JP5414543B2 - グラファイトベースの光電池 - Google Patents

グラファイトベースの光電池 Download PDF

Info

Publication number
JP5414543B2
JP5414543B2 JP2009553713A JP2009553713A JP5414543B2 JP 5414543 B2 JP5414543 B2 JP 5414543B2 JP 2009553713 A JP2009553713 A JP 2009553713A JP 2009553713 A JP2009553713 A JP 2009553713A JP 5414543 B2 JP5414543 B2 JP 5414543B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photovoltaic cell
graphene sheet
cell according
graphite
junction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009553713A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011503833A (ja
Inventor
マックス ラガリー
フォン リウ
Original Assignee
ウィスコンシン アラムニ リサーチ ファンデーション
ユニヴァーシティー オブ ユタ リサーチ ファウンデーション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ウィスコンシン アラムニ リサーチ ファンデーション, ユニヴァーシティー オブ ユタ リサーチ ファウンデーション filed Critical ウィスコンシン アラムニ リサーチ ファンデーション
Publication of JP2011503833A publication Critical patent/JP2011503833A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5414543B2 publication Critical patent/JP5414543B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/06Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
    • H01L31/07Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the Schottky type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/0248Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
    • H01L31/0256Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
    • H01L31/0264Inorganic materials
    • H01L31/028Inorganic materials including, apart from doping material or other impurities, only elements of Group IV of the Periodic System
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B10/00Integration of renewable energy sources in buildings
    • Y02B10/10Photovoltaic [PV]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/52PV systems with concentrators
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/547Monocrystalline silicon PV cells

