JP5374082B2 - 撮像装置及び撮像システム - Google Patents
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Description
数式1をVdについて解くと、
Vd=Ct/[Ct+Ch+{Cp×(Ct+Ch)}/{Cp+Ct+Ch}]×Vb・・・数式2
となる。
数式2を数式3へ代入すると、Vcは、以下の式のようになる。
=Cp×Ct/[(Ct+Ch)×(2×Cp+Ct+Ch)]×Vb・・・数式4
ここで、Ct、Ch>>Cpとすると、
2×Cp+Ct+Ch≒Ct+Ch・・・数式5
と近似することができる。また、CpをChの関数として、
Cp=a×Ch(aは正の小数)・・・数式6
とすると、数式5及び数式6を数式4へ代入することにより、Vcは以下のようになる。
数式7より、Cpの係数であるaが大きいほど、本来0であるVcの電圧が高くなり、クロストーク量が大きくなることがわかる。
N1=k1{(Cp1+Cp2)−(Cp3+Cp4)}・・・数式8
の大きさのクロストークに起因したノイズが残存する。ここで、k1は、所定の係数である。
N2=k2{(Cp1+Cp4)−(Cp2+Cp3)}・・・数式9
の大きさのクロストークに起因したノイズが残存する。ここで、k2は、所定の係数である。
100、100i 撮像装置
Claims (8)
- 複数の画素が配された撮像領域と、前記撮像領域の周辺に位置する周辺領域とを有する撮像装置であって、
前記撮像領域には、前記複数の画素の上方にカラーフィルタ層が配され、前記カラーフィルタ層と前記複数の画素との間にパッシベーション層が配され、前記カラーフィルタ層と前記パッシベーション層との間に第1の平坦化層が配され、前記カラーフィルタ層の上に第2の平坦化層が配され、
前記周辺領域には、前記複数の画素から信号を読み出す読み出し部と、出力端子から出力されるべき信号を生成する出力部と、前記読み出し部からの信号を前記出力部へ伝達する複数の出力線と、パッシベーション層と、が配されており、
前記カラーフィルタ層は、前記撮像領域から前記周辺領域に延在し少なくとも前記読み出し部の上方に配されているとともに、前記周辺領域において前記複数の出力線の上に開口を有し、前記開口の内側には気体が存在しており、
前記第1の平坦化層および前記第2の平坦化層の各々は、前記カラーフィルタ層と共に前記撮像領域から前記周辺領域に延在しているとともに、前記周辺領域において前記カラーフィルタ層の前記開口に整合した開口を有し、前記カラーフィルタ層の前記開口の側面に前記第1の平坦化層および前記第2の平坦化層の各々の前記開口の側面が連続しており、
前記パッシベーション層は、その上面が前記複数の出力線に対応する凸部および前記複数の出力線間に対応する凹部を含む凹凸を有するように前記複数の出力線を覆い、前記複数の出力線を覆う前記パッシベーション層の前記上面は前記開口に露出していることを特徴とする撮像装置。 - 前記複数の出力線の上方の領域は、前記複数の出力線が並ぶ方向において、前記カラーフィルタ層の前記側面で挟まれていることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
- 前記カラーフィルタ層、前記第1の平坦化層および前記第2の平坦化層はアクリル系樹脂で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の撮像装置。
- 前記第2の平坦化層の上にはマイクロレンズが設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記パッシベーション層の前記第1の平坦化層に重なる部分の下には、前記複数の出力線と同じ高さに配線層が設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記複数の出力線は、前記読み出し部から出力された第1の信号を伝達する第1の出力線と、前記読み出し部から出力された第2の信号を伝達する第2の出力線との組を複数含み、前記出力部は、前記第1の信号と前記第2の信号との差分信号をそれぞれ生成する複数の差分回路を含むことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 前記読み出し部は、前記画素から読み出した信号を保持する保持容量と、前記保持容量と前記出力線との接続を開閉するスイッチと、を含むことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の撮像装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の撮像面へ像を形成する光学系と、
前記撮像装置から出力された信号を処理して画像データを生成する信号処理部と、
を備えたことを特徴とする撮像システム。
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