JP5363974B2 - 改良された薄膜化プロセスを用いて製造されたガラス絶縁体上半導体 - Google Patents
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Description
特許文献2には、SiOG構造体を製造するプロセスが開示されている。このプロセスの工程は以下を含む。(i)シリコンウェハの表面を水素イオン注入にさらして結合面を生成し、(ii)ウェハの結合面をガラス基板と接触させ、(iii)ウェハおよびガラス基板に圧力、温度および電圧を加えて両者間の結合を促し、(iv)構造体を常温まで冷却し、シリコンウェハからのガラス基板およびシリコン薄層の分離を促す。
SiOG構造に対する上述の薄膜化プロセスの適用可能性を示すための実験を行った。厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、35%KOHエッチング溶液に浸漬し、約25℃で4分間のエッチングを行った。磁気攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。次に、SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。次に、エッチング面の表面粗さを測定したところ、粗さは7.1オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約470nmであり、均一性の偏差はエッチング面の大半において10nmをかなり下回った。測定した半導体層の厚さを用いて、エッチング速度を計算したところ、7nm/分であった。
厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、25%KOHエッチング溶液に浸漬し、約25℃で4分間のエッチングを行った。超音波攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。次に、SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。次に、エッチング面の表面粗さを測定したところ、粗さは7.6オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約344nmであり、均一性の偏差は約8nmであった。エッチング速度は38nm/分であった。
厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、45%KOHエッチング溶液に浸漬し、約25℃で4分間のエッチングを行った。磁気攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。エッチング面の表面粗さは8.2オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約438nmであり、均一性の偏差は約8nmであった。エッチング速度は18nm/分であった。
エッチング溶液の超音波攪拌を用いて、実施例3の実験を繰り返した。エッチング面の表面粗さは9.7オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約414nmであり、均一性の偏差は約6nmであった。エッチング速度は21nm/分であった。
厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、15%アンモニア(NH4OH)エッチング溶液に浸漬し、約25℃で4分間のエッチングを行った。超音波攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。次に、SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。エッチング面の表面粗さは9オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約472nmであり、均一性の偏差は約46nmであった。エッチング速度は6nm/分であった。
厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、HNO3(70重量%):HF(49重量%):CH3COOH(86重量%)の157:1:10(体積比率)混合液に浸漬し、約25℃で2分半のエッチングを行った。1MHzのメガソニック攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。次に、SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。エッチング面の表面粗さは2〜4オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約349nmであり、均一性の偏差は約11nmであった。エッチング速度は64.8nm/分であった。
厚さが500nmのシリコン剥離層を有するSiOG構造体を、オゾン処理されたHF溶液に浸漬し、約25℃で20分間のエッチングを行った。O3濃度を55〜60ppmに保ち、49重量%HFを脱イオン水で1:100(体積比率)に希釈した。メガソニック攪拌を用いてエッチング溶液を攪拌した。次に、SiOG構造体をエッチング溶液から取り出し、エッチング作用を止めるために脱イオン水で洗浄した。エッチング面の表面粗さは2〜5オングストローム(RMS)であった。半導体層の厚さは約232nmであり、均一性の偏差は約23nmであった。エッチング速度は11.5nm/分であった。