Description

光電池は、光導電材料内の光子と電子の間の相互作用によって太陽光を電気に直接変換する。光電池を形成するために、通常シリコンである光導電材料が電気接触によって結合されて接合部を形成する。現在、大部分のシリコンベースの光電池は、シリコンp−n接合デバイスである。セルに衝突する光子は吸収され、従って、電子−正孔対の形成を引き起こし、接合部を横切って反対方向に移動する電子及び正孔が電流を生じさせる。これらの電気接触のグリッドがセルのアレイを作成し、そこから電流が集められる。セルに生成されるDC電流は、関わっている材料及びセル上に入射する放射線のエネルギ及び強度に依存する。
光電池は、多年にわたって利用されており、太陽光発電の使用は、この先何年も増加し続けることになると予測されている。世界中の太陽光発電用途の主要な障害は、セル効率及びセルコストである。現在、大部分の光電池に関するワット当たりのコストは、これらのセルが他のエネルギ源と競合するほど十分には低くない。今のところ、業界標準の太陽電池材料は、結晶Siである。しかし、バルクSiは、それを製造するのに使用される処理の材料集約性のために、1.00ドル/ワットよりも低いコストを達成する可能性は低い。また、Siの固有セル効率は、熱力学によって〜30%未満に限定される。
太陽電池効率は、外部要因及び固有要因の両方によって限定される。反射及び透明性(僅かな不透明性)と、欠陥接触及び漏れに起因する光生成された担体の不完全収集とに起因する損失のような外因性損失は、セルモジュールのより良好な設計及び製造によって克服することができる。しかし、固有損失は、エネルギ帯のエンジニアリングによるセル材料の設計によって克服すべきである。例えば、全ての外因損失が除かれたとしても、バンドギャップよりも小さいエネルギを有する太陽光子は吸収することができず、一方でより高いエネルギを有する光子に対して発生した電子及び正孔の熱化に起因するエネルギ散逸が熱を生じさせ、従って、エネルギを浪費する可能性があるので、単一材料で製造された理想セルの最高効率は、〜1.35eVの最適バンドギャップで、〜31%である(C.H.Henry、J.Appl.Phys.51、4494(1980))。セル効率を改善するための1つの方策は、複数のバンドギャップを有する材料の組合せを用いることである。III−V族及びGe薄膜から製造された多重接合セルにより、40%に近い最高セル効率が達成されている。しかし、これらの高効率の研究用セルは、一般電力市場に普及するのには高価すぎる。
より最近になって、単層カーボンナノチューブに基づくショットキー障壁セルが提案された。しかし、こうしたセルの廉価な製造は可能でない場合がある。
C.H.Henry、J.Appl.Phys.51、4494(1980) Novoselov他、Science、第306号、666頁(2004) Yuan他、J.Appl.Phys.100、013708(2006) Collins他、Science、第292号、706(2001)
従って、セル効率を高め、セルコストを低減して0.50ドル/ワット未満の生産コストの目標に到達する新しい材料が必要である。
本発明は、グラファイトベースの光電池及びこれらの光電池から電気を発生させる方法を含む。これらの光電池においては、各々が複数の垂直に積み重ねた半導体グラフェンシートを含む空間的に分離されたグラファイトのスタックが、電気接触を架橋する光起電材料として機能する。グラフェンシート又は「ナノリボン」は、各シートのバンドギャップがシートの幅に依存するようなナノスケール幅の寸法を有する。すなわち、様々な幅を有し、かつそれによって様々なバンドギャップを有するグラフェンシートを光電池に組み込むことにより、光電池は、太陽スペクトルにわたって効率的に吸収するように設計することができる。その結果は、高効率で製造に経費のかからない光電池である。
基本的な実施形態では、光電池は、グラファイトスタックのナノリボンとショットキー障壁(電子又は正孔のいずれかに対する)を形成する第1の導電材料を含む第1の接点(又は第1の接点の組)と、グラファイトスタックのナノリボンと同じ担体に対するよりも小さいショットキー障壁を形成するか、全くショットキー障壁を形成しないか、又は反対の担体に対するショットキー障壁を形成するかのいずれかである第2の導電材料を含む第2の接点(又は第2の接点の組)とを含む。ショットキー障壁セルの1つのバージョンにおいて、典型的には金属である第1の導電材料は、ナノリボンよりも低い仕事関数を有する。その結果、第1の導電材料とナノリボンの間に形成される接合部は、それらが電子に対するショットキー障壁を形成することを特徴とする。第2の導電材料は、ショットキー障壁が接合部で形成されないように、ナノリボンの仕事関数に近い仕事関数を有することができる。代替的に、第2の導電材料とナノリボンの間に形成される接合部は、第1の導電材料とナノリボンの間の接合部で形成されるものよりも小さい、接合部による電子に対するショットキー障壁の形成を特徴とすることができる。更に別の代替の変形においては、正孔に対するショットキー障壁が、第2の導電材料とナノリボンの間の接合部に形成される。この変形においては、第2の導電材料は、ナノリボンよりも高い仕事関数を有するように選択される。
光電池は、グラフェンシートにおいて電荷担体を光生成することができる放射線(例えば、太陽放射線)に光電池を露出し、それによって電気を生成することによって電気を発生させるために使用することができる。電気は、次に、蓄電デバイス又は消費デバイスに伝送することができる。
本発明の更に別の目的、特徴、及び利点は、添付図面と共に以下の詳細説明から明らかになるであろう。
カーボンナノチューブ(1(a)−上のパネル)及びカーボンナノリボン(1(b)−下のパネル)における電子閉じ込めを示す図である。 非対称アームチェア構成を有するカーボンナノリボンの概略図である。 垂直ストライプが(a)の垂直ストライプに比較して右縁で原子の列が切り離されていることを示す、対称ジグザグ構成を有するカーボンナノリボンの概略図である。 垂直ストライプが(b)の垂直ストライプに比較して右縁で原子の列が切り離されていることを示す、対称アームチェア構成を有するカーボンナノリボンの概略図である。 非対称ジグザグ構成を有するカーボンナノリボンの概略図である。 チタン接点、カーボンナノリボン、及び金接点の接触前(2(a))及びこの3つの材料と接触状態にある時(2(b))の概略のエネルギ準位図である。 各垂直線がナノリボンの1つのスタックを表すグラファイトベースのショットキー障壁光電池の上面の概念図である。 グラファイト基板上に光電池を形成するための製作シーケンスを示す図である。
本発明は、高効率かつ経済的な光電池の基本的構成要素として、リソグラフィでパターン化されたグラファイトスタックを使用する。グラファイトベースの光電池の基本設計は、複数の空間的に分離されたグラファイトスタックを含み、その各々は、導電性接点を架橋する複数の垂直に積み重ねた半導体グラフェンシート(カーボンナノリボン)を含む。典型的には2つの異なる金属である接点材料は、グラファイトスタックのナノリボンとのショットキー接点において異なる仕事関数を有し、それは、ナノリボン内に内臓電位を発生させる。
本発明の光電池は、パターン化されたナノリボンの電気的特性が、単層カーボンナノチューブ(SWNT)の電気的特性のチューブ直径及び対掌性への依存性に類似するナノリボン方向(対掌性)及び幅への依存性を示すという事実を利用する。ナノチューブは、グラフェン(グラファイトの単一シート)の丸めた部分と見られ、逆に、ナノリボンは、拡げたナノチューブと考えられる。半導体挙動及び金属性挙動の区別を生じさせる物理的原因である電子閉じ込めは、図1(a)に示すようにチューブ構成及びリボン構成において同等である。両方の場合に、電子は閉じ込められて、SWNTのラッピング(ローリング)ベクトルであるCrに沿った定常波を形成するが、境界条件は僅かに異なっている。ナノリボンにおいては、閉じ込められた電子波の2つの節点は、リボンの縁部になければならないが(図1(a)の下のパネル)、SWNTでは、節点はどこにあってもよく、すなわち、図1(a)の上のパネルに示すように周方向の周期的境界条件である。
ナノリボンの方向は、それが金属性であるか又は半導性であるかを判断する。これは、半導体ナノリボンを必要とする太陽光発電用途において特に関連がある。ナノリボンの「方向」は、グラフェンシートを通して切断する方法を考察することによって達成される。C−C結合の2つの列に沿ったグラフェンシートを通る切断により、アームチェア(図1(b)及び図1(d))及びジグザグ(図1(c)及び図1(e))ナノリボンのような異なる「対掌性」のナノリボンを切断の方向に依存して作成することができる。また、所定の「対掌性」に対して、左右対称の縁部構造(青色パネルを除いた図1(c)及び図1(d))、又は左右非対称の縁部構造(青色パネルを除いた図1(b)及び図1(e))のいずれかを有する2つの部類のナノリボンが存在する。
重要なことには、全てのアームチェアナノリボン及びジグザグ対称ナノリボンの3分の1が金属性であり、一方でジグザグナノリボンの3分の2が半導性である。これは、単層カーボンナノチューブと同じ比率である。
ジグザグナノリボンの3分の2が、有限バンドギャップの状態で半導体として挙動する事実は、太陽電池の用途に特に有用である。これらは、本発明の光電池を製造するための構築ブロックとしての使用に適切な新規な部類のナノ材料(ナノスケールの半導体)を提供する。ナノリボンのバンドギャップは、リボン幅の減少に伴って連続的に増大するので、様々な幅を有し、かつ従って様々なバンドギャップを有するナノリボンを含むグラファイトスタックを光電池内に組み込むことができ、太陽放射線の全スペクトルにわたる波長で吸収する光電池を提供する。例えば、光電池は、約0.1eVから約2eVの範囲にわたるバンドギャップを有するナノリボンを含むことができる。これは、約30nmから約1nm(例えば、約20nmから約2.5nm)の範囲の様々な幅を有するグラファイトスタックを使用することによって達成することができる。
ナノリボンの他の有用な特徴は、それらの仕事関数がそれらの幅に強くは依存しないことである。第1原理計算は、全てのジグザグ及びアームチェア・カーボンナノリボンが約4.58eVの仕事関数を有することを示し、これは、グラフェンの無限単シートの仕事関数(4.66eV)よりも僅かに小さいのみである。この挙動は、曲率効果がSWNTの仕事関数を変化させてそれをチューブ直径に依存させる表面双極子を誘導するSWNTの挙動とは大きく異なる。カーボンナノリボンの仕事関数のそれらの幅からの独立性は、カーボンナノリボンベースの太陽電池の設計のための技術的に有用な特性である。異なる寸法のカーボンナノリボンが金属リードと接触した時、カーボンナノリボン寸法と独立して、同じ大きさの接触電位(又はショットキー障壁)が接点の全てに発生することになる。従って、本発明のショットキー障壁光電池に対して、同じ全体的内臓電位が、多重間隙セルアーキテクチャで2つの導電性接点を架橋する全てのカーボンナノリボンにわたって発生することになる。
