JP7030998B2 - ガス管理システム - Google Patents
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Description
別の一般的な一態様においては、ガスリサイクルシステムは、複数の入口ポートと1つの出口ポートとを含み、各入口ポートはエキシマレーザの排ガス出口ポートに流体結合されるように構成されている、レーザ排ガス収集システムと、レーザ排ガス収集システムの出口ポートに流体結合されると共に、レーザ排ガス収集システムに流体結合されたエキシマレーザのいずれかから排気されたガス混合物に基づいて精製ガス混合物を生成するように構成されたガス精製器システムと、精製ガス混合物中の少なくとも1つのガス成分の量を測定するように構成された測定システムを含むガス分析システムと、精製ガス混合物に基づいてリサイクル済みのガス混合物を調製するガス混合システムと、ガス分析システム及びガス混合システムに連結された制御システムであって、少なくとも1つのガス成分の測定量が許容可能な値の範囲内にあるかどうかを判定し、少なくとも1つのガス成分の測定量が許容可能な値の範囲内にない場合には、ガス混合システムに追加的なガス成分を精製ガス混合物に添加させてリサイクル済みのガス混合物を調製するように構成された制御システムと、を含む。
上述の及び本明細書中の技術のうちいずれの実装形態も、プロセス、装置、及び/又は方法を含み得る。1つ以上の実装形態の詳細を、添付の図面及び以下の説明に記載する。他の特徴は、説明及び図面から、並びに特許請求の範囲から明らかになるであろう。
1. 第1のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
第1のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、第2の複数の気体はハロゲンを欠き、第2のガス源は、
第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
事前に調製されたガス供給及びリサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
リサイクル済みのガス供給の試料を受け取ってリサイクル済みのガス供給内のガス成分を分析するガス分析システムと、
ガス分析システム及び流体流スイッチに接続されており、
ガス分析システムから分析を受信し、
リサイクル済みのガス供給内のガス成分間の相対濃度が許容可能な範囲内にあるかどうかを判定し、
流体流スイッチに信号を提供し、それによって事前に調製されたガス供給とリサイクル済みのガス供給とのうち一方を判定に基づいて第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。
2. リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、制御システムは、圧力測定システムからの出力を受信して、圧力測定システムからの出力に基づいて流体流スイッチへの信号を調整する、条項1のガスチャンバ供給システム。
3. 第2のガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、条項1のガスチャンバ供給システム。
4. 利得媒質成分中の貴ガスはArであり、バッファ成分は貴ガスを含む、条項3のガスチャンバ供給システム。
5. リサイクル済みのガス供給内のガス成分の分析は、貴ガスを有する利得媒質成分の量を測定すること及びバッファ成分の量を測定することを含む、条項3のガスチャンバ供給システム。
6. ガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給は、ガスリサイクルシステムのガス混合システムから受け取られる、条項1のガスチャンバ供給システム。
7. ガス分析システムは、質量スペクトロメータ、ガスクロマトグラフ、又はフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトロメータを備える、条項1のガスチャンバ供給システム。
8. 第1のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
第1のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、第2の複数の気体はハロゲンを欠き、第2のガス源は、
第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
事前に調製されたガス供給及びリサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
第2のガス混合物をリサイクル済みのガス供給に供給するように構成されたガスリサイクルシステムであって、
第1のガスチャンバとは異なる第2のガスチャンバから排気されたガス混合物を受け取るように構成されたガス精製器システムと、
精製ガス混合物を受け取って精製ガス混合物中のガス成分を分析するガス分析システムと、
リサイクル済みのガス混合物を調製して、リサイクル済みのガス混合物をリサイクル済みのガス供給の第2のガス混合物として出力するガス混合システムと、
を備える、ガスリサイクルシステムと、
ガスリサイクルシステム及び流体流スイッチに接続されると共に流体流スイッチに信号を提供し、それによって事前に調製されたガス供給とリサイクル済みのガス供給とのうち一方を第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。
9. リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、制御システムは、圧力測定システムからの出力を受信して、圧力測定システムからの出力に基づいて流体流スイッチへの信号を調整する、条項8のガスチャンバ供給システム。
