JP5429048B2 - メンテナンス装置、流体噴射装置及びメンテナンス方法 - Google Patents

Description

本発明は、メンテナンス装置、流体噴射装置及びメンテナンス方法に関する。

従来、媒体に対して流体を噴射する流体噴射装置として、インクジェット式プリンターが広く知られている。このプリンターは、流体噴射ヘッドに形成されたノズルからインク（流体）を噴射することで、媒体に印刷処理を施すようになっている。

こうしたプリンターにおいては、印刷待機時や電源ＯＦＦ時のノズル開口からのインク溶媒の蒸発を抑制するために、ノズルを覆蓋するキャップ部材を備えたものがあった（例えば、特許文献１）。

ところで、こうしたキャップ部材でノズルを覆蓋する際には、キャップ部材を開口部に密着させることでノズル開口を閉塞し、ノズル内に連通する空気の量を少なくする方が、蒸発を抑制する点では好ましい。しかし、ノズルの開口部にキャップ部材が接触すると、ノズル内に形成されたインクの液面（メニスカス）にキャップ部材が接触して、凹状のメニスカスを破壊してしまうという問題が生じうる。

そのため、特許文献１のプリンターにおいては、キャップ部材でノズル開口を閉塞する際に、インク流路内を減圧して液面をノズル内に引き込むことで、キャップ部材と液面との接触を抑制するようにしていた。

特開２００９−２９１１３号公報

しかし、流体噴射ヘッドに複数のノズルが設けられている場合には、減圧時に液面が引き込まれるタイミングや引き込みの程度にばらつきが生じることがあった。そのため、液面の引き込みが不十分なノズルでは、液面とキャップ部材とが接触し、メニスカスが破壊されてしまうという問題があった。

本発明は、こうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数のノズル内に形成されるメニスカスの破壊を抑制しつつ、各ノズルのノズル開口を閉塞することができるメンテナンス装置、流体噴射装置及びメンテナンス方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のメンテナンス装置は、流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッドと、該流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路とを有する流体噴射装置のメンテナンス装置であって、前記流体噴射ヘッドよりも上流側の減圧位置で前記流体供給流路内を減圧する圧力調整機構と、該圧力調整機構による減圧が開始された後に、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を優先的に閉塞するように前記流体噴射ヘッドに当接する当接部材と、を備える。

この構成によれば、圧力調整機構が流体供給流路内を減圧するときに、流路の圧力損失が小さいとノズル内の流体が引き込まれ易く、流路の圧力損失が大きいとノズル内の流体が引き込まれ難い。そのため、流路の圧力損失が小さく、減圧によって液面が引き込まれ易いノズルについては、先にノズル開口を閉塞することで、液面を引き込んだ状態でノズル内における流体の流動を抑制することができる。また、流路の圧力損失が小さい一部のノズル開口を当接部材が閉塞することで、閉塞前には全ノズルに分散されていた圧力を、流路の圧力損失が大きいノズルに集中させることができる。そのため、流路の圧力損失が大きく、減圧によって液面が引き込まれ難いノズルについても、圧力調整機構の減圧力を増すことなく液面を引き込むことができる。これにより、全てのノズルの液面を効率よく引き込むことが可能となる。したがって、複数のノズル内に形成されるメニスカスの破壊を抑制しつつ、各ノズルのノズル開口を閉塞することができる。

本発明のメンテナンス装置において、前記当接部材は、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の長さに応じて、該長さが相対的に短い流路を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口から優先的に閉塞する。

この構成によれば、当接部材が、減圧位置からの流路の長さが相対的に短い流路を通じて流体が供給されるノズルのノズル開口から優先的に閉塞することで、流路が長く、減圧によって液面が引き込まれ難いノズルに圧力を集中させて液面を引き込むことができる。また、閉塞のタイミングが異なる各ノズル開口を同じ当接部材で閉塞することができるので、複数の当接部材を備える必要がない。

本発明のメンテナンス装置において、前記流体供給流路には、前記減圧位置の下流側において前記流体を一時貯留するために一方向に沿って延びる貯留部と、該貯留部内に前記流体を流入させるための流入孔と、前記貯留部内の前記流体を前記各ノズルに向けて供給するために前記一方向に沿って並ぶように配置された複数の流出孔とが設けられ、前記当接部材は、前記流入孔からの距離が短い前記流出孔を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を閉塞した後に、前記流入孔からの距離が長い前記流出孔を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を閉塞する。

この構成によれば、貯留部は一方向に沿って延びるように設けられるとともに、流出孔は一方向に沿って並ぶように配置されるため、流入孔から流出孔に至るまでの圧力損失は、流入孔から流出孔までの距離に応じて異なる。そのため、当接部材が流入孔からの距離が短い流出孔を通じて流体が供給されるノズルのノズル開口を先に閉塞することで、過度に液面の位置が引き込まれるのを抑制することができる。また、その後、流入孔からの距離が長い流出孔を通じて流体が供給されるノズルのノズル開口を閉塞するまでに、圧力損失が大きいノズルに圧力を集中させて液面を十分に引き込むことができる。

本発明のメンテナンス装置は、前記流体供給流路において、前記減圧位置よりも上流側の開閉位置に、前記流体供給流路を開閉可能な開閉弁をさらに備える。
この構成によれば、圧力調整機構が減圧を行う際に、減圧位置の上流側に位置する開閉弁が閉弁状態となることで、減圧の影響が開閉弁よりも下流側のみに及ぶようにすることができる。

本発明のメンテナンス装置において、複数の前記ノズルのノズル開口は一平面上に並ぶように配置され、前記当接部材は、前記一平面と交差する方向に沿って移動可能であるとともに、複数の前記ノズルのうち一部のノズル開口を閉塞したときに、当該一部のノズル以外のノズルから離間した状態となる当接面を有する。

この構成によれば、当接部材は一平面と交差する方向に沿って移動可能であるので、一平面に近接する方向に移動することでノズル開口を閉塞する一方、一平面から離間する方向に移動することで閉塞を解除することができる。また、当接部材は、複数のノズルのうち一部のノズル開口を閉塞したときに、当該一部のノズル以外のノズルから離間した状態となる当接面を有するので、移動の過程で一部のノズル開口を選択的に閉塞することができる。

本発明のメンテナンス装置において、前記流体噴射ヘッドには、複数の前記ノズルからなるノズル列が設けられるとともに、複数の前記ノズルのノズル開口は一平面上に並ぶように配置され、前記当接部材は、ノズル列方向と交差する移動方向に沿って前記一平面に対してスライド移動可能であるとともに、前記ノズル開口を閉塞するための当接部及び該当接部と隣接する位置に設けられた開口部を有し、前記当接部材には、前記ノズル列方向に並ぶように配置された前記当接部及び前記開口部からなる第１領域と、該第１領域と前記移動方向に隣接する位置に配置された前記開口部からなる第２領域と、前記第１領域又は前記第２領域と前記移動方向に隣接する位置に配置された前記当接部からなる第３領域とが設けられる。

この構成によれば、当接部材の第１領域をノズル列に対応する位置に配置することで、当接部と対応する位置にあるノズル開口のみを閉塞することができる。また、当接部材の第２領域をノズル列に対応する位置に配置することで、全てのノズル開口の閉塞を解除することができる。さらに、当接部材の第３領域をノズル列に対応する位置に配置することで、全てのノズル開口を閉塞することができる。すなわち、当接部材の移動に伴って閉塞するノズル開口の数を変化させることで、一部のノズル開口を選択的に閉塞することができる。

本発明の流体噴射装置は、流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッドと、該流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路と、上記メンテナンス装置と、を備える。

この構成によれば、上記メンテナンス装置と同様の作用効果に加え、キャッピングに伴うメニスカスの破壊を抑制することで、当接部材をノズルから離間させた後に、速やかに流体の噴射を行うことができる。

上記目的を達成するために、本発明のメンテナンス方法は、流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路内を、前記流体噴射ヘッドよりも上流側の減圧位置において減圧し始める減圧開始工程と、該減圧開始工程の後に、複数の前記ノズルのうち、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じて前記流体が供給される一部のノズルのノズル開口を閉塞する第１閉塞工程と、該第１閉塞工程の後に、全ての前記ノズルのノズル開口を閉塞する第２閉塞工程と、を備える。

この構成によれば、流路の圧力損失が小さいノズルでは、減圧開始工程から第１閉塞工程までの間に優先的に液面が引き込まれるが、第１閉塞工程でそのノズル開口を閉塞することで、液面を引き込んだ状態でノズル内における流体の流動を抑制することができる。また、第１閉塞工程から第２閉塞工程までの間には、流路の圧力損失が大きいノズルに圧力を集中させることで、減圧力を増すことなく液面を引き込むことができる。これにより、全てのノズルの液面を効率よく引き込むことが可能となる。したがって、複数のノズル内に形成されるメニスカスの破壊を抑制しつつ、各ノズルのノズル開口を閉塞することができる。

第１実施形態におけるプリンターの概略構成を示す断面図。 インク供給路、流体噴射ヘッド及びメンテナンス装置の構成を模式的に示す断面図。 キャップ部材の作用を説明するための断面図。 第２実施形態におけるキャップ部材の斜視図。 （ａ）〜（ｃ）は、キャップ部材の構成及び作用を説明するための下面図。 第１実施形態の第１変形例を示す断面図。 第１実施形態の第２変形例を示す断面図。 第２実施形態の変形例を示す斜視図。

（第１実施形態）
以下、本発明を流体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、単に「プリンター」という）に具体化した第１実施形態を図１〜図３を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、「前後方向」、「左右方向」、「上下方向」をいう場合は各図中に矢印で示す前後方向、左右方向、上下方向をそれぞれ示すものとする。

図１に示すように、流体噴射装置としてのプリンター１１は、本体ケース１２と、本体ケース１２内に収容された記録部１３と、メンテナンス装置１４とを備えている。また、本体ケース１２内には、左右方向に延びる棒状のガイド軸１５と、媒体となる用紙Ｐを支持するプラテン１６とが収容されている。

記録部１３は、ガイド軸１５に左右方向への往復移動可能な状態で支持されたキャリッジ１７と、キャリッジ１７の下面側に支持された流体噴射ヘッド１８とを備える。キャリッジ１７は、図示しない駆動機構により、左右方向に往復移動するようになっている。なお、本実施形態においては、本体ケース１２内の右端側をホームポジション側とするとともに、ホームポジション側から印刷領域となる左側に向かう左方向を移動方向Ｘとして図示している。

キャリッジ１７には、流体としてのインクを収容したインクカートリッジ１９が着脱可能に装着されるとともに、流体噴射ヘッド１８側となる下流側に向けてインクを供給する流体供給流路としてのインク供給路２０が設けられている。インクカートリッジ１９及びインク供給路２０は、インクの色数等（本実施形態では４色）に対応して複数設けられている。

また、キャリッジ１７には加圧ポンプ２１（図２参照）が設けられている。そして、加圧ポンプ２１の駆動により、インクカートリッジ１９に収容されたインクがインク供給路２０を通じて下流側に供給されるようになっている。なお、加圧ポンプ２１は、複数のインクカートリッジ１９に対して加圧力を供給するように構成してもよい。

流体噴射ヘッド１８には、各インク供給路２０を通じて供給されたインクを噴射する複数のノズル２３が設けられているとともに、流体噴射ヘッド１８の下面側からなるノズル形成面２４には、ノズル２３のノズル開口２５が形成されている。また、プラテン１６上には、図示しない搬送機構によって後方から前方に向けて用紙Ｐが搬送される。そして、キャリッジ１７が移動方向Ｘに沿って直線移動（走査）しながら、ノズル２３からプラテン１６上の用紙Ｐにインク滴を噴射することにより、印刷（記録）が行われるようになっている。