例として、図2は、本発明によるチタン接点−カーボンナノリボン−Au接点(Ti−CNR−Au)デバイスの概略図である。このデバイス設計においては、1つの金属リード(Ti)は、ナノリボンの仕事関数よりも小さい仕事関数(4.3eV)を有し、他の金属リード(Au)は、ナノリボンの仕事関数よりも大きい仕事関数(5.1eV)を有する。図2(a)は、接触前のTi−CNR−Auデバイスにおける各金属のエネルギ帯図を示し、この場合、材料のフェルミ準位は、それらの仕事関数の差によってずれている。3つの材料が接触状態とされた時(図2(b))、それらのフェルミ準位は並ばなければならない。その結果、図2(b)に示すように、カーボンナノリボン内に2つの金属リードの間の仕事関数の差に等しい内臓電位(Vbi)の状態で電界が発生する。短い固有ナノリボンの理想的場合に対しては、Vbiは、図2(b)に概略示された真空準位と同様にAu接点からTi接点までの全ナノリボンにわたって直線的に低下するであろう。非常に長くかつドープされたナノリボンに対しては、ドープのレベルは、固定することができ、又はナノリボンのフェルミエネルギは、ナノリボンの中間部分で一定に留まることになる。次に、この場合には、図2(b)に示すように、伝導帯及び価電子帯は中間部分で平坦であるが、Ti接点の近くで下方に、かつAu接点の近くで上方にそれぞれ曲がることになる。内臓電界は、入射光子によって発生した電子−正孔対を分離することができ、電流が生じる。
本発明による代表的なグラファイトベースのショットキー障壁光電池は、グラファイトスタックの密度及び寸法に基づいて、数10億の(又は数兆でさえもの)ナノリボンを含むことができる。実用的なグラファイトナノリボン光電池は、最高の電力密度を達成するように、不透明度を高めるために奥行き104で充填された108/cm2のような可能な限り高い充填密度のリボンを収容するように設計することができるであろう。太陽光照射の最大電力密度は、太陽集光器を用いない時、〜850W/m2である。本発明の光電池は、太陽集光器を用いなくても50W/m2又はそれよりも大きい電力密度を生じさせることができる。言うまでもなく、太陽集光器を電力密度を高めるために使用することができる。例えば、100×の太陽集光器を用いれば、5000W/m2の電力密度を達成することができる。
グラファイトベースのショットキー障壁光電池の概念図が図3に示されている。このセルは、金属電極の間に接続されてショットキー接点を形成するグラファイトスタック(図における各線は、例えば、約>104の垂直に積み重ねたナノリボンを収容するグラファイトスタックを表す)の大きなアレイを含む。各スタックは、2つの金属接点(例えば、1つのTi接点及び1つのAu接点)によって連絡される。各列は、光電流(又は光電圧)を発生し、かつ要求された用途に適合するように配線することができる。個々のグラフェン層は、グラファイト内で本来独立しているので、1つの読み出しがグラファイト内のグラフェンの全ての層に役立つことができる。得られたショットキー障壁光電池は、通常の光電池と同じ方式で作動する。光子は、電子を価電子帯から伝導帯に励起する。この作用によって発生した電子−正孔対は、2つの金属接点とナノリボンの間の仕事関数における差によって設定された電界を感知し、電子と正孔は、分離するようになる。このセルは、従来型の光電池におけるのと同様に、電流を高めるか又は電圧を高めるかのいずれかに配線することができる。
この光電池は、リソグラフィ、パターン化、及びエッチングのような半導体加工技術を用いて製造することができる。これは、単一稼働で多くの同一又は異なるスタックを製造することができる経費のかからない並行処理を提供するので有利である。複数のスタックを形成する基本的な方法は、高純度グラファイト基板上に複数の(例えば、アレイの)スタックをパターン化し、次に、酸素プラズマを用いて数百ミクロンの深さにまで基板を通過してエッチングする段階を含む。例えば、グラファイトスタックは、市販の高配向性熱分解グラファイト(HOPG)(SPI製品「HOPG 等級1」)の0.2mmの薄いストリップから調製することができる。(より薄く又はより厚いグラファイトの層を使用することができる。しかし、グラファイト基板は、可撓性であるのに十分なほど薄いことが望ましい。)HOPG薄膜は、Novoselov他、Science、第306号、666頁(2004)に説明されているように、操作基板に転写することができる。太陽光発電デバイスに対しては、絶縁性の操作基板が望ましく、従って、厚いSiO2膜(〜300nm)を有する酸化Siウェーハを基板として利用することができる。代替的に、可撓性かつより廉価なセルを製造するために、PETのような可撓性ポリマーを操作基板として使用することができる。SU8フォトレジストは、グラファイトをPETフィルムに結合するために使用することができる。(例えば、Yuan他、J.Appl.Phys.100、013708(2006)を参照されたい。)
望ましいナノリボン幾何学形状は、グラファイト薄層のナノパターン化及びエッチングによって調整することができる。製作シーケンスの例は、図4で提供される。エッチング停止マスクとして機能する200nm厚のSiO2膜(402)が、プラズマ強化化学気相蒸着(PECVD)を用いてHOPG表面(404)上に最初に堆積される。HOPG表面は、操作基板(400)によって支持される。ポリメチルメタクリレート(PMMA)のようなレジスト材料(406)が、エッチング停止層の上に被覆される(段階A)。次に、EUV又はUVレーザ干渉リソグラフィ又はナノインプリントリソグラフィのような高解像度リソグラフィ技術を用いて、空間的に分離されたグラファイトスタックのアレイを提供することになるパターンをレジスト内に形成する。次に、露出された酸化物が、異方性ドライエッチング(例えば、SiO2ドライエッチング)によって除去されて急勾配の側壁が得られ、すなわち、ウェットエッチングでは発生する刻み目が防止される(段階B)。次に、グラファイト膜が、酸素プラズマを用いてエッチングされ、適切な深さのトレンチ(408)が形成される(段階C)。トレンチの幅は、ナノリボンの望ましいバンドギャップに基づいて選択することができる。グラファイト膜内にトレンチが形成された状態で、電子ビーム蒸発又は別の適切な金属堆積技術を用いてTi(410)及びAu(412)を堆積させることができ(段階D)、高度の剥離法を用いて接点を形成することができる(段階E)。任意的に、ナノリボンの長い側に沿った(すなわち、長さに沿った)空間(例えば、トレンチ)は、ナノリボンの縁部の酸素又は他の周囲環境気体(例えば、H2O、N2など)との反応を防止するために保護ポリマーで充填することができる。
グラファイトスタックの形成におけるリソグラフィ技術の使用は、金属性ナノリボンではなく半導体ナノリボンの選択的形成が可能になるので有利である。半導体ナノリボンの形成は、適切な方向のパターン化を用いて対称ジグザグ構成、非対称ジグザグ構成、又はその組合せを有するグラフェンシートを提供することによって達成することができる。使用されるリソグラフィ技術によっては、金属性ジグザグナノリボンを少しも含まないグラファイトスタックを形成することは非実用的又は不可能な場合がある。そのような状況においては、金属性ナノリボンは、別々の加工段階で除去することができる。例えば、金属性ナノリボンは、カーボンナノチューブに使用された方式に類似した方式による焼成により、半導体ナノリボンに変換することができる(例えば、Collins他、Science、第292号、706(2001)を参照されたい)。すなわち、グラファイトスタックは、半導体ナノリボンを非導電性にするようにゲート処理され、電流がスタックを通過して流されて、金属性ナノリボンは、それらを半導体とするのに十分なほどそれらの寸法が低下するまで「焼成」される。代替的に、金属性ナノリボンの縁部は、それらを半導体とするようにドープすることができる。
従って、一部の実施形態では、グラファイトスタックのナノリボンの一部又は全てに対して選択的にドープすることが望ましい。例えば、p−n接合は、ナノリボンの2つの異なるセグメントにおいて異なるドーパントを用いてドープすることによって形成することができる。ナノリボンをドープするための1つの有効な方法は、それらの縁部構造を様々な終端を用いて操作することである。例えば、ナノリボンは、リン(P)及びヒ素(As)のようなV族元素によって終端処理される時にn型にドープされ、ホウ素(B)及びガリウム(Ga)のようなIII族元素によって終端処理される時にp型にドープされると考えられる。ナノリボンの終端は、露出されたナノリボンに対して、Pのドープのためのホスフィン(PH3)及びAsのドープのためのアルシン(AsH3)のような望ましいドーパント原子を含有する分子前駆体を流すことによって修正することができる。
リソグラフィで形成されたスタックの標準的な寸法は、約100μmから約300μmの高さ、約2nmから約30nmの幅、及び約0.1μmから約1000μmの長さである。基板上の典型的なスタック密度は、約106から約1012スタック/cm2である。これらのスタック寸法を利用する光電池は、cm2当たり1012グラフェンシートを収容することができると考えられる。
リソグラフィで形成されたグラファイトスタック内には、垂直に積み重ねたナノリボンの幅に何らかの軽度の変動が存在する場合がある。この変動は、使用されるパターン化及びエッチング手順の限界によるものであろう。従って、不均一な幅を有するグラファイトスタックのナノリボンは、この不均一性がリソグラフィ技術の限界によって生じる時、「実質的に同一の幅」及び従って「実質的に同一のバンドギャップ」を有すると見なされることになる。例えば、グラファイトスタック又はナノリボンは、それらの幅が約0.2nm未満で変動する時は、「実質的に同一の幅」を有すると見なすことができる。
グラファイトスタックは、グラファイト基板上に規則的なアレイ又はパターンで形成することができる。光電池内に様々な幅を有するグラファイトスタックを含むことは、様々な波長での放射線を吸収するセルを製造するために望ましい。この幅は、太陽光スペクトルにわたる波長で吸収するセルを提供するために望ましく選択される(例えば、約0.1eVから約2eV)。例えば、光電池は、複数の(例えば、3つ又はそれよりも多くの)領域を含むことができ、ここで、領域は、同一又は実質的に同一の幅を有する複数のグラファイトスタックとして定められる。各領域内のグラファイトスタックは、空間的にグループ分けする(すなわち、隣接する)ことができ、又は他の領域からグラファイトスタックで隔てることができる。この様々な領域は、次に、直列に接続することができ、光電池を提供する。
複数の又はアレイのスタックが基板上に形成された状態で、交互するAu及びTi(又は適切な導電材料)接点がトレンチに堆積される。ナノリボンは、それらが広いというよりは遥かに長いので、金属のパターン化及び堆積を従来型の堆積技術を用いて行うことができる。得られた接点は、所定のグラファイトスタックの全ての層でナノリボンを接続することになる。
本明細書に用いられる時かつ別途指定しない限り、「a」及び「an」は、「1つ又はそれよりも多い」を意味する。本明細書に引用した全ての特許、出願、参考文献、及び論文は、それらを引用によりあたかも個々に組み込むのと同程度にその全内容を引用により組み込んでいる。
当業者によって理解されるように、いずれかかつ全ての目的に対して、特に書面を提供することに関して、本明細書に開示した全ての範囲は、あらゆる可能な部分的範囲及びそれらの部分的範囲の組合せも包含する。あらゆる記載された範囲は、その同じ範囲が少なくとも等しい半分、三分の一、四分の一、五分の一、十分の一などに分割されることを十分に説明しかつ可能にすると容易に認識することができる。非限定な例として、本明細書で説明した各範囲は、下位の三分の一、中位の三分の一、及び上位の三分の一などに容易に分解することができる。同じく当業者によって理解されるように、「まで」、「少なくとも」、「より大きい」、及び「よりも少ない」などのような全ての言語は、列挙された数を含み、かつ続いて上述のような部分的範囲に分解することができる範囲を意味する。最後に、当業者に理解されるように、範囲は、各個々のメンバを含む。
本発明は、本明細書に例証として示した特定的な実施形態に限定されず、以下の特許請求の範囲に入るその全てのそのような形態を含むことが理解される。
Cr SWNTのラッピング(ローリング)ベクトル

Claims (23)

  1. (a)第1の導電性接点材料を含む第1の接点、
    (b)第2の導電材料を含む第2の接点、及び
    (c)各スタックが複数の垂直方向に積み重ねた半導体グラフェンシートを含む、前記第1及び第2の接点を架橋する複数の空間的に分離したグラファイトスタック、
    を含み、
    前記第1の導電性接点材料と前記グラフェンシートの間の接合部が、電子又は正孔のためのショットキー障壁を形成する、
    ことを特徴とする光電池。
  2. 前記グラファイトスタックは、50nmよりも大きくない幅を有することを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  3. 前記グラファイトスタックは、30nmよりも大きくない幅を有することを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  4. 前記グラファイトスタックは、2nmから25nmの幅を有することを特徴とする請求項3に記載の光電池。
  5. 前記グラファイトスタックは、100μmから300μmの高さを有することを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  6. グラファイトスタックの密度が、少なくとも1000スタック/cm 2 であることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  7. 前記グラフェンシートの少なくとも一部が、ドープされることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  8. 前記グラフェンシートの全てが、半導性であることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  9. 前記グラファイトスタックは、複数の領域を形成し、各領域は、同一の幅を有する複数のグラファイトスタックと、同一のバンドギャップを有するグラフェンシートとを含み、
    各領域は、少なくとも1つの他の領域と直列に接続される、
    ことを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  10. 各領域における前記グラファイトスタックは、空間的にグループ分けされることを特徴とする請求項9に記載の光電池。
  11. 前記グラフェンシートは、0.1eVから2eVの範囲にわたるバンドギャップを有することを特徴とする請求項9に記載の光電池。
  12. 少なくとも3つの領域を含むことを特徴とする請求項9に記載の光電池。
  13. 前記第1の導電性接点材料と前記グラフェンシートの間の接合部が、電子に対するショットキー障壁を形成し、前記第2の導電材料と該グラフェンシートの間の接合部は、電子に対するショットキー障壁を形成しないことを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  14. 前記第1の導電性接点材料と前記グラフェンシートの間の接合部が、電子に対するショットキー障壁を形成し、かつ前記第2の導電材料と該グラフェンシートの間の接合部が、電子に対するショットキー障壁を形成し、該ショットキー障壁は、前記第1の導電性接点材料と前記グラフェンシートの間の前記接合部に形成されるものよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  15. 前記第1の導電性接点材料と前記グラフェンシートの間の接合部が、電子に対するショットキー障壁を形成し、前記第2の導電材料と該グラフェンシートの間の接合部が、正孔に対するショットキー障壁を形成することを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  16. 太陽集光器なしで少なくとも50W/m 2 の電力密度を生成することができることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  17. 100×の太陽集光器を用いて少なくとも5000W/m 2 の電力密度を生成することができることを特徴とする請求項1に記載の光電池。
  18. グラフェンシートに電荷担体を光生成することができる放射線に請求項1に記載の光電池を露出する段階、
    を含み、
    それによって電気が生成される、
    ことを特徴とする電気を発生させる方法。
  19. 前記放射線は、太陽放射線であることを特徴とする請求項18に記載の方法。
  20. 前記グラファイトスタック内の前記グラフェンシートは、0.1eVから2eVの範囲にわたるバンドギャップを有することを特徴とする請求項4に記載の光電池。
  21. 前記ドープされるグラフェンシートは、2つの異なるセグメントにおいて2つの異なるドーパントを用いてドープされ、p−n接合が形成されることを特徴とする請求項7に記載の光電池。
  22. 前記ドーパントは、前記グラフェンシートの縁部を終端処理することを特徴とする請求項21に記載の光電池。
  23. 前記ドーパントは、前記グラフェンシートの縁部を終端処理することを特徴とする請求項7に記載の光電池。
JP2009553713A 2007-03-13 2008-03-10 グラファイトベースの光電池 Expired - Fee Related JP5414543B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/685,439 2007-03-13
US11/685,439 US7858876B2 (en) 2007-03-13 2007-03-13 Graphite-based photovoltaic cells
PCT/US2008/056420 WO2008112639A2 (en) 2007-03-13 2008-03-10 Graphite-based photovoltaic cells

