JP2009267401A - 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 - Google Patents
露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009267401A JP2009267401A JP2009097046A JP2009097046A JP2009267401A JP 2009267401 A JP2009267401 A JP 2009267401A JP 2009097046 A JP2009097046 A JP 2009097046A JP 2009097046 A JP2009097046 A JP 2009097046A JP 2009267401 A JP2009267401 A JP 2009267401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- substrate
- exposure
- exposure apparatus
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、射出面と所定部材との間の露光光の光路に配置される仕切部材と、光学部材と仕切部材との間の第1空間に第1クリーニング液体を供給する第1供給口と、仕切部材と所定部材との間の第2空間に第2クリーニング液体を供給する第2供給口とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】露光装置は、露光液体を介して露光光で基板を露光する。露光装置は、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、射出面と所定部材との間の露光光の光路に配置される仕切部材と、光学部材と仕切部材との間の第1空間に第1クリーニング液体を供給する第1供給口と、仕切部材と所定部材との間の第2空間に第2クリーニング液体を供給する第2供給口とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体を介して露光光で基板を露光する露光装置、露光装置のクリーニング方法、及びデバイス製造方法に関する。
フォトリソグラフィ工程で用いられる露光装置において、液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置が知られている。下記特許文献には、基板との間で液体を保持可能な液浸部材を備えた液浸露光装置に関する技術の一例が開示されている。
液浸露光装置において、液体と接触する部材が汚染される可能性がある。例えば、液体と接触する部材の液体接触面に異物が付着すると、その異物に起因して、基板に形成されるパターンに欠陥が生じる等、露光不良が発生する可能性がある。その結果、不良デバイスが製造される可能性がある。
本発明の態様は、露光不良の発生を抑制できる露光装置を提供することを目的とする。また本発明の態様は、露光不良の発生を抑制できるクリーニング方法を提供することを目的とする。また本発明の態様は、不良デバイスの発生を抑制できるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様に従えば、露光液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、露光光を射出する射出面を有する光学部材と、射出面と所定部材との間の露光光の光路に配置される仕切部材と、光学部材と仕切部材との間の第1空間に第1クリーニング液体を供給する第1供給口と、仕切部材と所定部材との間の第2空間に第2クリーニング液体を供給する第2供給口と、を備えた露光装置が提供される。
本発明の第2の態様に従えば、第1の態様の露光装置を用いて基板を露光することと、露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
本発明の第3の態様に従えば、光学部材から射出された露光光で露光液体を介して基板を露光する露光装置のクリーニング方法であって、光学部材と所定部材との間に仕切部材を配置することと、仕切部材と光学部材との間の空間に第1クリーニング液体を供給することと、仕切部材と所定部材との間の空間に第2クリーニング液体を供給することと、を含むクリーニング方法が提供される。
本発明の第4の態様に従えば、露光液体を介して露光光で基板を露光する露光装置を第3の態様のクリーニング方法でクリーニングすることと、クリーニング後に、露光装置で基板を露光することと、露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が提供される。
本発明の態様によれば、露光不良の発生を抑制できる。また本発明の態様によれば、不良デバイスの発生を抑制できる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下の説明においては、XYZ直交座標系を設定し、そのXYZ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内の所定方向をX軸方向、水平面内においてX軸方向と直交する方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向のそれぞれと直交する方向(すなわち鉛直方向)をZ軸方向とする。また、X軸、Y軸及びZ軸まわりの回転(傾斜)方向をそれぞれ、θX、θY及びθZ方向とする。
<第1実施形態>
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、露光液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、露光装置EXは、露光液体LQを供給する第1供給口41を備えている。露光装置EXは、第1供給口41から供給された露光液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する。本実施形態においては、露光液体LQとして、水(純水)を用いる。なお、以下の説明において、露光液体LQを適宜、第1液体LQと称する。
第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置EXの一例を示す概略構成図である。本実施形態の露光装置EXは、露光液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する液浸露光装置である。本実施形態においては、露光装置EXは、露光液体LQを供給する第1供給口41を備えている。露光装置EXは、第1供給口41から供給された露光液体LQを介して露光光ELで基板Pを露光する。本実施形態においては、露光液体LQとして、水(純水)を用いる。なお、以下の説明において、露光液体LQを適宜、第1液体LQと称する。
また、本実施形態においては、露光装置EX内の部材がクリーニング液体LC(図1には不図示)によってクリーニングされる。露光装置EXは、クリーニング液体LCを供給する第2供給口42を備えている。露光装置EXは、第2供給口42から供給されたクリーニング液体LCで露光装置EX内の部材をクリーニングする。なお、以下の説明において、クリーニング液体LCを適宜、第2液体LCと称する。
第2液体LCは、露光装置EX内の部材をクリーニング可能な液体である。第2液体LCは、例えば露光装置EX内の部材に付着している異物(汚染物)を除去可能な液体である。本実施形態においては、第2液体LCとして、アルカリを含有するアルカリ洗浄液を用いる。アルカリ洗浄液は、例えばアンモニアを含む。第2液体LCとしてアルカリ洗浄液を用いることにより、露光装置EX内の部材に付着している、例えば有機物等の汚染物を良好に除去することができる。
本実施形態においては、露光装置EXが、例えば米国特許第6897963号明細書、欧州特許出願公開第1713113号明細書等に開示されているような、基板Pを保持して移動可能な基板ステージ1と、基板Pを保持せずに、露光に関する所定の計測を実行可能な計測器Cを搭載して移動可能な計測ステージ2とを備えた露光装置である場合を例にして説明する。
図1において、露光装置EXは、マスクMを保持して移動可能なマスクステージ3と、基板ステージ1と、計測ステージ2と、マスクMを露光光ELで照明する照明系ILと、露光光ELで照明されたマスクMのパターンの像を基板Pに投影する投影光学系PLと、露光光ELの光路の少なくとも一部が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSを形成可能な液浸部材4と、露光装置EX全体の動作を制御する制御装置5とを備えている。
マスクMは、基板Pに投影されるデバイスパターンが形成されたレチクルを含む。マスクMは、例えばガラス板等の透明板上にクロム等の遮光膜を用いて所定のパターンが形成された透過型マスクを含む。なお、マスクMとして、反射型マスクを用いることもできる。基板Pは、デバイスを製造するための基板である。基板Pは、例えばシリコンウエハのような半導体ウエハ等の基材と、その基材上に形成された感光膜とを含む。感光膜は、感光材(フォトレジスト)の膜である。また、基板Pが、感光膜に加えて別の膜を含んでもよい。例えば、基板Pが、反射防止膜を含んでもよいし、感光膜を保護する保護膜(トップコート膜)を含んでもよい。
照明系ILは、所定の照明領域IRを均一な照度分布の露光光ELで照明する。照明系ILは、照明領域IRに配置されたマスクMの少なくとも一部を均一な照度分布の露光光ELで照明する。照明系ILから射出される露光光ELとして、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)、及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)等が用いられる。本実施形態においては、露光光ELとして、紫外光(真空紫外光)であるArFエキシマレーザ光を用いる。
マスクステージ3は、マスクMをリリース可能に保持するマスク保持部6を有する。本実施形態において、マスク保持部6は、マスクMのパターン形成面(下面)とXY平面とがほぼ平行となるように、マスクMを保持する。マスクステージ3は、マスクMを保持した状態で、照明領域IRを含むXY平面内を移動可能である。本実施形態においては、マスクステージ3は、例えばリニアモータ等のアクチュエータを含む第1駆動システム7の作動により、X軸、Y軸、及びθZ方向の3つの方向に移動可能である。
マスクステージ3(マスクM)の位置情報は、干渉計システム8のレーザ干渉計8Aによって計測される。レーザ干渉計8Aは、マスクステージ3に設けられた反射ミラー3Rを用いて位置情報を計測する。制御装置5は、レーザ干渉計8Aの計測結果に基づいて第1駆動システム7を作動し、マスクステージ3に保持されているマスクMの位置制御を行う。
投影光学系PLは、所定の投影領域PRに露光光ELを照射する。投影光学系PLは、投影領域PRに配置された基板Pの少なくとも一部に、マスクMのパターンの像を所定の投影倍率で投影する。投影光学系PLの複数の光学素子は、鏡筒9に保持されている。本実施形態の投影光学系PLは、その投影倍率が例えば1/4、1/5、又は1/8等の縮小系である。なお、投影光学系PLは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。本実施形態においては、投影光学系PLの光軸AXはZ軸と平行である。また、投影光学系PLは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系PLは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。
基板ステージ1及び計測ステージ2のそれぞれは、ベース部材10のガイド面11上を移動可能である。本実施形態においては、ガイド面11は、XY平面とほぼ平行である。
基板ステージ1は、基板Pを保持した状態で、投影領域PRを含むXY平面内をガイド面11に沿って移動可能である。計測ステージ2は、少なくとも1つの計測器Cを搭載した状態で、投影領域PRを含むXY平面内をガイド面11に沿って移動可能である。本実施形態において、基板ステージ1及び計測ステージ2のそれぞれは、例えばリニアモータ等のアクチュエータを含む第2駆動システム12の作動により、X軸、Y軸、Z軸、θX、θY、及びθZ方向の6つの方向に移動可能である。
本実施形態において、投影光学系PL及び液浸部材4の位置はほぼ固定されている。基板ステージ1及び計測ステージ2のそれぞれは、投影光学系PL及び液浸部材4に対して可動である。
基板ステージ1(基板P)及び計測ステージ2(計測器C)の位置情報は、干渉計システム8のレーザ干渉計8Bによって計測される。レーザ干渉計8Bは、基板ステージ1に設けられた反射ミラー1R、及び計測ステージ2に設けられた反射ミラー2Rを用いて位置情報を計測する。また、基板ステージ1に保持されている基板Pの表面の位置情報(Z軸、θX、及びθY方向に関する位置情報)が、フォーカス・レベリング検出システム(不図示)によって検出される。フォーカス・レベリング検出システムは、基板Pの表面の位置情報のみならず、基板ステージ1の上面13、及び計測ステージ2の上面14の位置情報を検出可能である。制御装置5は、レーザ干渉計8Bの計測結果及びフォーカス・レベリング検出システムの検出結果に基づいて第2駆動システム12を作動し、基板ステージ1に保持されている基板Pの位置制御、及び計測ステージ2に搭載されている計測器Cの位置制御を行う。
図2は、基板ステージ1及び計測ステージ2を上方から見た平面図、図3は、側断面図である。図2及び図3において、基板ステージ1は、基板Pをリリース可能に保持する基板保持部15を備えている。基板保持部15は、基板Pの裏面と対向し、基板Pの裏面を保持する。基板ステージ1の上面13は、基板保持部15の周囲に配置されている。基板保持部15は、基板Pの表面とXY平面とがほぼ平行となるように、基板Pを保持する。本実施形態においては、基板保持部15に保持された基板Pの表面と基板ステージ1の上面13とは、ほぼ平行である。また、本実施形態においては、基板保持部15に保持された基板Pの表面と基板ステージ1の上面13とは、ほぼ同一平面内に配置される(ほぼ面一である)。
本実施形態においては、基板ステージ1は、基板Pの周囲に配置されるプレート部材Tと、基板保持部15の周囲に配置され、プレート部材Tをリリース可能に保持するプレート部材保持部16とを有する。プレート部材保持部16は、プレート部材Tの下面と対向し、プレート部材Tの下面を保持する。以下の説明において、基板保持部15を第1保持部15、プレート部材保持部16を第2保持部16と称する。
プレート部材Tは、基板Pを配置可能な開口THを有する。第2保持部16に保持されたプレート部材Tは、第1保持部15に保持された基板Pの周囲に配置される。本実施形態においては、基板ステージ1の上面13は、第2保持部16に保持されたプレート部材Tの上面を含む。
本実施形態において、第2保持部16に保持されたプレート部材Tの開口THの内面(内側エッジ)と、第1保持部15に保持された基板Pの外面(外側エッジ)とは、所定のギャップを介して対向するように配置される。第2保持部16は、プレート部材Tの上面13とXY平面とがほぼ平行となるように、プレート部材Tを保持する。また、第2保持部16は、プレート部材Tの上面13と第1保持部15に保持された基板Pの表面とがほぼ面一となるように、プレート部材Tを保持する。
第1保持部15及び第2保持部16のそれぞれは、所謂、ピンチャック機構を含む。図3に示すように、第1保持部15は、基板ステージ1の第1チャック面17に配置され、基板Pの裏面を支持する複数の凸部15Pと、第1チャック面17において複数の凸部15Pの周囲に配置された第1周壁15Aと、第1周壁15Aの内側の第1チャック面17に複数設けられ、気体を吸引可能な第1吸引口15Bとを備えている。第2保持部16は、基板ステージ1の第2チャック面18において第1周壁15Aの周囲に形成された第2周壁16Aと、第2チャック面18において第2周壁16Aの周囲に形成された第3周壁16Cと、第2周壁16Aと第3周壁16Cとの間の第2チャック面18に形成され、プレート部材Tの下面を支持する複数の凸部16Pと、第2周壁16Aと第3周壁16Cとの間の第2チャック面18に複数設けられ、気体を吸引可能な第2吸引口16Bとを備えている。
基板Pの裏面と第1周壁15Aと第1チャック面17とで囲まれた空間の気体が第1吸引口15Bにより吸引され、その空間が負圧になることによって、基板Pの裏面が凸部15Pに吸着保持される。また、第1吸引口15Bを用いる吸引動作が停止されることによって、第1保持部15より基板Pを外すことができる。また、プレート部材Tの下面と第2周壁16Aと第3周壁16Cと第2チャック面18とで囲まれた空間の気体が第2吸引口16Bにより吸引され、その空間が負圧になることによって、プレート部材Tの下面が凸部16Pに吸着保持される。また、第2吸引口16Bを用いる吸引動作が停止されることによって、第2保持部16よりプレート部材Tを外すことができる。
計測ステージ2は、露光に関する計測を実行可能な計測器Cを備えている。計測器Cは、計測部材(光学部品)を含む。本実施形態において、計測ステージ2の上面14の所定位置には、計測器(計測部材)Cとして、露光光ELを透過可能な開口パターンが形成されたスリット板C1が配置されている。スリット板C1は、例えば米国特許出願公開第2002/0041377号明細書に開示されているような、投影光学系PLによる空間像を計測可能な空間像計測システムの一部を構成する。空間像計測システムは、スリット板C1と、スリット板C1の開口パターンを介した露光光ELを受光する受光素子とを備えている。制御装置5は、スリット板C1に露光光ELを照射し、そのスリット板C1の開口パターンを介した露光光ELを受光素子で受光して、投影光学系PLの結像特性の計測を実行する。
また、計測ステージ2の上面14の所定位置には、計測器(計測部材)Cとして、露光光ELを透過可能な透過パターンが形成された上板C2が配置されている。上板C2は、例えば米国特許第4465368号明細書に開示されているような、露光光ELの照度むらを計測可能な照度むら計測システムの一部を構成する。照度むら計測システムは、上板C2と、上板C2の開口パターンを介した露光光ELを受光する受光素子とを備えている。制御装置5は、上板C2に露光光ELを照射し、その上板C2の開口パターンを介した露光光ELを受光素子で受光して、露光光ELの照度むらの計測を実行する。
なお、上板C2が、例えば米国特許第6721039号明細書に開示されているような、投影光学系PLの露光光ELの透過率の変動量を計測可能な計測システム、例えば米国特許出願公開第2002/0061469号明細書等に開示されているような、照射量計測システム(照度計測システム)、例えば欧州特許第1079223号明細書に開示されているような、波面収差計測システム等、露光光ELの露光エネルギーに関する情報を計測可能な計測システムの一部を構成するものであってもよい。その場合、露光装置EXは、それら計測システムの一部を構成する受光素子を備えている。
また、計測ステージ2の上面14の所定位置には、計測器(計測部材)Cとして、基準板C3が配置されている。基準板C3は、例えば米国特許第5493403号明細書に開示されているようなFIA(Field Image Alignment)方式のアライメントシステムで計測される基準マークを有する。
また、計測ステージ2の上面14の所定位置には、計測器(計測部材)Cとして、光を透過可能な上板C4が配置されている。上板C4は、例えば欧州特許出願公開第1791164号明細書に開示されているような、投影光学系PL及び液浸部材4等の光学像(画像)を取得可能な観察システムの一部を構成する。観察システムは、上板C4と、上板C4を介して画像を取得する撮像装置(観察カメラ)とを備えている。制御装置5は、投影光学系PL及び液浸部材4の少なくとも一方と上板C4とを対向させて、画像を取得する。
本実施形態においては、スリット板C1の上面と、上板C2の上面と、基準板C3の上面と、上板C4の上面と、計測ステージ2の上面14とは、ほぼ同一平面内(XY平面内)に配置される(ほぼ面一である)。
次に、液浸部材4について、図4〜図7を参照して説明する。図4は、液浸部材4の近傍を示すYZ平面と平行な側断面図、図5は、XZ平面と平行な側断面図、図6は、液浸部材4を示す概略斜視図の一部破断図、図7は、液浸部材4を下側(−Z側)から見た斜視図である。図4及び図5は、第1液体LQを介して基板Pが露光されているときの状態を示す。
液浸部材4は、露光光ELの光路の少なくとも一部が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSを形成する。液浸空間LSは、液体で満たされた部分(空間、領域)である。
液浸部材4は、投影光学系PLの複数の光学素子のうち、投影光学系PLの像面に最も近い終端光学素子19の近傍に配置される。終端光学素子19は、投影光学系PLの像面に向けて露光光ELを射出する射出面(下面)20を有する。本実施形態において、液浸部材4は、終端光学素子19から射出される露光光ELの光路が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSを形成可能である。
終端光学素子19は、例えば合成石英で形成される。なお、終端光学素子19が、蛍石で形成されてもよい。液浸部材4は、例えばチタンで形成される。なお、液浸部材4が、ステンレスで形成されてもよい。
液浸部材4は、終端光学素子19と、射出面20から射出される露光光ELの照射位置に配置された所定部材との間の露光光ELの光路が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSを形成する。本実施形態において、射出面20から射出される露光光ELの照射位置(照射領域)は、射出面20と対向する位置を含み、投影光学系PLの投影領域PRを含む。以下の説明において、射出面20から射出される露光光ELの照射位置を適宜、露光位置、と称する。
液浸部材4は、射出面20から射出される露光光ELの光路の周囲に配置され、露光位置に配置された所定部材の表面との間で第1液体LQを保持可能な下面21を有する。本実施形態において、射出面20と対向可能な所定部材は、下面21と対向可能である。所定部材の表面が射出面20と対向する位置に配置されたとき、下面21の少なくとも一部と所定部材の表面とが対向する。射出面20と所定部材の表面とが対向しているとき、終端光学素子19の射出面20と所定部材の表面との間の空間は第1液体LQを保持可能である。また、下面21と所定部材の表面とが対向しているとき、液浸部材4の下面21と所定部材の表面との間の空間は第1液体LQを保持可能である。一方側の射出面20及び下面21と他方側の所定部材の表面との間に第1液体LQが保持されることによって、終端光学素子19の射出面20と所定部材の表面との間の露光光ELの光路が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。
本実施形態において、射出面20及び下面21と対向可能な所定部材は、終端光学素子19の射出側(像面側)で、終端光学素子19及び液浸部材4に対して可動な部材を含み、露光位置を含む所定面内を、露光光ELの光路に対して移動可能な部材を含む。本実施形態において、その所定部材は、基板ステージ1、及び計測ステージ2の少なくとも一方を含む。また、その所定部材は、基板ステージ1に保持された基板P、及び計測ステージ2に搭載された計測器Cの少なくとも一方を含む。
基板Pの露光時、基板ステージ1に保持された基板Pが、終端光学素子19及び液浸部材4と対向するように、露光位置に配置される。少なくとも基板Pの露光時、終端光学素子19の射出面20から射出される露光光ELの光路が第1液体LQで満たされるように、一方側の終端光学素子19及び液浸部材4と他方側の基板Pとの間に第1液体LQが保持され、液浸空間LSが形成される。
本実施形態においては、基板Pに露光光ELが照射されているとき、投影光学系PLの投影領域PRを含む基板Pの表面の一部の領域が第1液体LQで覆われるように液浸空間LSが形成される。すなわち、第1液体LQの界面(メニスカス、エッジ)LGは、液浸部材4の下面21と基板Pの表面との間に形成される。すなわち、本実施形態の露光装置EXは、局所液浸方式を採用する。
なお、以下の説明においては、説明を簡単にするため、主に、終端光学素子19の射出面20及び液浸部材4の下面21と対向する位置に基板Pが配置されている状態を例にして説明する。
図4〜図7に示すように、液浸部材4は、環状の部材である。液浸部材4は、露光光ELの光路の周囲に配置されている。本実施形態においては、液浸部材4は、終端光学素子19の周囲に配置される第1プレート部22と、Z軸方向に関して少なくとも一部が終端光学素子19の射出面20と基板Pの表面との間に配置される第2プレート部23とを有する。
第1プレート部22は、終端光学素子19の外周面と対向し、その外周面に沿って形成された内周面を有する。液浸部材4の内周面と、終端光学素子19の外周面とは、所定の間隙を介して対向する。
第2プレート部23は、中央に開口24を有する。終端光学素子19の射出面20から射出された露光光ELは、開口24を通過可能である。例えば、基板Pの露光中、射出面20から射出された露光光ELは、開口24を通過し、第1液体LQを介して基板Pの表面に照射される。本実施形態においては、開口24における露光光ELの断面形状はX軸方向を長手方向とする略矩形状(スリット状)である。開口24は、露光光ELの断面形状に応じて、XY方向において略矩形状(スリット状)に形成されている。また、開口24における露光光ELの断面形状と、基板Pにおける投影光学系PLの投影領域PRの形状とはほぼ同じである。
本実施形態において、液浸部材4は、開口24の周囲に配置され、終端光学素子19の射出面20と所定の間隙を介して対向する上面25を有する。本実施形態においては、上面25は、第2プレート部23の上面を含む。本実施形態において、上面25は、開口24の周囲に配置された平坦面である。上面25は、XY平面とほぼ平行である。上面25は、開口24の上側(+Z側)の空間26と面する。空間26は、上面25と射出面20との間の空間を含む。以下の説明において、空間26を適宜、上側空間26、と称する。なお、上面25は、曲面であってもよいし、凹凸を有していてもよい。
液浸部材4の下面21は、第2プレート部23の下面と、第2プレート部23の周囲に配置された多孔部材27の下面とを含む。本実施形態において、XY平面における第2プレート部23の下面の外形は、ほぼ正方形である。多孔部材27は、複数の孔(openingsあるいはpores)を含むプレート状の部材である。なお、多孔部材27が、網目状に多数の小さい孔が形成された多孔部材であるメッシュフィルタでもよい。本実施形態においては、XY平面内における多孔部材27の形状は、矩形の環状である。多孔部材27は、チタン製である。なお、多孔部材27が、ステンレス製でもよい。
液浸部材4の下面21は、開口24の周囲に配置された第1領域31と、第1領域31の周囲に配置された第2領域32と、第2領域32の周囲に配置された第3領域33とを含む。本実施形態において、第2プレート部23の下面は、第1領域31及び第2領域32を含み、多孔部材27の下面は、第3領域33を含む。
第1領域31は、開口24の周囲に配置された平坦面である。平坦面31は、基板Pの表面(XY平面)とほぼ平行である。平坦面31は、開口24の下側(+Z側)の空間28と面する。空間28は、平坦面31と基板Pの表面との間の空間を含む。平坦面31と基板Pの表面との間の空間は、第1液体LQを保持可能である。以下の説明において、空間28を適宜、下側空間28、と称する。
本実施形態においては、平坦面31の一部に、静電チャック機構を含む保持装置71が配置されている。保持装置71の保持面は、平坦面31と同一平面内に配置される(面一である)。保持装置71は、物体をリリース可能に保持する。
第2領域32は、平坦面31の周囲に配置された溝29を有する。本実施形態において、XY平面内における溝29の形状は、矩形の環状である。
第3領域33は、液体を回収可能な液体回収面を含む。本実施形態において、液体回収面(第3領域)33は、基板Pの表面(XY平面)とほぼ平行である。液体回収面33は、基板Pの露光中、その液体回収面33と対向する基板P上の第1液体LQを回収可能である。液体回収面33は、多孔部材27の下面を含む。液体回収面33と対向する位置に配置された基板P上の第1液体LQの少なくとも一部は、多孔部材27の孔を介して回収される。液体回収面33は、その液体回収面33(多孔部材27の下面)に接触した液体を回収可能である。
本実施形態においては、Z軸方向に関して、平坦面31の位置と液体回収面33との位置が異なる。本実施形態においては、液体回収面33が、平坦面31に対して+Z側に配置される。すなわち、液体回収面33は、基板Pの表面に対して平坦面31よりも離れた位置に配置されている。本実施形態において、平坦面31と液体回収面33との間に段差30が形成されている。
なお、平坦面31と液体回収面33とが同一平面内に配置されてもよい。また、液体回収面33は、XY平面と平行でなくてもよいし、曲面であってもよい。
液浸部材4は、第1液体LQを供給する第1供給口41を備えている。また、液浸部材4は、第2液体LCを供給可能な第2供給口42を備えている。第1供給口41は、露光光ELの光路に第1液体LQを供給可能である。第2供給口42は、液浸部材4と接触するように第2液体LCを供給可能である。
第1供給口41は、第2供給口42より終端光学素子19の近くに配置されている。本実施形態においては、第1供給口41は、第2供給口42より上方(+Z側)に配置されている。
第1供給口41は、露光光ELの光路の近傍において、その光路に面するように液浸部材4の所定位置に配置されている。本実施形態において、第1供給口41は、第1プレート部22の内周面の所定位置に配置される。本実施形態において、第1供給口41は、上側空間26の近傍に配置されている。第1供給口41は、上側空間26に第1液体LQを供給可能である。本実施形態において、第1供給口41は、露光光ELの光路に対してY軸方向両側のそれぞれに設けられている。
第2供給口42は、液浸部材4の下面21の所定位置に配置されている。本実施形態において、第2供給口42は、開口24に対して平坦面31の外側に配置されている。第2供給口42は、平坦面31の周囲の少なくとも一部に配置される。本実施形態において、第2供給口42は、液浸部材4の下面21の第2領域32に配置されている。
本実施形態において、第2供給口42は、溝29内に配置されている。図7等に示すように、本実施形態においては、第2供給口42は、溝29内において、平坦面31の周囲の4つの位置のそれぞれに配置されている。
図4に示すように、第1供給口41は、流路43を介して、第1供給装置44と接続されている。第1供給装置44は、清浄で温度調整された第1液体LQを送出可能である。流路43は、液浸部材4の内部に形成された供給流路、及びその供給流路と第1供給装置44とを接続する供給管で形成される流路を含む。第1供給装置44から送出された第1液体LQは、流路43を介して第1供給口41に供給される。第1供給口41は、第1供給装置44からの第1液体LQを露光光ELの光路に供給する。