なお、流体噴射ヘッド１８においては、各色に対応するノズル２３が移動方向Ｘに沿って配置されるとともに、同一色のインクを噴射する複数のノズル２３が用紙Ｐの搬送方向と一致するノズル列方向Ｙに沿って延びるノズル列Ｎ（図２参照）を形成している。すなわち、流体噴射ヘッド１８には、複数のノズル２３からなるノズル列Ｎが複数列設けられている。そして、キャリッジ１７の走査毎にノズル列Ｎの長さに対応する幅の印刷が行われるとともに、間欠的に用紙Ｐが搬送されるようになっている。

次に、インク供給路２０の構成について詳述する。
図２に示すように、各インク供給路２０には、ダイアフラム式の自己封止弁である差圧弁２６と、差圧弁２６よりも下流側の開閉位置Ｍ１でインク供給路２０を開閉する開閉弁２７とがそれぞれ設けられている。また、各インク供給路２０には、開閉位置Ｍ１よりも下流側であって流体噴射ヘッド１８よりも上流側の減圧位置Ｍ２で各インク供給路２０内を減圧する圧力調整機構２８が設けられている。なお、開閉弁２７及び圧力調整機構２８はメンテナンス装置１４を構成する。

ここで、差圧弁２６の構成について説明する。
差圧弁２６は、インクカートリッジ１９から加圧供給されたインクを一次貯留する貯留室３０と、貯留室３０よりも下流側に位置する圧力室３１と、弁体３２とを有している。そして、貯留室３０と圧力室３１とは、両室を区画する隔壁３４に設けられた連通孔３３を通じて連通可能となっている。なお、貯留室３０、圧力室３１及び連通孔３３は、インク供給路２０を構成する。

圧力室３１の壁面の一部（図２では左側壁）は、可撓性を有するフィルム３５によって構成されている。また、弁体３２は、圧力室３１内に向けて延びる一端側がフィルム３５の中央付近に固着されている。そして、弁体３２は、フィルム３５の撓み変位に伴って、貯留室３０内に収容された当接部３６が連通孔３３を閉塞する閉弁位置と、当接部３６が連通孔３３から離間する開弁位置との間を移動するようになっている。

貯留室３０内には、弁体３２を開弁位置から閉弁位置に向かう閉弁方向（図２では左方向）に付勢するばね３７が収容されている。また、弁体３２がばね３７の付勢力に抗して閉弁位置から開弁位置に向かう開弁方向（図２では右方向）に移動することで、貯留室３０と圧力室３１とが連通するようになっている。

そして、ノズル２３からインクが噴射されると、圧力室３１内からインクが流出することで負圧が生じ、圧力室３１内のインク圧と大気圧との差圧によって、フィルム３５が圧力室３１の内容積を減少させる方向（図２では右方向）に撓み変位する。この撓み力がばね３７の付勢力より大きくなると、弁体３２が開弁位置に移動し、加圧された貯留室３０内のインクが圧力室３１側へ流入する。

圧力室３１へのインクの流入によって負圧が解消されると、弁体３２はばね３７の付勢力によって再び閉弁位置に移動する。このように、差圧弁２６は、インク圧と大気圧との差圧に基づいて開閉することで、消費量に応じたインクを供給するようになっている。

また、差圧弁２６は、圧力室３１内の圧力が約−１ｋＰａより小さくなった場合に開弁するように、ばね３７の付勢力が調整されている。すなわち、差圧弁２６は、連通孔３３よりも下流側のインク供給路２０内を−１ｋＰａ程度の負圧に保持する圧力調整機能を備えている。

差圧弁２６の下流側に設けられた開閉弁２７は、任意に開閉操作を行うことができる弁である。なお、開閉弁２７としては、電磁弁や機械的に動作する弁を採用することができる。

圧力調整機構２８は、インク供給路２０内を減圧する機能を有する減圧ポンプである。減圧ポンプは、一定量のインクをインク供給路２０内から吸引することで減圧を行い、吸引したインクをインク供給路２０内に戻すことで減圧を解除する構成のものが好ましい。なお、圧力調整機構２８としては、例えばピストンポンプやチューブポンプなどを採用することができる。そして、圧力調整機構２８が減圧を行う際には、すぐ上流側に位置する開閉弁２７を閉弁状態としてインク供給路２０を閉じることで、減圧の影響が開閉弁２７よりも下流側のみに及ぶようにする。

次に、流体噴射ヘッド１８の構成について詳述する。
図１の一部拡大断面図に示すように、流体噴射ヘッド１８は、上下方向に積層された流路形成部材４０、振動板４１、流路形成部材４２及びノズルプレート４３を備えている。

流路形成部材４０には貯留部としてのリザーバー４４と、収容室４５とが形成されている。また、流路形成部材４０には、リザーバー４４内にインクを流入させるための流入孔４６が形成されている。また、振動板４１には、リザーバー４４内のインクを各ノズル２３に向けて供給する複数の流出孔４７が設けられている。

図２に示すように、リザーバー４４は、圧力調整機構２８の下流側においてインクを一時貯留するために、一方向（ノズル列方向Ｙ）に沿って延びるように設けられている。そして、流入孔４６は、リザーバー４４のノズル列方向Ｙにおける中央付近に設けられているとともに、複数の流出孔４７はノズル列方向Ｙに沿って並ぶように配置されている。なお、図２以降の各図中においては、簡略化のため、それぞれノズル列Ｎを構成するノズル２３及び流出孔４７の数を省略して図示している。

図１に示すように、流路形成部材４２には、流出孔４７を通じてリザーバー４４と連通するキャビティ４８が形成されている。また、収容室４５内において振動板４１の上面側には、キャビティ４８の上方となる位置に圧電素子４９が配設されている。

ノズルプレート４３にはキャビティ４８と連通するノズル２３が貫通形成されている。また、流体噴射ヘッド１８のノズル形成面２４はノズルプレート４３の下面（底面）によって構成されている。すなわち、複数のノズル２３のノズル開口２５は、一平面としてのノズル形成面２４上に並ぶように配置されている。