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011503833A JP2011503833A (ja) 2011-01-27
JP5414543B2 true JP5414543B2 (ja) 2014-02-12

Family

ID=39760339

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009553713A Expired - Fee Related JP5414543B2 (ja) 2007-03-13 2008-03-10 グラファイトベースの光電池

Country Status (11)

Country Link
US (1) US7858876B2 (ja)
EP (1) EP2135301A2 (ja)
JP (1) JP5414543B2 (ja)
KR (1) KR20090123951A (ja)
CN (1) CN101681953B (ja)
AU (1) AU2008226454B2 (ja)
BR (1) BRPI0808212A2 (ja)
CA (1) CA2680025C (ja)
HK (1) HK1142719A1 (ja)
MX (1) MX2009009775A (ja)
WO (1) WO2008112639A2 (ja)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100119434A1 (en) * 2007-03-26 2010-05-13 The University Of Utah Research Foundation Method of forming nanotubes
US20120132266A1 (en) * 2008-04-02 2012-05-31 Korea Institute Of Machinery & Materials Photoelectric conversion device using semiconductor nanomaterial
KR100953448B1 (ko) * 2008-04-02 2010-04-20 한국기계연구원 반도체 나노소재를 이용한 광전 변환 장치 및 그 제조 방법
US10164135B2 (en) * 2009-08-07 2018-12-25 Guardian Glass, LLC Electronic device including graphene-based layer(s), and/or method or making the same
US10167572B2 (en) 2009-08-07 2019-01-01 Guardian Glass, LLC Large area deposition of graphene via hetero-epitaxial growth, and products including the same
FR2950482A1 (fr) 2009-09-18 2011-03-25 Univ Paris 6 Pierre Et Marie Curie Procede pour generer une difference de potentiel a l'aide d'une couche mince de graphene, et dispositifs faisant application
US20120227787A1 (en) * 2009-11-16 2012-09-13 Tomer Drori Graphene-based photovoltaic device
WO2011072213A2 (en) * 2009-12-10 2011-06-16 Virginia Commonwealth University Production of graphene and nanoparticle catalysts supported on graphene using laser radiation
KR101217210B1 (ko) * 2010-10-07 2012-12-31 서울대학교산학협력단 발광소자 및 그 제조방법
KR101217209B1 (ko) * 2010-10-07 2012-12-31 서울대학교산학협력단 발광소자 및 그 제조방법
US8668984B2 (en) 2010-10-14 2014-03-11 Wnc Solar, Llc Multilayer composite
WO2012079066A2 (en) 2010-12-10 2012-06-14 California Institute Of Technology Method for producing graphene oxide with tunable gap
JP5943369B2 (ja) * 2011-02-09 2016-07-05 国立研究開発法人産業技術総合研究所 熱伝導積層膜部材及びその製造方法、これを用いた放熱部品及び放熱デバイス
US9249016B2 (en) * 2011-03-29 2016-02-02 California Institute Of Technology Graphene-based multi-junctions flexible solar cell
KR101813170B1 (ko) 2011-04-11 2017-12-28 삼성전자주식회사 그래핀 함유 분리막
KR20120120514A (ko) * 2011-04-22 2012-11-02 한국과학기술원 도핑 탄소나노구조체를 이용한 소자 제어방법 및 도핑 탄소나노구조체를 포함하는 소자
US8461571B2 (en) * 2011-06-29 2013-06-11 Nokia Corporation Method and apparatus for converting photon energy to electrical energy
CN102290477B (zh) * 2011-09-13 2013-06-26 青岛科技大学 一种基于石墨烯pn结的光伏电池及其制备方法
US8940576B1 (en) * 2011-09-22 2015-01-27 Hrl Laboratories, Llc Methods for n-type doping of graphene, and n-type-doped graphene compositions
KR101830782B1 (ko) 2011-09-22 2018-04-05 삼성전자주식회사 그래핀을 포함하는 전극 구조체 및 전계효과 트랜지스터
US8624222B2 (en) 2011-10-21 2014-01-07 University Of Utah Research Foundation Homogeneous multiple band gap devices
FR2982853B1 (fr) * 2011-11-22 2018-01-12 Ecole Polytechnique Procede de fabrication de film de graphene
JP6052537B2 (ja) * 2011-12-01 2016-12-27 国立大学法人東北大学 グラフェン構造体及びそれを用いた半導体装置並びにそれらの製造方法
US10205042B2 (en) 2012-01-26 2019-02-12 Fundació Institut De Ciències Fotòniques Photoconversion device with enhanced photon absorption
US9842947B2 (en) 2012-01-26 2017-12-12 Fundacio Institut De Ciencies Fotoniques Photoconversion device with enhanced photon absorption
US8507890B1 (en) * 2012-01-26 2013-08-13 Fundacio Institut De Ciencies Fotoniques Photoconversion device with enhanced photon absorption
US20130206221A1 (en) * 2012-02-13 2013-08-15 John Anthony Gannon Solar cell with metallization compensating for or preventing cracking
KR101910579B1 (ko) 2012-10-29 2018-10-22 삼성전자주식회사 튜너블 배리어를 구비한 그래핀 스위칭 소자
KR101920724B1 (ko) 2012-12-11 2018-11-21 삼성전자주식회사 그래핀을 포함하는 전자 소자
KR102059131B1 (ko) 2013-04-05 2019-12-24 삼성전자주식회사 그래핀 소자 및 이의 제조 방법
TWI493739B (zh) * 2013-06-05 2015-07-21 Univ Nat Taiwan 熱載子光電轉換裝置及其方法
US9773669B2 (en) * 2014-09-11 2017-09-26 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Method of fabricating a nanoribbon and applications thereof
KR101593398B1 (ko) * 2015-03-18 2016-02-12 경희대학교 산학협력단 태양 전지 부스터
CN104966758A (zh) * 2015-06-11 2015-10-07 上海电力学院 一种基于石墨烯的肖特基柔性光伏器件
US10145005B2 (en) 2015-08-19 2018-12-04 Guardian Glass, LLC Techniques for low temperature direct graphene growth on glass
JP6659956B2 (ja) 2016-05-31 2020-03-04 富士通株式会社 ショットキーバリアダイオード及び電子装置
KR102088244B1 (ko) * 2018-02-05 2020-03-12 고려대학교 산학협력단 무전력 화학물질 감지센서 및 센싱방법
CN110311010B (zh) * 2019-06-28 2022-06-07 西安交通大学 一种基于石墨烯纳米带的红外宽光谱探测器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4441102B2 (ja) * 1999-11-22 2010-03-31 キヤノン株式会社 光起電力素子及びその製造方法
AU2002307151A1 (en) 2001-04-06 2002-10-21 Carnegie Mellon University A process for the preparation of nanostructured materials
AU2003304679A1 (en) * 2002-12-09 2005-06-08 Rensselaer Polytechnic Institute Nanotube-organic photoelectric conversion devices and methods of making same
US7378715B2 (en) * 2003-10-10 2008-05-27 General Electric Company Free-standing electrostatically-doped carbon nanotube device
JP2005332991A (ja) * 2004-05-20 2005-12-02 Univ Nagoya カーボンナノチューブ発光素子
US7645933B2 (en) * 2005-03-02 2010-01-12 Wisconsin Alumni Research Foundation Carbon nanotube Schottky barrier photovoltaic cell
JP5242009B2 (ja) * 2005-09-29 2013-07-24 国立大学法人名古屋大学 カーボンナノウォールを用いた光起電力素子
JP2007273970A (ja) * 2006-03-07 2007-10-18 Tokyo Institute Of Technology n型カーボン半導体膜およびそれを用いた半導体素子
GB0708030D0 (en) 2007-04-25 2007-06-06 Strep Ltd Solar cell

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008112639A2 (en) 2008-09-18
CN101681953A (zh) 2010-03-24
AU2008226454B2 (en) 2013-03-07
KR20090123951A (ko) 2009-12-02
CN101681953B (zh) 2012-06-20
US7858876B2 (en) 2010-12-28
EP2135301A2 (en) 2009-12-23
CA2680025A1 (en) 2008-09-18
JP2011503833A (ja) 2011-01-27
HK1142719A1 (en) 2010-12-10
US20100132773A1 (en) 2010-06-03
WO2008112639A3 (en) 2009-04-09
AU2008226454A1 (en) 2008-09-18
CA2680025C (en) 2014-08-26
MX2009009775A (es) 2009-09-24
BRPI0808212A2 (pt) 2014-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5414543B2 (ja) グラファイトベースの光電池
Li et al. Carbon/silicon heterojunction solar cells: state of the art and prospects
US7915521B2 (en) Type II quantum dot solar cells
US9059345B2 (en) Solar cell using p-i-n nanowire
KR101316375B1 (ko) 태양전지 및 이의 제조방법
TWI430465B (zh) 利用高縱橫比之奈米結構以增強效率的太陽電池裝置
TW201001726A (en) Techniques for enhancing efficiency of photovoltaic devices using high-aspect-ratio nanostructures
JP5379811B2 (ja) 高アスペクト比ナノ構造体を用いた光起電デバイス及びその作成方法
US20130092210A1 (en) Light and carrier collection management photovoltaic structures
CN103137770B (zh) 一种石墨烯/Si p-n双结太阳能电池及其制备方法
TWI603489B (zh) 太陽能電池
JP2022535268A (ja) 高効率グラフェン/ワイドバンドギャップ半導体ヘテロ接合太陽電池セル
TWI603488B (zh) 太陽能電池的製備方法
JP6415197B2 (ja) 光電変換素子、太陽電池及び光センサー
KR20130006871A (ko) 광전소자 및 그 제조방법
KR101420905B1 (ko) 3차원 탄소나노튜브 네트워크를 포함하는 태양전지 및 이의 제조방법
JP5327859B2 (ja) 太陽電池セルおよびその製造方法
Alcer Single Junction and Tandem Junction Nanowire Solar Cells
KR101366737B1 (ko) 번들 제거를 통한 실리콘 나노 및 마이크로 구조체의 무반사 특성이 향상된 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지
JP2010267831A (ja) 半導体装置
Viswanathan et al. REVIEW ON THE DESIGN OF LOW COST HIGH EFFICIENCY SOLAR ENERGY HARVESTER USING GRAPHENE BASED NANO MATERIALS

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110224

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120820

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120827

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20121121

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20121129

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130227

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131015

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131112

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees