JP5268463B2 - 被処理物洗浄装置 - Google Patents
被処理物洗浄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5268463B2 JP5268463B2 JP2008183435A JP2008183435A JP5268463B2 JP 5268463 B2 JP5268463 B2 JP 5268463B2 JP 2008183435 A JP2008183435 A JP 2008183435A JP 2008183435 A JP2008183435 A JP 2008183435A JP 5268463 B2 JP5268463 B2 JP 5268463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- cleaning
- processing
- liquid
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 118
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 171
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 91
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 45
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 29
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 7
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 165
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 17
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 40
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 40
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 29
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 20
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 4
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 230000008676 import Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- -1 moisture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
この発明の洗浄液は、実施形態のフッ素系溶剤Cに対応し、
以下同様に、
蒸気冷却手段は、冷却ジャケット3に対応し、
移送手段は、循環ポンプ7nに対応し、
濾過手段は、濾過装置9に対応するも、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。
C…フッ素系溶剤
Ca…蒸気
1…被処理物洗浄装置
1B…第1処理槽
1e…排気路
2B…第2処理槽
2c…整流スクリーン
2e…超音波振動子
2f…排出路
3…冷却ジャケット
7…貯液槽
7p…供給路
8…蒸留槽
8i…蒸気路
9…濾過装置
Claims (4)
- 被処理物を処理槽に貯留された洗浄液に浸漬して洗浄処理する被処理物洗浄装置であって、
前記処理槽を、気密状態に密閉される第1処理槽と、該第1処理槽の内部に設けられた第2処理槽とで構成し、
前記第2処理槽より下方で前記第1処理槽の外部に、該第2処理槽に供給される洗浄液を貯留する貯液槽を設け、
前記第2処理槽と前記貯液槽との間に、
該第2処理槽に貯留された洗浄液を自重により前記貯液槽に排出する排出路と、該貯液槽に貯留された洗浄液を第2処理槽に供給する供給路とを設け、
前記第2処理槽の底部に前記排出路の一端を接続し、前記貯液槽の上部に前記排出路の他端を接続し、
前記供給路に、前記貯液槽に貯留された洗浄液を第2処理槽に向けて移送する移送手段を設け、
前記第2処理槽内の底部上方に、前記洗浄液が前記排出路に向けて排出される方向に整流する整流スクリーンを架設し、
前記第2処理槽の下部外壁に、該第2処理槽に貯留された前記洗浄液に超音波振動を誘起するための超音波振動子を配置し、
前記供給路に、前記貯液槽から前記第2処理槽に移送される前記洗浄液を濾過する濾過手段を設けた
被処理物洗浄装置。 - 前記第1処理槽の側部に、該第1処理槽に供給される洗浄液の蒸気を発生する蒸留槽を設け、
前記第1処理槽と前記蒸留槽との間に、
該蒸留槽で発生された洗浄液の蒸気を前記第1処理槽に供給する蒸気路と、該第1処理槽内に放出された洗浄液の蒸気を前記蒸留槽に排気する排気路とを設けた
請求項1に記載の被処理物洗浄装置。 - 前記第2処理槽の底部を、前記排出路に向けて洗浄液が流下される角度に傾斜した
請求項1又は2に記載の被処理物洗浄装置。 - 前記第2処理槽の側部に、該第2処理槽からオーバーフローされる洗浄液を貯留するための貯留槽を設け、
前記貯液槽と前記貯留槽との間に、該貯留槽にオーバーフローされた洗浄液を自重により前記貯液槽に排出する排出路を設けた
請求項1〜3のいずれか一つに記載の被処理物洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008183435A JP5268463B2 (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 被処理物洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008183435A JP5268463B2 (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 被処理物洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010022885A JP2010022885A (ja) | 2010-02-04 |
JP5268463B2 true JP5268463B2 (ja) | 2013-08-21 |
Family
ID=41729238
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008183435A Active JP5268463B2 (ja) | 2008-07-15 | 2008-07-15 | 被処理物洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5268463B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5956828B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-07-27 | シチズンファインデバイス株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
JP5692167B2 (ja) * | 2012-06-05 | 2015-04-01 | 株式会社デンソー | 被処理物から汚れ物質を洗浄し、除去する方法及び装置 |
KR101393385B1 (ko) | 2013-01-29 | 2014-05-27 | 주식회사 케이씨텍 | 화학 기계적 연마 공정에 사용된 캐리어 헤드의 세정 장치 |
JP6109772B2 (ja) * | 2014-03-13 | 2017-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 分離再生装置および基板処理装置 |
JP6028080B2 (ja) * | 2014-11-26 | 2016-11-16 | ソマックス株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3584126B2 (ja) * | 1996-08-19 | 2004-11-04 | アクトファイブ株式会社 | 洗浄装置及び洗浄方法 |
JP3491082B2 (ja) * | 1997-08-06 | 2004-01-26 | 株式会社シー・シー・アイ | 機械部品のエンドレスシャワー洗浄方法及びその装置 |
JP3625017B2 (ja) * | 1997-11-04 | 2005-03-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4007751B2 (ja) * | 2000-07-03 | 2007-11-14 | 株式会社神戸製鋼所 | 洗浄方法及び洗浄装置 |
TW497491U (en) * | 2001-12-28 | 2002-08-01 | Chia Chung Prec Ind Co Ltd | Washing equipment for spraying and painting gun |
JP4496540B2 (ja) * | 2004-05-18 | 2010-07-07 | 三菱化学株式会社 | 感光体ドラムの製造方法 |
JP2006305421A (ja) * | 2005-04-26 | 2006-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 浄化手段洗浄方法および浄化手段洗浄装置ならびに浄化装置 |
-
2008
- 2008-07-15 JP JP2008183435A patent/JP5268463B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010022885A (ja) | 2010-02-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5268463B2 (ja) | 被処理物洗浄装置 | |
KR101813360B1 (ko) | 증기 공급 장치, 증기 건조 장치, 증기 공급 방법 및 증기 건조 방법 | |
JP4272193B2 (ja) | 部品洗浄乾燥方法、及び部品洗浄乾燥装置 | |
JP5268462B2 (ja) | 被処理物洗浄装置 | |
JP2008043938A (ja) | 洗浄装置 | |
JP2015085222A (ja) | 物品の洗浄方法および洗浄システム | |
JP5116628B2 (ja) | 被洗浄物の洗浄方法 | |
JPS62106630A (ja) | 処理装置 | |
JP6526858B2 (ja) | 洗浄液蒸留再生装置、部品洗浄装置、及び、洗浄液の蒸留再生方法 | |
KR100598914B1 (ko) | 약액 재생 시스템 및 약액 재생 방법, 그리고 상기시스템을 가지는 기판 처리 설비 | |
EP1240106A1 (en) | A method for cleaning objects by means of a heated liquid and a plant for the accomplishment of said method | |
DK179189B1 (en) | Method for restoring damaged electronic devices by cleaning and apparatus | |
JP2785923B2 (ja) | ワーク洗浄装置 | |
JP4852958B2 (ja) | 有機溶剤回収システム | |
JP2008264643A (ja) | ガス不純物除去装置 | |
JP2018015687A (ja) | 洗浄装置 | |
JP6927827B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP3517134B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2010046581A (ja) | 被処理物洗浄方法及び被処理物洗浄装置 | |
JPH0768224A (ja) | 二液層式の超音波洗浄装置 | |
JPS60174889A (ja) | 洗浄装置 | |
JP4213426B2 (ja) | 冷熱衝撃装置の熱媒液再生装置 | |
JP5415825B2 (ja) | 水切り装置 | |
JP2009136754A (ja) | 洗浄槽および洗浄装置 | |
JP2022059420A (ja) | 液化装置及び洗浄システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110708 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121113 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5268463 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |