JP5364590B2 - スパッタリング装置およびスパッタリング成膜方法 - Google Patents
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Description
「オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術」、p58、技術情報協会
前記カルーセル型ワークホルダーは、ワークホルダー支持部と複数のワーク保持部を備え、前記ワーク保持部は前記ワークホルダー支持部の外周部に設置され、前記カルーセル型ワークホルダーおよび/またはワーク保持部は、ターゲットとカルーセル型ワークホルダーの回転軸を結ぶ面に垂直な面内に有する軸で回転可能に設置されたものであり、
前記カルーセル型ワークホルダーの内側には、熱電子捕捉部材を設置したことを特徴とするスパッタリング装置である。
前記ワークを前記ターゲットとカルーセル型ワークホルダーの回転軸を結ぶ面に垂直な面内に有する軸で回転させ、
かつ、
前記カルーセル型ワークホルダーの内側に設置した熱電子捕捉部材により熱電子を補捉することを特徴とするスパッタリング成膜方法である。
ワーク:ABS樹脂
スパッタガス:アルゴン
ターゲット:チタン
磁場:アンバランス型
チャンバー内真空度:10−3〜10−4Torr
入力電力:10kW
電源方式:直流
熱電子を捕捉させる部材:銅網
熱電子を捕捉させる部材へのバイアス:+50V
時間:20〜30分
2 真空チャンバー
3 ターゲット
4 マグネット収納部
5 ターゲット用マグネット
5a マグネット支持棒
5b マグネット
5c マグネット
5d マグネット
6 カルーセル型のワークホルダー
6a ワークホルダー支持部
6b ワーク保持部
6c フック
7 ワーク
8 排気口
9 ガス導入口
10 プラズマ用高圧電源
11 バイアス用電源
12 設置アース
15 小型のカルーセル型のワークホルダー
20 熱電子を捕捉させるための部材
20a 熱電子捕捉部
20b 支持部
Claims (7)
- 真空チャンバー内に、ターゲットと、ターゲットに対向して設置され、回転軸を有するカルーセル型ワークホルダーとを備えたスパッタリング装置であって、
前記カルーセル型ワークホルダーは、ワークホルダー支持部と複数のワーク保持部を備え、前記ワーク保持部は前記ワークホルダー支持部の外周部に設置され、前記カルーセル型ワークホルダーおよび/またはワーク保持部は、ターゲットとカルーセル型ワークホルダーの回転軸を結ぶ面に垂直な面内に有する軸で回転可能に設置されたものであり、
前記カルーセル型ワークホルダーの内側には、バイアスをかける熱電子捕捉部材を設置したことを特徴とするスパッタリング装置。 - 熱電子捕捉部材が、気体やスパッタ粒子を通過する孔を有するものである請求項1記載のスパッタリング装置。
- 更に、ターゲット用マグネットを備えるものである請求項1記載のスパッタリング装置。
- ターゲット用マグネットが、非平衡の磁場を発生するものである請求項3記載のスパッタリング装置。
- ターゲットが円筒型であり、ターゲット用マグネットが前記ターゲット内部に設置されたものである請求項3または4に記載のスパッタリング装置。
- ターゲットをスパッタリングすることにより、ターゲットと対向して設置され、回転するカルーセル型ワークホルダーに取り付けられたワークに成膜する方法であって、
前記ワークを前記ターゲットとカルーセル型ワークホルダーの回転軸を結ぶ面に垂直な面内に有する軸で回転させ、
かつ、
前記カルーセル型ワークホルダーの内側に設置し、バイアスをかけた熱電子捕捉部材により熱電子を補捉することを特徴とするスパッタリング成膜方法。 - ターゲットのスパッタリングを、マグネトロンスパッタリングで行うものである請求項6記載のスパッタリング成膜方法。
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