JP5329071B2 - 保持リング及びキャリアリングを持つキャリアヘッド - Google Patents
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Description
Claims (17)
- 前面と、裏面と、エッジとを有する基板の化学的機械的研磨のためのキャリアヘッドであって、
駆動軸への接続のために構成された上端部を有するハウジングと、
前記ハウジングに接続され、かつ前記ハウジングに対して垂直方向に移動可能であるベースアセンブリと、
前記ベースアセンブリに接続され、前記ベースアセンブリの下に配置され、研磨パッドに接触するように構成された下面と、基板のエッジを取り囲んで前記基板を保持するように構成された内面とを有し、前記ベースアセンブリに対して垂直方向に移動可能である環状保持リングと、
前記ベースアセンブリに接続され、前記ベースアセンブリの下に配置され、前記保持リングの横方向の動きを防ぐために、前記保持リングを取り囲んでおり、研磨パッドに接触するように構成された底面を有し、前記ベースアセンブリに対して垂直方向に固定されたキャリアリングと、
その間に加圧可能なチャンバを画成するために、前記ベースアセンブリに接続され、前記ベースアセンブリの下に延びており、基板取り付け面を提供する下面を有するフレキシブル膜と、
を備え、
前記基板取り付け面から前記基板に対する負荷、前記保持リングから前記研磨パッドに対する負荷、および前記キャリアリングから前記研磨パッドに対する負荷が、独立して調節可能である、キャリアヘッド。 - 前記保持リングが、環状上部と環状下部とを含む、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記上部が、前記下部よりも硬い、請求項2に記載のキャリアヘッド。
- 前記上部が、金属またはセラミックで形成され、前記下部が、プラスチックで形成される、請求項3に記載のキャリアヘッド。
- 前記キャリアリングが、環状上部と環状下部とを含む、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記上部が、前記下部よりも硬い、請求項5に記載のキャリアヘッド。
- 前記上部が、金属またはセラミックで形成され、前記下部が、プラスチックで形成される、請求項6に記載のキャリアヘッド。
- 前記保持リングの底面が、非摩耗性である、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記キャリアリングの底面が、前記保持リングの底面よりも硬い材料で形成される、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記保持リングの底面が、第1の複数のスラリー移送溝を有し、前記キャリアリングの底面が、第2の複数のスラリー移送溝を有する、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記第2の複数の溝が、前記第1の複数の溝と少なくとも同程度の幅である、請求項10に記載のキャリアヘッド。
- 前記ベースアセンブリと前記フレキシブル膜の間の空間が、6つの加圧可能なチャンバを形成する、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 前記ベースアセンブリが、第1の複数のスロットを有し、前記保持リングが、流体が前記キャリアヘッドの外部から前記保持リングの内部に流れることを可能にするために、前記第1の複数のスロットと位置合わせされた第2の複数のスロットを有する、請求項1に記載のキャリアヘッド。
- 研磨パッド上の基板の化学的機械的研磨のためのキャリアヘッドであって、
ベースと、
基板のエッジを取り囲んで前記基板を保持するように構成された内面と、外面と、研磨パッドに接触するように構成された下面とを有する環状保持リングであって、前記保持リングの前記下面が、前記保持リングの内面から前記保持リングの外面へ延びる複数の溝を有する、環状保持リングと、
前記保持リングを取り囲む内面と、外面と、研磨パッドに接触するように構成された下面とを有するキャリアリングであって、前記キャリアリングの前記下面が、前記キャリアリングの内面から前記キャリアリングの外面へ延びる複数の溝を有し、前記キャリアリングの下面における前記複数の溝が、前記保持リングの下面における前記複数の溝よりも幅が広い、キャリアリングと、
基板取り付け面を有する基板裏当て部材と、
を備え、
前記基板取り付け面から前記基板に対する負荷、前記保持リングから前記研磨パッドに対する負荷、および前記キャリアリングから前記研磨パッドに対する負荷が、独立して調節可能である、キャリアヘッド。 - 前記基板裏当て部材がフレキシブル膜を備える、請求項14に記載のキャリアヘッド。
- 前記キャリアリングの下面における前記複数の溝が、前記保持リングの下面における前記複数の溝の2倍の幅である、請求項14に記載のキャリアヘッド。
- 前記キャリアリングの下面における前記複数の溝が、前記保持リングの下面における前記複数の溝と位置合わせされている、請求項14に記載のキャリアヘッド。
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