第2供給口42は、流路45を介して、第2供給装置46と接続されている。第2供給装置46は、第2液体LCを送出可能である。流路45は、液浸部材4の内部に形成された供給流路、及びその供給流路と第2供給装置46とを接続する供給管で形成される流路を含む。第2供給装置46から送出された第2液体LCは、流路45を介して第2供給口42に供給される。第2供給口42は、第2供給装置46からの第2液体LCを、液浸部材4の下面21と、その下面21と対向する所定部材の表面との間の空間に供給可能である。液浸部材4の下面21と所定部材の表面との間の空間は、下側空間28を含む。
また、液浸部材4は、液体を回収可能な液体回収口47を有する。液体回収口47は、液浸部材4の下面21と対向する所定部材上の液体を回収する。
液体回収口47は、基板Pの表面と対向するように液浸部材4の所定位置に配置されている。液体回収口47は、露光光ELの光路に対して平坦面31、及び第2供給口42(第2領域32)の外側に配置されている。液体回収口47には、多孔部材27が配置されている。液体回収口47に配置された多孔部材27の下面は、液体回収面33である。
液体回収口47(液体回収面33)は、流路48を介して、第1液体回収装置49と接続されている。第1液体回収装置49は、真空システムを含み、液体を吸引して回収可能である。流路48は、液浸部材4の内部に形成された回収流路、及びその回収流路と第1液体回収装置49とを接続する回収管で形成される流路を含む。液体回収口47(液体回収面33)から回収された液体は、流路48を介して、第1液体回収装置49に回収される。
また、本実施形態において、液浸部材4は、上側空間26の近傍に配置された開口50を有している。本実施形態において、開口50は、露光光ELの光路に対してX軸方向両側のそれぞれに設けられている。開口50は、流路51を介して、第2液体回収装置80と接続されている。第2液体回収装置80は、真空システムを含み、液体を吸引して回収可能である。流路51は、液浸部材4の内部に形成された内部流路、及びその内部流路と第2液体回収装置80とを接続する管で形成される流路を含む。開口50から回収された液体は、流路51を介して、第2液体回収装置80に回収される。なお第2液体回収装置80の真空システムは、真空ポンプを含んでいなくてもよい。
図5に示すように、本実施形態においては、流路51には、例えばバルブ機構を含む流路切替機構81が配置されている。本実施形態においては、制御装置5は、第2液体回収装置80を用いる液体回収動作を実行しないとき、流路切替機構81を制御して、流路51の一部に開口を形成する。その流路51の開口は、液浸部材4(液浸空間LS)の周囲の外部空間(周囲環境)に配置される。すなわち、本実施形態においては、第2液体回収装置80を用いる液体回収動作を実行しないとき、上側空間26の近傍に配置されている開口50と外部空間に配置される流路51の開口とが連通するように、流路切替機構81が制御される。本実施形態において、外部空間は、大気空間を含む。したがって、第2液体回収装置80を用いる液体回収動作を実行しないとき、上側空間26と外部空間(大気空間)とが連通され、上側空間26は、流路51を介して大気開放される。なお、流路切替機構81を省いて、第2液体回収装置80を用いる液体回収動作を実行しないときに、上側空間26を外部空間(大気空間)と連通させなくてもよい。
次に、第1液体LQで液浸空間LSを形成する動作の一例について説明する。液浸空間LSを形成するために、制御装置5は、第1供給口41を用いて、露光光ELの光路に第1液体LQを供給する。第1液体LQを供給するとき、制御装置5は、終端光学素子19の射出面20及び液浸部材4の下面21と対向する位置に、所定部材を配置する。第1供給装置44から送出された第1液体LQは、流路43を介して第1供給口41に供給される。第1供給口41は、上側空間26に第1液体LQを供給する。第1液体LQは、上側空間26を流れ、開口24を介して、下側空間28に流入する。こうして、終端光学素子19の射出面20と所定部材の表面との間の露光光ELの光路が第1液体LQで満たされるように液浸空間LSが形成される。
また、本実施形態においては、制御装置5は、第1供給口41を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第1液体LQの回収動作を実行する。所定部材上の第1液体LQの少なくとも一部は、液体接触面33(多孔部材27の下面)に接触し、その液体回収面33より回収される。液体回収面33より回収された第1液体LQは、流路48を介して、第1液体回収装置49に回収される。
制御装置5は、第1供給口41を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第1液体LQの回収動作を実行することによって、一方側の終端光学素子19及び液浸部材4と他方側の所定部材との間に、第1液体LQで液浸空間LSを形成可能である。
本実施形態においては、例えば米国特許出願公開第2006/0023186号明細書、米国特許出願公開第2007/0127006号明細書等に開示されているように、制御装置5は、基板ステージ1及び計測ステージ2の少なくとも一方と終端光学素子19との間に液体を保持可能な空間を形成し続けるように、基板ステージ1の上面13の一つの直線エッジと計測ステージ2の上面14の一つの直線エッジとを接近又は接触させた状態で、基板ステージ1の上面13及び計測ステージ2の上面14の少なくとも一方と終端光学素子19の射出面20とを対向させつつ、終端光学素子19に対して、基板ステージ1と計測ステージ2とをXY方向に同期移動させることができる。これにより、液体の漏出が抑制されつつ、基板ステージ1の上面13から計測ステージ2の上面14へ、あるいは計測ステージ2の上面14から基板ステージ1の上面13へ液体の液浸空間が移動可能である。
次に、上述の露光装置EXを用いて基板Pを露光する方法の一例について説明する。
制御装置5は、基板ステージ1を基板交換位置に移動し、搬送システム(不図示)を用いて、基板交換位置に配置された基板ステージ1に露光前の基板Pを搬入(ロード)する。基板交換位置に基板ステージ1が配置されているとき、露光位置には、計測ステージ2が配置され、一方側の終端光学素子19及び液浸部材4と、他方側の計測ステージ2との間に第1液体LQで液浸空間LSが形成される。制御装置5は、必要に応じて、第1液体LQ及び計測ステージ2を用いて、露光に関する所定の計測を実行する。
基板交換位置において基板ステージ1対する基板Pのロードが終了し、計測ステージ2を用いる計測が終了した後、制御装置5は、露光前の基板Pを保持した基板ステージ1を、露光位置に移動し、一方側の終端光学素子19及び液浸部材4と、他方側の基板ステージ1(基板P)との間に第1液体LQで液浸空間LSを形成する。
本実施形態の露光装置EXは、マスクMと基板Pとを所定の走査方向に同期移動しつつ、マスクMのパターンの像を基板Pに投影する走査型露光装置(所謂スキャニングステッパ)である。基板Pの露光時、制御装置5は、マスクステージ3及び基板ステージ1を制御して、マスクM及び基板Pを、光軸AX(露光光ELの光路)と交差するXY平面内の所定の走査方向に移動する。本実施形態においては、基板Pの走査方向(同期移動方向)をY軸方向とし、マスクMの走査方向(同期移動方向)もY軸方向とする。制御装置5は、基板Pを投影光学系PLの投影領域PRに対してY軸方向に移動するとともに、その基板PのY軸方向への移動と同期して、照明系ILの照明領域IRに対してマスクMをY軸方向に移動しつつ、投影光学系PLと基板P上の液浸空間LSの第1液体LQとを介して基板Pに露光光ELを照射する。これにより、マスクMのパターンの像が基板Pに投影され、基板Pは露光光ELで露光される。
本実施形態において、第1液体LQを用いて基板Pを露光するとき、あるいは第1液体LQを用いて計測器Cで計測するとき、第2供給口42からの第2液体LCの供給は停止されている。
また、第1液体LQを用いて基板Pを露光するとき、あるいは第1液体LQを用いて計測器Cで計測するとき、上側空間26は、流路51を介して大気開放される。
露光後の基板Pは、基板ステージ1より搬出(アンロード)される。制御装置5は、露光後の基板Pを基板ステージ1からアンロードするために、基板ステージ1を基板交換位置に移動する。基板ステージ1を基板交換位置に移動するとき、制御装置5は、計測ステージ2を、露光位置に移動し、一方側の終端光学素子19及び液浸部材4と、他方側の計測ステージ2との間に第1液体LQで液浸空間LSを形成する。制御装置5は、搬送システムを用いて、基板交換位置に配置された基板ステージ1から露光後の基板Pをアンロードする。
制御装置5は、露光前の基板Pのロード動作、基板Pの露光動作、及び露光後の基板Pのアンロード動作を繰り返し、複数の基板Pを順次液浸露光する。
このように、本実施形態においては、基板Pの露光中、第1液体LQは、終端光学素子19、液浸部材4、基板ステージ1(プレート部材T)、及び計測ステージ2のそれぞれに接触する。
基板Pの露光中、基板Pから発生(溶出)した物質(例えば感光材等の有機物)が第1液体LQ中に混入する可能性がある。その第1液体LQ中に混入した物質は、液浸部材4の下面21に異物(汚染物)として付着する可能性がある。また、基板Pから発生する物質のみならず、例えば空中を浮遊する異物が第1液体LQに混入し、液浸部材4の下面21に付着する可能性もある。異物(汚染物)が液浸部材4の下面21に付着している状態を放置しておくと、その異物が露光中に基板Pに付着したり、第1供給口41から供給された第1液体LQを汚染したりする可能性がある。その結果、例えば基板Pに形成されるパターンに欠陥が生じる等、露光不良が発生する可能性がある。
また、終端光学素子19の射出面20が汚染される可能性もある。終端光学素子19の射出面20が汚染された状態を放置しておくと、露光不良が発生する可能性がある。
そこで、本実施形態においては、制御装置5は、所定のタイミングで、終端光学素子19及び液浸部材4をクリーニングする。
次に、終端光学素子19及び液浸部材4をクリーニングする方法の一例について、図8及び図9を参照して説明する。
図8に示すように、クリーニング処理を実行するとき、第1保持部15にダミー基板DPが保持される。ダミー基板DPは、露光用の基板Pとは別の、異物を放出しにくい高い清浄度を有する(クリーンな)部材である。ダミー基板DPは、基板Pとほぼ同じ外形であり、第1保持部15は、ダミー基板DPを保持可能である。
