JP5363536B2 - 他の素子の処理の間のメモリセルの活性層の保護 - Google Patents
他の素子の処理の間のメモリセルの活性層の保護 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5363536B2 JP5363536B2 JP2011150816A JP2011150816A JP5363536B2 JP 5363536 B2 JP5363536 B2 JP 5363536B2 JP 2011150816 A JP2011150816 A JP 2011150816A JP 2011150816 A JP2011150816 A JP 2011150816A JP 5363536 B2 JP5363536 B2 JP 5363536B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- memory cell
- active layer
- illustrates
- memory structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 43
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 34
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 77
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 41
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 36
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 31
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 10
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 9
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 1
- 230000016507 interphase Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/24—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies
- H10N70/245—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies the species being metal cations, e.g. programmable metallization cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
1.技術分野
本発明は、一般的にメモリ技術に関し、より特定的には、たとえば、銅ビアのような他の素子に施される処理ステップの間のメモリセルの活性層の保護に関するものである。
一般に、コンピュータおよび他の電子装置に関連したメモリ装置が、その動作のための情報を蓄積し維持するために用いられている。典型的には、そのような装置は、メモリセルのアレイを含み、その中では、それぞれのメモリセルは、その情報のプログラミング、消去、および読出のためにアクセスされ得る。それぞれのメモリセルは、「0」および「1」とも呼ばれる「オフ」状態または「オン」状態で情報を維持している。
Oまたはさまざまなポリマーのような活性層36、および活性層36上の電極38を含んでいる。まず、メモリセル30がプログラムされていないと仮定し、メモリセル30をプログラムするために、電極32が接地状態に保持されながら、負電圧が電極38に印加される。その結果、電位VPG(「プログラミング」電位)が、電極32から電極38への方向において、電位が高い側から電位が低い側へメモリセル30を横切って印加される。この電位によれば、銅イオンは、十分に、超イオン層34から電極38に向かってかつ活性層36の中に引付けられ得る。それにより、活性層36(および全体メモリセル30)は低抵抗または導電性状態になる。そのような電位の除去に関して、プログラミングステップの間に活性層の中に引付けられる銅イオンはその中で残存し、その結果、活性層36(およびメモリセル30)は導電性または低抵抗状態のままである。
側から低い側へメモリセル30を横切って印加される。この電位は、プログラミング(上記参照)のためにメモリセル30を横切って印加される電位Vpgよりも小さい。このような状況において、メモリセル30がプログラミングされると、メモリセル30は、容易に電流を流し、それによって、メモリセル30がプログラムされた状態にあることを示す。メモリセル30がプログラムされていなければ、メモリセル30は電流を流さず、それによって、メモリセル30が消去された状態であることを示す。
たとえば銅のような導電性金属層52を覆うようにかつ接触するように形成される。金属層52は、示されるように、金属線52Aおよび52Bにパターニングされている。標準的なリソグラフィ技術を用いて、ビア開口54および56が、金属線52Aおよび52Bを覆うように誘電体内にかつ誘電体を貫通するように形成されており、それぞれ金属線52Aおよび52Bに連通している(図3)。次に(図4)、開口54および56がそれぞれの開口54および56内に銅体58および60を形成するように導電性材料(たとえば銅)で満たされる。それにより、銅体58および56は金属層52のそれぞれの金属線52Aおよび52Bに接触する。
広く述べられたように、本発明は、電子装置を製造する方法であり、その方法は、導電層を設けるステップと、その導電層を覆うように誘電体層を設けるステップと、その誘電体層を貫通する第1および第2の開口を設けるステップと、その第1および第2の開口にそれぞれ第1および第2の導電体を設けるステップと、第1の導電体を覆うようにメモリ構造を設けるステップと、そのメモリ構造を覆うように保護要素を設けるステップと、第2の導電体上で処理を施すステップとを備えている。本発明の他の局面においては、電子構造は、その中で第1および第2の開口を有する誘電体層と、第1および第2の開口内のそれぞれの第1および第2の導電層と、第1の誘電体を覆うようにメモリ構造とを備え、そして、(a)第1の非活性層と、(b)非活性層上の活性層と、メモリ構造を覆うが第2の導電体を覆わないチタンおよび/またはチタンナイトライドを備える保護要素とを備えている。
発明を実施するために発明者によって現在意図されているベストモードを説明している本発明の特定の実施の形態がここで詳細に説明される。
気相反応、注入、堆積または他の適切な技術を用いて形成されてもよい。これによれば、銅体108の上にかつ銅体108を覆うように非活性層128が形成される。図24に示されるように、有機材料または無機材料である非活性層130が、たとえばスピンオン技術、化学気相成長などを含む適切な何らかの技術によって非活性層128に接触しかつ非活性層128を覆うように形成される。
度に維持することによって、ウェハ表面に露出した活性層が保持される。
また、本発明は、前記基礎構造(124)上の処理がクリーニングプロセスを備えている、請求項2に記載の電子構造の製造方法。
Claims (7)
- その中に第1および第2の開口(104,106)を有する層(100)を設けるステップと、
前記第1および第2の開口(104,106)内にそれぞれ第1および第2体(108,110)を設けるステップと、
前記第1体(108)を覆うようにメモリ構造(126)を設けるステップと、
前記メモリ構造(126)をクリーニング処理の衝撃から保護するために、当該メモリ構造(126)の全表面を覆うように保護要素(134)を設けるステップと、
前記保護要素(134)が前記メモリ構造(126)の全表面を覆う状態で前記第2体(110)上で前記クリーニング処理を施すステップとを備えた、電子構造の製造方法。 - 前記メモリ構造(126)が、第1メモリ構造層(128)と第2メモリ構造層(130)とを備えた、請求項1に記載の電子構造の製造方法。
- 前記第1メモリ構造層(128)が前記第1体(108)上にあり、前記第2メモリ構造層(130)が前記第1メモリ構造層(128)上にある、請求項2に記載の電子構造の製造方法。
- 前記第1メモリ構造層(128)が非活性層であり、前記第2メモリ構造層(130)が活性層である、請求項2または3に記載の電子構造の製造方法。
- 前記保護要素(134)が導電性材料を備えた、請求項1〜4のいずれかに記載の電子構造の製造方法。
- 前記第1および第2体(108,110)のそれぞれが導電性材料を備えた、請求項1〜5のいずれかに記載の電子構造の製造方法。
- 前記保護要素(134)は、前記層(100)に露出した前記メモリ構造(126)の全表面を覆う、請求項1〜6いずれかに記載の電子構造の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/987,262 US7220642B2 (en) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | Protection of active layers of memory cells during processing of other elements |
US10/987,262 | 2004-11-12 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007541329A Division JP5032330B2 (ja) | 2004-11-12 | 2005-11-10 | 電子装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011233916A JP2011233916A (ja) | 2011-11-17 |
JP5363536B2 true JP5363536B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=36202492
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007541329A Expired - Fee Related JP5032330B2 (ja) | 2004-11-12 | 2005-11-10 | 電子装置の製造方法 |
JP2011150816A Expired - Fee Related JP5363536B2 (ja) | 2004-11-12 | 2011-07-07 | 他の素子の処理の間のメモリセルの活性層の保護 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007541329A Expired - Fee Related JP5032330B2 (ja) | 2004-11-12 | 2005-11-10 | 電子装置の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7220642B2 (ja) |
JP (2) | JP5032330B2 (ja) |
KR (1) | KR100912516B1 (ja) |
CN (1) | CN101057345A (ja) |
TW (1) | TW200623334A (ja) |
WO (1) | WO2006053163A2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005244031A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Nec Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US7232765B1 (en) * | 2004-11-12 | 2007-06-19 | Spansion Llc | Utilization of a Ta-containing cap over copper to facilitate concurrent formation of copper vias and memory element structures |
JP4552745B2 (ja) * | 2005-05-10 | 2010-09-29 | ソニー株式会社 | 記憶素子及びその製造方法 |
JP4552752B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2010-09-29 | ソニー株式会社 | 記憶素子の製造方法、記憶装置の製造方法 |
US8232175B2 (en) * | 2006-09-14 | 2012-07-31 | Spansion Llc | Damascene metal-insulator-metal (MIM) device with improved scaleability |
JP2008108860A (ja) * | 2006-10-25 | 2008-05-08 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP5385553B2 (ja) * | 2008-06-13 | 2014-01-08 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US9685608B2 (en) * | 2012-04-13 | 2017-06-20 | Crossbar, Inc. | Reduced diffusion in metal electrode for two-terminal memory |
KR102577389B1 (ko) | 2017-06-09 | 2023-09-15 | 바스프 코포레이션 | 촉매 물품 및 배기가스 처리 시스템 |
WO2018224651A2 (en) | 2017-06-09 | 2018-12-13 | Basf Se | Catalytic article and exhaust gas treatment systems |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2953369B2 (ja) * | 1996-01-17 | 1999-09-27 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の構造およびその製造方法 |
US6313035B1 (en) * | 1996-05-31 | 2001-11-06 | Micron Technology, Inc. | Chemical vapor deposition using organometallic precursors |
TW484228B (en) * | 1999-08-31 | 2002-04-21 | Toshiba Corp | Non-volatile semiconductor memory device and the manufacturing method thereof |
US6461963B1 (en) * | 2000-08-30 | 2002-10-08 | Micron Technology, Inc. | Utilization of disappearing silicon hard mask for fabrication of semiconductor structures |
US6420232B1 (en) * | 2000-11-14 | 2002-07-16 | Silicon-Based Technology Corp. | Methods of fabricating a scalable split-gate flash memory device having embedded triple-sides erase cathodes |
US6759282B2 (en) * | 2001-06-12 | 2004-07-06 | International Business Machines Corporation | Method and structure for buried circuits and devices |
US6717215B2 (en) | 2001-06-21 | 2004-04-06 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Memory structures |
US6858481B2 (en) * | 2001-08-13 | 2005-02-22 | Advanced Micro Devices, Inc. | Memory device with active and passive layers |
JP2003115576A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子デバイスの製造方法 |
JP2004119698A (ja) * | 2002-09-26 | 2004-04-15 | Seiko Epson Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US6870183B2 (en) | 2002-11-04 | 2005-03-22 | Advanced Micro Devices, Inc. | Stacked organic memory devices and methods of operating and fabricating |
US6798068B2 (en) * | 2002-11-26 | 2004-09-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | MOCVD formation of Cu2S |
KR100506816B1 (ko) * | 2003-01-06 | 2005-08-09 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 커패시터의 하부 전극 및 이를 형성하기 위한방법 |
JP2004241672A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Sony Corp | 磁気記憶装置 |
JP4618989B2 (ja) * | 2003-02-18 | 2011-01-26 | 三菱電機株式会社 | 磁気記憶半導体装置 |
US6858442B2 (en) * | 2003-02-25 | 2005-02-22 | Infineon Technologies Aktiengesellschaft | Ferroelectric memory integrated circuit with improved reliability |
US6958273B2 (en) * | 2003-03-21 | 2005-10-25 | Silicon Storage Technology, Inc. | Self-aligned method of forming a semiconductor memory array of floating gate memory cells with buried floating gate, pointed floating gate and pointed channel region, and a memory array made thereby |
JP2004311513A (ja) * | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気記憶装置およびその製造方法 |
US6720232B1 (en) | 2003-04-10 | 2004-04-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Method of fabricating an embedded DRAM for metal-insulator-metal (MIM) capacitor structure |
US6787458B1 (en) | 2003-07-07 | 2004-09-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Polymer memory device formed in via opening |
US7223693B2 (en) * | 2003-12-12 | 2007-05-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods for fabricating memory devices using sacrificial layers and memory devices fabricated by same |
US7115458B2 (en) * | 2004-09-02 | 2006-10-03 | Micron Technology, Inc. | Gate coupling in floating-gate memory cells |
US7144744B2 (en) * | 2004-10-27 | 2006-12-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Magnetoresistive random access memory device structures and methods for fabricating the same |
-
2004
- 2004-11-12 US US10/987,262 patent/US7220642B2/en active Active
-
2005
- 2005-11-10 WO PCT/US2005/040826 patent/WO2006053163A2/en active Application Filing
- 2005-11-10 TW TW094139371A patent/TW200623334A/zh unknown
- 2005-11-10 CN CNA2005800389288A patent/CN101057345A/zh active Pending
- 2005-11-10 KR KR1020077010970A patent/KR100912516B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2005-11-10 JP JP2007541329A patent/JP5032330B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-07 JP JP2011150816A patent/JP5363536B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5032330B2 (ja) | 2012-09-26 |
JP2008520105A (ja) | 2008-06-12 |
US7220642B2 (en) | 2007-05-22 |
US20060102887A1 (en) | 2006-05-18 |
TW200623334A (en) | 2006-07-01 |
KR100912516B1 (ko) | 2009-08-18 |
WO2006053163A2 (en) | 2006-05-18 |
JP2011233916A (ja) | 2011-11-17 |
CN101057345A (zh) | 2007-10-17 |
WO2006053163A3 (en) | 2006-08-03 |
KR20070063598A (ko) | 2007-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5363536B2 (ja) | 他の素子の処理の間のメモリセルの活性層の保護 | |
US10038139B2 (en) | One transistor and one resistive random access memory (RRAM) structure with spacer | |
US9099647B2 (en) | One transistor and one resistive (1T1R) random access memory (RAM) structure with dual spacers | |
JP6428860B2 (ja) | スイッチング素子およびスイッチング素子の製造方法 | |
US9431604B2 (en) | Resistive random access memory (RRAM) and method of making | |
US9029825B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method for semiconductor device | |
JP5382001B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR101851101B1 (ko) | 개선된 형성 전압 특성을 갖는 저항성 랜덤 액세스 메모리 (rram) 및 이의 제조 방법 | |
JP5863302B2 (ja) | 二端子抵抗性スイッチングデバイス構造及びその製造方法 | |
JP6665776B2 (ja) | スイッチング素子及びスイッチング素子の製造方法 | |
JP5799504B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2003094397A (ja) | Arsシステムを製造する方法 | |
US20210351347A1 (en) | ReRAM STRUCTURE AND METHOD OF FABRICATING THE SAME | |
CN110534642B (zh) | 半导体器件及其形成方法 | |
US7384800B1 (en) | Method of fabricating metal-insulator-metal (MIM) device with stable data retention | |
TW201528492A (zh) | 電阻式記憶體及其製造方法 | |
US7468296B1 (en) | Thin film germanium diode with low reverse breakdown | |
CN115472737A (zh) | 存储装置以及其制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20120830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5363536 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |