000 patent/WO2010137651A1/ja active Application Filing
- 2010-05-27 EP EP10780605.1A patent/EP2436475B1/en active Active
- 2010-05-27 JP JP2011516053A patent/JP5430655B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2436475A4 (en) | 2016-08-17 |
JPWO2010137651A1 (ja) | 2012-11-15 |
WO2010137651A1 (ja) | 2010-12-02 |
US9012783B2 (en) | 2015-04-21 |
EP2436475A1 (en) | 2012-04-04 |
CN102448663B (zh) | 2015-12-16 |
US20120080216A1 (en) | 2012-04-05 |
EP2436475B1 (en) | 2018-11-21 |
CN102448663A (zh) | 2012-05-09 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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