振動板４１は上下方向に振動可能に貼り付けられているとともに、圧電素子４９は駆動信号を受けて伸縮することで、振動板４１を上下方向に振動させるようになっている。また、振動板４１が上下方向に振動すると、キャビティ４８の容積が拡縮するようになっている。そして、キャビティ４８の容積が縮小されると、キャビティ４８内のインクがノズル２３からインク滴として噴射されるようになっている。

なお、ノズル２３からインク滴が噴射されると、ノズル２３内にはキャビティ４８内から毛管力によってインクが補充される。すなわち、各インクカートリッジ１９からインク供給路２０を通じて流体噴射ヘッド１８に供給されたインクはリザーバー４４に一時貯留され、リザーバー４４から流出孔４７及びキャビティ４８を通じて各ノズル２３に供給されるようになっている。本実施形態において、流入孔４６、リザーバー４４、流出孔４７及びキャビティ４８は、インク供給路２０の一部を構成する。

なお、ノズル２３内はインクとの親和性（濡れ性）が高くなるように形成されている。また、ノズル２３の背圧となる流体噴射ヘッド１８内の領域（インク供給路２０内）の圧力は、常持は、差圧弁２６の圧力調整機能によって−１ｋＰａ程度の負圧に保持されている。この負圧は、ノズル２３からインクが垂れ落ちることを防止するとともに、各ノズル２３内に均等にメニスカスを形成して、噴射動作を安定させるためのものである。

そのため、ノズル２３内のインクの液面Ｓｆは、周縁がノズル形成面２４とノズル２３との境界部（ノズル開口部）にクリップされるとともに、中央付近が上流側に向けて引き込まれた凹形状のメニスカスを形成する。ここで、メニスカスとは、流体（インク）が固体表面と接するときに、両者の分子間に働く付着力と流体分子間の凝集力の大小関係で生じる湾曲した流体表面のことをいう。

次に、メンテナンス装置１４について説明する。
図１及び図２に示すように、メンテナンス装置１４は、同色のインクを噴射するノズル列Ｎ毎に、各ノズル２３のノズル開口２５を閉塞するように流体噴射ヘッド１８に当接する当接部材としての密着キャップ５０を備えている。

また、メンテナンス装置１４には、各密着キャップ５０を上下方向に昇降移動させるための昇降機構５１（図１参照）が設けられている。これにより、密着キャップ５０は、上下方向に沿って移動可能となっている。また、密着キャップ５０は、ノズル開口２５を閉塞する当接面５２ａが上面側に形成されたゴム部材５２と、ゴム部材５２を下方で支持するスポンジ部材５３と、スポンジ部材５３と昇降機構５１との間に配置された基台部５４とを備えている。

図２に示すように、密着キャップ５０の当接面５２ａは、ノズル列方向Ｙにおける中央が盛り上がった凸状の曲面となっている。そのため、密着キャップ５０は、ノズル列方向Ｙに並ぶ複数のノズル開口２５のうち、中央付近に位置する一部のノズル開口２５を閉塞したときに、該ノズル２３以外、すなわち両端付近のノズル２３から離間した状態となる。

次に、密着キャップ５０による密着キャッピングについて説明する。
キャリッジ１７は、印刷が終了すると、プラテン１６上の印刷領域から右方に移動して、密着キャップ５０の上方となるホームポジションに停止する。そして、ノズル開口２５からのインク溶媒の蒸発を抑制するために、密着キャップ５０でノズル２３のノズル開口２５を閉塞する密着キャッピングが行われる。

密着キャッピングは、ホームポジションで停止された流体噴射ヘッド１８に向かって、昇降機構５１が密着キャップ５０を上昇移動させることで行われる。具体的には、基台部５４が昇降機構５１によって上方に移動される。このとき、密着キャップ５０は、当接面５２ａがノズル形成面２４と離間した位置から、図３に示すように当接面５２ａがノズル列方向Ｙに並ぶ全てのノズル開口２５を閉塞する位置まで上昇移動するようになっている。

なお、密着キャップ５０の移動完了後、ゴム部材５２は、弾性変形して当接面５２ａがノズル開口部を含むノズル形成面２４に密着するとともに、収縮変形したスポンジ部材５３の復元力によって付勢された状態となる。これにより、ノズル２３はノズル開口２５が閉塞されて略密閉状態となる。

ここで、ノズル２３内のインクの液面Ｓｆは、周縁がノズル開口部にクリップされているので、密着キャップ５０がノズル開口部に当接すると、密着キャップ５０が液面Sｆに接触してノズル２３内に形成されたメニスカスを破壊してしまう虞がある。そこで、密着キャッピングの際には、圧力調整機構２８によってインク供給路２０内を減圧することで液面Ｓｆを上流側に引き込み、密着キャップ５０が液面Ｓｆと接触しないようにする必要がある。

ただし、圧力調整機構２８が減圧を行う減圧位置Ｍ２から各ノズル２３に至る流路毎の圧力損失の大きさが異なると、各ノズル２３内への圧力の伝わり方がばらついてしまう。例えば、流入孔４６、リザーバー４４及び各流出孔４７の位置関係から、圧力調整機構２８から各ノズル２３に至る流路毎の長さは、流入孔４６から流出孔４７までの距離に応じて異なる。

すなわち、圧力調整機構２８から各ノズル２３に至る流路毎の圧力損失の大きさは、流入孔４６から流出孔４７までの距離に応じて変化することになる。そのため、図２に示すように、流入孔４６からの距離が短い流出孔４７を通じてインクが供給される中央付近のノズル２３に比べて、流入孔４６からの距離が長い流出孔４７を通じてインクが供給される両端付近のノズル２３は、流路の圧力損失が大きく、減圧の影響が及び難い。言い換えれば、流路の圧力損失が小さい中央付近のノズル２３は減圧によってインクが引き込まれ易いが、流路の圧力損失が大きい両端付近のノズル２３は減圧によってもインクが引き込まれ難い。その結果、全てのノズル２３を対象として減圧を行っても、両端付近では液面Ｓｆの位置が十分に上流側へ引き込まれない状態となる。

