JP4678219B2 - 微細凹部加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば、自動車用エンジンのシリンダブロックにおけるシリンダボアの内周面などのように、他の部材との摺動接触を伴う被加工物の円形穴の円周面に、低フリクション化を実現するための微細凹部（油だまり）を形成するのに用いられる微細凹部加工装置に関するものである。

従来、被加工物における円形穴の内周面に微細凹部を形成する場合には、ショットブラストが多く採用されていた。このショットブラストでは、円形穴の内周面に所定形状の透孔を有するマスキングシートを貼り付けた後、セラミックス等の小径粒子を内周面に向けて圧縮空気とともに投射することで、内周面の透孔を通して露出している部分に微細凹部を形成するようにしている。

そして、微細凹部を形成した後は、マスキングシートを取り外して洗浄するのに続いて、再びホーニングを行うことにより、上記ショットブラスト加工で微細凹部の周囲に生じた盛上り部分を除去するようにしている。
特開２００２−３０７３１０

しかしながら、上記したようなショットブラストによる微細凹部の形成にあっては、微細凹部を規則的に配置することが困難であり、加えて、円形穴の内周面に対するマスキングシートの貼り付け工程及び取り外し工程、並びに洗浄工程が不可欠であって、このような作業が多い分だけ加工コストが嵩むという問題があり、これらの問題を解決することが従来の課題となっていた。

本発明は、上記従来の課題に着目して成されたものであって、被加工物の円形穴の内周面に対して精度良好に微細凹部を形成することができると共に、加工コストの低減を実現することが可能である微細凹部加工装置を提供することを目的としている。

本発明の微細凹部加工装置は、例えば自動車用エンジンのシリンダブロックのように円形穴（シリンダボア）を有する被加工物に対して、円形穴の内周面に微細凹部を形成する加工装置である。そして、微細凹部加工装置は、円形穴と同軸状態に配置される工具ホルダを備えると共に、この工具ホルダに、中心線に直交する方向に移動可能なローラ支持部材と、ローラ支持部材に対して工具ホルダの中心線と平行なローラ軸回りに回転可能に設けられ且つ工具ホルダの中心線に対してローラ軸がオフセットされた凹部形成用のフォームローラと、フォームローラを円形穴の内周面に圧接させる荷重付与手段と、被加工物と工具ホルダを円形穴の中心線回りに相対的に回転させる回転駆動手段を備えており、さらに、フォームローラを回転駆動するローラ駆動手段を備えたことを特徴としている。

本発明の微細凹部加工装置は、従来のような使い捨てのマスキングシートを用いずにフォームローラによる機械加工を行うことから、被加工物の円形穴の内周面に高精度の微細凹部を高効率で形成することができると共に、生産性の向上や製造コストの低減を実現することができる。

そして、本発明の微細凹部加工装置は、荷重付与手段により円形穴の内周面に対してフォームローラを所定荷重で圧接させた状態にして、回転駆動手段により被加工物と工具ホルダを円形穴の中心線回りに相対的に回転駆動し、これと同時に、ローラ駆動手段によりフォームローラを回転駆して円形穴の内周面に沿って転動させることで、円形穴の内周面とフォームローラとの間の滑りを防止しつつ微細凹部を高精度に形成することができ、これにより、円形穴の内径、真円度及び円筒度に関して前加工精度を厳密に管理しなくても、深さのばらつきがきわめて小さい微細凹部を形成することができる。

以下、図面に基づいて、本発明の微細凹部加工装置の一実施例を説明するが、微細凹部加工装置の詳細な構成は以下の実施例に限定されるものではない。

図２に示す微細凹部加工装置１は、自動車用エンジンのシリンダブロックを被加工物とし、被加工物の円形穴であるシリンダボアの内周面に微細凹部を形成するＮＣ工作機械であって、鉛直方向に移動可能な主軸ヘッド２と、主軸ヘッド２に下向きに突出した状態で支持される主軸３と、主軸ヘッド２の下側において水平面内で互いに直交する二軸方向に移動可能な被加工物載置用のテーブル４と、主軸３に同軸に装着されて一体で回転する工具ホルダ（ホルダ）１０を備えており、図示しない自動工具交換装置により、主軸３に対して工具ホルダ１０の着脱を行うようになっている。

工具ホルダ１０は、図１に示すように、中心線Ｌ１をシリンダボアＣＢの中心線Ｌ２に一致させた同軸状態に配置されると共に、主軸３に装着する部位であるシャンク部１０Ａと、その下側に連続するボディ部１０Ｂを有すると共に、ボディ部１０Ｂの下側に、アダプタ１０Ｃを介してハウジング１０Ｄを備えている。

また、工具ホルダ１０は、ハウジング１０Ｄに、当該工具ホルダ１０の中心線Ｌ１に直交する水平方向（シリンダボアＢの径方向）に移動可能なローラ支持部材１１を介して、凹部形成用のフォームローラ１２と、フォームローラ１２を回転駆動するローラ駆動手段１３を備えている。

微細凹部加工装置１では、アダプタ１０Ｃ、ハウジング１０Ｄ、ローラ支持部材１１、フォームローラ１２及びローラ駆動手段１３がシリンダボアＢの内側に対して挿脱可能である。フォームローラ１２は、ローラ支持部材１１に対して工具ホルダ１０の中心線Ｌ１と平行なローラ軸１４回りに回転可能に設けてあると共に、工具ホルダ１０の中心線Ｌ１に対してローラ軸１４がオフセットされた位置にある。

アダプタ１０Ｃは、例えば図示しないステッピングモータを具備した移動機構を内蔵しており、この移動機構の作動により、シリンダブロックＣＢのシリンダボアＢの内周面Ｂａに対してハウジング１０Ｄ、ローラ支持部材１１、フォームローラ１２及びローラ駆動手段１３を一体的に近接離間させる。

ハウジング１０Ｄは、片側に開放された筒状の中空体であって、内部には、軸線方向を水平にしたスプラインナット１５が嵌合固定してある。ローラ支持部材１１は、スプラインナット１５とスプライン結合するスプラインシャフトであって、その先端にローラ駆動手段１３を連結し、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対してフォームローラ１２が近接離間するように、ローラ駆動手段１３及びフォームローラ１２を支持している。

また、ハウジング１０Ｄには、フォームローラ１２をシリンダボアＢの内周面Ｂａに圧接させる荷重付与手段としての圧縮コイルばね１６が介装してある。この実施例の圧縮コイルばね１６は、ローラ駆動手段１３を押圧することで、内周面Ｂａに対するフォームローラ１２の圧接荷重を発生させるものであり、その後方には、フォームローラ１２に付与した荷重を検出する荷重検出手段としての圧電型のロードセル１７が設けてある。

つまり、この実施例では、ハウジング１０Ｄに、荷重付与手段である圧縮コイルばね１６や荷重検出手段であるロードセル１７がコンパクトに内蔵してあり、当該装置の構造の簡素化や小型化に貢献し得るものとなっている。

ローラ支持部材１１には、ハウジング１０Ｄ内の端部に、当該ローラ支持部材１１の直径よりも大径の止め具１８が固定してあり、この止め具１８は、圧縮コイルばね１６の伸びを抑えると共に、圧縮コイルばね１６が伸びきった際の衝撃を緩和し、ハウジング１０Ｄからローラ支持部材１１が脱落するのを阻止する。なお、図１においては、ローラ支持部材１１と圧縮コイルばね１６が同軸上に図示してあるが、実際には、これらは互いに干渉しない位置にずれて配置してある。

フォームローラ１２は、外周部に凹部形成用の凸部が一定間隔で設けてあり、シリンダボアＢの直径よりも充分に小さい直径を有している。このフォームローラ１２は、材料がとくに限定されるものではないが、例えば、超硬、超硬以外の硬質金属やアルミナ、窒化珪素等のセラミックスなどから成るものであって、高い強度と靭性を有しており、被加工物が焼入れ鋼などの高硬度材料であっても微細凹部を形成することができる。凸部の高さは例えば１００μｍ程度であり、数μｍ又は数十μｍ程度のディンプル状の微細凹部を形成する。

ローラ駆動手段１３は、駆動源であるモータや減速機構などを内蔵したものであって、下向きに突出した出力軸を先のローラ軸１４とし、このローラ軸１４に装着したフォームローラ１２を回転駆動する。また、このローラ駆動手段１３は、フォームローラ１２の回転角を検出するための第１の回転検出手段Ｒ１を備えている。

ここで、この実施例では、主軸３が、回転駆動手段すなわち被加工物であるシリンダブロックＣＢと工具ホルダ１０をシリンダボア（円形穴）Ｂの内周面Ｂａの中心線Ｌ１回りに相対的に回転させる手段に相当し、ここでは工具ホルダ１０を回転駆動する。そして、この実施例では、主軸３に、工具ホルダ１０の回転角を検出する第２の回転検出手段Ｒ２が設けてある。

第１及び第２の回転検出手段Ｒ１、Ｒ２には、より好ましい実施形態としてロータリーエンコーダが用いられ、これにより装置構成のさらなる簡略化や検出精度の向上を図ることができる。

また、この実施例では、主軸ヘッド２が、軸方向駆動手段すなわちシリンダボアＢの内周面Ｂａの中心線Ｌ１に沿う方向に、被加工物であるシリンダブロックＣＢと工具ホルダ１０を相対的に移動させる手段に相当し、ここでは工具ホルダ１０を移動させる。

さらに、この実施例では、アダプタ１０Ｃが、径方向駆動手段すなわちシリンダボアＢの内周面Ｂａに対してフォームローラ１２が近接離間する方向に、被加工物であるシリンダブロックＣＢと工具ホルダ１０を相対的に移動させる手段に相当し、ここではフォームローラ１２を径方向に駆動する。

さらに、微細凹部加工装置１は、図示を省略した制御装置を備え、この制御装置において、主軸ヘッド２、主軸３、テーブル４及びローラ駆動手段１３の動作制御を行うと共に、第１及び第２の回転検出手段Ｒ１，Ｒ２からの検出信号を入力し、その検出信号に基づいて各動作部位のフィードバック制御を行うことが可能である。

上記の微細凹部加工装置１において、シリンダボアＢの内周面Ｂａに微細凹部を形成するに際しては、まず、工具ホルダ１０の回転中心Ｌ１とシリンダボアＢの中心線Ｌ２とが一致するように位置決めをした後、主軸ヘッド２によって主軸３とともに工具ホルダ１０を下降させ、シリンダボアＢ内にフォームローラ１２を挿入する。

次に、アダプタ１０Ｃ内の移動機構を作動させて、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対してフォームローラ１２を接触させ、ロードセル１７により検出した荷重が予め設定した値になるまでアダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させる。

つまり、シリンダボアＢの内周面Ｂａにフォームローラ１２が接触した後、アダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させると、ローラ駆動手段１３とハウジング１０Ｄとの間で圧縮コイルばね１６が圧縮され、その反発力が荷重としてフォームローラ１２に付与されると共に、ロードセル１７によりこの荷重が検出されることから、このロードセル１７の検出荷重が設定値になるまでアダプタ１０Ｃ内の移動機構の作動を継続させれば、フォームローラ１２がシリンダボアＢの内周面Ｂａに所定荷重で圧接することとなり、これにより微細凹部の深さも決まる。

その後、微細凹部加工装置１は、圧縮コイルばね１６によりフォームローラ１２をシリンダボアＢの内周面Ｂａに圧接させた状態で、主軸３によって工具ホルダ１０をシリンダボアＢの中心線Ｌ２回りに回転駆動し、これに同期して、ローラ駆動手段１３によってフォームローラ１２を回転駆動すると共に、第１及び第２の回転検出手段Ｒ１，Ｒ２でフォームローラ１２の回転角及び工具ホルダ１０の回転角を検出してこれらを監視する。

このとき、当該微細凹部加工装置１では、図３に示すように、フォームローラ１２のローラ軸１４がシリンダボアＢ１の中心線Ｌ２回り（図中矢印Ａ１回り）に移動するのと同時に、フォームローラ１２をローラ軸１４の移動方向とは逆回り（図中矢印Ａ２回り）に回転駆動することで、フォームローラ１２をシリンダボアＢの内周面Ｂａに沿って転動させ、このように二軸を回転駆動することにより、シリンダボアＢの内周面Ｂａとフォームローラ１２との間での滑りを防止しつつ同内周面Ｂａに微細凹部を形成する。

また、微細凹部加工装置１は、上記の動作に加えて、主軸ヘッド２によって工具ホルダ１０を徐々に下降させ、フォームローラ１２の進入を継続すると、シリンダボアＢの内周面Ｂａに対して螺旋状の軌跡で微細凹部を連続的に形成し、シリンダボアＢの中心線Ｌ２に沿う方向の所定範囲にわたって微細凹部を形成することができる。

ここで、例えば、フォームローラ１２の外径をφ３０ｍｍ、凹部形成用の凸部の数を１００、シリンダボアＢの内径をφ６０ｍｍとすると、フォームローラ１２がシリンダボアＢの内周面Ｂａを滑りなく転動した場合、シリンダボアＢの内周面Ｂａにおける一周あたりの微細凹部の数は２００である。また、フォームローラ１２は、（シリンダボア内径）／（フォームローラ外径）＝６０／３０であるから、ローラ駆動手段１３がシリンダボアＢの中心線Ｌ２回りに一回転する間（工具ホルダ１０が一回転する間）に二回転することになる。

すなわち、工具ホルダ１０が自己の回転軸Ｌ１回りに一回転する間に、フォームローラ１２がローラ軸１４回りに二回転すれば、フォームローラ１２がシリンダボアＢの内周面Ｂａを滑りなく転動したことになり、双方の回転角で表せば、フォームローラ１２を１度回転させるのに対して、工具ホルダ１０を０．５度回転させればよいことになる。

このようにして、微細凹部加工装置１では、圧縮コイルばね１６によりフォームローラ１２をシリンダボアＢの内周面Ｂａに圧接させた状態で、第１及び第２の回転検出手段Ｒ１，Ｒ２でフォームローラ１２及び工具ホルダ１０の各回転角を検出して、工具ホルダ１０の回転駆動と、ローラ駆動手段１３によるフォームローラ１２の回転駆動と、主軸ヘッド２によるフォームローラ１２の下降を同期させることにより、シリンダボアＢの内周面Ｂａの広い領域に対して、図４（ａ）に示すように、縦横に規則的にパターニングされたディンプル状の微細凹部Ｄを高精度に且つ効率良く形成することができる。

また、例えば、シリンダボアＢの内周面Ｂａ一周あたりの微細凹部の数が２００．５になるようにした場合、フォームローラ１２における凸部一つあたりの回転角度は、３６０（度）／１００（歯）＝３．６（度）であるため、工具ホルダ１０が一回転する間に、フォームローラ１２を一回転＋３．６度／二回転させれば良い。このとき、フォームローラ１２の回転角１度に対して、工具ホルダ１０の回転角は、３６０／（７２０＋３．６／２）＝０．４９９度である。

このようにして、圧縮コイルばね１６によりフォームローラ１２をシリンダボアＢの内周面Ｂａに圧接させた状態で、第１及び第２の回転検出手段Ｒ１，Ｒ２でフォームローラ１２及び工具ホルダ１０の各回転角を検出して、工具ホルダ１０の回転駆動と、ローラ駆動体２によるフォームローラ１２の回転駆動と、主軸ヘッド２によるフォームローラ１２の下降を同期させることにより、シリンダボアＢの内周面Ｂａの広い領域に対して、図４（ｂ）に示すように、一周毎にずれた状態にパターニングされた微細凹部Ｄを高精度に且つ効率良く形成することができる。

ところで、シリンダボアＢには、当該微細凹部加工装置１による微細凹部形成の前加工において、図５に誤差を誇張して示すように、内径、真円度及び円筒度に誤差が生じていることがある。このようなシリンダボアＢの内周面Ｂａに微細凹部を形成するに際して、自由に回転するフォームローラを備えた加工装置では、シリンダボアＢの内径が設定通りである場合には、図６（ａ）に示すように、微細凹部Ｄを螺旋状の軌跡に沿って規則的に形成することができる。

しかし、シリンダボアＢの内径が大きくなると、図６（ｂ）に示すように、一周目の微細凹部Ｄの列に対して、二周目以降の微細凹部Ｄが加工方向（フォームローラの転動方向）とは逆の方向にずれることとなり、シリンダボアＢの内径が小さくなると、図６（ｃ）に示すように、二周目以降の微細凹部Ｄが加工方向にずれることとなる。

このような事態に対して、本発明の微細凹部加工装置１では、フォームローラ１２がローラ駆動手段１３により回転駆動されるものとなっていて、主軸３による工具ホルダ１０の回転とローラ駆動手段１３によるフォームローラ１２の回転とを同期させると共に、工具ホルダ１０の回転角とフォームローラ１２の回転角とが一定の関係を維持するように制御を行うことができるので、シリンダボアＢの内径、真円度及び円筒度に関して前加工精度を厳密に管理しなくても、深さのばらつきがきわめて小さい微細凹部を規則的に形成することができ、前加工の簡略化を図ることも可能となる。

以上のように、上記実施例で説明した微細凹部加工装置１は、従来のような使い捨てのマスキングシートを用いずにフォームローラ１２による機械加工を行うことから、シリンダボアＢの内周面Ｂａに高精度の微細凹部を規則的に且つ効率的に形成することができると共に、生産性の向上や製造コストの低減を図ることができる。

そして、微細凹部加工装置１は、とくに、荷重付与手段である圧縮コイルばね１６によりフォームローラ１２を内周面Ｂａに圧接させた状態で、工具ホルダ１０の回転駆動とフォームローラ１２の回転駆動を同期させることで、シリンダブロックＣＢの材質や形成する微細凹部の深さが異なる場合であっても、なお且つ内径、真円度及び円筒度に誤差がある場合でも、内周面Ｂａとフォームローラ１２との間の滑りを防止して高精度の微細凹部を規則的に形成することができる。

さらに、回転検出手段Ｒ１，Ｒ２の採用により、シリンダボアＢの内周面Ｂａとフォームローラ１２との間の滑りを監視しつつ微細凹部を形成することで、微細凹部のさらなる高精度化に貢献し得るものとなる。

さらに、微細凹部加工装置１は、移動機構を内蔵したアダプタ１０Ｃ、すなわち内周面Ｂａに対してフォームローラ１２を近接離間する方向に移動させる径方向駆動手段を備えているので、内周面Ｂａに対するフォームローラ１２の圧接力を容易に変更して、異なる深さの微細凹部を形成することができ、加工中に微細凹部の深さを部分的に変化させることもできる。

さらに、微細凹部加工装置１は、荷重付与手段として圧縮コイルばね１６を採用しているので、装置構造を簡略化することができると共に、簡単な構造でありながらフォームローラ１２に充分な荷重を付与することができる。なお、荷重付与手段としては、ばねのほかにアクチュエータを用いることができ、この場合には、アクチュエータ自体で付与荷重の増減を自由に行うことができ、このほか、荷重付与手段と径方向駆動手段（アダプタ１０Ｃ）を共通化して装置構造のさならる簡略化を図ることもできる。

そしてさらに、微細凹部加工装置１は、荷重検出手段としてロードセル１７を採用したことにより、簡単な構造で付与荷重を正確に検出することができると共に、その検出信号を用いて例えば径方向駆動手段（アダプタ１０Ｃ）をフィードバック制御することで、形成される微細凹部が常に一定の深さとなるように荷重を制御することができ、また、微細凹部の深さが徐々に変化するようにしたり、微細凹部の深さが部分的に変化するように荷重を制御することも可能である。

上記の微細凹部加工装置１を用いて微細凹部の加工が施されたシリンダブロックＣＢは、シリンダボアＢの内周面Ｂａに高精度の微細凹部が規則的に形成されたものとなり、ピストンとの摺動接触において微細凹部が油だまりとして有効に機能し、エンジンの性能向上に貢献し得るものとなる。

なお、本発明に係わる微細凹部加工装置は、その構成が上記各実施例に限定されるものではなく、構成の細部を適宜変更することができる。例えば、上記各実施例では、回転駆動手段として主軸３を、軸方向駆動手段として主軸ヘッド２を、径方向駆動手段としてアダプタ１０Ｃを例示したが、被加工物であるシリンダブロックＣＢをシリンダボアＢの径方向や中心線Ｌ２に沿う方向に移動させたり、シリンダブロックＣＢをシリンダボアＢの中心線Ｌ２回りに回転させたり、さらには工具ホルダ１０とシリンダブロックＣＢの両方を移動又は回転させたりして、工具ホルダ１０とシリンダブロックＣＢを相対的に動作させることが可能である。

また、被加工物としては、上記実施例で説明したシリンダブロックＣＢに限らず、円形穴を有する被加工物であって、円形穴の内周面に微細凹部の加工を要する全ての被加工物に適用可能である。

本発明の微細凹部加工装置の一実施例を説明する断面図である。 微細凹部加工装置の全体を説明する斜視図である。 微細凹部形成時におけるフォームローラの動作を示す平面説明図である。 形成した微細凹部のパターンを示す各々説明図（ａ）（ｂ）である。 シリンダボアの内周面に誤差が生じている場合を説明する断面図である。 回転自在なフォームローラを備えた加工装置において、シリンダボアの内径が設定通りである場合の微細凹部のパターンを示す説明図（ａ）、シリンダボアの内径が大きくなる場合の微細凹部のパターンを示す説明図（ｂ）、及びシリンダボアの内径が小さくなる場合の微細凹部のパターンを示す説明図（ｃ）である。

符号の説明

１ 微細凹部加工装置
２ 主軸ヘッド（軸方向駆動手段）
３ 主軸（回転駆動手段）
１０ 工具ホルダ
１０Ｃ アダプタ（径方向駆動手段）
１１ ローラ支持部材
１２ フォームローラ
１３ ローラ駆動手段
１４ ローラ軸
１６ 圧縮コイルばね（荷重付与手段）
１７ ロードセル（荷重検出手段）
Ｂ シリンダボア（円形穴）
Ｂａ シリンダボアの内周面
ＣＢ シリンダブロック（被加工物）
Ｄ 微細凹部
Ｌ１ 工具ホルダの中心線
Ｌ２ シリンダボアの中心線
Ｒ１ 第１の回転検出手段
Ｒ２ 第２の回転検出手段

Claims (11)

1. 被加工物における円形穴の内周面に微細凹部を形成する加工装置であって、円形穴と同軸状態に配置される工具ホルダに、その中心線に直交する方向に移動可能なローラ支持部材と、ローラ支持部材に対して工具ホルダの中心線と平行なローラ軸回りに回転可能に設けられ且つ工具ホルダの中心線に対してローラ軸がオフセットされた凹部形成用のフォームローラと、フォームローラを円形穴の内周面に圧接させる荷重付与手段と、被加工物と工具ホルダを円形穴の中心線回りに相対的に回転させる回転駆動手段を備えると共に、フォームローラを回転駆動するローラ駆動手段を備えたことを特徴とする微細凹部加工装置。
2. ローラ駆動手段によるフォームローラの回転角を検出する第１の回転検出手段と、回転駆動手段による被加工物又は工具ホルダの回転角を検出する第２の回転検出手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の微細凹部加工装置。
3. 回転検出手段がロータリエンコーダであることを特徴とする請求項２に記載の微細凹部加工装置。
4. 円形穴の中心線に沿う方向に被加工物と工具ホルダを相対的に移動させる軸方向駆動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
5. 円形穴の内周面に対してフォームローラが近接離間する方向に被加工物とフォームローラを相対的に移動させる径方向駆動手段を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
6. 荷重付与手段が、アクチュエータであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
7. 荷重付与手段が、ばねであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
8. 荷重付与手段によりフォームローラに付与した荷重を検出する荷重検出手段を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の微細凹部加工装置。
9. 荷重検出手段がロードセルであることを特徴とする請求項８に記載の微細凹部加工装置。
10. 請求項１〜９のいずれかに記載の微細凹部加工装置を用いて、被加工物の円形穴の内周面に微細凹部を形成するに際し、フォームローラを円形穴の内周面に圧接させた状態にして、回転駆動手段による被加工物と工具ホルダの相対的な回転駆動と、ローラ駆動手段によるフォームローラの回転駆動とを同期させることにより、円形穴の内周面に沿ってフォームローラを転動させて、同内周面に微細凹部を形成することを特徴とする微細凹部加工方法。
11. 被加工物がシリンダブロックであると共に、被加工物の円形穴がシリンダボアであることを特徴とする請求項１０に記載の微細凹部加工方法。

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