JP5274782B2 - 表面性状測定装置、表面性状測定方法及び表面性状測定プログラム - Google Patents
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Description
・分割PCC曲線群(1)=PCC曲線[1]+PCC曲線[2]+PCC曲線[3]+PCC曲線[4]+PCC曲線[5]
・分割PCC曲線群(2)=PCC曲線[6]+PCC曲線[7]+PCC曲線[8]+PCC曲線[9]
・分割PCC曲線群(3)=PCC曲線[10]+PCC曲線[11]+PCC曲線[12]+PCC曲線[13]
なお、経路情報分割部51bは、一番目の分割PCC曲線群(1)に含まれるPCC曲線の総数を他の分割PCC曲線群(2)、(3)よりも多く設定する。
Claims (12)
- 被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定する表面性状測定装置であって、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割部と、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出部と、
当該移動速度算出部にて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御部と
を備えることを特徴とする表面性状測定装置。 - 前記経路の一部または全部が自由曲線で構成されている
ことを特徴とする請求項1記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、複数の前記区間を一単位とした区間群の情報をまとめて取り込んで移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記区間群のうち前記接触子を移動中の第1区間群に含まれる最後の区間に前記接触子が移動するまでに、前記第1区間群より先の第2区間群の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間群の最後の区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間群の最初の区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間群の終点の移動速度が0となるように前記第1区間群の最後の区間の移動速度を変更すると共に前記第2区間群の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項4記載の表面性状測定装置。 - 前記移動速度算出部は、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載の表面性状測定装置。 - コンピュータにより、被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定する表面性状測定方法であって、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割ステップと、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出ステップと、
当該移動速度算出ステップにて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御ステップと
を備えることを特徴とする表面性状測定方法。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出する
ことを特徴とする請求項7記載の表面性状測定方法。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出する
ことを特徴とする請求項7又は請求項8記載の表面性状測定方法。 - 被測定物表面にプローブを追従させて、前記プローブ先端の接触子と前記被測定物表面との接触を検出し前記被測定物表面の性状を測定させる表面性状測定プログラムであって、
コンピュータに、
前記接触子を前記被測定物表面に接触させながら移動させる経路の始点と終点との間を複数の区間に分割し、前記複数の区間のそれぞれにおける経路の一つの曲率を定める経路分割ステップと、
前記複数の区間毎の前記経路の情報に基づき、前記始点から前記終点へと前記区間毎に順番に前記接触子の移動速度を算出する移動速度算出ステップと、
当該移動速度算出ステップにて移動速度を算出済みの区間において前記接触子を移動させる接触子移動制御ステップと
を実行させるための表面性状測定プログラム。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記区間のうち前記接触子を移動中の第1区間にて前記接触子が移動を終えるまでに、前記第1区間より先の第2区間の移動速度の計算が間に合うか否かを判断し、間に合うと判断した場合、前記第1区間の終点における移動速度と同一となるように前記第2区間の始点における移動速度を算出し、間に合わないと判断した場合、前記第1区間の終点の移動速度を0に変更すると共に前記第2区間の始点の移動速度を0として算出させる
ことを特徴とする請求項10記載の表面性状測定プログラム。 - 前記移動速度算出ステップにて、前記経路情報の曲率に基づき移動速度を算出させる
ことを特徴とする請求項10又は請求項11記載の表面性状測定プログラム。
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