また、液面Ｓｆを引き込むべく周縁のクリップを外すためには、平坦な部分で液面Ｓｆを移動させるよりも大きな力が必要になるため、減圧がクリップを外すのに十分でなかった場合には、ノズル２３内の負圧が高くなってしまう。そして、負圧が高まったノズル２３内の液面Ｓｆに密着キャップ５０が接触すると、密着キャップ５０によってインクが引き出されたり、それと同時にノズル２３内に気泡が巻き込まれたりする虞がある。

そこで、本実施形態では、圧力調整機構２８による減圧が開始された後に、減圧位置Ｍ２から各ノズル２３に至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を優先的に閉塞するように、密着キャップ５０を流体噴射ヘッド１８に当接させる。

具体的には、まず、閉弁工程として開閉弁２７を閉弁状態にする。次に、減圧開始工程として圧力調整機構２８による減圧を開始する。これにより、各ノズル２３の背圧が低下し、減圧位置Ｍ２から各ノズル２３に至る流路の圧力損失が小さく、減圧され易いノズル２３から優先的に液面Ｓｆが引き込まれる。

次に、移動工程として、密着キャップ５０を一定の速度で連続的に上昇移動させる。これにより、ノズル列Ｎを構成する複数のノズル２３のノズル開口２５は、ノズル列方向Ｙにおける中央側から両端側に向けて、順次閉塞されていく。すなわち、密着キャップ５０は、当接面５２ａが凸状の曲面からなるので、上昇移動に伴って、流入孔４６からの距離が短い流出孔４７を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞した後に、流入孔４６からの距離が長い流出孔４７を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞する。その結果、減圧位置Ｍ２から各ノズル２３に至る流路毎の長さに応じて、該長さが相対的に短い流路を通じて流体が供給されるノズル２３のノズル開口２５から優先的に閉塞される態様となる。

密着キャップ５０によってノズル開口２５が閉塞されたノズル２３内では、インクの流動が抑制されるので、減圧が継続されても、液面Ｓｆの上昇は抑制される。また、密着キャップ５０が中央付近のノズル開口２５を閉塞した後に、圧力調整機構２８が減圧を継続して行うことにより、閉塞されていない両端付近のノズル２３内に形成されるインクの液面Ｓｆを集中的に上流側に向けて引き込む。

なお、液面Ｓｆの位置をノズル２３内に留めておくために、圧力調整機構２８（減圧ポンプ）がインク供給路２０内から吸引するインクの量は、全ノズル２３の合計容積と対応するように設定するのが好ましい。そして、密着キャップ５０が上昇移動を終了し、密着キャップ５０が全てのノズル開口２５を閉塞すると、密着キャッピングが完了する。

印刷を再開する際には、圧力調整機構２８による減圧を解除し、その後密着キャップ５０を下降移動させる。また、開閉弁２７を開弁状態とする。すると、流体噴射ヘッド１８内の領域（インク供給路２０内）は、−１ｋＰａ程度の負圧に戻るとともに、ノズル２３内の液面Ｓｆの位置も元に戻る。これにより、ノズル開口２５の閉塞を解除した後に、速やかに印刷動作に移行することができる。

以上説明した実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）圧力調整機構２８がインク供給路２０内を減圧するときに、流路の圧力損失が小さいとノズル２３内のインクが引き込まれ易く、流路の圧力損失が大きいとノズル２３内のインクが引き込まれ難い。そのため、流路の圧力損失が小さく、減圧によって液面Ｓｆが引き込まれ易いノズル２３については、先にノズル開口２５を閉塞することで、液面Ｓｆを引き込んだ状態でノズル２３内におけるインクの流動を抑制することができる。また、流路の圧力損失が小さい一部のノズル開口２５を密着キャップ５０が閉塞することで、閉塞前には全ノズル２３に分散されていた圧力を、流路の圧力損失が大きいノズル２３に集中させることができる。そのため、流路の圧力損失が大きく、減圧によって液面Ｓｆが引き込まれ難いノズル２３についても、圧力調整機構２８の減圧力を増すことなく液面Ｓｆを引き込むことができる。これにより、全てのノズル２３の液面Ｓｆを効率よく引き込むことが可能となる。したがって、複数のノズル２３内に形成されるメニスカスの破壊を抑制しつつ、各ノズル２３のノズル開口２５を閉塞することができる。そして、密着キャッピングに伴うメニスカスの破壊を抑制することで、密着キャップ５０をノズル２３から離間させた後に、速やかにインクの噴射を行うことができる。

（２）密着キャップ５０が、減圧位置Ｍ２からの流路の長さが相対的に短い流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５から優先的に閉塞することで、流路が長く、減圧によって液面Ｓｆが引き込まれ難いノズル２３に圧力を集中させて液面Ｓｆを引き込むことができる。また、閉塞のタイミングが異なる各ノズル開口２５を同じ密着キャップ５０で閉塞することができるので、同色インクの噴射に用いられるノズル列Ｎに対して複数の密着キャップ５０を備える必要がない。

（３）リザーバー４４はノズル列方向Ｙに沿って延びるように設けられるとともに、流出孔４７はノズル列方向Ｙに沿って並ぶように配置されるため、流入孔４６から流出孔４７に至るまでの圧力損失は、流入孔４６から流出孔４７までの距離に応じて異なる。そのため、密着キャップ５０が流入孔４６からの距離が短い流出孔４７を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を先に閉塞することで、過度に液面Ｓｆの位置が引き込まれるのを抑制することができる。また、その後、流入孔４６からの距離が長い流出孔４７を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞するまでに、圧力損失が大きいノズル２３に圧力を集中させて液面Ｓｆを十分に引き込むことができる。

（４）圧力調整機構２８が減圧を行う際に、減圧位置Ｍ２の上流側に位置する開閉弁２７が閉弁状態となることで、減圧の影響が開閉弁２７よりも下流側のみに及ぶようにすることができる。

