JP5224687B2 - 露光条件算出プログラム及び露光条件算出方法 - Google Patents
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Description
4 照明光学系
14投影光学系
30 コンピュータ
Claims (7)
- 原版を照明する照明光学系と前記原版のパターンの像を基板上に投影する投影光学系とを有する露光装置の露光条件をコンピュータに算出させる露光条件算出方法において、
前記照明光学系の瞳面における光強度分布を含む露光条件を設定する設定ステップと、
前記設定ステップにおいて設定された露光条件下で前記基板上に投影されるパターン像の寸法を計算する像計算ステップと、
前記像計算ステップにおける計算結果に基づいて、前記基板上に形成されるパターンのうち配線またはトランジスタとして用いられるパターンの電気的特性を計算する電気的特性計算ステップと、
前記電気的特性計算ステップにおいて計算された電気的特性が基準値を満足するかどうかを判定する判定ステップとを有し、
前記判定ステップにおいて前記電気的特性が基準値を満足しないと判定した場合に、前記設定ステップにおいて設定された露光条件のうち少なくとも前記照明光学系の瞳面における光強度分布を変更し、変更後の露光条件について前記像計算ステップ、前記電気的特性計算ステップおよび前記判定ステップを行い、
前記電気的特性が基準値を満たす場合の露光条件を算出することを特徴とする露光条件算出方法。 - 請求項1に記載の電気的特性計算ステップにおいて、前記電気的特性として前記配線の消費電力、前記配線を通る電気信号の波形の乱れ及びノイズ、前記電気信号の伝播遅延時間のうち少なくとも1つを計算することを特徴とする露光条件算出方法。
- 請求項1に記載の電気的特性計算ステップにおいて、前記像計算ステップで計算されたパターン像の寸法に基づいて、前記基板上に形成されるパターンの寸法を変更し、変更された寸法を用いて前記電気的特性を計算することを特徴とする露光条件算出方法。
- 原版を照明する照明光学系と前記原版のパターンの像を基板上に投影する投影光学系とを有する露光装置の露光条件をコンピュータに算出させる露光条件算出方法において、
デバイスのレイアウトを設計する設計ステップと、
露光条件を設定する設定ステップと、
該設計されたレイアウトのパターンが前記原版に設けられ、前記設定ステップにおいて設定された露光条件下で前記基板上に投影される像の寸法を計算する像計算ステップと、
前記像計算ステップにおける計算結果に基づいて、前記基板上に形成されるパターンのうち配線またはトランジスタとして用いられるパターンの電気的特性を計算する電気的特性計算ステップと、
前記電気的特性計算ステップにおいて計算された電気的特性が基準値を満足するかどうかを判定する判定ステップとを有し、
前記判定ステップにおいて前記電気的特性が基準値を満足しないと判定した場合に、前記設定ステップにおいて設定された露光条件のうち少なくとも前記照明光学系の瞳面における光強度分布および前記設計ステップにおいて設計されたレイアウトを変更し、変更後の露光条件およびデバイスのレイアウトについて前記像計算ステップ、前記電気的特性計算ステップおよび前記判定ステップを行い、
前記電気的特性が基準値を満たす場合の露光条件およびデバイスのレイアウトを算出することを特徴とする露光条件算出方法。 - 原版を照明する照明光学系と前記原版のパターンの像を基板上に投影する投影光学系とを有する露光装置の露光条件をコンピュータに算出させる露光条件算出方法において、
前記照明光学系の瞳面における光強度分布を含む露光条件を変更しながら前記露光条件下で前記基板上に投影されるパターン像の寸法を計算することによって、所定の基準を満たす露光条件を算出する算出ステップを有し、
前記算出ステップにおいて、前記露光条件のうち前記照明光学系の瞳面における光強度分布を変更しながら前記パターン像の寸法を計算し、該計算された前記パターン像の寸法に基づいて、前記基板上に形成されるパターンのうち配線またはトランジスタとして用いられるパターンの電気的特性を計算し、前記電気的特性が基準値を満たす場合の露光条件を算出することを特徴とする露光条件算出方法。 - 請求項1乃至5の何れか1項に記載の露光条件算出方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項1乃至5の何れか1項に記載の露光条件算出方法を実行するコンピュータ。
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