JP2007304037A - 形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】触針子2を被測定物Rに接触させた状態で触針子と被測定物とを相対的に走査させ、被測定物の被測定面Sの形状を測定する形状測定装置であって、予め定められた被測定物の被測定面の形状設計式から、被測定物と触針子との接触点における被測定物の傾斜量を演算する演算手段13と、演算された傾斜量とその増減が相反する関係にあるとして走査速度を算出する算出手段14と、測定中の走査速度を、算出された走査速度に応じて変速させる制御手段15とを備えた形状測定装置1を提供する。
【選択図】図1
Description
この種の装置の1つとして、表面形状測定装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この表面形状測定装置20は、図5に示すように、測定プローブ21の先端に設けられた触針部22の先端を被測定物体23に向けた状態で、該測定プローブ21を水平面に対して微小な角度だけ下方に傾け、触針部22を被測定物体23に接触させている。また、測定プローブ21の重力の傾斜方向成分を、触針部22の押し付け力、即ち、触針部22と被測定物体23との接触力としている。これにより、触針部22と被測定物体23とが、数十mgfという非常に小さな力で接触している状態を作りだしている。そして、モータや圧電アクチュエータ等の駆動手段24を用いて被測定物体23を駆動することにより、触針部22を被測定物体23に対し、測定方向である水平方向に一定速度で走査する。これにより、被測定物体23に追従する触針部22の中心座標の推移を検出することができ、その結果から被測定物体23の形状を得ることができる。
即ち、触針部22を走査するのにモータや圧電アクチュエータ等の駆動手段24を用いているが、駆動に起因する振動が発生するため、正確な測定を行えない場合があった。具体的には、この振動成分による測定誤差の大きさは傾斜角に依存するため、走査を行っている間に測定誤差が変化してしまい正確な測定の妨げとなっていた。
また、触針部22と被測定物体23とを接触させる方式を採用している従来の方法では、触針部22と被測定物体23との接触相互作用により、すべり摩擦等の振動による誤差が生じ、特に、この振動に測定プローブ21の軸方向の成分がある場合には、測定誤差が顕著となってしまい、正確に測定を行えない場合があった。具体的には、この測定誤差の大きさは傾斜角に依存するため、走査を行っている間に測定誤差が変化してしまい正確な測定の妨げとなっていた。
なお、上記において「傾斜角」とは、被測定物体23と触針部22との接触点における被測定物体23の被測定面の法線と測定プローブ21の軸とのなす角度をいい、一般的に触針部22の走査に伴い逐次変化するものである。
請求項1に係る発明は、触針子を被測定物に接触させた状態で触針子と被測定物とを相対的に走査させ、被測定物の被測定面の形状を測定する形状測定装置であって、予め定められた前記被測定物の前記被測定面の形状設計式から、前記被測定物と前記触針子との接触点における前記被測定物の傾斜量を演算する演算手段と、演算された前記傾斜量とその増減が相反する関係にあるとして走査速度を算出する算出手段と、測定中の走査速度を、算出された前記走査速度に応じて変速させる制御手段とを備えた形状測定装置を提供する。
一般に、駆動及び走査に起因した振動による測定誤差は、走査速度に略比例するとともに、傾斜量の増加につれて増加する性質を有しているため、本発明のように傾斜量が大きい領域で走査速度を小さくすることは、測定誤差の減少および均一化につながる。
その結果、被測定面の傾斜量が大きくなったとしても、走査速度をこれに反して小さくすることで、従来とは異なり振動による測定誤差の発生を抑えることができ、また測定誤差が均一化するため、高精度な測定を行うことができる。また、測定誤差が発生し難い傾斜量が小さい領域では、高速走査させることができるので、測定速度を上げることができ測定時間を短縮することができる。
以下、本発明に係る形状測定装置の第1実施形態について、図1から図3を参照して説明する。
本実施形態の形状測定装置1は、触針子2を被測定物Rに接触させた状態で触針子2と被測定物Rとを相対的に走査させて、被測定物Rの被測定面Sの形状を測定する装置である。
また、算出部14は、被測定物Rの傾斜量の増減と走査速度の増減とが相反する関係になるように、X方向の領域毎に走査速度の算出を行っている。そして、制御部15は、算出された走査速度に応じて駆動ステージ7を駆動させるようになっている。
まず、測定を行う前に駆動ステージ7の駆動速度、即ち、走査速度の設定を行う。始めに、演算部13が予め定められた形状設計式から、触針子2と被測定物Rとの接触点における被測定物Rの傾斜量の演算を行う。これにより、これから走査を行う被測定面Sの傾斜量の推移、すなわち駆動ステージ7のX軸位置座標と傾斜量との関係を予め知ることができる。本実施形態においては、傾斜量として傾斜角を採用し、この演算結果に基づいて、被測定面Sを図3に示すように、傾斜角が0度〜30度の領域A、30度〜45度の領域B、45度〜60度の領域C、60度〜80度の領域D、の4つの領域に分ける。
次に、本発明に係る形状測定装置の第2実施形態を、図4のフローチャートを参照して説明する。本実施形態の形状測定装置は、演算部13が、走査方向の各位置において、下記に示す形状設計式f(x)の微分係数を求めることで傾斜量の演算を行う。ここで、形状設計式f(x)の微分係数は被測定面SにおけるX方向の接線の傾きを表すので、本実施形態の場合、傾斜量とは傾斜角の正接を意味することになる。なお、Rは曲率半径、kは円錐定数、Aは非球面係数である。
そして、得られた速度設定値を駆動ステージ7の設定走査速度とし、測定開始から順次この値に応じた走査速度で触針子2を走査することにより、被測定面Sの形状を測定することができる。
S 被測定面
f(x) 形状設計式
v(df) 速度変換関数
1 形状測定装置
2 触針子
13 演算部(演算手段)
14 算出部(算出手段)
15 制御部(制御手段)
Claims (4)
- 触針子を被測定物に接触させた状態で触針子と被測定物とを相対的に走査させ、被測定物の被測定面の形状を測定する形状測定装置であって、
予め定められた前記被測定物の前記被測定面の形状設計式から、前記被測定物と前記触針子との接触点における前記被測定物の傾斜量を演算する演算手段と、
演算された前記傾斜量とその増減が相反する関係にあるとして走査速度を算出する算出手段と、
測定中の走査速度を、算出された前記走査速度に応じて変速させる制御手段と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 前記演算手段は、前記走査の各位置での前記形状設計式の微分係数を求めることで、前記傾斜量を演算することを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記算出手段は、予め定められた速度変換関数に前記傾斜量を変数として代入することで前記走査速度を算出することを特徴とする請求項1又は2に記載の形状測定装置。
- 前記傾斜量が傾斜角の正接であり、前記算出手段は、演算された前記傾斜量と反比例の関係にあるとして前記走査速度を算出することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の形状測定装置。
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JP2006134787A JP2007304037A (ja) | 2006-05-15 | 2006-05-15 | 形状測定装置 |
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-
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- 2006-05-15 JP JP2006134787A patent/JP2007304037A/ja active Pending
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