JP5220641B2 - 処理装置、処理方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体 - Google Patents
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Description
間隙を有する隔壁と、
前記隔壁の一方側に配置され、被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、
前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と、該隔壁の他方側に設けられ該支持部を移動させる搬送駆動部と、を有する搬送機構と、
前記被処理体を、該処理液内から取り出して引き上げ位置に位置づける上下方向移動部と、
前記処理槽の上方から第一気体を供給する第一気体供給部と、
引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に向かって第二気体を噴出する気体噴出部と、
を備えている。
前記気体噴出部は、前記被処理体が前記上下方向移動部によって前記処理液内から取り出される前から前記第二気体を噴出し始めてもよい。
前記気体噴出部は、前記第二気体として、乾燥された空気または乾燥された不活性ガスを噴出してもよい。
前記隔壁の一方側に設けられ、該隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出する排出部をさらに備え、
前記排出部は、前記上下方向移動部によって前記引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体の下端よりも上方に位置づけられていてもよい。
前記排出部は、前記上下方向移動部によって前記引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体の中心よりも上方に位置づけられていてもよい。
前記排出部は、前記上下方向移動部によって前記引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体の上端よりも上方に位置づけられていてもよい。
前記排出部は、前記被処理体が前記上下方向移動部によって前記処理液内から取り出されている間、または、前記処理液内から取り出された後で、前記隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出し始めてもよい。
前記気体噴出部は、下方または斜め下方に向かって第二気体を噴出し、
前記排出部は、前記気体噴出部よりも上方に位置づけられていてもよい。
前記排出部は、前記気体噴出部が第二気体を噴出し始めた後で、前記隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出し始めてもよい。
前記第一気体供給部から供給される第一気体の流量は調整可能となっており、
前記第一気体供給部から供給される第一気体の流量は、前記気体噴出部が第二気体を噴出する際において、該気体噴出部が第二気体を噴出し始める前と比較して減少されてもよい。
前記第一気体供給部は、前記気体噴出部が第二気体を噴出する際に第一気体の供給を停止してもよい。
間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置を用いた処理方法において、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備えている。
間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムにおいて、
前記処理方法が、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備えた方法からなっている。
間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記処理方法が、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備えた方法からなっている。
以下、本発明に係る処理装置、処理方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1乃至図6は本発明の実施の形態を示す図である。
次に、図7により、本発明の実施の形態の変形例について説明する。図7に示す実施の形態の変形例は、遮蔽部12に、当該遮蔽部12を上下方向に駆動する複数の遮蔽駆動部80が設けられたものであり、その他の構成は図1乃至図6に示す上述した実施の形態と略同一である。
11 排出部
12 遮蔽部
12a 一方側遮蔽部
12b 他方側遮蔽部
13 延在遮蔽部
20 第二搬送機構(搬送機構)
21 支持部
23 搬送駆動部
25 間隙
28 隔壁
27 ファン・フィルター・ユニット(第一気体供給部)
30 第一薬液処理部
31 第一薬液槽(処理槽)
32 第一薬液昇降機構(上下方向移動部)
35 第二薬液処理部
36 第二薬液槽(処理槽)
37 第二薬液昇降機構(上下方向移動部)
40 第一リンス液処理部
41 第一リンス液槽
42 第一リンス液昇降機構
45 第二リンス液処理部
46 第二リンス液槽
47 第二リンス液昇降機構
C1 第一薬液
C2 第二薬液
R1 第一リンス液
R2 第二リンス液
Wg 被処理体
Claims (12)
- 間隙を有する隔壁と、
前記隔壁の一方側に配置され、被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、
前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と、該隔壁の他方側に設けられ該支持部を移動させる搬送駆動部と、を有する搬送機構と、
前記被処理体を、該処理液内から取り出して引き上げ位置に位置づける上下方向移動部と、
前記処理槽の上方から第一気体を供給する第一気体供給部と、
引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に対して下方または斜め下方に向かって第二気体を噴出する気体噴出部と、
前記隔壁の一方側に設けられ、該隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出する排出部と、
を備え、
前記排出部は、前記気体噴出部よりも上方に位置づけられていることを特徴とする処理装置。 - 前記気体噴出部は、前記被処理体が前記上下方向移動部によって前記処理液内から取り出される前から前記第二気体を噴出し始めることを特徴とする請求項1に記載の処理装置。
- 前記気体噴出部は、前記第二気体として、露点温度が−20℃以下からなるガスを噴出することを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記排出部は、前記上下方向移動部によって前記引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体の中心よりも上方に位置づけられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記排出部は、前記上下方向移動部によって前記引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体の上端よりも上方に位置づけられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記排出部は、前記被処理体が前記上下方向移動部によって前記処理液内から取り出されている間、または、前記処理液内から取り出された後で、前記隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出し始めることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記排出部は、前記気体噴出部が第二気体を噴出し始めた後で、前記隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出し始めることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記第一気体供給部から供給される第一気体の流量は調整可能となっており、
前記第一気体供給部から供給される第一気体の流量は、前記気体噴出部が第二気体を噴出する際において、該気体噴出部が第二気体を噴出し始める前と比較して減少されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の処理装置。 - 前記第一気体供給部は、前記気体噴出部が第二気体を噴出する際に第一気体の供給を停止することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の処理装置。
- 間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置を用いた処理方法において、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
排出部から隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出する工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に対して下方または斜め下方に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備え、
前記排出部が前記気体噴出部よりも上方に位置づけられた位置で前記雰囲気を吸引して排出することを特徴とする処理方法。 - 間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムにおいて、
前記処理方法は、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
排出部から隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出する工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に対して下方または斜め下方に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備え、
前記排出部が前記気体噴出部よりも上方に位置づけられた位置で前記雰囲気を吸引して排出する方法からなることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 間隙を有する隔壁と、前記隔壁の一方側に配置されて被処理体を処理する処理液が貯留された処理槽と、前記隔壁の前記間隙を通過可能な支持部と該隔壁の他方側に設けられて該支持部を移動させる搬送駆動部とを有する搬送機構とを含む処理装置に処理方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体において、
前記処理方法は、
第一気体供給部によって、前記処理槽の上方から第一気体を供給する工程と、
前記搬送駆動部によって、前記支持部上に載置された前記被処理体を移動させる工程と、
上下方向移動部によって、前記支持部から前記被処理体を受け取り、該被処理体を前記処理液内に浸漬させる工程と、
前記上下方向移動部によって、前記被処理体を前記処理液から取り出して引き上げ位置に位置づける工程と、
排出部から隔壁の一方側の雰囲気を吸引して排出する工程と、
気体噴出部によって、引き上げ位置に位置づけられた前記被処理体に対して下方または斜め下方に向かって第二気体を噴出する工程と、
を備え、
前記排出部が前記気体噴出部よりも上方に位置づけられた位置で前記雰囲気を吸引して排出する方法からなることを特徴とする記憶媒体。
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