SiOGプロセスで再使用するドナー半導体ウェハを用意するためのウェットエッチングプロセスの適用可能性を示すために、様々な濃度のKOH溶液および酸性溶液を室温で用いて実験を行った。3つのドナーシリコンウェハを、ビーカー中の25℃の25%KOH溶液に浸漬し、超音波攪拌を用いて20分間、40分間および60分間のエッチングをそれぞれ行った。次に、ウェハを溶液から取り出し、脱イオン水を用いて直ちに洗浄した。エッチング速度は50nm/分であり、表面粗さは6〜8オングストローム(RMS)であった。40分以上のエッチングで、円形の孔隙等といった表面欠陥を除去できる。
実施例8の実験を、超音波槽中で25℃で10%、35%および45%のKOH濃度を用いて各6分間繰り返し、それから同じ洗浄手順を行った。エッチング後の表面粗さは6〜9オングストローム(RMS)の範囲内であった。
10%、25%、35%および45%の濃度のKOH溶液に飽和IPAを添加して、実施例8の実験を繰り返した。超音波攪拌を用いて、これらの溶液にドナーシリコンウェハを6分間浸漬した。前と同様に脱イオン水中でこれらのウェハを洗浄した。エッチング後の表面粗さを測定したところ、全て6〜8オングストローム(RMS)の範囲内であった。
102 ガラス基板
104 半導体層
120 ドナー半導体ウェハ
121 注入面
122 剥離層
123 劈開面
Claims (9)
- ガラス上半導体構造体を形成する方法であって、
ドナー半導体ウェハの注入面にイオン注入プロセスを施して該ドナー半導体ウェハの剥離層を生成する工程と、
電解を用いて、前記剥離層の前記注入面をガラス基板に、当該ガラス基板のひずみ点の+/−150℃以内の温度で結合させる工程と、
前記ドナー半導体ウェハから、前記ガラス基板に結合された前記剥離層を分離することにより、前記ドナー半導体ウェハの第1の劈開面および前記ガラス基板に結合された前記剥離層の第2の劈開面を露出する工程と、
ウェットエッチングプロセスの前または後に水素アニールプロセスを用いずに、少なくとも前記第2の劈開面に、約20〜60℃の温度でウェットエッチングプロセスを施す工程と
を備えることを特徴とする方法。 - 前記ウェットエッチングプロセスが約25℃の温度で行われること、
前記ウェットエッチングプロセスが、少なくとも前記第2の劈開面を、酸性溶液および塩基性溶液の一方にさらすことを含むこと、
前記酸性溶液が、フッ化水素酸、硝酸、および酢酸の少なくとも1つを含むこと、
前記溶液が水を含むこと、
前記溶液が塩基性エッチング液を含むこと、
前記塩基性エッチング液が、KOH、NH4OH、テトラメチル水酸化アンモニウム(TMAH)から成る群から選択されること、
前記溶液が添加剤を含むこと、および
前記添加剤が、イソプロピルアルコール、過酸化水素およびオゾン処理水の1つであること
の少なくとも1つを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記エッチングプロセスにおいて、少なくとも前記第2の劈開面が、エッチング液を含有する溶液の攪拌にさらされること、および
前記攪拌が、前記溶液を掻き混ぜること、前記溶液の磁気攪拌、前記溶液内での超音波伝搬、前記溶液内でのメガソニック波伝搬、および前記溶液の噴射塗布の少なくとも1つを含むこと
の少なくとも1つを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記結合させる工程が、
前記ガラス基板および前記ドナー半導体ウェハの少なくとも一方を加熱すること、
前記ガラス基板を、前記剥離層を介して前記ドナー半導体ウェハと直接または間接的に接触させること、および
前記ガラス基板および前記ドナー半導体ウェハに電位を印加して前記結合を生じさせること
を含むことを特徴とする請求項1記載の方法。 - 前記ドナー半導体ウェハが、シリコン(Si)、ゲルマニウム添加シリコン(SiGe)、炭化シリコン(SiC)、ゲルマニウム(Ge)、ガリウムヒ素(GaAs)、GaP、およびInPから成る群から選択されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- ガラス上半導体構造体を形成する方法であって、
電解を用いて、ドナー半導体構造体の表面をガラス基板に、当該ガラス基板のひずみ点の+/−150℃以内の温度で結合させる工程と、
前記ドナー半導体構造体から、前記ガラス基板に結合された層を剥離によって分離することにより、前記ドナー半導体ウェハの第1の劈開面および前記ガラス基板に結合された前記剥離層の第2の劈開面を露出する工程と、
ウェットエッチングプロセスの前または後に水素アニールプロセスを用いずに、少なくとも前記第2の劈開面に、約20〜60℃の温度でウェットエッチングプロセスを施す工程と
を備えることを特徴とする方法。 - 前記ドナー半導体構造体が実質的に単結晶のドナー半導体ウェハを含み、前記分離された層が、実質的に前記単結晶のドナー半導体ウェハ材料から形成されること、および
前記ドナー半導体構造体が、ドナー半導体ウェハと、該ドナー半導体ウェハ上に配設されたエピタキシャル半導体層とを含み、前記分離された層が、実質的に前記エピタキシャル半導体層から形成されること
の少なくとも1つを特徴とする請求項6記載の方法。 - 前記第2の劈開面のエッチング面に、研磨を施す工程を更に備えることを特徴とする請求項6記載の方法。
- 前記研磨工程において、シリカ系のスラリーを用いて前記エッチング面がバフ研磨されること、
研磨圧力が約1〜100psi(約6.9kPa〜690kPa)であること、
研磨プラテン速度が約25〜1000rpmであること、および
前記研磨プロセスが決定論的研磨技術であること
の少なくとも1つを特徴とする請求項8記載の方法。
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