JP5170395B2 - ウエハ及びその温度試験方法 - Google Patents
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Description
本実施の形態によれば、ウエハレベルの温度試験が実施される。その温度試験時、ウエハ温度は所定の目標温度に保たれる。本実施の形態では、温度試験時にウエハ温度の制御を行うための機構がウエハそのものに予め形成されている。
次に、本実施の形態に係る温度制御回路20の一例を詳しく説明する。図2に示されるように、温度制御回路20は、制御回路21、温度検出回路22及び発熱回路23を含んでいる。このうち制御回路21は温度制御パッド10に接続されている。また、制御回路21、温度検出回路22及び発熱回路23は、電源線及びグランド線に接続されている。電源線やグランド線は、電源電圧VDDやグランド電圧GNDが供給される電源パッド11に接続されている。
本発明の第1の実施の形態では、上述の温度制御回路20が、ウエハ1に形成された複数の半導体チップの各々に内蔵される。
図10は、本発明の第2の実施の形態に係るウエハ1を概念的に示している。第2の実施の形態では、上述の温度制御回路20が、ウエハ1内において複数のICチップ5から独立して設けられている。より詳細には、ウエハ1には、複数のICチップ5の他に温度制御領域7が形成されている。温度制御領域7は、ICチップ5とは異なる領域であり、例えばICチップ5間に挟まれている。本実施の形態では、その温度制御領域7に温度制御パッド10及び温度制御回路20が形成されている。各ICチップ5は、温度制御回路20とは無関係に動作する。
温度制御回路20は、電源の供給に応答して自動的に起動するように構成されていてもよい(パワーONリセット)。図11は、第3の実施の形態に係る温度制御回路20の構成例を示している。図11に示されるように、温度制御回路20の制御回路21、温度検出回路22及び発熱回路23は、電源線及びグランド線に接続されている。電源線やグランド線は、電源電圧VDDやグランド電圧GNDが供給される電源パッド11に接続されている。
5 ICチップ
7 温度制御領域
10 温度制御パッド
11 電源パッド
20 温度制御回路
21 制御回路
22 温度検出回路
23 発熱回路
24 記憶回路
30 論理回路ブロック
41 電流源
42 キャパシタ
43 インバータ
44 インバータ
45 カウンタ
46 スイッチ
47 MOSトランジスタ
48 抵抗
50 外部制御装置
SA 起動信号
ST 終了信号
CON1 内部制御信号
CON2 内部制御信号
PT 目標温度データ
DT 測定温度データ
Claims (8)
- 複数の半導体チップが形成されたウエハであって、
前記ウエハに埋め込まれ、周囲の温度を所定の目標温度に制御する温度制御回路と、
前記温度制御回路を起動するための起動信号及び前記温度制御回路を停止させるための終了信号が外部から入力されるパッドと
を備え、
前記温度制御回路は、前記起動信号に応答して起動した後、前記終了信号が入力されるまで、他の制御信号を受けることなく自動的に温度制御を行い、
前記温度制御回路は、
前記起動信号に応答して起動する制御回路と、
前記制御回路からの指示に応じて周囲の温度を測定し、前記測定された温度を示す測定温度データを前記制御回路に出力する温度検出回路と、
前記制御回路からの指示に応じて発熱を行う発熱回路と
を含み、
前記制御回路は、前記目標温度を示す目標温度データを記憶する記憶回路を含み、前記温度検出回路によって測定される温度が前記目標温度となるように前記発熱回路の動作を制御し、
前記目標温度データは、前記起動信号の入力より前に前記記憶回路に記録され、
前記制御回路は、前記終了信号に応答して、前記目標温度データを書き換えて前記目標温度を低下させる
ウエハ。 - 請求項1に記載のウエハであって、
前記温度制御回路及び前記パッドは、前記ウエハ内の前記複数の半導体チップ以外の領域に形成されている
ウエハ。 - 請求項1に記載のウエハであって、
前記複数の半導体チップの各々が、前記パッドを有し、
前記温度制御回路は、前記複数の半導体チップの各々に内蔵されている
ウエハ。 - 請求項3に記載のウエハであって、
前記複数の半導体チップ内の温度は独立して前記目標温度に制御される
ウエハ。 - 請求項3又は4に記載のウエハであって、
前記各々の半導体チップに内蔵されている前記温度制御回路の数は複数である
ウエハ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載のウエハであって、
前記パッドは、電源電圧が供給される電源パッドであり、
前記起動信号は、前記電源電圧であり、
前記温度制御回路は、前記電源電圧の入力に応答して自動的に起動する
ウエハ。 - 周囲の温度を所定の目標温度に制御する温度制御回路と、
前記温度制御回路を起動するための起動信号及び前記温度制御回路を停止させるための終了信号が外部から入力されるパッドと
を備え、
前記温度制御回路は、前記起動信号に応答して起動した後、前記終了信号が入力されるまで、他の制御信号を受けることなく自動的に温度制御を行い、
前記温度制御回路は、
前記起動信号に応答して起動する制御回路と、
前記制御回路からの指示に応じて周囲の温度を測定し、前記測定された温度を示す測定温度データを前記制御回路に出力する温度検出回路と、
前記制御回路からの指示に応じて発熱を行う発熱回路と
を含み、
前記制御回路は、前記目標温度を示す目標温度データを記憶する記憶回路を含み、前記温度検出回路によって測定される温度が前記目標温度となるように前記発熱回路の動作を制御し、
前記目標温度データは、前記起動信号の入力より前に前記記憶回路に記録され、
前記制御回路は、前記終了信号に応答して、前記目標温度データを書き換えて前記目標温度を低下させる
半導体チップ。 - 複数の半導体チップが形成されたウエハの温度試験方法であって、
前記ウエハには、周囲の温度を所定の目標温度に制御する温度制御回路が埋め込まれており、
前記温度制御回路は、
周囲の温度を測定する温度検出回路と、
発熱を行う発熱回路と、
前記目標温度を示す目標温度データを記憶する記憶回路と
を含み、
前記温度試験方法は、
前記目標温度データを、起動信号の入力より前に前記記憶回路に記憶させるステップと、
前記起動信号を入力することにより前記温度制御回路を起動するステップと、
前記温度検出回路によって測定される温度が前記目標温度となるように前記発熱回路の動作を制御することによって、外部から制御信号を入力することなく前記ウエハ内の温度を前記目標温度に自動的に制御するステップと、
終了信号を入力することにより前記温度制御回路の動作を停止させ、また、前記目標温度データを書き換えて前記目標温度を低下させるステップと
を含む
温度試験方法。
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