（５）密着キャップ５０は上下方向に沿って移動可能であるので、ノズル形成面２４に近接する上方向に移動することでノズル開口２５を閉塞する一方、ノズル形成面２４から離間する下方向に移動することで閉塞を解除することができる。また、密着キャップ５０は、複数のノズル２３のうち一部のノズル開口２５を閉塞したときに、当該一部のノズル２３以外のノズル２３から離間した状態となる当接面５２ａを有するので、移動の過程で一部のノズル開口２５を選択的に閉塞することができる。

（６）中央が盛り上がった凸状の曲面からなる当接面５２ａを有する密着キャップ５０を上昇移動させることで、複雑な制御を行うことなく、ノズル列方向Ｙにおける中央側から両端側に向けて、順次ノズル開口２５を閉塞していくことができる。

（７）圧力調整機構２８は、全ノズル２３の合計容積と対応する一定量のインクをインク供給路２０内から吸引することで減圧を行い、吸引したインクをインク供給路２０内に戻すことで減圧を解除する。そのため、圧力調整に伴ってインクを消費することがなく、また、減圧を解除することで液面Ｓｆの位置を元に戻すことができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態を図４及び図５に基づいて説明する。なお、第２実施形態は、メンテナンス装置１４の構成の一部が第１実施形態と異なっている。したがって、以下の説明においては、第１実施形態と相違する部分について主に説明するものとし、第１実施形態と同一又は相当する部材構成には同一符号を付して重複説明を省略するものとする。

図４に示すように、本実施形態のメンテナンス装置１４は、図示しない移動機構によって上下方向に移動可能であるとともに、移動方向Ｘに沿ってノズル形成面２４に対してスライド移動可能な略平板状の密着キャップ５５を備えている。密着キャップ５５は、ノズル開口２５を閉塞するための当接部５６と、ノズル開口２５を露出させるために当接部５６と隣接する位置に設けられた開口部５７とを有している。

図５に示すように、当接部５６及び開口部５７は、同色のインクを噴射する各ノズル列Ｎに対応するように、ノズル列方向Ｙに沿って延びるとともに、密着キャップ５５と流体噴射ヘッド１８の相対移動方向となる移動方向Ｘに沿って並ぶように複数配置されている。なお、図５においては、開口部５７を通じて露出されることで大気に連通されたノズル２３（ノズル開口２５）を黒丸で図示する一方、当接部５６によって閉塞されたノズル開口２５（ノズル２３）を白丸で図示している。

図５（ａ）に示すように、密着キャップ５５には、ノズル列方向Ｙに並ぶように配置された当接部５６及び開口部５７からなる第１領域としての領域Ｄ１が設けられている。また、密着キャップ５５には、領域Ｄ１と移動方向Ｘにおける両側に隣接する位置に配置された開口部５７のみからなる第２領域としての領域Ｄ２及び当接部５６のみからなる第３領域としての領域Ｄ３が設けられている。なお、図４及び図５（ｂ），（ｃ）では、図５（ａ）に二点鎖線で示す領域Ｄ１〜Ｄ３の境界線の図示を省略している。

開口部５７は、同色のインクを噴射するノズル列Ｎ毎に設けられている。そして、領域Ｄ１と領域Ｄ２の開口部５７は一体的に形成されているとともに、領域Ｄ１と領域Ｄ３の当接部５６は一体的に形成されている。

なお、移動方向Ｘにおける開口部５７の両側には領域Ｄ３が配置されている。これにより、ノズル２３が領域Ｄ１又は領域Ｄ２の開口部５７を通じて大気に連通する状態から、密着キャップ５５を左右何れの方向に移動させても、速やかに全てのノズル開口２５を閉塞することができるようになっている。

領域Ｄ１において、当接部５６はノズル列方向Ｙにおける中央付近に設けられている一方、開口部５７はノズル列方向Ｙにおける両端付近に設けられている。そのため、領域Ｄ１の当接部５６は、流入孔４６からの距離が短い流出孔４７を通じてインクが供給されるノズル２３、すなわち圧力損失が相対的に小さい流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞するようになっている。なお、領域Ｄ１において、中央付近の当接部５６と両端付近の開口部５７とがそれぞれカバーするノズル２３の数は、任意に変更することができる。

密着キャップ５５は、図５（ｂ）に示すようにノズル列Ｎの下方に領域Ｄ３が配置されるようにノズル形成面２４に当接することで、ノズル列Ｎを構成する全ノズル開口２５を閉塞する。また、密着キャップ５５は、図５（ａ）に示すようにノズル列Ｎの下方に領域Ｄ２が配置されるようにノズル形成面２４に当接することで、ノズル列Ｎを構成する全ノズル２３を大気に連通させる。

また、密着キャップ５５は、図５（ｃ）に示すように、ノズル列Ｎの下方に領域Ｄ１が配置されるようにノズル形成面２４に当接することで、ノズル列方向Ｙにおける中央付近のノズル開口２５を閉塞する一方、両端付近に位置するノズル２３を大気に連通させる。すなわち、密着キャップ５５は、複数のノズル２３のうち一部のノズル開口２５を閉塞したときに、当該一部のノズル開口２５以外のノズル開口２５を露出させる開口部５７を有する。

そして、密着キャッピングの際には、閉弁工程として開閉弁２７を閉弁状態とした後、図５（ａ）に示すように各ノズル列Ｎの下方に領域Ｄ２が配置されるように、密着キャップ５５をノズル形成面２４に当接させる。次に、減圧開始工程として圧力調整機構２８による減圧を開始する。

また、所定時間経過後、第１閉塞工程として、密着キャップ５５をノズル形成面２４に摺接させつつ、移動方向Ｘ（左方向）にスライド移動させることで、図５（ｃ）に示すようにノズル列Ｎの下方に密着キャップ５５の領域Ｄ２を配置する。