10. 精製ガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、条項8のガスチャンバ供給システム。
11. 利得媒質成分中の貴ガスはArであり、バッファ成分は貴ガスを含む、条項10のガスチャンバ供給システム。
12. 精製ガス混合物中のガス成分の分析は、貴ガスを有する利得媒質成分の量を測定すること及びバッファ成分の量を測定することを含む、条項10のガスチャンバ供給システム。
13. ガス分析システムは、質量スペクトロメータ、ガスクロマトグラフ、又はフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトロメータを備える、条項8のガスチャンバ供給システム。
14. 第1組のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
第1組のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、第2の複数のガスはハロゲンを欠き、第2のガス源は、
第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
事前に調製されたガス供給及びリサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
第2のガス混合物をリサイクル済みのガス供給に供給するように構成されたガスリサイクルシステムであって、
第2組のガスチャンバのガスチャンバのうち少なくとも1つから排気されたガス混合物を受け取るように出力に流体接続されたガス精製器システムと、
精製ガス混合物を受け取って精製ガス混合物中のガス成分を分析するガス分析システムと、
リサイクル済みのガス混合物を調製して、リサイクル済みのガス混合物をリサイクル済みのガス供給の第2のガス混合物として出力するガス混合システムと、
を備える、ガスリサイクルシステムと、
ガスリサイクルシステム及び流体流スイッチに接続されると共に流体流スイッチに信号を提供し、それによって事前に調製されたガス供給とリサイクル済みのガス供給とのうち一方を第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。
15. 第2組のガスチャンバのうち1つ以上は第1組のガスチャンバのうち1つ以上に対応する、条項14のガスチャンバ供給システム。
16. リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、制御システムは、圧力測定システムからの出力を受信して、圧力測定システムからの出力に基づいて流体流スイッチへの信号を調整する、条項14のガスチャンバ供給システム。
17. 第2のガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、条項14のガスチャンバ供給システム。
18. 利得媒質成分中の貴ガスはArであり、バッファ成分は貴ガスを含む、条項17のガスチャンバ供給システム。
19. リサイクル済みのガス供給内のガス成分の分析は、貴ガスを有する利得媒質成分の量を測定すること及びバッファ成分の量を測定することを含む、条項17のガスチャンバ供給システム。
20. ガス分析システムは、質量スペクトロメータ、ガスクロマトグラフ、又はフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトロメータを備える、条項14のガスチャンバ供給システム。
Claims (16)
- 第1のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、前記第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
前記第1のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、前記第2の複数のガスはハロゲンを欠き、前記第2のガス源は、
前記第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
前記第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
前記事前に調製されたガス供給及び前記リサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
前記リサイクル済みのガス供給の試料を受け取って前記リサイクル済みのガス供給内のガス成分を分析するガス分析システムと、
前記ガス分析システム及び前記流体流スイッチに接続されており、
前記ガス分析システムから前記分析を受信し、
前記リサイクル済みのガス供給内の前記ガス成分間の相対濃度が許容可能な範囲内にあるかどうかを判定し、
前記流体流スイッチに信号を提供し、それによって前記事前に調製されたガス供給と前記リサイクル済みのガス供給とのうち一方を前記判定に基づいて前記第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。 - 前記リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、前記制御システムは、前記圧力測定システムからの出力を受信して、前記圧力測定システムからの前記出力に基づいて前記流体流スイッチへの前記信号を調整する、請求項1のガスチャンバ供給システム。
- 前記第2のガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、請求項1のガスチャンバ供給システム。
- 前記リサイクル済みのガス供給内の前記ガス成分の前記分析は、前記貴ガスを有する前記利得媒質成分の量を測定すること及び前記バッファ成分の量を測定することを含む、請求項3のガスチャンバ供給システム。
- 前記ガス分析システムは、質量スペクトロメータ、ガスクロマトグラフ、又はフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトロメータを備える、請求項1のガスチャンバ供給システム。
- 第1のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、前記第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
前記第1のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、前記第2の複数のガスはハロゲンを欠き、前記第2のガス源は、
前記第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
前記第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
前記事前に調製されたガス供給及び前記リサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
前記第2のガス混合物を前記リサイクル済みのガス供給に供給するように構成されたガスリサイクルシステムであって、
前記第1のガスチャンバとは異なる第2のガスチャンバから排気されたガス混合物を受け取るように構成されたガス精製器システムと、
リサイクル済みのガス混合物を調製して、前記リサイクル済みのガス混合物を前記リサイクル済みのガス供給の前記第2のガス混合物として出力するガス混合システムと、
前記リサイクル済みのガス供給を受け取って前記リサイクル済みのガス供給中のガス成分を分析するガス分析システムと、
を備える、ガスリサイクルシステムと、
前記ガスリサイクルシステム及び前記流体流スイッチに接続されると共に前記リサイクル済みのガス供給中の前記ガス成分の前記分析に基づいて前記流体流スイッチに信号を提供し、それによって前記事前に調製されたガス供給と前記リサイクル済みのガス供給とのうち一方を前記第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。 - 前記リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、前記制御システムは、前記圧力測定システムからの出力を受信して、前記圧力測定システムからの前記出力に基づいて前記流体流スイッチへの前記信号を調整する、請求項6のガスチャンバ供給システム。
- 前記ガス分析システムは、精製ガス混合物を受け取って前記精製ガス混合物中のガス成分を分析し、前記精製ガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、請求項6のガスチャンバ供給システム。
- 前記利得媒質成分中の前記貴ガスはArであり、前記バッファ成分は貴ガスを含む、請求項8のガスチャンバ供給システム。
- 前記精製ガス混合物中の前記ガス成分の前記分析は、前記貴ガスを有する前記利得媒質成分の量を測定すること及び前記バッファ成分の量を測定することを含む、請求項8のガスチャンバ供給システム。
- 前記ガス分析システムは、質量スペクトロメータ、ガスクロマトグラフ、又はフーリエ変換赤外(FTIR)スペクトロメータを備える、請求項6のガスチャンバ供給システム。
- 第1組のガスチャンバの第1の入口に流体接続するように構成されると共に第1の複数のガスを含有する第1のガス混合物を供給するように構成された第1のガス源であって、前記第1の複数のガスのうち少なくとも1つはハロゲンを含む、第1のガス源と、
前記第1組のガスチャンバの第2の入口に流体接続するように構成されると共に第2の複数のガスを含有する第2のガス混合物を供給するように構成された第2のガス源であって、前記第2の複数のガスはハロゲンを欠き、前記第2のガス源は、
前記第2のガス混合物を含む事前に調製されたガス供給と、
前記第2のガス混合物を含むリサイクル済みのガス供給と、
前記事前に調製されたガス供給及び前記リサイクル済みのガス供給に接続された流体流スイッチと、
を備える、第2のガス源と、
前記第2のガス混合物を前記リサイクル済みのガス供給に供給するように構成されたガスリサイクルシステムであって、
第2組のガスチャンバのガスチャンバのうち少なくとも1つから排気されたガス混合物を受け取るように出力に流体接続されたガス精製器システムと、
リサイクル済みのガス混合物を調製して、前記リサイクル済みのガス混合物を前記リサイクル済みのガス供給の前記第2のガス混合物として出力するガス混合システムと、
前記リサイクル済みのガス供給を受け取って前記リサイクル済みのガス供給中のガス成分を分析するガス分析システムと、
リサイクル済みのガス混合物を調製して、前記リサイクル済みのガス混合物を前記リサイクル済みのガス供給の前記第2のガス混合物として出力するガス混合システムと、
を備える、ガスリサイクルシステムと、
前記ガスリサイクルシステム及び前記流体流スイッチに接続されると共に前記リサイクル済みのガス供給中の前記ガス成分の前記分析に基づいて前記流体流スイッチに信号を提供し、それによって前記事前に調製されたガス供給と前記リサイクル済みのガス供給とのうち一方を前記第2のガス源として選択するように構成された、制御システムと、
を備える、ガスチャンバ供給システム。 - 前記第2組の前記ガスチャンバのうち1つ以上は前記第1組の前記ガスチャンバのうち1つ以上に対応する、請求項12のガスチャンバ供給システム。
- 前記リサイクル済みのガス供給の圧力を測定する圧力測定システムを更に備え、前記制御システムは、前記圧力測定システムからの出力を受信して、前記圧力測定システムからの前記出力に基づいて前記流体流スイッチへの前記信号を調整する、請求項12のガスチャンバ供給システム。
- 前記第2のガス混合物は、貴ガスと少なくとも1つのバッファ成分とを有する少なくとも1つの利得媒質成分を含む、請求項12のガスチャンバ供給システム。
- 前記利得媒質成分中の前記貴ガスはArであり、前記バッファ成分は貴ガスを含む、請求項15のガスチャンバ供給システム。
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