JP5448337B2 - ウェーハ研削装置およびウェーハ研削方法 - Google Patents
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Description
すなわち2番目の発明においては、ウェーハの外周部と障壁部との間の隙間に堆積する研削屑を押流すことができる。
すなわち4番目の発明においては、ウェーハの外周部と障壁部との間の隙間に堆積する研削屑を押流すことができる。
図1は、本発明を適用可能なウェーハ処理装置の概略平面図である。ウェーハ処理装置10は、ウェーハの裏面を研削する裏面研削ユニット12と、ウェーハにダイシングテープを貼付するダイシングテープ貼付ユニット14とを主に有している。これら各ユニットは、図示しない制御装置によって制御されている。ダイシングテープ貼付ユニット14で処理されたウェーハは、概略図示したダイシングユニット16に搬送されて、ダイシングされる。
11 表面保護フィルム
12 裏面研削ユニット
21 ベース
23 下面
24 回転ステージ
25 外周部上面
26 吸着部
27 洗浄ユニット
28A、28B 研削部
29 テーブル
34 回転軸線
36 真空手段
37 管路
38 水源
40 ウェーハ
41 表面
42 裏面
43 通路
48 内部空間
60 障壁部
61 上面
65 固定具
Claims (4)
- 表面にフィルムが貼付けられているウェーハの裏面が上方を向くように前記ウェーハを保持する保持手段と、
該保持手段により保持された前記ウェーハの前記裏面を研削する研削手段と、
前記保持手段周りに配置された障壁部とを具備し、
前記保持手段が前記ウェーハを保持していない状態で、前記研削手段により前記障壁部の頂面を研削することによって、前記障壁部の頂面は前記保持手段により保持されるべき前記ウェーハの前記裏面と該ウェーハの前記表面との間に位置するようにされており、
前記障壁部の頂面を前記保持手段により保持されるべき前記ウェーハの前記裏面と該ウェーハの前記表面との間に位置させた後で、前記保持手段が前記ウェーハを保持した状態で、前記研削手段が前記ウェーハの前記裏面を研削するようにした、ウェーハ研削装置。 - さらに、前記研削手段による前記ウェーハの研削時において、前記保持手段により保持された前記ウェーハの外周部と前記障壁部との間の隙間に流体を供給する流体供給手段を具備する請求項1に記載のウェーハ研削装置。
- 表面にフィルムが貼付けられているウェーハの裏面が上方を向くように前記ウェーハを保持するようになっている保持手段の周囲に障壁部を配置し、
前記保持手段が前記ウェーハを保持していない状態で、前記障壁部の頂面を研削し、それにより、前記障壁部の頂面を、前記保持手段により保持されるべき前記ウェーハの前記裏面と該ウェーハの前記表面との間に位置するようにし、
前記ウェーハの前記裏面が上方を向くように前記ウェーハを前記保持手段に保持し、
前記ウェーハの前記裏面を研削する、ウェーハ研削方法。 - さらに、前記ウェーハを研削するときに、前記保持手段により保持された前記ウェーハの外周部と前記障壁部との間の隙間に流体を供給する、ことを含む請求項3に記載のウェーハ研削方法。
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