制御装置5は、終端光学素子19及び液浸部材4と対向するように、基板ステージ1、及び計測ステージ2の少なくとも一方を配置する。本実施形態においては、制御装置5は、基板ステージ1の上面13と計測ステージ2の上面14とを接近又は接触させた状態で、基板ステージ1及び計測ステージ2の少なくとも一方を、第2供給口42と対向するように配置する。図8は、基板ステージ1(プレート部材T)の上面13が、第2供給口42と対向するように配置される例を示す。なお、クリーニング動作中に、基板ステージ1の上面13と計測ステージ2の上面14とが接近又は接触していなくてもよい。
図8に示すように、本実施形態において、液浸部材4などのクリーニングを実行するときに、終端光学素子19の射出面20と基板ステージ1との間の露光光ELの光路に、カバー部材70が配置される。カバー部材70は、平坦面31に配置された保持装置71に保持される。上述のように、保持装置71は、静電チャック機構を含み、カバー部材70をリリース可能に保持できる。カバー部材70は、不図示の搬送装置によって、保持装置71に搬送される。保持装置71は、開口24が閉じられるように、カバー部材70を保持する。
カバー部材70は、プレート状の部材である。カバー部材70は、平坦面31と対向可能な上面72を有する。XY平面内において、カバー部材70の外形は、開口24より大きく、平坦面31の外形より小さい。
開口24を閉じるように、そのカバー部材70が配置されることによって、終端光学素子19とカバー部材70との間に第1空間91が形成され、カバー部材70と基板ステージ1との間に第2空間92が形成される。第1空間91は、上側空間26を含み、第2空間92は、下側空間28を含む。
制御装置5は、第1供給口41より第1空間91に第1液体LQを供給し、第2供給口42より第2空間92に第2液体LCを供給する。
露光光ELの光路にカバー部材70を配置した状態で第1空間91に第1液体LQを供給するとき、制御装置5は、流路切替機構81及び第2液体回収装置80を制御して、開口50を用いる液体回収動作を実行する。第1供給口41は、終端光学素子19の射出面20と接触するように、第1空間91に第1液体LQを供給する。第1空間91の第1液体LQは、開口50より回収される。
本実施形態において、制御装置5は、第1供給口41を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、開口50を用いる第1液体LQの回収動作を実行する。図9に示すように、第1供給口41から第1空間91に供給された第1液体LQは、終端光学素子19の射出面20と接触しながら第1空間91を流れた後、開口50より回収される。これにより、終端光学素子19が第1液体LQでクリーニングされる。
また、第1空間91が第1液体LQで満たされているとき、制御装置5は、終端光学素子19より露光光ELを射出する。制御装置5は、終端光学素子19の射出面20を光洗浄するために、露光光ELを照射する。露光光ELは、紫外光であり、露光光ELを照射することによって、終端光学素子19の射出面20は、光洗浄される。なお、第1空間91が第1液体LQで満たされているときに、露光光ELを射出面20に照射させずに、第1液体LQを第1空間91に供給するだけでもよい。
また、制御装置5は、液浸部材4をクリーニングするために、第2供給口42より第2液体LCを供給する。第2供給口42は、液浸部材4と接触するように、第2空間92に第2液体LCを供給する。液体回収口47は、第2空間92の第2液体LCを回収する。
本実施形態においては、制御装置5は、第2供給口42を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第2液体LCの回収動作を実行する。これにより、図8に示すように、液浸部材4と基板ステージ1との間に第2液体LCで液浸空間が形成される。
第2液体LCは、多孔部材27の下面(液体回収面33)に接触する。これにより、多孔部材27が第2液体LCによってクリーニングされる。また、第2液体LCは、多孔部材27の孔を介して、流路48に流入し、その流路48を流れて、第1液体回収装置49に回収される。したがって、多孔部材27の孔の内面、多孔部材27の上面、及び流路48の内面も、第2液体LCによってクリーニングされる。
本実施形態においては、クリーニング時において第2液体LCで形成される液浸空間の大きさ(XY平面内における大きさ)は、基板Pの露光時において第1液体LQで形成される液浸空間の大きさ(XY平面内における大きさ)より、大きい。したがって、液浸部材4の下面21の広い範囲が第2液体LCと接触し、第2液体LCによってクリーニングされる。
また、基板ステージ1の上面13は、第2供給口42と対向するように配置されており、第2供給口42からの第2液体LCと接触する。これにより、基板ステージ1(プレート部材T)の上面13が、第2液体LCによってクリーニングされる。
また、第2供給口42より第2液体LCを供給しながら、液浸部材4に対して基板ステージ1をXY方向に移動することによって、基板ステージ1(プレート部材T)の上面13の広い範囲が、第2液体LCによってクリーニングされる。
本実施形態においては、第1保持部15でダミー基板DPを保持した状態で、第2液体LCを用いるクリーニングが実行されるので、第2液体LCと第1保持部15との接触が防止される。また、第2供給口42と対向する位置にダミー基板DPを配置した状態で、第2供給口42より第2液体LCを供給し、液浸部材4の下面21をクリーニングするだけでもよい。
また、制御装置5は、計測器Cの上面を含む計測ステージ2の上面14を、第2供給口42と対向するように配置して、第2供給口42より第2液体LCを供給することにより、計測ステージ2の上面14を、第2液体LCによってクリーニングすることができる。
このように、本実施形態においては、第1液体LQによる終端光学素子19のクリーニング処理の少なくとも一部と並行して、第2液体LCによる所定部材(液浸部材4、基板ステージ1、計測ステージ2など)のクリーニング処理が実行される。
第2液体LCを用いるクリーニングが終了した後、制御装置5は、第2供給装置46の作動を停止して、第2供給口42を用いる第2液体LCの供給を停止する。そして、制御装置5は、基板Pの露光前に、液浸部材4から第2液体LCを除去するための処理を実行する。
本実施形態において、液浸部材4から第2液体LCを除去するための処理は、第1液体LQを供給するフラッシング処理を含む。
図10に示すように、露光光ELの光路からカバー部材70を退かした後、制御装置5は、終端光学素子19及び液浸部材4と対向するように、第1保持部15でダミー基板DPを保持した基板ステージ1を配置し、第2液体LCの供給を停止した状態で、第1供給口41を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第1液体LQの回収動作を実行する。これにより、液浸部材4の下面21、多孔部材27、及び回収流路48等に残留している第2液体LCが洗い流される。
また、第1供給装置44からの第1液体LQを流路45に供給することによって、流路45、第2供給口42等に残留している第2液体LCを、第1液体LQで洗い流すことができる。
また、制御装置5は、終端光学素子19及び液浸部材4と対向するように、基板ステージ1(プレート部材T)の上面13を配置し、第2液体LCの供給を停止した状態で、第1供給口41及び第2供給口42を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第1液体LQの回収動作を実行することにより、基板ステージ1(プレート部材T)の上面13に残留している第2液体LCを、第1液体LQで洗い流すことができる。
また、制御装置5は、終端光学素子19及び液浸部材4と対向するように、計測ステージ2の上面14を配置し、第2液体LCの供給を停止した状態で、第1供給口41及び第2供給口42を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、液体回収口47を用いる第1液体LQの回収動作を実行することにより、計測ステージ2の上面14に残留している第2液体LCを、第1液体LQで洗い流すことができる。
このように、第2液体LCを用いて液浸部材4などをクリーニングした後、第1液体LQを用いて、第2液体LCを除去することによって、その後に実行される基板Pの露光中に、露光光ELの光路を満たす第1液体LQに第2液体LCが混入することが抑制される。
第2液体LCを用いるクリーニング処理、及び第1液体LQを用いるフラッシング処理が終了した後、次に露光される基板Pが第1保持部15に保持され、その基板Pの露光処理が実行される。露光された基板Pは、例えば現像処理等、所定のプロセス処理を実行される。
以上説明したように、本実施形態によれば、終端光学素子19及び液浸部材4などを効率良く良好にクリーニングできる。したがって、終端光学素子19及び液浸部材4などの汚染に起因する露光不良の発生を抑制でき、不良デバイスの発生を抑制できる。
上述のように、本実施形態においては、第2液体LCとして、アルカリ洗浄液を用いる。第2液体LCとしてアルカリ洗浄液を用いることにより、液浸部材4の下面21などに付着している、例えば感光材等に起因する有機物(汚染物)を良好に除去することができる。
一方、アルカリ洗浄液を含む第2液体LCが終端光学素子19と接触すると、例えば終端光学素子19の表面の状態が変化する可能性がある。例えば終端光学素子19が石英で形成される場合、第2液体LCと終端光学素子19とが接触すると、終端光学素子19の表面の状態が変化したり、光学特性が変化したりする可能性がある。
本実施形態によれば、カバー部材70によって、第2液体LCと終端光学素子19との接触が防止されるので、終端光学素子19の性能が変化することを抑制することができる。また、液浸部材4などをクリーニングするために用いられる第2液体LCの選択の自由度を高めることができる。
また、本実施形態によれば、基板ステージ1の上面13、計測ステージ2の上面14等、基板Pの露光中に第1液体LQと接触する所定部材の表面(液体接触面)も、第2液体LCを用いて効率良く良好にクリーニングできる。したがって、それら所定部材の汚染に起因する露光不良の発生を抑制でき、不良デバイスの発生を抑制できる。
なお、本実施形態において、カバー部材70を保持する保持装置71の少なくとも一部が、平坦面31に設けられているが、保持装置71の替わりに、カバー部材70を液浸部材4の下側に挿脱可能に支持する支持装置を設けてもよい。
また、本実施形態においては、カバー部材70が平坦面31の下側に配置されているが、開口24内にカバー部材70を配置してもよい。
<第2実施形態>
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第2実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
以下の説明において、クリーニング処理時、液浸部材4と対向する位置に基板ステージ1が配置される場合を例にして説明するが、上述の実施形態と同様、第1保持部15に保持されたダミー基板DP、計測ステージ2を配置することもできる。
図11は、第2実施形態に係る液浸部材4Cの一例を示す図である。本実施形態において、液浸部材4Cは、終端光学素子19と基板ステージ1との間の露光光ELの光路に配置されるシャッタ部材73A、73Bを含むシャッタ機構74を有する。
本実施形態において、シャッタ機構74は、第2プレート部23の開口24を規定する内面に形成された凹部75A、75Bと、凹部75A、75Bのそれぞれに配置可能なシャッタ部材73A、73Bと、シャッタ部材73A、73Bを移動可能なアクチュエータ76A、76Bとを備えている。凹部75Aは、第2プレート部23の開口24を規定する+Y側の内面に形成され、凹部75Bは、第2プレート部23の開口24を規定する−Y側の内面に形成されている。シャッタ部材73A、73Bは、プレート状の部材である。アクチュエータ76A、76Bの作動により、シャッタ部材73A、73Bは、露光光ELの光路に対して移動可能である。本実施形態において、シャッタ部材73A、73Bは、Y軸方向に移動可能である。アクチュエータ76A、76Bの作動により、シャッタ部材73A、73Bは、凹部75A、75Bに対して出入可能である。
例えば、基板Pの露光時、図11Aに示すように、シャッタ部材73A、73Bは、凹部75A、75Bに配置される。制御装置5は、液浸空間LSを形成するために、第1供給口41より第1液体LQを供給する。
終端光学素子19及び液浸部材4Cなどのクリーニング時、図11Bに示すように、制御装置5は、シャッタ部材73A、73Bで開口24を閉じるために、アクチュエータ76A、76Bを作動して、シャッタ部材73A、73Bを開口24に配置する。これにより、開口24が閉じられる。終端光学素子19とシャッタ部材73A、73Bとの間に第1空間91が形成され、シャッタ部材73A、73Bと基板ステージ1との間に第2空間92が形成される。
制御装置5は、シャッタ部材73A、73Bで開口24を閉じた状態で、第1供給口41より第1空間91に第1液体LQを供給し、第2供給口42より第2空間92に第2液体LCを供給する。
なお、本実施形態において、シャッタ部材73A、73Bを開口24内に配置して、開口24を閉じるようにしているが、シャッタ部材73A、73Bを、平坦面31の下側、あるいは液浸部材4Cの上面25の上側に配置するようにしてもよい。
本実施形態においても、終端光学素子19、液浸部材4、及び基板ステージ1などをクリーニングすることができる。
<第3実施形態>
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第3実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
上述の各実施形態においては、液浸部材4に第2供給口42が配置される場合を例にして説明したが、第3実施形態の特徴的な部分は、液浸部材4Jの下面21と対向する位置に配置される所定部材に第2供給口42Jを設ける点にある。
図12は、第3実施形態に係る露光装置EXの一例を示す図である。図12において、計測ステージ2Jは、上面14に配置された第2供給口42Jを備えている。第2供給口42Jは、液浸部材4Jの下面21と対向可能である。第2供給口42Jは、流路45Jを介して、第2供給装置46Jと接続されている。流路45Jは、計測ステージ2Jの内部に形成された供給流路、及びその供給流路と第2供給装置46Jとを接続する供給管で形成される流路を含む。
本実施形態においては、上述の第1実施形態で説明したような、終端光学素子19と基板ステージ1との間の露光光ELの光路を第1空間91と第2空間92とに仕切るためのカバー部材70と、そのカバー部材70をリリース可能に保持する保持装置71とを含む。なお、終端光学素子19と基板ステージ1との間の露光光ELの光路を第1空間91と第2空間92とに仕切るために、上述の第2実施形態で説明したような、シャッタ機構74を用いることもできる。
制御装置5は、液浸部材4Jの下面21と計測ステージ2Jの上面14に配置された第2供給口42Jとを対向させ、終端光学素子19と基板ステージ1との間の露光光ELの光路にカバー部材70を配置した状態で、第1供給口41より第1空間91に第1液体LQを供給し、第2供給口42より第2空間92に第2液体LCを供給する。
制御装置5は、第1供給口41を用いる第1液体LQの供給動作と並行して、開口50を用いる第1液体LQの回収動作を実行することによって、終端光学素子19の射出面20などをクリーニングすることができる。
また、制御装置5は、第2供給口42Jを用いる第2液体LCの供給動作と並行して、液浸部材4Jに配置されている液体回収口47Jを用いる第2液体LCの回収動作を実行することによって、液浸部材4Jの下面21及び計測ステージ2Jの上面14などをクリーニングすることができる。
なお、本実施形態においては、計測ステージ2Jに第2供給口42Jが配置される場合を例にして説明したが、基板ステージ1に第2供給口が配置されてもよい。液浸部材の下面21と基板ステージ1の上面13に配置された第2供給口とを対向させた状態で、第2供給口を用いる第2液体LCの供給動作と並行して、液体回収口を用いる第2液体LCの回収動作を実行することによって、液浸部材の下面21及び基板ステージ1の上面13をクリーニングできる。また、基板ステージ1、及び計測ステージ2とことなる可動部材に第2供給口を設けてもよい。
また、本実施形態において、液浸部材4Jにも第2液体LCを供給する供給口を設け、液浸部材4Jの第2供給口、および液浸部材4Jの下面21と対向する位置に配置される所定部材(計測ステージ2など)の第2供給口42Jとを併用してもよい。
なお、上述の第1〜第3実施形態において、液体回収口47(液体回収面33)とともに、あるいは液体回収口47(液体回収面33)を使わずに、液浸部材の下面と対向する位置に配置された液体回収部を使って、第1液体LQ及び/又は第2液体LCを回収するようにしてもよい。液浸部材の下面と対向する位置に配置された液体回収部は、例えば、基板ステージ1及び/又は計測ステージ2に設けることができる。
なお、上述の第1〜第3実施形態においては、液浸部材4の下面21と対向する位置に所定部材(基板ステージ1、計測ステージ2、ダミー基板DP)を配置し、液浸部材4の下面21と所定部材との間に第2液体LCを供給して、第2液体LCで液浸空間を形成する場合を例にして説明したが、上述のように、液浸部材の下面と対向する位置に液体回収部を配置する場合には、例えば開口24をカバー部材70で閉じた状態で、液浸部材4の下方から液浸部材4の下面に向けて第2液体LCを吹き付けてもよい。
また、上述のように、液浸部材の下面と対向する位置に液体回収部を配置する場合には、例えば液浸部材の液体回収口47から第2液体LCを供給してもよい。
なお、上述の各実施形態においては、終端光学素子19をクリーニングするために、第1供給口41から第1空間91に第1液体LQが供給される場合を例にして説明したが、第1供給口41より第1空間91に、第1液体LQと異なるクリーニング用の液体を供給してもよい。例えば過酸化水素水を含むクリーニング用の液体を供給することができる。こうすることによっても、終端光学素子19の射出面20を良好にクリーニングすることができる。
また、上述の各実施形態において、第1供給口41の近傍に、さらに別の液体供給口を設けて、そのさらなる液体供給口から上側空間26に液体(例えば第1液体LQ、あるいは第1液体と異なるクリーニング液体)を供給してもよい。この場合、第1供給口41から第1液体LQの供給を並行して行ってもよい。
なお、上述の実施形態においては、アンモニアを含む第2液体LCを用いているが、これに限られず、コリン、水酸化ナトリウム(NaOH)、水酸化カリウム(KOH)、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの少なくとも1つを含む第2液体LCを用いてもよい。
また、上述の各実施形態において、第2液体LCに振動(超音波)を与える超音波クリーニングを併用してもよい。
なお、上述の各実施形態における投影光学系PLにおいて、終端光学素子19の射出側(像面側)の光路が第1液体LQで満たされているが、投影光学系PLとして、国際公開第2004/019128号パンフレットに開示されているような、終端光学素子19の入射側(物体面側)の光路も液体で満たされる投影光学系を採用することもできる。
なお、上述の各実施形態の第1液体LQは水であるが、水以外の液体であってもよい。例えば、第1液体LQとして、ハイドロフロロエーテル(HFE)、過フッ化ポリエーテル(PFPE)、フォンブリンオイル等を用いることも可能である。また、第1液体LQとして、種々の流体、例えば、超臨界流体を用いることも可能である。
なお、上述の各実施形態の基板Pとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等が適用される。
露光装置EXとしては、マスクMと基板Pとを同期移動してマスクMのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置(スキャニングステッパ)の他に、マスクMと基板Pとを静止した状態でマスクMのパターンを一括露光し、基板Pを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置(ステッパ)にも適用することができる。
さらに、ステップ・アンド・リピート方式の露光において、第1パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で、投影光学系PLを用いて第1パターンの縮小像を基板P上に転写した後、第2パターンと基板Pとをほぼ静止した状態で、投影光学系PLを用いて第2パターンの縮小像を第1パターンと部分的に重ねて基板P上に一括露光してもよい(スティッチ方式の一括露光装置)。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板P上で少なくとも2つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Pを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。
また、例えば米国特許第6611316号明細書に開示されているように、2つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などにも本発明を適用することができる。また、プロキシミティ方式の露光装置、ミラープロジェクション・アライナーなどにも本発明を適用することができる。
また、本発明は、米国特許第6341007号明細書、米国特許第6208407号明細書、米国特許第6262796号明細書等に開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。
露光装置EXの種類としては、基板Pに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD)、マイクロマシン、MEMS、DNAチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。
なお、上述の各実施形態においては、レーザ干渉計を含む干渉計システムを用いてマスクステージ1及び基板ステージ2の各位置情報を計測するものとしたが、これに限らず、例えば各ステージ1、2に設けられるスケール(回折格子)を検出するエンコーダシステムを用いてもよい。この場合、干渉計システムとエンコーダシステムとの両方を備えるハイブリッドシステムとしてもよい。
また、上述の各実施形態では、露光光ELとしてArFエキシマレーザ光を発生する光源装置として、ArFエキシマレーザを用いてもよいが、例えば、米国特許第7023610号明細書に開示されているように、DFB半導体レーザ又はファイバーレーザなどの固体レーザ光源、ファイバーアンプなどを有する光増幅部、及び波長変換部などを含み、波長193nmのパルス光を出力する高調波発生装置を用いてもよい。さらに、上記実施形態では、前述の各照明領域と、投影領域がそれぞれ矩形状であるものとしたが、他の形状、例えば円弧状などでもよい。
なお、上述の各実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン(又は位相パターン・減光パターン)を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第6778257号明細書に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する可変成形マスク(電子マスク、アクティブマスク、あるいはイメージジェネレータとも呼ばれる)を用いてもよい。可変成形マスクは、例えば非発光型画像表示素子(空間光変調器)の一種であるDMD(Digital Micro-mirror Device)等を含む。また、非発光型画像表示素子を備える可変成形マスクに代えて、自発光型画像表示素子を含むパターン形成装置を備えるようにしても良い。自発光型画像表示素子としては、例えば、CRT(Cathode Ray Tube)、無機ELディスプレイ、有機ELディスプレイ(OLED:Organic Light Emitting Diode)、LEDディスプレイ、LDディスプレイ、電界放出ディスプレイ(FED:Field Emission Display)、プラズマディスプレイ(PDP:Plasma Display Panel)等が挙げられる。
上述の各実施形態においては、投影光学系PLを備えた露光装置を例に挙げて説明してきたが、投影光学系PLを用いない露光装置及び露光方法に本発明を適用することができる。このように投影光学系PLを用いない場合であっても、露光光はレンズ等の光学部材を介して基板に照射され、そのような光学部材と基板との間の所定空間に液浸空間が形成される。
また、例えば国際公開第2001/035168号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板P上に形成することによって、基板P上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置(リソグラフィシステム)にも本発明を適用することができる。
以上のように、本実施形態の露光装置EXは、本願請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図13に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ201、この設計ステップに基づいたマスク(レチクル)を製作するステップ202、デバイスの基材である基板を製造するステップ203、上述の実施形態に従って、マスクのパターンを用いて露光光で基板を露光すること、及び露光された基板を現像することを含む基板処理(露光処理)を含む基板処理ステップ204、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む)205、検査ステップ206等を経て製造される。
なお、上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態及び変形例で引用した露光装置などに関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
1…基板ステージ、2…計測ステージ、4…液浸部材、19…終端光学素子、20…射出面、21…下面、23…第2プレート部、24…開口、26…上側空間、28…下側空間、33…平坦面、41…第1供給口、42…第2供給口、47…液体回収口、53…防止装置、70…カバー部材、71…保持装置、77…流体カーテン、DP…ダミー基板、EL…露光光、EX…露光装置、LC…クリーニング液体、LQ…露光液体、P…基板。
Claims (29)
- 露光液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光を射出する射出面を有する光学部材と、
前記射出面と所定部材との間の前記露光光の光路に配置される仕切部材と、
前記光学部材と前記仕切部材との間の第1空間に第1クリーニング液体を供給する第1供給口と、
前記仕切部材と前記所定部材との間の第2空間に第2クリーニング液体を供給する第2供給口と、を備えた露光装置。 - 前記仕切部材は、前記光路に対して移動可能である請求項1記載の露光装置。
- 前記光学部材から射出される前記露光光の光路が前記露光液体で満たされるように液浸空間を形成可能な液浸部材を備え、
前記第2クリーニング液体は、前記液浸部材と接触するように前記第2供給口から供給される請求項1又は2記載の露光装置。 - 前記第2供給口は、前記液浸部材に設けられる請求項3記載の露光装置。
- 前記所定部材は、前記第2供給口と対向するように配置される請求項4記載の露光装置。
- 前記第2クリーニング液体で前記液浸部材の少なくとも一部をクリーニングする請求項3〜5のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記液浸部材は、前記光学部材からの前記露光光が通過する開口を有し、
前記仕切部材は、前記開口を閉じるように前記露光光の光路に配置される請求項3〜6のいずれか一項記載の露光装置。 - 前記仕切部材で前記開口を閉じるように、前記仕切部材をリリース可能に保持する保持装置をさらに備えた請求項7記載の露光装置。
- 前記保持装置の少なくとも一部は、前記液浸部材に設けられる請求項7または8記載の露光装置。
- 前記第1供給口は、前記液浸部材に設けられる請求項3〜9のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1空間の前記第1クリーニング液体を回収する第1回収口を備える請求項1〜10のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2空間の前記第2クリーニング液体を回収する第2回収口を備える請求項1〜11のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1クリーニング液体は、前記露光液体を含む請求項1〜12のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光液体は、純水を含む請求項1〜13のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1クリーニング液体は、過酸化水素水を含む請求項1〜12のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2クリーニング液体は、アルカリを含む請求項1〜15のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第2クリーニング液体で、前記所定部材の少なくとも一部をクリーニングする請求項1〜16のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記所定部材は、前記露光光の光路に対して移動可能である請求項1〜17のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光光の光路に対して移動可能なステージをさらに備え、
前記所定部材は、前記ステージの一部を含む請求項18記載の露光装置。 - 前記ステージは、前記基板を保持する基板ステージを含む請求項19記載の露光装置。
- 前記ステージは、露光に関する計測を実行可能な計測器を搭載する計測ステージを含む請求項19又は20記載の露光装置。
- 前記第2供給口は、前記可動ステージに設けられる請求項19〜21のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1クリーニング液体で前記光学部材の射出面をクリーニングする請求項1〜22のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記光学部材と前記仕切部材との間の第1空間が前記第1クリーニング液体で満たされているときに、前記露光光が前記光学部材から射出される請求項1〜23のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記基板を保持する基板保持部を有し、前記露光光の光路に対して移動可能な基板ステージをさらに備え、
前記所定部材は、前記基板保持部に保持されたダミー基板を含む請求項1〜24のいずれか一項記載の露光装置。 - 請求項1〜25のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 光学部材から射出された露光光で露光液体を介して基板を露光する露光装置のクリーニング方法であって、
前記光学部材と所定部材との間に仕切部材を配置することと、
前記仕切部材と前記光学部材との間に第1クリーニング液体を供給することと、
前記仕切部材と前記所定部材との間に第2クリーニング液体を供給することと、を含むクリーニング方法。 - 前記光学部材を光洗浄するために、紫外光を照射することを含む請求項27記載のクリーニング方法。
- 露光液体を介して露光光で基板を露光する露光装置を請求項27又は28記載のクリーニング方法でクリーニングすることと、
前記クリーニング後に、前記露光装置で前記基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US7141608P | 2008-04-28 | 2008-04-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009267401A true JP2009267401A (ja) | 2009-11-12 |
Family
ID=41392783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009097046A Pending JP2009267401A (ja) | 2008-04-28 | 2009-04-13 | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009267401A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011124569A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置および表面洗浄方法 |
JP2011151058A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Nikon Corp | 洗浄方法、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
WO2011125977A1 (ja) * | 2010-04-02 | 2011-10-13 | 株式会社ニコン | クリーニング方法、デバイス製造方法、露光装置、及びデバイス製造システム |
-
2009
- 2009-04-13 JP JP2009097046A patent/JP2009267401A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011124569A (ja) * | 2009-12-02 | 2011-06-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置および表面洗浄方法 |
KR101258449B1 (ko) * | 2009-12-02 | 2013-04-26 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치 및 표면 세정 방법 |
KR101353372B1 (ko) * | 2009-12-02 | 2014-01-21 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피 장치 및 표면 세정 방법 |
US8760616B2 (en) | 2009-12-02 | 2014-06-24 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
US9261796B2 (en) | 2009-12-02 | 2016-02-16 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
US9645508B2 (en) | 2009-12-02 | 2017-05-09 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
US9927716B2 (en) | 2009-12-02 | 2018-03-27 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
US10185223B2 (en) | 2009-12-02 | 2019-01-22 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
US10437156B2 (en) | 2009-12-02 | 2019-10-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and surface cleaning method |
JP2011151058A (ja) * | 2010-01-19 | 2011-08-04 | Nikon Corp | 洗浄方法、露光装置、及びデバイスの製造方法 |
WO2011125977A1 (ja) * | 2010-04-02 | 2011-10-13 | 株式会社ニコン | クリーニング方法、デバイス製造方法、露光装置、及びデバイス製造システム |
CN102918630A (zh) * | 2010-04-02 | 2013-02-06 | 株式会社尼康 | 清洗方法、器件制造方法、曝光装置、以及器件制造系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8035800B2 (en) | Exposure apparatus, maintenance method, exposure method, and method for producing device | |
JPWO2010018825A1 (ja) | 露光装置、メンテナンス方法、及びデバイス製造方法 | |
JP5152321B2 (ja) | クリーニング工具、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
US8654306B2 (en) | Exposure apparatus, cleaning method, and device fabricating method | |
JP2010205914A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2009021498A (ja) | 露光装置、液浸システム、及びデバイス製造方法 | |
JP2009267401A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2009260352A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2011165798A (ja) | 露光装置、露光装置で使用される方法、デバイス製造方法、プログラム、及び記録媒体 | |
JP2009188119A (ja) | カバー部材、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
WO2013031928A1 (en) | Exposure apparatus, liquid holding method, and device manufacturing method | |
JP2010267656A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010177669A (ja) | 露光装置、露光方法、液浸部材、及びデバイス製造方法 | |
JP5018277B2 (ja) | 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 | |
WO2011046174A1 (ja) | 露光装置、露光方法、メンテナンス方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010157724A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010109271A (ja) | 確認方法、メンテナンス方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010157726A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010016264A (ja) | 露光装置、メンテナンス方法、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010109270A (ja) | 確認方法、メンテナンス方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2011029326A (ja) | 露光装置、メンテナンス方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2010267808A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2009044089A (ja) | 露光方法、デバイス製造方法、及びデバイス製造システム | |
JP2010056453A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | |
JP2011071253A (ja) | 露光装置、クリーニング方法、及びデバイス製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120323 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073 Effective date: 20130731 |