JP5430126B2 - 偏光子 - Google Patents
偏光子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5430126B2 JP5430126B2 JP2008291105A JP2008291105A JP5430126B2 JP 5430126 B2 JP5430126 B2 JP 5430126B2 JP 2008291105 A JP2008291105 A JP 2008291105A JP 2008291105 A JP2008291105 A JP 2008291105A JP 5430126 B2 JP5430126 B2 JP 5430126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizer
- substrate
- periodic structure
- light
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 18
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical group [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims description 3
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 32
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 28
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 11
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 7
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3058—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3066—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state involving the reflection of light at a particular angle of incidence, e.g. Brewster's angle
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/30—Polarising elements
- G02B5/3025—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
- G02B5/3075—Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state for use in the UV
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
Description
前記周期構造体は、酸化クロムからなり、前記深紫外光の有する対象波長以下の前記ピッチを有し、0.1より大きいフィリングファクターを有し、100nm以上の高さを有する、ことを特徴とする偏光子である。
図1は本発明による偏光子を構成した実施例1に係る偏光子の構成を示す図である。
本実施例の構成は実施例1と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本実施例では、合成石英基板上にピッチp=90nm、高さd=350nm、フィリングファクターf=0.11の、タングステンの周期構造体を形成する。本実施例の偏光子は、波長250nmの光に対して消光比、透過率とも高くなるように設計したものである。
本実施例の構成は実施例1、2と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本実施例では、実施例1、2と異なり酸化クロムの周期構造体を形成する。ここで周期構造体のピッチpは対象波長となる深紫外光(300nm)の半分以下である。また、本実施例では、合成石英基板上にピッチp=90nm、高さをd=210nm、フィリングファクターf=0.28の周期構造体を形成する。本実施例の偏光子は、波長200nmの光に対して消光比が高くなるように設計したものである。
本実施例の構成は実施例3と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本実施例では、合成石英基板上にピッチp=90nm、高さd=230nm、フィリングファクターf=0.12の、酸化クロムの周期構造体を形成する。本実施例の偏光子は、波長200nmの光に対して消光比、透過率とも高くなるように設計したものである。
本実施例の構成は実施例3と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本実施例では、合成石英基板上にピッチp=150nm、高さd=370nm、フィリングファクターf=0.15の、酸化クロムの周期構造体を形成する。本実施例の偏光子は、波長250nmの光に対して消光比、透過率とも高くなるように設計したものである。
本実施例の構成は実施例3と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本実施例では、合成石英基板上にピッチp=80nm、高さd=200nm、フィリングファクターf=0.17の、酸化クロムの周期構造体を形成する。本実施例の偏光子は、波長200nmの光に対して消光比、透過率とも高くなるように設計したものである。
本比較例の構成は、実施例4の構成と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。周期構造体のピッチp、高さd、フィリングファクターfはそれぞれ実施例4と同じであり、ピッチp=90nm、高さd=230nm、フィリングファクターf=0.12である。本比較例では、実施例4と異なりアルミニウムの周期構造体を形成する。
本比較例の構成は、実施例4及び比較例1の構成と同じであり、基板の上に周期構造体が形成されている構成である。本比較例では、合成石英基板上にピッチp=90nm、高さd=20nm、フィリングファクターf=0.026の、アルミニウムの周期構造体を形成する。本比較例の偏光子は、実施例4と同様に波長200nmの光に対して消光比、透過率とも高くなるように設計したものである。
2 周期構造体
Claims (5)
- 深紫外光を透過する基板と、前記基板上に所定のピッチで配置された複数の構造部で構成された周期構造体とを備え、入射した深紫外光のうち前記構造部の長尺方向に垂直な偏光方向を有する成分を透過する偏光子であって、
前記周期構造体は、酸化クロムからなり、前記深紫外光の有する対象波長以下の前記ピッチを有し、0.1より大きいフィリングファクターを有し、100nm以上の高さを有する、ことを特徴とする偏光子。 - 前記基板の材料は、ホタル石、またはフッ素をドープした石英硝子である、ことを特徴とする請求項1に記載の偏光子。
- 前記ピッチは、前記対象波長の1/2以下である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の偏光子。
- 前記高さは、200nm以上である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の偏光子。
- 前記高さは、前記対象波長以上である、ことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の偏光子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008291105A JP5430126B2 (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 偏光子 |
EP09175583.5A EP2187246B1 (en) | 2008-11-13 | 2009-11-10 | Polarizer |
US12/616,719 US8305683B2 (en) | 2008-11-13 | 2009-11-11 | Polarizer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008291105A JP5430126B2 (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 偏光子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010117577A JP2010117577A (ja) | 2010-05-27 |
JP5430126B2 true JP5430126B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=41361277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008291105A Expired - Fee Related JP5430126B2 (ja) | 2008-11-13 | 2008-11-13 | 偏光子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8305683B2 (ja) |
EP (1) | EP2187246B1 (ja) |
JP (1) | JP5430126B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012073484A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Asahi Glass Co Ltd | ワイヤグリッド型偏光子および液晶表示装置 |
DE102011079030B4 (de) * | 2011-07-12 | 2014-10-02 | Friedrich-Schiller-Universität Jena | Polarisator und Verfahren zur Herstellung eines Polarisators |
KR101827658B1 (ko) * | 2013-11-13 | 2018-02-08 | 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 | 편광자, 편광자용 기판 및 광 배향 장치 |
WO2015072482A1 (ja) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 大日本印刷株式会社 | 偏光子、偏光子用基板および光配向装置 |
JP6428171B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2018-11-28 | 大日本印刷株式会社 | 偏光子、偏光子用基板および光配向装置 |
KR101903869B1 (ko) * | 2013-12-26 | 2018-10-02 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 편광자 및 이 편광자를 구비하는 편광판 및 편광성 적층 필름 |
JP6554768B2 (ja) * | 2014-07-08 | 2019-08-07 | 大日本印刷株式会社 | 偏光子、積層基板、および光配向装置 |
WO2019239926A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | ウシオ電機株式会社 | 真空紫外光偏光素子、真空紫外光偏光装置、真空紫外光偏光方法及び配向方法 |
CN114609717B (zh) * | 2022-03-21 | 2023-05-02 | 大连理工大学 | 一种适用于可见光波段的单层透射式圆偏振器 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3402979A (en) * | 1965-03-30 | 1968-09-24 | Bell Telephone Labor Inc | Light polarizer |
US4712881A (en) * | 1985-06-21 | 1987-12-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Birefringent artificial dielectric structures |
JP3654553B2 (ja) * | 1997-06-19 | 2005-06-02 | 株式会社リコー | 光学素子 |
US6243199B1 (en) * | 1999-09-07 | 2001-06-05 | Moxtek | Broad band wire grid polarizing beam splitter for use in the visible wavelength region |
JP2003279734A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Seiko Epson Corp | 偏光子と液晶装置及び投射型表示装置 |
US6785050B2 (en) * | 2002-05-09 | 2004-08-31 | Moxtek, Inc. | Corrosion resistant wire-grid polarizer and method of fabrication |
US7113336B2 (en) * | 2002-12-30 | 2006-09-26 | Ian Crosby | Microlens including wire-grid polarizer and methods of manufacture |
EP1597616A4 (en) * | 2003-02-10 | 2008-04-09 | Nanoopto Corp | UNIVERSAL BROADBAND POLARIZER, DEVICES COMPRISING THE POLARIZER, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE POLARIZER |
US20040174596A1 (en) * | 2003-03-05 | 2004-09-09 | Ricoh Optical Industries Co., Ltd. | Polarization optical device and manufacturing method therefor |
JP2005242080A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Victor Co Of Japan Ltd | ワイヤグリッドポラライザ |
US7561332B2 (en) * | 2004-11-30 | 2009-07-14 | Agoura Technologies, Inc. | Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers |
US7872803B2 (en) * | 2005-05-27 | 2011-01-18 | Zeon Corporation | Grid polarizing film, method for producing the film, optical laminate, method for producing the laminate, and liquid crystal display |
US20070183025A1 (en) * | 2005-10-31 | 2007-08-09 | Koji Asakawa | Short-wavelength polarizing elements and the manufacture and use thereof |
US20070242352A1 (en) * | 2006-04-13 | 2007-10-18 | Macmaster Steven William | Wire-grid polarizers, methods of fabrication thereof and their use in transmissive displays |
JP5933910B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2016-06-15 | ポラリゼーション ソリューションズ エルエルシー | 偏光子薄膜及びこの製作方法 |
JP5026759B2 (ja) | 2006-10-05 | 2012-09-19 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 |
KR101294004B1 (ko) * | 2006-11-02 | 2013-08-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 편광판, 이를 갖는 표시패널 및 표시장치 |
KR100768241B1 (ko) * | 2006-11-10 | 2007-10-17 | 삼성에스디아이 주식회사 | 편광자 및 그를 포함하는 평판 표시 장치 |
US20110043918A1 (en) * | 2006-12-08 | 2011-02-24 | David Thomas Crouse | Devices and methods for light control in material composites |
KR20090108592A (ko) * | 2007-01-12 | 2009-10-15 | 도레이 카부시키가이샤 | 편광판 및 이것을 사용한 액정표시장치 |
-
2008
- 2008-11-13 JP JP2008291105A patent/JP5430126B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-11-10 EP EP09175583.5A patent/EP2187246B1/en not_active Not-in-force
- 2009-11-11 US US12/616,719 patent/US8305683B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010117577A (ja) | 2010-05-27 |
US8305683B2 (en) | 2012-11-06 |
EP2187246A1 (en) | 2010-05-19 |
EP2187246B1 (en) | 2016-03-23 |
US20100118392A1 (en) | 2010-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5430126B2 (ja) | 偏光子 | |
US20110115991A1 (en) | Polarization element and projector | |
JP2005172844A (ja) | ワイヤグリッド偏光子 | |
JP2010169722A (ja) | 光学素子の製造方法及び光学素子 | |
CN105093380B (zh) | 无机偏光板及其生产方法 | |
Kasture et al. | Plasmonic quasicrystals with broadband transmission enhancement | |
JP4589805B2 (ja) | 偏光制御素子 | |
KR101827658B1 (ko) | 편광자, 편광자용 기판 및 광 배향 장치 | |
US7608369B2 (en) | Photomask to which phase shift is applied and exposure apparatus | |
JP5867439B2 (ja) | グリッド偏光素子及び光配向装置 | |
JP6047051B2 (ja) | 光学素子および光学装置 | |
JP6428171B2 (ja) | 偏光子、偏光子用基板および光配向装置 | |
JP6554768B2 (ja) | 偏光子、積層基板、および光配向装置 | |
JP4800791B2 (ja) | 偏光子を備えた半導体露光装置及び偏光子の製造方法 | |
JP4664866B2 (ja) | 光処理素子 | |
JP2006178186A (ja) | 偏光制御素子、偏光制御素子の製造方法、偏光制御素子の設計方法、電子機器 | |
WO2015072482A1 (ja) | 偏光子、偏光子用基板および光配向装置 | |
JP2000137109A (ja) | 回折格子を利用した反射防止デバイス | |
JP6610702B2 (ja) | ワイヤーグリッド偏光素子の製造方法 | |
JP6940928B2 (ja) | 偏光解消素子及びその製造方法、並びにそれを用いた光学機器及び液晶表示装置 | |
JP5012002B2 (ja) | 近接露光方法 | |
JP4491682B2 (ja) | フォトマスク | |
Geints et al. | Talbot photolithography optimization with engineered hybrid metal-dielectric mask: High-contrast and highly-uniform Talbot stripes | |
JP6358710B2 (ja) | 回折光学素子 | |
US20210255550A1 (en) | Large area self imaging lithography based on broadband light source |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20100630 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121002 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130917 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131203 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5430126 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |