JP5180762B2 - ウエハの保護膜形成方法 - Google Patents
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Description
下記[表1]に示すエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、充填材、カップリング剤、カーボンブラックをプラネタリーミキサーを用いて混練し、これにメチルエチルケトンを樹脂量が80質量%となるように配合することによって、粘度を3000cps(3000mPa・s)に調整した樹脂ワニスを得た。なお、エポキシ樹脂と硬化剤の配合比はエポキシ基/フェノール性水酸基=1とした。
キャリア材1を剥離する前に、シート材3を貼り合わせたウエハ5を乾燥機に入れて、40℃、1時間加熱してエージングするようにした以外は、実施例1と同様に保護膜6を形成し、ノッチ4部分のエポキシ樹脂シート2の有無を確認した。
キャリア材1を剥離する前に、シート材3を貼り合わせたウエハ5を乾燥機に入れて、70℃、10分間加熱してエージングするようにした以外は、実施例1と同様に保護膜6を形成し、ノッチ4部分のエポキシ樹脂シート2の有無を確認した。
エポキシ樹脂シート2の厚みを100μm、幅を1cmとした以外は、実施例1〜3及び比較例1と同様にして各シート材3を作製した。
支持体であるプラスチックダンボール片(幅70mm、長さ100mm)にこれと同一寸法のシート材3のエポキシ樹脂シート2をあらかじめ接着して固定した後、キャリア材1を引張試験機で垂直方向に引っ張ることによって、キャリア材1とエポキシ樹脂シート2との密着力を測定した。その結果を下記[表1]に示す。
2 エポキシ樹脂シート
3 シート材
4 ノッチ
5 ウエハ
6 保護膜
Claims (7)
- キャリア材の表面にエポキシ樹脂及び充填材を含有するエポキシ樹脂組成物を溶剤で希釈したものを塗布し、これを加熱乾燥して半硬化状態のエポキシ樹脂シートを設けることによって形成されたシート材の前記エポキシ樹脂シートを、ノッチが設けられたウエハの表面に重ねて前記シート材を貼り合わせる工程と、前記キャリア材を剥離して前記エポキシ樹脂シートで前記ウエハの表面に保護膜を形成する工程とを有するウエハの保護膜形成方法であって、前記シート材として、25±2℃の環境下において10mm/分の速度で前記キャリア材から前記エポキシ樹脂シートを破断するまで引っ張って剥離する引張試験を行った場合に前記エポキシ樹脂シートの伸び({(破断時のエポキシ樹脂シートの長さ−引張試験開始時のエポキシ樹脂シートの長さ)/引張試験開始時のエポキシ樹脂シートの長さ}×100)が0〜150%であり、かつ、前記キャリア材と前記エポキシ樹脂シートとの密着力が0.001〜0.2kN/mであるものを用いると共に、前記キャリア材を剥離する場合に前記ノッチとこれ以外の部分との境界で前記エポキシ樹脂シートを凝集破壊により切断することを特徴とするウエハの保護膜形成方法。
- 前記シート材を貼り合わせる工程と前記キャリア材を剥離する工程との間に、前記ウエハに貼り合わされた前記シート材を40〜100℃の温度で加熱してエージングする工程を有することを特徴とする請求項1に記載のウエハの保護膜形成方法。
- 前記エポキシ樹脂として、液状のもの及び軟化温度が70℃以下の固形状のものから選ばれるものを用い、前記充填材として溶融シリカを用いると共に、前記溶融シリカの含有量が前記エポキシ樹脂組成物全量に対して50〜85質量%であることを特徴とする請求項1又は2に記載のウエハの保護膜形成方法。
- 前記充填材としてシリコーンパウダーを用いると共に、前記シリコーンパウダーの含有量が前記エポキシ樹脂組成物全量に対して2〜10質量%であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のウエハの保護膜形成方法。
- 前記充填材として架橋アクリルゴムを用いると共に、前記架橋アクリルゴムの含有量が前記エポキシ樹脂組成物全量に対して2〜10質量%であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のウエハの保護膜形成方法。
- 前記エポキシ樹脂シートの厚みが10〜200μmであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のウエハの保護膜形成方法。
- 前記キャリア材において前記エポキシ樹脂組成物が塗布される面の表面粗度Raが0.2〜0.8μmであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のウエハの保護膜形成方法。
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