JP5212829B2 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Description
また、窒化物半導体層上に、Inを含む窒化物半導体層を形成することが好ましい。
また、掘り込み領域の側壁上に形成された窒化物半導体層の表面は、掘り込まれていない領域上に形成された窒化物半導体層の表面と等価な結晶面であることが好ましい。
また、窒化物半導体基板の掘り込まれていない領域上の窒化物半導体層に、光導波路構造が形成されることが好ましい。
図1は、本実施の形態の窒化物半導体発光素子の模式的な断面図である。本実施の形態の窒化物半導体発光素子は、図1に示されるように、無極性窒化物半導体基板50の上に、窒化物半導体層51が形成された窒化物半導体発光素子であって、無極性窒化物半導体基板50には、掘り込み領域Bと掘り込まれていない領域Aが形成されており、掘り込まれていない領域A上に形成された窒化物半導体層51の表面51aと、掘り込み領域B上に形成された窒化物半導体層51の側壁51bとのなす角度θが、110°以上120°以下であることを特徴とする(角度θが110°以上120°以下を満たすときの掘り込み領域Dの窒化物半導体層51の側壁のことを「無極性面」とも称する)。
図2は、掘り込み領域が形成された無極性窒化物半導体基板を模式的に示す断面図である。
掘り込み領域の「掘り込み深さ」は、図2のfに示されるように、無極性窒化物半導体基板50の掘り込まれていない領域の表面から掘り込み領域の底面部までの距離のことを意味する。当該掘り込み深さは3μm以上15μm以下であることが好ましく、3μm以上7μm以下であることがより好ましい。
図3(b)において、無極性窒化物半導体基板の掘り込まれていない表面と掘り込み領域の側壁とのなす角度φは100°以上120°以下であることが好ましく、この範囲の中でも120°に近づくことがより好ましく、さらに好ましくは120°である。
図4(a)〜(e)は、無極性窒化物半導体基板に掘り込み領域を形成する工程を示す図である。
図5において(a)は、本実施の形態の窒化物半導体発光素子を光出射方向から見たときの模式的な断面図であり、(b)は、本実施の形態の窒化物半導体発光素子を上面から見た図である。
図5(a)は本発明における実施例1の窒化物半導体発光素子を光出射方向から見た断面模式図であり、図5(b)は実施例1の窒化物半導体発光素子を上面側から見た模式図である。
<掘り込み領域の形成>
まず、厚み0.1μmのm面{1−100}のn型GaNからなる無極性窒化物半導体基板50の表面に掘り込み領域を形成した。すなわち、図4(a)に示されるようにn型GaNからなる無極性窒化物半導体基板50の全面に膜厚1μmのSiO2膜60をスパッタ法で成膜した。そして、図4(b)に示されるようにフォトリソ工程により、[0001]方向に幅5μm、周期200μmのストライプのウィンドウをレジスト61に形成した。
次に上記で得られた加工基板50a上に、層厚2.2μmのn型Al0.050Ga0.950N第一クラッド層、層厚0.1μmのn型GaNガイド層、層厚4nmのInGaNと層厚8nmのInGaNからなるInGaN−2QW活性層、層厚20nmのp型Al0.15Ga0.85N蒸発防止層、層厚0.05μmのp型GaNガイド層、層厚0.5μmのp型Al0.050Ga0.950Nクラッド層、および層厚0.1μmのp型GaNコンタクト層がn型GaN基板側からこの順にMOCVDで成長させて、掘り込み領域を有する窒化物半導体ウエハを得た。
上記で得られた窒化物半導体ウエハを窒化物半導体発光素子に加工するプロセスは、一般的な方法を用いるためここでは詳細には説明しないが概略は以下の通りである。
図6は、実施例1で作製された無極性窒化物半導体発光素子の掘り込み領域周辺部をSEMで観察したときの断面写真である。
本実施例により作製された窒化物半導体発光素子の掘り込み領域と掘り込まれていない領域とに対して同時に電流注入することによりその自然放出光の発光スペクトルを測定した。
Claims (9)
- 無極性窒化物半導体基板上に窒化物半導体層が形成され、前記窒化物半導体層上にInを含む窒化物半導体層が形成された窒化物半導体発光素子であって、
前記無極性窒化物半導体基板には、掘り込み領域と掘り込まれていない領域とが形成されており、
前記掘り込まれていない領域上に形成された前記窒化物半導体層の表面と、前記掘り込み領域の側壁上に形成された前記窒化物半導体層とのなす角度は、110°以上120°以下である、窒化物半導体発光素子。 - 前記掘り込まれていない領域の無極性窒化物半導体基板の表面と、前記掘り込み領域の無極性窒化物半導体基板の側壁とのなす角度は、100°以上120°以下である、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記掘り込み領域の掘り込み深さは、3μm以上15μm以下である、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記掘り込み領域の開口幅は、3.5μm以上50μm以下である、請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記Inを含む窒化物半導体層のIn組成は、15%以上45%以下である、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体層の層厚は、0.5μm以上3μm以下である、請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記掘り込み領域の側壁上に形成された前記窒化物半導体層の表面は、前記掘り込まれていない領域上に形成された前記窒化物半導体層の表面と等価な結晶面である、請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記等価な結晶面は、無極性面である、請求項7に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体基板の掘り込まれていない領域上の窒化物半導体薄膜に、光導波路構造が形成される、請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
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