JP5403501B2 - 強誘電体膜の製造方法 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
まず、本発明の第1の実施形態のアーク放電イオンプレーティング装置について図1を用いて説明する。
次に、本発明の第2実施形態としてPZT膜を圧電膜として用いた2次元光スキャナについて説明する。図6は第2実施形態に係る2次元光スキャナ(光偏向器)の構成を示す平面図である。空隙(空洞部)611’を持つシリコン製の支持基板(支持体)611の内側に、可動部分として枠状に形成した内部可動枠63と、内部可動枠63の内側に空隙63’を空けて形成された方形状のミラー部61が備えられている。ミラー部61は反射膜62を有する。ミラー部61は、一対の第1のトーションバー64a、64bを介して内部可動枠63に弾性的に支持されている。第1のトーションバー64a、64bを挟む形で直角に屈曲したバー65a〜65dが配置され、バー65a〜65bには第1の振動板66a〜66dが配置されている。
上述の図1の反射型圧力勾配型アーク放電イオンプレーティング装置を用いて、ペロブスカイト型酸化物で強誘電体および圧電体の特性を示すチタン酸ジルコン酸鉛(PZT:Pb(ZrxTi1−x)O3)薄膜の形成を実施した。
Claims (2)
- 圧力勾配型プラズマガンを用いてHeガスと酸素ガスの混合プラズマを発生させ、該混合プラズマ中の酸素ラジカルにより成膜材料を酸化させる強誘電体膜の製造方法であって、
前記圧力勾配型プラズマガンとして、陰極と、第1、第2及び第3の中間電極と、陽極とを備えた反射型のプラズマガンを用い、前記第1、第2および第3の中間電極の電位を前記陰極の電位よりも順次高くなるように設定し、かつ、前記第3の中間電極の電位を、成膜対象である基板が配置される真空容器の電位よりも低く設定して、前記混合プラズマを発生させ、
前記圧力勾配型プラズマガンの放電電圧は100V以上150V以下、放電電流は50A以上100A以下、前記混合プラズマが生じている空間の圧力は0.1Pa以上0.2Pa以下であり、
前記混合プラズマが生じている空間に、Pb蒸発量がZrとTiの蒸発量の合計に対して2〜5倍の範囲で、かつ、ZrとTiの蒸発量が同量となるように原料金属を蒸発させ、
前記強誘電体膜として、柱状晶構造の、鉛含有ペロブスカイト型酸化物であるPb(ZrxTi1−x)O3(ただし、x>0.4)を1nm/s以上の成膜速度で形成することを特徴とする強誘電体膜の製造方法。 - 請求項1に記載の強誘電体膜の製造方法において、前記強誘電体膜は、Ptが堆積された前記基板のPtの上に形成することを特徴とする強誘電体膜の製造方法。
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