JP5274782B2 - 表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラム - Google Patents
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Description
・分割PCC曲線群(1)=PCC曲線[1]+PCC曲線[2]+PCC曲線[3]+PCC曲線[4]+PCC曲線[5]
・分割PCC曲線群(2)=PCC曲線[6]+PCC曲線[7]+PCC曲線[8]+PCC曲線[9]
・分割PCC曲線群(3)=PCC曲線[10]+PCC曲線[11]+PCC曲線[12]+PCC曲線[13]
なお、経路情報分割部51bは、一番目の分割PCC曲線群(1)に含まれるPCC曲線の総数を他の分割PCC曲線群(2)、(3)よりも多く設定する。
Claims (12)
- 被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定する表面性状測定装置であって、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割部と、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出部と、
当該移動速度算出部にて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御部と
を備えることを特徴とする表面性状測定装置。 - 前記経路の一部または全部が自由曲線で構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、複数の前記区間を一単位とした区間群の情報をまとめて取り込んで移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記区間群のうち前記接触子を移動中の第1区間群に含まれる最後の区間に前記接触子が移動するまでに、前記第1区間群より先の第2区間群の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間群の最後の区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間群の最初の区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間群の終点の移動速度が0となるように前記第1区間群の最後の区間の移動速度を変更すると共に前記第2区間群の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項4記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の表面性状測定装置。 - コンピュータにより、被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定する表面性状測定方法であって、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割ステップと、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出ステップと、
当該移動速度算出ステップにて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御ステップと
を備えることを特徴とする表面性状測定方法。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項7記載の表面性状測定方法。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項7又は請求項8記載の表面性状測定方法。 - 被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定させる表面性状測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割ステップと、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出ステップと、
当該移動速度算出ステップにて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御ステップと
を実行させるための表面性状測定プログラム。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出させる
ことを特徴とする請求項10記載の表面性状測定プログラム。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出させる
ことを特徴とする請求項10又は請求項11記載の表面性状測定プログラム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11204237B2 (en) | 2019-10-14 | 2021-12-21 | Mitutoyo Corporation | Method for controlling shape measuring apparatus |
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Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100996227B1 (ko) * | 2008-08-01 | 2010-11-23 | 한국표준과학연구원 | 에스피엠 나노탐침 및 그 제조방법 |
DE102010015780A1 (de) * | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Betrieb einer Koordinatenmessmaschine oder einer Werkzeugmaschine |
DE102011051800B3 (de) | 2011-07-13 | 2012-07-19 | Carl Mahr Holding Gmbh | Konturmessgerät und Verfahren zur Konturmessung eines Werkstücks mit tangential aneinander anschließenden Konturgeometrien |
US9995574B2 (en) * | 2011-08-11 | 2018-06-12 | Mitutoyo Corporation | CMM moving path adjustment assisting method and apparatus |
DE102011113611B3 (de) * | 2011-09-16 | 2012-10-04 | PTW-Freiburg Physikalisch-Technische Werkstätten Dr. Pychlau GmbH | Wasserphantom und Messsystem |
JP6030339B2 (ja) | 2012-05-17 | 2016-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
JP6063161B2 (ja) * | 2012-07-20 | 2017-01-18 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 |
JP6050636B2 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-12-21 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械、産業機械の制御方法、形状測定装置及び形状測定装置の制御方法 |
EP2735843A1 (en) * | 2012-11-21 | 2014-05-28 | Hexagon Technology Center GmbH | Measuring machine and method for automated measurement of an object |
JP6219141B2 (ja) | 2013-11-27 | 2017-10-25 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP6474216B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2019-02-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
JP6484108B2 (ja) | 2015-05-22 | 2019-03-13 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6514041B2 (ja) | 2015-06-02 | 2019-05-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
US20180188708A1 (en) * | 2015-06-16 | 2018-07-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Command value generator |
JP6570393B2 (ja) * | 2015-09-25 | 2019-09-04 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6630535B2 (ja) | 2015-10-22 | 2020-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
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JP6909574B2 (ja) * | 2016-11-29 | 2021-07-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
DE102017103938A1 (de) * | 2017-02-24 | 2018-08-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum Messen der Rauheit einer Werkstückoberfläche |
JP6923361B2 (ja) * | 2017-05-29 | 2021-08-18 | 株式会社ミツトヨ | 位置計測装置の操作方法 |
JP7002892B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-01-20 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP6932585B2 (ja) * | 2017-09-08 | 2021-09-08 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
JP2019049462A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4227812C2 (de) * | 1992-08-21 | 2001-01-04 | Niehoff Kg Maschf | Verfahren und Vorrichtung zur Regelung der Heizleistung in einer Durchlauf-Glühanlage für metallisches Stranggut |
US5724264A (en) * | 1993-07-16 | 1998-03-03 | Immersion Human Interface Corp. | Method and apparatus for tracking the position and orientation of a stylus and for digitizing a 3-D object |
JP3101961B2 (ja) * | 1993-07-19 | 2000-10-23 | 株式会社東京精密 | 座標測定機のプローブ位置決め方法並びにその装置 |
JP3062412B2 (ja) | 1994-12-20 | 2000-07-10 | 株式会社ミツトヨ | 倣い測定制御方法 |
US5948972A (en) * | 1994-12-22 | 1999-09-07 | Kla-Tencor Corporation | Dual stage instrument for scanning a specimen |
JP3037881B2 (ja) * | 1995-07-10 | 2000-05-08 | ファナック株式会社 | 数値制御装置 |
JP3631636B2 (ja) * | 1999-07-19 | 2005-03-23 | 帝人株式会社 | フィルムの巻取方法 |
KR100641365B1 (ko) | 2005-09-12 | 2006-11-01 | 삼성전자주식회사 | 최적화된 채널 면 방위를 갖는 모스 트랜지스터들, 이를구비하는 반도체 소자들 및 그 제조방법들 |
JP4782990B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2011-09-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面倣い測定装置、表面倣い測定方法、表面倣い測定プログラムおよび記録媒体 |
JP4382003B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2009-12-09 | 川崎重工業株式会社 | ロボット制御装置およびロボット制御方法 |
GB0508273D0 (en) * | 2005-04-25 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Method for scanning the surface of a workpiece |
-
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11204237B2 (en) | 2019-10-14 | 2021-12-21 | Mitutoyo Corporation | Method for controlling shape measuring apparatus |
DE102021004048A1 (de) | 2020-08-06 | 2022-02-10 | Mitutoyo Corporation | Regel- bzw. steuerverfahren eines formmessapparats |
DE102022113710A1 (de) | 2021-06-04 | 2022-12-08 | Mitutoyo Corporation | Verfahren zum korrigieren einer messsondenvorrichtung |
US11761759B2 (en) | 2021-06-04 | 2023-09-19 | Mitutoyo Corporation | Probe unit correction method |
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