JP5243515B2 - リソグラフィ装置および表面洗浄方法 - Google Patents
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Description
放射ビームB(例えばUV放射またはDUV放射)を調整するよう構成されている照明系(イルミネータ)ILと、
パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するよう構成され、いくつかのパラメータに従ってパターニングデバイスを正確に位置決めするよう構成されている第1の位置決め装置PMに接続されている支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
基板(例えばレジストでコーティングされたウェーハ)Wを保持するよう構成され、いくつかのパラメータに従って基板を正確に位置決めするよう構成されている第2の位置決め装置PWに接続されている基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
パターニングデバイスMAにより放射ビームBに付与されたパターンを基板Wの(例えば1つまたは複数のダイからなる)目標部分Cに投影するよう構成されている投影系(例えば屈折投影レンズ)PSと、を備える。
1.ステップモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンの全体が1回の照射(すなわち単一静的露光)で目標部分Cに投影される間、支持構造MT及び基板テーブルWTは実質的に静止状態とされる。そして基板テーブルWTがX方向及び/またはY方向に移動されて、異なる目標部分Cが露光される。ステップモードでは露光フィールドの最大サイズが単一静的露光で転写される目標部分Cのサイズを制限することになる。
2.スキャンモードにおいては、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間(すなわち単一動的露光の間)、支持構造MT及び基板テーブルWTは同期して走査される。支持構造MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影系PSの拡大(縮小)特性及び像反転特性により定められる。スキャンモードでは露光フィールドの最大サイズが単一動的露光での目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、走査移動距離が目標部分の(走査方向の)長さを決定する。
3.別のモードにおいては、支持構造MTがプログラム可能パターニングデバイスを保持して実質的に静止状態とされ、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影される間、基板テーブルWTが移動または走査される。このモードではパルス放射源が通常用いられ、プログラム可能パターニングデバイスは、基板テーブルWTの毎回の移動後、または走査中の連続放射パルス間に必要に応じて更新される。この動作モードは、上述のプログラマブルミラーアレイ等のプログラム可能パターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (19)
- 投影系の最終素子と基板および/またはテーブルとの間の空間に液浸液を閉じ込めるように構成される流体ハンドリングシステムであって、該流体ハンドリングシステムと基板および/または基板テーブルとの間の隙間に液浸液または洗浄液である液体を供給し、前記隙間から液体を引き出すように構成された少なくとも二つの開口を備える、流体ハンドリングシステムと、
前記少なくとも二つの開口を通る液体流の方向を制御して、洗浄動作中に前記二つの開口のうち少なくとも二つを通して流れる液体の方向を逆向きとするように構成されるコントローラと、
投影系の最終素子に洗浄液が接触するのを防止するように構成された保護構成と、を備え、
洗浄動作中に液浸液と洗浄液が混合状態で使用されることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記コントローラは、露光動作中に前記少なくとも二つの開口を通る液体流の方向を制御して、前記少なくとも二つの開口が前記隙間から液体を引き出すようにさらに構成されることを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記少なくとも二つの開口のうち少なくとも一つを経由した供給時または抽出時に液体がその中を流れる多孔質部材をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載のリソグラフィ装置。
- 前記流体ハンドリングシステムは、前記少なくとも二つの開口の半径方向外側に抽出器をさらに備え、および/または、前記少なくとも二つの開口の半径方向外側に、前記隙間に液体を供給するように構成される液体供給開口をさらに備え、および/または前記少なくとも二つの開口が四つ存在することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記コントローラは、洗浄動作中にのみ液体を引き出すように前記抽出器を制御すべくさらに構成されることを特徴とする請求項4に記載のリソグラフィ装置。
- 開口を通して前記隙間に液体を供給するように構成される供給ラインと、開口を通して前記隙間から液体を引き出すように構成される、前記供給ラインとは別個の抽出ラインの両方に、前記少なくとも二つの開口が接続されることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記供給ラインの内面および前記抽出ラインの内面が、柔軟でありかつ有機溶剤に対する耐腐食性を有する材料で作成されることを特徴とする請求項6に記載のリソグラフィ装置。
- 投影系の最終素子と基板および/またはテーブルとの間の空間に液浸液を閉じ込めるように構成される流体ハンドリングシステムを備え、
前記流体ハンドリングシステムは、
該流体ハンドリングシステムと前記基板および/またはテーブルとの間の隙間に液浸液または洗浄液である液体を供給し、前記隙間から液体を引き出すように構成される液体開口と、
前記液体開口の半径方向外側にある、前記隙間に液体を供給するように構成される供給開口と、
前記液体開口を通した流体流の方向を制御するように構成されるコントローラと、
投影系の最終素子に洗浄液が接触するのを防止するように構成された保護構成と、を備え、
洗浄動作中に液浸液と洗浄液が混合状態で使用されることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記流体ハンドリングシステムが、該流体ハンドリングシステムに洗浄液を供給する液体供給ラインか、または前記流体ハンドリングシステムから洗浄液を引き出すように構成される液体抽出ラインを備え、
前記液体供給ラインまたは液体抽出ラインの内面が柔軟でありかつ有機液体に対する耐腐食性を有することを特徴とする請求項8に記載のリソグラフィ装置。 - 投影系の最終素子と基板および/またはテーブルとの間の空間に液浸液を閉じ込めるように構成される流体ハンドリング構造であって、基板の露光中に、前記流体ハンドリング構造と前記基板および/またはテーブルとの間の隙間から液浸液を引き出すように構成された少なくとも二つの開口を備え、該少なくとも二つの開口のそれぞれが、洗浄動作中に液体を引き出す抽出開口または洗浄液を供給する供給開口となるように構成されている、流体ハンドリング構造と、
前記少なくとも二つの開口を制御して、洗浄動作中に少なくとも一つの開口を供給開口とし、少なくとも一つの開口を抽出開口とするように構成されるコントローラと、
投影系の最終素子に洗浄液が接触するのを防止するように構成された保護構成と、を備え、
洗浄動作中に液浸液と洗浄液が混合状態で使用されることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 基板の目標部分にパターン付与された放射ビームを向けるように構成される投影系の最終素子と、基板および/またはテーブルとの間の空間に、液浸液を閉じ込めるように構成される流体ハンドリング構造を備え、
前記流体ハンドリング構造は少なくとも二つの表面を備えており、半径方向内側の表面は、前記パターン付与された放射ビームの光路周りに形成され、半径方向外側の表面は、前記半径方向内側の表面の外側に形成され、前記二つの表面は、基板の露光中に、前記流体ハンドリング構造と前記基板および/またはテーブルとの間の隙間から液浸液を引き出すように構成されるとともに、洗浄動作中に、液浸液または洗浄液である液体を引き出す抽出表面または洗浄液を供給する供給表面となるように構成されており、
前記少なくとも二つの表面を制御して、洗浄動作中に、前記少なくとも二つの表面のうち一方を供給表面とし、前記少なくとも二つの表面のうち他方を抽出表面とするように構成されるコントローラと、
投影系の最終素子に洗浄液が接触するのを防止するように構成された保護構成と、をさらに備え、
洗浄動作中に液浸液と洗浄液が混合状態で使用されることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 液浸リソグラフィ装置の表面を洗浄する方法であって、
投影系の最終素子と基板またはテーブルとの間の空間に液浸液を閉じ込める流体ハンドリングシステムと、基板および/またはテーブルとの間の隙間に、液体開口を介して洗浄液を供給し、
前記隙間から別の液体開口を介して洗浄液を引き出し、
前記洗浄液が前記別の液体開口を介して前記隙間に供給され、前記洗浄液が前記液体開口を介して前記隙間から引き出されるように、前記液体開口および前記別の液体開口を通した液体流の方向を制御することを含み、
前記液浸リソグラフィ装置は、投影系の最終素子に洗浄液が接触するのを防止するように構成された保護構成を備え、
洗浄動作中に液浸液と洗浄液が混合状態で使用されることを特徴とする方法。 - 前記空間から前記液体開口の半径方向外側にある供給開口を介して前記隙間に液浸液を供給することを含む請求項12に記載の方法。
- 前記洗浄液が前記液浸液よりも高密度であることを特徴とする請求項12または13に記載の方法。
- 前記保護構成は、最終素子の下方の空間に液浸液を供給するように構成された最終素子液体供給開口と、洗浄動作中に空間内で最終素子を横切る液浸液の流れが存在するように最終素子液体供給開口を制御すべく構成されたコントローラと、を備えることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記保護構成は、空間に液浸液を供給するように構成された最終素子液体供給開口と、洗浄動作中に洗浄液が隙間に供給されるよりも高い圧力で最終素子液体供給開口によって液浸液が供給されるように、最終素子液体供給開口を通した液浸液の供給を制御すべく構成されたコントローラと、を備えることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記保護構成は、基板または基板テーブルと実質的に平行であり空間を二つの部分に分割する流れプレートをさらに備え、該プレートは開口を有することを特徴とする請求項1ないし11、15、16のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記保護構成は、空間内の液面を監視するように構成された液面センサと、液面が特定のレベルを超えないように洗浄動作中に液体の供給を制御するように構成された液面コントローラと、をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし11、15ないし17のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
- 前記保護構成は、最終素子直下の空間内の圧力を大気圧を上回るまで増大させるように構成された圧力供給源をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし11、15ないし18のいずれかに記載のリソグラフィ装置。
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