このとき、減圧位置Ｍ２から各ノズル２３に至る流路毎の長さに応じて、該長さが相対的に短い流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５が領域Ｄ１の当接部５６によって優先的に閉塞される。これにより、密着キャップ５５によってノズル開口２５が閉塞されたノズル２３内では、インクの流動が抑制されるので、減圧が継続されても液面Ｓｆの位置はそれ以上上昇しない。また、密着キャップ５０が中央付近のノズル２３のノズル開口２５を閉塞した後に、圧力調整機構２８が減圧を継続して行うことにより、ノズル開口２５が閉塞されていない両端付近のノズル２３内に形成されるインクの液面Ｓｆを集中的に上流側に向けて引き込む。

そして、第１閉塞工程から所定時間経過後、第２閉塞工程として、密着キャップ５５をさらに移動方向Ｘに移動させて、図５（ｂ）に示すようにノズル列Ｎの下方に密着キャップ５５の領域Ｄ３を配置することで、全てのノズル２３のノズル開口２５を閉塞する。

以上説明した実施形態によれば、上記（１）〜（４），（７）と同様の作用効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
（８）流路の圧力損失が小さいノズル２３では、減圧開始工程から第１閉塞工程までの間に優先的に液面Ｓｆが引き込まれるが、第１閉塞工程でそのノズル開口２５を閉塞することで、液面Ｓｆを引き込んだ状態でノズル２３内におけるインクの流動を抑制することができる。また、第１閉塞工程から第２閉塞工程までの間には、流路の圧力損失が大きいノズル２３に圧力を集中させることで、減圧力を増すことなく液面Ｓｆを引き込むことができる。これにより、全てのノズル２３の液面Ｓｆを効率よく引き込むことが可能となる。したがって、複数のノズル２３内に形成されるメニスカスの破壊を抑制しつつ、各ノズル２３のノズル開口２５を閉塞することができる。

（９）密着キャップ５５の領域Ｄ１をノズル列Ｎに対応する位置に配置することで、当接部５６と対応する位置にあるノズル開口２５のみを閉塞することができる。また、密着キャップ５５の領域Ｄ２をノズル列Ｎに対応する位置に配置することで、全てのノズル開口２５の閉塞を解除することができる。さらに、密着キャップ５５の領域Ｄ３をノズル列Ｎに対応する位置に配置することで、全てのノズル開口２５を閉塞することができる。すなわち、密着キャップ５５の移動方向Ｘに沿う移動に伴って閉塞するノズル開口２５の数を変化させることで、一部のノズル開口２５を選択的に閉塞することができる。

なお、上記実施形態は以下のような別の実施形態に変更してもよい。
・第１実施形態において、図６の第１変形例に示すように、流入孔４６がリザーバー４４のノズル列方向Ｙにおける一端側（図６では左端側となる後側）に設けられている場合には、流入孔４６から流出孔４７に至る流路の長さは、一端側ほど短く、他端側（図６では右端側となる前側）ほど長くなる。この場合には、一端側から他端側に向けて斜め下に傾斜する当接面５２ａを有する密着キャップ５０Ａを備えればよい。これにより、密着キャップ５０Ａの当接面５２ａは、上昇移動の過程で、一端側のノズル開口２５を閉塞したときに、他端側のノズル２３から離間した状態となる。

・第１実施形態において、図７の第２変形例に示すように、流入孔４６がリザーバー４４のノズル列方向Ｙにおける両端側に設けられている場合には、流入孔４６から流出孔４７に至る流路の長さは、両端側ほど短く、中央付近ほど長くなる。この場合には、両端側から中央付近に向けて斜め下に傾斜する凹状の曲面からなる当接面５２ａを有する密着キャップ５０Ｂを備えればよい。これにより、密着キャップ５０Ｂの当接面５２ａは、両端側のノズル開口２５を閉塞したときに、中央付近のノズル２３から離間した状態となる。

・第１実施形態において、密着キャップ５０を複数回に分けて断続的に上昇移動させるようにしてもよい。この場合には、インク供給路２０内の減圧を開始する減圧開始工程の後に、最初の移動に伴う第１閉塞工程で、圧力損失が相対的に小さい流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞する。また、次の移動に伴う第２閉塞工程で、圧力損失が相対的に大きい流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞することで、全てのノズル開口２５を閉塞する。これにより、上記（８）と同様の作用効果を得ることができる。

なお、第１実施形態のように密着キャップ５０を一定の速度で連続的に上昇移動させる場合でも、移動開始から任意の途中時点までを第１閉塞工程、前記途中時点から移動終了までを第２閉塞工程とすれば、上記（８）と同様の作用効果があるといえる。

・第１実施形態において、全てのノズル２３（ノズル列Ｎ）のノズル開口２５を１つの密着キャップ５０で閉塞するようにしてもよい。
・第１実施形態において、密着キャップ５０はスポンジ部材５３を備えなくてもよい。

・第２実施形態において、例えば図８に示すように、領域Ｄ１における当接部５６及び開口部５７の形状が異なる密着キャップ５５Ａを採用してもよい。すなわち、領域Ｄ１において、当接部５６がノズル列方向Ｙにおける両端側から中央に向けて、左方側に突設するように傾斜する境界線で開口部５７と区画されるようにする。この構成によれば、密着キャップ５５Ａを一定の速度で連続的に左方向に移動させることで、複雑な制御を行うことなく、中央側から両端側に向けて、順次ノズル開口２５を閉塞していくことができる。

・第２実施形態において、密着キャップ５５に対して、キャリッジ１７を左右方向に移動させるようにしてもよい。この場合には、密着キャップ５５を左右方向に移動させるための移動機構を備える必要がない。すなわち、密着キャップ５５と流体噴射ヘッド１８とが相対移動可能な構成であればよい。

・第２実施形態において、領域Ｄ１〜Ｄ３は互いに離間していてもよいし、その並び順を変更してもよい。
・流路の圧力損失は、リザーバー４４の形状に限らず、インク供給路２０全体を対象として決定してもよい。例えば、圧力調整機構２８の下流側においてインク供給路２０が長さの異なる２つの分岐流路に分岐され、各分岐流路がそれぞれ異なるリザーバー４４に接続されている場合には、第１閉塞工程で短い方の分岐流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞する。また、第２閉塞工程で、長い方の分岐流路を通じてインクが供給されるノズル２３のノズル開口２５を閉塞すればよい。

・１つのノズル列Ｎに対して複数の当接部材を設け、各当接部材が異なるタイミングでノズル列Ｎを構成するノズル２３の各ノズル開口２５を閉塞するようにしてもよい。
・ノズル２３は、ノズルプレート４３に貫通形成されるものに限らず、流体噴射ヘッド１８から突設される円筒状の細い管によって形成されてもよい。

・圧力調整機構２８によってノズル２３の背圧を調整するようにしてもよい。この場合には、差圧弁２６を備えなくてもよい。また、圧力調整機構２８をメンテナンス装置１４の構成要素としなくてもよい。

・開閉弁２７を備えなくてもよい。
・流体噴射ヘッド１８やノズル２３の数、ノズル列Ｎの列数などは任意に設定することができる。また、同色のインク（同種の流体）に対応するノズル列Ｎが隣接するように複数列設けられる場合には、該複数列のノズル列に対応するように開口部を設けてもよい。

・インクカートリッジ１９は、着脱式でないインクタンクを採用してもよい。
・プリンターは、長尺の流体噴射ヘッドを備えるフルラインタイプのラインヘッド式プリンターや、ラテラル式プリンターとして実現してもよい。

・上記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式プリンターに具体化したが、インク以外の他の流体を噴射したり吐出したりする流体噴射装置を採用してもよく、微小量の液滴を吐出させる液体噴射ヘッド等を備える各種の液体噴射装置に流用可能である。なお、液滴とは、上記液体噴射装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体とは、液体噴射装置が噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状態、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状態、また物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなどを含む。また、液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したようなインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インク及び油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物を包含するものとする。液体噴射装置の具体例としては、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルタの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサ等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置を採用してもよい。そして、これらのうち何れか一種の噴射装置に本発明を適用することができる。

１１…流体噴射装置としてのプリンター、１４…メンテナンス装置、１８…流体噴射ヘッド、２０…流体供給流路としてのインク供給路、２３…ノズル、２４…一平面としてのノズル形成面、２５…ノズル開口、２７…開閉弁、２８…圧力調整機構、４４…貯留部としてのリザーバー、４６…流入孔、４７…流出孔、５０，５０Ａ，５０Ｂ，５５，５５Ａ…当接部材としての密着キャップ、５２ａ…当接面、５６…当接部、５７…開口部、Ｄ１…第１領域としての領域、Ｄ２…第２領域としての領域、Ｄ３…第３領域としての領域、Ｍ１…開閉位置、Ｍ２…減圧位置、Ｎ…ノズル列、Ｘ…移動方向、Ｙ…ノズル列方向。

Claims (8)

1. 流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッドと、該流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路とを有する流体噴射装置のメンテナンス装置であって、
   前記流体噴射ヘッドよりも上流側の減圧位置で前記流体供給流路内を減圧する圧力調整機構と、
   該圧力調整機構による減圧が開始された後に、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を優先的に閉塞するように前記流体噴射ヘッドに当接する当接部材と、を備えることを特徴とするメンテナンス装置。
2. 前記当接部材は、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の長さに応じて、該長さが相対的に短い流路を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口から優先的に閉塞することを特徴とする請求項１に記載のメンテナンス装置。
3. 前記流体供給流路には、前記減圧位置の下流側において前記流体を一時貯留するために一方向に沿って延びる貯留部と、該貯留部内に前記流体を流入させるための流入孔と、前記貯留部内の前記流体を前記各ノズルに向けて供給するために前記一方向に沿って並ぶように配置された複数の流出孔とが設けられ、
   前記当接部材は、前記流入孔からの距離が短い前記流出孔を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を閉塞した後に、前記流入孔からの距離が長い前記流出孔を通じて前記流体が供給される前記ノズルのノズル開口を閉塞することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のメンテナンス装置。
4. 前記流体供給流路において、前記減圧位置よりも上流側の開閉位置に、前記流体供給流路を開閉可能な開閉弁をさらに備えることを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のメンテナンス装置。
5. 複数の前記ノズルのノズル開口は一平面上に並ぶように配置され、
   前記当接部材は、前記一平面と交差する方向に沿って移動可能であるとともに、複数の前記ノズルのうち一部のノズル開口を閉塞したときに、当該一部のノズル以外のノズルから離間した状態となる当接面を有することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載のメンテナンス装置。
6. 前記流体噴射ヘッドには、複数の前記ノズルからなるノズル列が設けられるとともに、複数の前記ノズルのノズル開口は一平面上に並ぶように配置され、
   前記当接部材は、ノズル列方向と交差する移動方向に沿って前記一平面に対してスライド移動可能であるとともに、前記ノズル開口を閉塞するための当接部及び該当接部と隣接する位置に設けられた開口部を有し、
   前記当接部材には、前記ノズル列方向に並ぶように配置された前記当接部及び前記開口部からなる第１領域と、該第１領域と前記移動方向に隣接する位置に配置された前記開口部からなる第２領域と、前記第１領域又は前記第２領域と前記移動方向に隣接する位置に配置された前記当接部からなる第３領域とが設けられることを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載のメンテナンス装置。
7. 流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッドと、
   該流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路と、
   請求項１〜請求項６のうち何れか一項に記載のメンテナンス装置と、を備えることを特徴とする流体噴射装置。
8. 流体を噴射するノズルが複数設けられた流体噴射ヘッド側となる下流側に向けて前記流体を供給する流体供給流路内を、前記流体噴射ヘッドよりも上流側の減圧位置において減圧し始める減圧開始工程と、
   該減圧開始工程の後に、複数の前記ノズルのうち、前記減圧位置から前記各ノズルに至る流路毎の圧力損失の大きさに応じて、該圧力損失が相対的に小さい流路を通じて前記流体が供給される一部のノズルのノズル開口を閉塞する第１閉塞工程と、
   該第１閉塞工程の後に、全ての前記ノズルのノズル開口を閉塞する第２閉塞工程と、を備えることを特徴とするメンテナンス方法。

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