JP5322020B2 - 微細凹部の加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、クランクシャフトやカムシャフトのジャーナルなどの摺動部の外周面に、低フリクション化を実現するための油溜まりとして機能する多数の微細凹部を形成するのに用いられる微細凹部の加工装置に関するものである。

この種の微細凹部の加工装置としては、円周状被加工面を有する被加工物を回転可能に保持すると共に、外周部に微細凹部形成用の微細凸部を有するフォームローラを備え、被加工物とフォームローラを互いの軸線が平行になるように配置したものがある（例えば、特許文献１参照）。

この加工装置は、被加工物にフォームローラを圧接させた状態にして、被加工物を回転させると共に、被加工物とフォームローラを軸線方向に相対的に移動させることで、円周状被加工面の軸線回りの螺旋に沿ってフォームローラを転動させ、円周状被加工面に微細凹部を形成する。

このようなフォームローラを用いた微細凹部の形成は、機械加工であるため、例えばショットブラスト等によって微細凹部を形成する場合に比べて、微細凹部を高精度に且つ効率良く形成することができ、生産性の向上や製造コストの低減を実現するうえで非常に有効なものとなっている。
公開番号：２００４−２２３５７０号公報

ところで、被加工物が、例えば自動車用エンジンを構成するクランクシャフトやカムシャフトであって、円周状被加工面がジャーナルの外周面である場合、その外周面には潤滑油の吐出孔がある。このような場合、円周状被加工面に対してフォームローラを連続的に転動させていくと、フォームローラの微細凸部は衝撃に弱いので、吐出孔の部分でフォームローラの微細凸部を破損する恐れがある。

このため、従来の加工装置では、フォームローラを長持ちさせるために、吐出孔の部分でフォームローラを一旦離間させるようにしたり、被加工物の回転速度を小さくしたりする必要があり、これにより加工時間が長くなるという問題点があり、このような問題点を解決することが課題であった。

本発明は、上記従来の問題点に着目して成されたもので、外周面の一部に穴等の非加工域を有する被加工物に対して、非加工域を避けながら微細凹部を短時間で効率良く形成することができる微細凹部の加工装置を提供することを目的としている。

本発明の微細凹部の加工装置は、外周部に微細凸部を有し且つ回転自在に保持されたフォームローラを被加工物に圧接させ、被加工物を回転させると共に、フォームローラ及び被加工物を軸線方向に相対的に移動させることにより、フォームローラを転動させて被加工物の外周面に微細凹部を形成する装置である。

そして、微細凹部の加工装置は、フォームローラの外周部に、被加工物の外周面の一部である非加工域に対して、微細凸部の無い非加工部を設け、フォームローラの回転方向の初期位置を決定するローラ位置決め手段を備えると共に、前記ローラ位置決め手段が、偏心位置に設けたアンバランスウエイトであることを特徴としており、被加工物の非加工域にフォームローラの非加工部が対応するように被加工物及びフォームローラの回転方向の位置決めを行ってから加工を開始することとなる。

本発明の微細凹部の加工装置によれば、外周面の一部に穴等の非加工域を有する被加工物に対して、非加工域を避けながら微細凹部を短時間で効率良く形成することができ、生産性のさらなる向上などに貢献することができる。また、微細凹部の加工装置は、ローラ位置決め手段としてのアンバランスウエイトにより、非加工部１ｂが所定位置になるようにフォームローラを自然に回転させて、これを回転方向の初期位置とすることができ、装置構造のさらなる簡略化や製造コストの節減を実現することができる。

図１〜図７は、本発明に係わる微細凹部の加工装置の一実施形態を説明する図である。
微細凹部の加工装置は、図３に示すように、フォームローラ１を回転自在に保持するアーム２と、被加工物Ｗの円柱部Ｆの外周面（被加工面）に対してアーム２とともにフォームローラ１を進退可能に保持するハウジング３と、円柱部Ｆに当接したフォームローラ１に対して同円柱部Ｆへの荷重を付与する荷重付与手段４と、荷重付与手段４による荷重を測定する荷重測定手段５を備えている。

より具体的には、加工装置は、三軸方向に移動可能な移動テーブル（図示せず）上に、チャッキング装置６を有する主軸台７と、主軸台７に対して進退可能な心押し台８を相対向する配置で備えており、主軸台７のチャッキング装置６で被加工物Ｗの一端部を把持すると共に、心押し台８で被加工物Ｗの他端部を回転自在に保持する。これにより、被加工物Ｗは、軸線を水平方向（Ｘ方向）にして保持され、主軸台７を駆動することで軸線回りの回転が与えられる。

さらに、加工装置は、主軸台７及び心押し台８の上位側に、垂直方向（Ｚ方向）及び水平方向（Ｘ方向）に移動可能な工具ヘッド（図示せず）を備えており、この工具ヘッドにハウジング３が取り付けてある。

ハウジング３は、円筒形状を成すと共に、軸線を垂直方向にした状態で工具ヘッドに取り付けてあり、上端部に閉塞部材９が嵌合固定してあると共に、下端側の内側に円筒形状のスライダ１０が固定してある。また、スライダ１０の内側には、ロッド１１が垂直方向に摺動自在に挿設してあり、このロッド１１の下端部には、アーム２及び水平な回転軸を介して、フォームローラ１が回転自在に設けてある。このとき、フォームローラ１とその下位側で保持された被加工物Ｗは、互いの軸線が平行な配置となる。

ハウジング３内において、ロッド１１の上端部には、当該ロッド１１の下降位置を規制するストッパを兼ねるばね座１２が固定してあり、ばね座１２と閉塞部材９の間には、円柱部Ｆに当接したフォームローラ１に対して同円柱部Ｆへの荷重を付与する荷重付与手段４が設けてある。また、荷重付与手段４の上部には、受圧部材１３が設けてあり、この受圧部材１３と閉塞部材９との間には、荷重付与手段４による荷重を測定する荷重測定手段５が設けてある。

ここで、被加工物Ｗは、図１及び図２に示すように、円柱部Ｆの円周上の一部に穴Ｈを有している。このように、穴Ｈを有する円柱部Ｆの外周面に微細凹部Ｄを形成する場合、穴Ｈの部分でフォームローラ１の微細凸部を破損する恐れがある。そこで、被加工物Ｗは、穴Ｈ及びその周囲を非加工域Ｎとしている。図示例の非加工域Ｎは、とくに図２に示すように、穴Ｈの直径よりも大きい幅で、軸線方向にわたる領域である。

上記の被加工物Ｗとしては、各種機器を構成する摺動部材、とくに潤滑材中で使用される摺動部材を挙げることができ、より具体的には、自動車用エンジンを構成するクランクシャフト、カムシャフト及びバランサシャフトが挙げられる。そして、これらのジャーナルが円柱部Ｆに相当する。ジャーナルには、潤滑油の吐出孔が設けてある。よって、ジャーナルの外周面において、吐出孔及びその周囲が非加工域Ｎとなる。

上記の被加工物Ｗに対して、当該加工装置は、とくに図１に示すように、フォームローラ１が、その外周部に微細凸部１ａを有すると共に、被加工物Ｗの非加工域Ｎに対して、微細凸部１ａの無い非加工部１ｂを備えたものとなっている。このため、フォームローラ１は、被加工物Ｗの円柱部Ｆの直径とほぼ同じ直径を有するものとなっている。

なお、加工時のフォームローラ１は、被加工物Ｗの円柱部Ｆの外周面に沿って転動すると共に、円柱部Ｆの軸線方向にも送られるので、円柱部Ｆの軸線回りの螺旋に沿って転動する。したがって、より正確には、フォームローラ１の外径は、図７に示すように、円柱部Ｆを１周加工する距離、すなわち幾何学的な寸法に加えてフォームローラ１と被加工物Ｗの間のすべり（軸方向の送り）を考慮した距離と同じになっている。

また、被加工物Ｗの非加工域Ｎが一箇所である場合、フォームローラ１の直径を円柱部Ｆの直径の整数倍にし、その倍数の非加工部１ｂを等間隔で設けることも可能である。しかし、フォームローラ１の直径を無駄に大きくするよりも、フォームローラ１の直径を円柱部Ｆの直径に合わせた構成にする方がより実用的である。

上記フォームローラ１の非加工部１ｂは、より好ましい実施形態として、とくに図１に示すように、軸線方向の長さＬｂが、微細凸部１ａの軸線方向の長さＬａよりも大きいものとしている。これにより、非加工部１ｂの表面積を大きくして、被加工物Ｗとの接触面積を大きくし、フォームローラのさらなる長寿命化や、被加工物Ｗに対する押付け速度のさらなる増大を図ることができる。

さらに、上記フォームローラ１の非加工部１ｂは、より望ましい実施形態として、フォームローラ１のそれ以外の部位よりも軟質の材料で形成する。これにより、加工時の衝撃を吸収して、フォームローラ１の寿命をさらなる長寿命化や、被加工物Ｗに対する押付け速度のさらなる増大を図ることができる。

さらに、加工装置は、上記の如く被加工物Ｗが非加工域Ｎを有するものであるから、これに対応する構成として、フォームローラ１の回転方向の初期位置を決定するローラ位置決め手段と、被加工物Ｗの回転方向の初期位置を決定するワーク位置決め手段１４を備えている。これにより、微細凹部Ｄの加工のさらなる高精度化や自動化を実現する。

この実施形態におけるフォームローラ１のローラ位置決め手段は、フォームローラ１の回転位置を検出するローラ回転検出部１５と、ローラ検出部１５からの検出データに基づいてフォームローラ１を回転調整するローラ回転調整部１６と、ローラ回転調整部１６により所定位置に回転させたフォームローラ１を保持するローラ保持部１７を備えており、これらを制御器Ｃで制御するようにしてある。

ローラ回転検出部１５は、ロータリエンコーダであって、これにより簡単な装置構造で正確な回転検出を可能にしている。

ローラ回転検出部１５は、より好ましい実施形態として、フォームローラ１の微細凸部１ａが、ロータリエンコータの被検出部を兼用している構成にしても良い。

すなわち、ローラ回転検出部１５は、図５に示すように、アーム２において、フォームローラ１の両側に、発光部１５ａと受光部１５ｎを相対向させて配置し、微細凸部１ａによる光の遮断（不受信）と、微細凸部１ａ同士の間を通過した光の受信とに基づいて、フォームローラ１の回転を検出し、これにより非加工部１ｂがどの位相にあるかを認識することができる。

また、ローラ回転検出部１５は、図６に示すように、アーム２において、フォームローラ１の片側に、発光部１５ａと受光部１５ｎを並列配置し、微細凸部１ａの側面で反射した光の受信と、微細凸部１ａ同士の間による光の通過（不受信）とに基づいて、フォームローラ１の回転を検出し、これにより非加工部１ｂがどの位相にあるかを認識することができる。

このように、ローラ回転検出部１５は、微細凸部１ａをロータリエンコータの被検出部に用いれば、装置構造のさらなる簡略化や制作費の節減などを実現することができる。

ローラ回転調整部１６は、主軸台７の上部に設けてあって、モータと、このモータを回転駆動源とする駆動輪等で構成してあり、回転自在に保持されているフォームローラ１の側面を駆動輪に接触させ、この状態で駆動輪を回転駆動することで、フォームローラ１を回転させるものである。

ローラ保持部１７は、アーム２に設けてあって、モータと、このモータを進退駆動源とするブレーキパッド等で構成してあり、ブレーキパッドを前進させてフォームローラ１の側面に接触させることで、フォームローラ１の回転を阻止し、ブレーキパッドを後退させれば、フォームローラ１が回転自在になる。

また、ワーク位置決め手段１４は、主軸台７に内蔵してあり、例えば、主軸台７のモータの回転検出を行う。ただし、被加工物Ｗは、ロボットや人為的な作業によって主軸台７及び心押し台８にセットされ、このときに初期位置が決定される。そこで、ワーク位置決め手段１４は、例えば、非加工域Ｎが上部や側部となるように、予め被加工物Ｗの取付け姿勢を決めておき、その取付け姿勢を回転方向の初期位置として認識する。その後は、モータの回転を検出することで、被加工物Ｗの非加工域Ｎがどの位相にあるかを認識することができる。

制御器Ｃは、ローラ位置決め手段を構成するローラ回転検出部１５、ローラ回転調整部１６、及びローラ保持部１７、並びにワーク位置決め手段１４との間で信号の送受信を夫々行う。この制御器Ｃは、上記各部位の制御のほかに、主軸台７や、図示しない移動テーブル及び工具ヘッドの駆動制御を行うものであっても良い。

次に、上記構成を備えた微細凹部の加工装置の動作を説明する。

加工装置は、主軸台７及び心押し台８に、非加工域Ｎが上部となるように被加工物Ｗをセットし、これに対して、非加工部１ｂが下部となるようにフォームローラ１の回転方向の初期位置を決定する。すなわち、図４に示すように、ローラ回転調整部１６によりフォームローラ１を回転させると共に、その回転をローラ回転検出部１５で検出し、非加工部１ｂが下部に達したところで、ローラ回転調整部１６の駆動を停止すると共に、ローラ保持部１７でフォームローラ１の回転を一時的に規制する。

次に、加工装置は、図１に示すように、被加工物Ｗの円柱部Ｆの一端側にフォームローラ１を接触させると共に、フォームローラ１をさらに下降させる。この際、フォームローラ１の下降に伴って非加工物Ｗに対する圧接荷重が増していくので、その荷重を荷重測定手段５で検出し、検出値が予め設定した値に達したところでフォームローラ１の下降を停止する。その後、ローラ保持部１７によるフォームローラ１の回転規制を解除する。

次に、加工装置は、被加工物Ｗを円柱部Ｆの軸線回りに回転させて、円柱部Ｆに圧接しているフォームローラ１を転動させる共に、図１中に矢印で示すように、フォームローラ１を円柱部Ｆの一端側から他端側へ向けて送ることにより、フォームローラ１を円柱部Ｆの軸線回りの螺旋に沿って転動させて微細凹部Ｄを形成する。

このとき、加工装置は、フォームローラ１の外周部に、被加工物（円柱部Ｆ）Ｗの外周面の一部である非加工域Ｎに対して、微細凸部の無い非加工部１ｂが設けてあり、非加工域Ｎには必ず非加工部１ｂが接触するので、図２に示すように、非加工域Ｎ以外の部分に微細凹部Ｄが形成される。

このように、当該加工装置は、外周面の一部に穴等の非加工域Ｎを有する被加工物Ｗに対して、非加工域Ｎを避けながら微細凹部Ｄを連続的に形成することができる。つまり、従来のようにフォームローラ１を一旦離間させたり、被加工物Ｗの回転速度を低く抑えたりする必要もなく、当然のことながら、非加工域Ｎによりフォームローラ１の微細凸部１ａを破損するようなことも無い。したがって、微細凹部Ｄを短時間で効率良く形成することができ、生産性のさらなる向上や、フォームローラ１を含む工具のさらなる長寿命化などに貢献することができる。

図８及び図９は、本発明に係わる微細凹部の加工装置の他の実施形態を説明する図である。なお、先の実施形態と同一の構成部位は、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

図８に示す加工装置は、先の実施形態の装置（図３参照）に対して、ローラ位置決め手段が異なっている。この実施形態のローラ位置決め手段は、図９に示すように、フォームローラ１の偏心位置に設けたアンバランスウエイトＢ１である。このアンバランスウエイトＢ１は、非加工部１ｂの位相に合わせて設けてあるが、その位置がとくに限定されるものではない。

フォームローラ１は、回転自在に保持されているので、上記のアンバランスウエイトＢ１によって、非加工部１ｂが必ず下部になるように自然に回転し、これが回転方向の初期位置となる。この実施形態のローラ位置決め手段によれば、装置構造のさらなる簡略化や製造コストの節減を実現することができる。

図１０は、本発明に係わる微細凹部の加工装置のさらに他の実施形態を説明する図である。

この実施形態の加工装置は、ローラ位置決め手段が、上記実施形態と同様のアンバランスウエイトＢであると共に、アンバランスウエイトと１８０度異なる位置に、中心方向に弾性保持され且つ遠心力により反中心方向に移動するバランスウエイトＢ２を備えている。

バランスウエイトＢ２は、フォームローラ１に形成した長孔状の凹部（又は開口部）１８に、フォームローラ１の半径方向に移動可能に収容され、アーム１９が固定してあると共に、アーム１９の両端部とフォームローラ１の側面との間に引張りコイルばね２０，２０が介装してある。これにより、バランスウエイトＢ２は、フォームローラ１の中心方向に弾性保持され、フォームローラ１の回転時において、その遠心力により反中心方向に移動するようになっている。

上記構成を備えたフォームローラ１は、常態においてはバランスウエイトＢ２が中心方向に付勢されているので、両ウエイトＢ１，Ｂ２によって、非加工部１ｂが必ず下部になるように自然に回転し、これが回転方向の初期位置となる。そして、加工時においては、フォームローラ１の回転に伴って、その遠心力によりバランスウエイトＢ２が半中心方向に移動し、加工中のバランスを確保する。

この実施形態のローラ位置決め手段によれば、装置構造の簡略化や製造コストの節減を図ることができるうえに、加工中においては、フォームローラ１の振動を防止して安定した回転を実現し、微細凹部Ｄを高精度に形成することができる。

図１１は、本発明に係わる微細凹部の加工装置のさらに他の実施形態を説明する図である。

被加工物Ｗの非加工域Ｎは、先にも述べたように穴Ｈ及びその周囲である。これに対して、図示のフォームローラ１は、非加工部１ｂが、穴Ｈを閉塞する面積の平坦面を有するものとなっている。

これにより、フォームローラ１は、加工前において被加工物Ｗに接触させた段階で、非加工域Ｎ内の穴Ｈに対して非加工部１ｂが平面で接触することにより、回転が一時的に規制され、簡単な構成で初期の位置決めを行うことができる。なお、フォームローラ１の圧接負荷に比べて、非加工部１ｂによる回転規制の力は小さいので、被加工物Ｗを回転させればフォームローラ１の転動が開始されることとなる。

図１２及び図１３は、本発明に係わる微細凹部の加工装置のさらに他の実施形態を説明する図である。なお、先の実施形態と同一の構成部位は、同一符号を付して詳細な説明を省略する。

図１２に示す微細凹部の加工装置は、加工中において被加工物（円柱部Ｆ）Ｗの外周面に形成した微細凹部Ｄを測定する微細凹部測定手段２１と、微細凹部測定手段２１の測定データに基づいてフォームローラ１の軸線方向の移動速度を算出するフォームローラ演算手段を備えている。

微細凹部測定手段２１には、例えば、微細凹部Ｄを撮像するＣＣＤカメラとその画像処理装置を備えた非接触式の手段や、微細凹部Ｄに対する接触子を備えた接触式の手段などを採用することができる。また、フォームローラ演算手段には、図３において説明した制御器Ｃを用いることができる。

そして、加工装置は、フォームローラ演算手段である制御器Ｃの算出データに基づいてフォームローラ１の軸線方向の移動速度をフィードバック制御するものとなっている。なお、フォームローラ１の移動速度を制御することから、フォームローラ１の軸線方向の移動量も制御することができる。

当該加工装置は、先にも説明したように、被加工物Ｗを回転させると共に、この被加工物Ｗに圧接させたフォームローラ１を軸線方向に送るので、フォームローラ１は、螺旋に沿って転動することになる。

そこで、この実施形態の加工装置は、図１３に示すように、被加工物Ｗに加工された直後の微細凹部Ｄを微細凹部測定手段２１で測定し、軸線方向に隣接する微細凹部Ｄ同士のずれＰと、円周方向に隣接する微細凹部Ｄ同士のずれδを測定する。

そして、制御器Ｃにおいて、上記の測定結果に基づいて各ずれＰ，δを修正するためのフォームローラ１の軸線方向の移動速度（及び移動量）を計算し、フォームローラ１の同移動速度（及び移動量）を補正する。

具体的には、円周方向に隣接する微細凹部Ｄ同士の間隔Ｌよりも、実際に加工した微細凹部Ｄ同士のずれ（間隔）δが大きい場合（δ＞Ｌ）には、フォームローラ１の軸線方向の移動速度を大きくする。他方、円周方向に隣接する微細凹部Ｄ同士の間隔Ｌよりも、実際に加工した微細凹部Ｄ同士のずれ（間隔）δが小さい場合（δ＜Ｌ）には、フォームローラ１の軸線方向の移動速度を小さくする。

当該加工装置は、上記した一連の動作を加工領域全体にわたって繰返すことで、微細凹部Ｄを高精度なパターンで形成することができる。

図１４及び図１５は、フォームローラの他の実施形態を説明する図である。図１４に示すフォームローラ１は、その側面がテーパ状を成していて、外周部に微細凹部形成用の微細凸部１ａを有すると共に、円周上の一部に厚肉部１ｃを有し、この厚肉部１ｃの外周部を非加工部１ｂとしている。

また、図１５に示すフォームローラ１は、図１４に示すものと基本的に同一構成であるが、非加工部１ｂの外周面及び厚肉部１ｃの側面に、微細な粒子を分散付着させたものとなっている。

図１４及び図１５に示すフォームローラ１にあっても、先の各実施形態と同等の作用及び効果を得ることができる。また、図１５に示すフォームローラ１は、とくに非加工部１ｂの外周面に分散付着させた微細な粒子により、被加工物Ｗとの間の滑りを低減することができ、微細凹部Ｄ及びそのパターンを高精度に加工することができる。

なお、本発明の微細凹部の加工装置は、その構成の細部が上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成を適宜変更することが可能であり、また、上記各実施形態における構成を組み合わせることも当然可能である。

また、フォームローラは、各実施形態のように、外周部に一列の微細凸部を有するものだけでなく、複数列の微細凸部を有するものや、円周方向に連続した凸条型の微細凸部を有するものでも良い。

さらに、被加工物Ｗは、全体及び一部に円柱部を有し、円柱部の外周面を被加工面とするものであれば良い。具体的には、先述したように、各種摺動部材、潤滑油中で使用される摺動部材に適用可能であると共に、自動車用エンジンを構成するクランクシャフト、カムシャフト及びバランサシャフトにおけるジャーナルの外周面に微細凹部Ｄを形成するのにより好適である。

これにより、回転時の摺動抵抗が少なく且つ焼付き荷重が大きいクランクシャフト、カムシャフト及びバランサシャフトを提供することができ、自動車用エンジンの高性能化に貢献することができる。

本発明に係わる微細凹部の加工装置の一実施形態において、フォームローラ及び被加工物を説明する側面図（ａ）及び正面図（ｂ）である。 微細凹部を形成した被加工物を説明する斜視図である。 微細凹部の加工装置の一実施形態を示す断面説明図である。 フォームローラの回転調整を行う状態を示す断面説明図である。 ローラ回転検出部の一例を説明する正面図（ａ）及び要部の拡大斜視図（ｂ）である。 ローラ回転検出部の他の例を説明する正面図（ａ）及び要部の拡大斜視図（ｂ）である。 被加工物の周長に対するフォームローラの軌跡を示す説明図である。 本発明に係わる微細凹部の加工装置の他の実施形態を示す断面説明図である。 図８に示すフォームローラの実施形態を示す側面図である。 図８の加工装置に適用されるフォームローラの他の実施形態を説明する側面図である。 本発明に係わる微細凹部の加工装置のさらに他の実施形態を示す要部の断面説明図である。 本発明に係わる微細凹部の加工装置のさらに他の実施形態を示す断面説明図である。 図１２の加工装置による加工及び制御を示す説明図である。 フォームローラのさらに他の実施形態を示す拡大図付の斜視図である。 フォームローラのさらに他の実施形態を示す拡大図付の斜視図である。

符号の説明

１ フォームローラ
１ａ 微細凸部
１ｂ 非加工部
１４ ワーク位置決め手段
１５ ローラ回転検出部（ローラ位置決め手段）
１６ ローラ回転調整部（ローラ位置決め手段）
１７ ローラ保持部（ローラ位置決め手段）
２１ 微細凹部測定手段
Ｂ１ アンバランスウエイト（ローラ位置決め手段）
Ｂ２ バランスウエイト
Ｃ 制御器（フォームローラ演算手段）
Ｄ 微細凹部
Ｈ 穴（非加工域）
Ｎ 非加工域
Ｗ 被加工物

Claims (13)

1. 外周部に微細凸部を有し且つ回転自在に保持されたフォームローラを被加工物に圧接させ、被加工物を回転させると共に、フォームローラ及び被加工物を軸線方向に相対的に移動させることにより、フォームローラを転動させて被加工物の外周面に微細凹部を形成する装置において、
   フォームローラの外周部に、被加工物の外周面の一部である非加工域に対して、微細凸部の無い非加工部を設け、
   フォームローラの回転方向の初期位置を決定するローラ位置決め手段を備えると共に、 前記ローラ位置決め手段が、偏心位置に設けたアンバランスウエイトであることを特徴とする微細凹部の加工装置。
2. 被加工物の回転方向の初期位置を決定するワーク位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の微細凹部の加工装置。
3. 加工中において被加工物の外周面に形成した微細凹部を測定する微細凹部測定手段と、微細凹部測定手段の測定データに基づいてフォームローラの軸線方向の移動速度を算出するフォームローラ演算手段を備え、フォームローラ演算手段の算出データに基づいてフォームローラの軸線方向の移動速度をフィードバック制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の微細凹部の加工装置。
4. フォームローラの軸線方向において、微細凸部の長さよりも非加工部の長さが大きいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置。
5. フォームローラにおいて、非加工部がそれ以外の部位よりも軟質の材料で形成してあることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置。
6. フォームローラにおいて、非加工部の外周面に、微細な粒子が分散付着させてあることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置。
7. 被加工物の非加工域が穴及びその周囲であり、フォームローラの非加工部が、穴を閉塞する平坦面を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置。
8. フォームローラが、アンバランスウエイトと１８０度異なる位置に、中心方向に弾性保持され且つ遠心力により反中心方向に移動するバランスウエイトを備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置を用いて、摺動部の外周面に微細凹部を形成したことを特徴とする摺動部品。
10. 潤滑剤中で使用することを特徴とする請求項９に記載の摺動部品。
11. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置を用いて、摺動部の外周面に微細凹部を形成したことを特徴とするクランクシャフト。
12. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置を用いて、摺動部の外周面に微細凹部を形成したことを特徴とするカムシャフト。
13. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の微細凹部の加工装置を用いて、摺動部の外周面に微細凹部を形成したことを特徴とするバランサシャフト。

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