JP5270124B2 - コンデンサ、および電子部品 - Google Patents
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Description
B1,B2 電子部品
1 基材
1A Si基板
2 陽極
2A 金属膜
3 陰極
5 陽極配線
5A 金属膜
6 陰極配線
6A 金属膜
11 トレンチ(凹部)
12 壁
41,42,43 絶縁膜
44,45,46 孔
47,48 窓
51 陽極パッド
61 陰極パッド
62 抵抗素子
63 コイル素子
Claims (7)
- 複数の凹部を有する基材を備えるコンデンサであって、
上記基材は、少なくとも上記複数の凹部を規定する部分が、多孔質化処理が施された絶縁材料からなり、
上記複数の凹部のうち互いに隣り合う凹部の一方に収容された陽極と、
上記隣り合う凹部の他方に収容された陰極と、
を備えており、
上記複数の凹部は、マトリクス状に配置されているとともに、
複数の上記凹部の各々が導電体によって埋められており、
陽極配線と陰極配線とを備えており、
複数の上記凹部の上記導電体は、上記陽極配線に導通することにより上記陽極とされたものと、上記陰極配線に導通することにより上記陰極とされたものと、上記陽極配線および上記陰極配線のいずれにも導通しないものと、を含むことを特徴とする、コンデンサ。 - 上記複数の凹部は、その断面形状が三角形状または四角形状である、請求項1に記載のコンデンサ。
- 上記基材のうち少なくとも上記複数の凹部を規定する部分が、SiO2からなる、請求
項1または2に記載のコンデンサ。 - 上記複数の凹部は、その断面形状が四角形であるともに、
上記凹部の一辺の長さと上記凹部の深さとの比が、1:34〜1:66である、請求項1ないし3のいずれかに記載のコンデンサ。 - 上記基材のうち隣合う上記凹部の間の部分である壁の厚さと上記凹部の深さとの比が、1:200〜1:400である、1ないし4のいずれかに記載のコンデンサ。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載のコンデンサと、上記基材によって支持されており、上記複数の凹部に収容された上記陽極どうしを導通させる上記陽極配線と、
上記基材によって支持されており、上記複数の凹部に収容された上記陰極どうしを導通させる上記陰極配線と、を備えており、
上記陽極配線および上記陰極配線の少なくともいずれかの一部によって、抵抗素子またはコイル素子が形成されていることを特徴とする、電子部品。 - 上記凹部の深さ方向視において、上記複数の陽極のいずれかおよび上記複数の陰極のいずれかを含む第1領域と、上記複数の陽極および上記複数の陰極のうち上記第1領域に含まれないものを含む第2領域と、上記陽極配線および上記陰極配線のいずれにも導通しない複数の上記導電体を含む第3領域と、に区画されている、請求項6に記載の電子部品。
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