JP5161911B2 - 抵抗変化メモリ - Google Patents
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Description
(1) 抵抗変化メモリ
(a) 全体構成
図1乃至図7を用いて、実施形態に係る抵抗変化メモリについて、説明する。
図3において、図2における2つのメモリセルアレイM1,M2内のセルユニットCU1,CU2が示されている。この場合、図2における2つのメモリセルアレイM3,M4内のセルユニットの構成は、図2における2つのメモリセルアレイM1、M2内のセルユニットの構成と同じになる。
1つのセルユニットにおいて、メモリ素子と整流素子との接続関係は、メモリ素子と整流素子の位置関係が2通り、整流素子の向きが2通りで、合計4通り存在する。したがって、2つのメモリセルアレイ内のセルユニットに関して、メモリ素子と整流素子の接続関係のパターンは、16通り(4通り×4通り)存在する。図4のa〜pは、この16通りの接続関係を表している。本実施形態は、これら16通りの接続関係の全てに対して適用可能である。
図7を用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの動作について、説明する。
メモリセルアレイM1は、図2のメモリセルアレイM1に相当し、メモリセルアレイM2は、図2のメモリセルアレイM2に相当する。セルユニットCU1,CU2内のメモリ素子及び非オーミック素子(例えば、整流素子)の接続関係は、図4のaに相当する。
メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して書き込み(セット)動作が実行される場合について説明する。
また、例えば、リセット状態を高抵抗状態(100kΩ〜1MΩ)とし、セット状態を低抵抗状態(1kΩ〜10kΩ)とする。
次に、メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して消去(リセット)動作を行う場合について説明する。
次に、メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して読み出し動作を行う場合について説明する。
図8乃至図14を用いて、第1の実施形態の抵抗変化メモリの基本例について、説明する。
図8は、本実施形態の抵抗変化メモリに用いられるセルユニットの基本例の鳥瞰図を示している。
・ 量子状態の相変化(金属-超伝導体転移など)
・ 常磁性体-強磁性体転移、反強磁性体-強磁性体転移、強磁性体-強磁性体転移、フェリ磁性体-強磁性体転移、これらの転移の組み合わせからなる転移
・ 常誘電体-強誘電体転移、常誘電体-焦電体転移、常誘電体-圧電体転移、強誘電体-強誘電体転移、反強誘電体-強誘電体転移、これらの転移の組み合わせからなる転移
・ 以上の転移の組み合わせからなる転移
例えば、金属、絶縁体、半導体、強誘電体、常誘電体、焦電体、圧電体、強磁性体、フェリ磁性体、螺旋磁性体、常磁性体又は反強磁性体から、強誘電強磁性体への転移、及び、その逆の転移
この定義によれば、可変抵抗素子は、相変化素子を含む。
図12の縦軸Cは、各層33,39が含むTi原子の濃度(単位:個/cm3)をログスケールで示している。Ti原子の濃度プロファイルは、実線で示されている。
図14の横軸Dは、シリコン層の深さ方向(積層方向)の寸法を示している。図14の縦軸Eは、シリコン層が含むボロン原子の濃度(単位:個/cm3)をログスケールで示している。図12において、拡散緩衝領域33bを含むシリコン層のボロンの濃度プロファイルは、実線で示され、拡散緩衝領域を含まないシリコン層のボロンの濃度プロファイルは、破線で示されている。
図15A乃至図16Bを用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法について説明する。尚、本製造方法において、形成されるセルユニットの構造は、メモリ素子が非オーミック素子上に積層された場合を例示する。しかし、本製造方法は、非オーミック素子がメモリ素子上に積層された構造にも適用できるのは、もちろんである。
但し、拡散緩衝領域33bは、シリサイド層の形成前であれば、積層体100を形成するための加工(図15Dにおける加工)が実行された後に、形成されてもよい。積層体100の形成後に拡散緩衝領域33bが形成される場合は、非オーミック素子の構成部材が、メモリ素子の構成部材上に積層される構造に、用いられることが好ましい。
図17乃至図19を用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの変形例について、説明する。図17乃至図19は、本変形例におけるセルユニットの断面構造を示している。
以下、本実施形態の抵抗変化メモリのセルユニットに用いられる材料例を説明する。
a) 酸化物
・ SiO2、Al2O3、Y2O3、La2O3、Gb2O3、Ce2O3、CeO2、Ta2O5、HfO2、ZrO2、TiO2、HfSiO、HfAlO、ZrSiO、ZrAlO、AlSiO
・ AB2O4
但し、A及びBは、同じ又は異なる元素で、かつ、Al、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Geの中から選択される1つ又は複数の組み合わせである。
・ ABO3
但し、A及びBは、同じ又は異なる元素で、かつ、Al、La、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au、Hg、Tl、Pb、Bi、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Snの中から選択される1つ又は複数の複数の組み合わせである。
b) 酸窒化物
・ SiON、AlON、YON、LaON、GdON、CeON、TaON、HfON、ZrON、TiON、LaAlON、SrHfON、SrZrON、SrTiON、HfSiON、HfAlON、ZrSiON、ZrAlON、AlSiON
・ 上述のa)の酸化物の酸素元素の一部を窒素元素で置換した材料
SiO2、SiN、SiONなどのSi系の絶縁膜に関しては、酸素元素、窒素元素の濃度がそれぞれ1×1018/cm3以上であるものを含む。
b). 酸化物、炭化物、ホウ化物、窒化物若しくはケイ化物としての化合物金属、
c). TiNx、TiCx、TiBx、TiSix、TaCx、TaBx、TaNx、WCx、WBx、W、WSix、TaCx、TaBx、TaNx、TaSix、LaBx、LaNx、LsSix、HfSix、Hf、YSix、ErSix、NiSix、PtSix、PdSix、CoSix、MnSix、CrSix、FeSix (但し、x>0)
のうちの一つまたは複数の組み合わせから構成されるてもよい。
本発明によれば、抵抗変化メモリに要求される非オーミック素子の特性を満たし、非オーミック素子の厚さも十分に薄くすることができる。
Claims (8)
- 第1方向に延びる第1の配線と、
前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2の配線と、
前記第1の配線と前記第2の配線との交点に設けられ、抵抗状態の変化に応じてデータを記憶するメモリ素子と非オーミック素子とが直列接続されたセルユニットと、を具備し、
前記非オーミック素子は、拡散緩衝領域を含む半導体層と、前記半導体層に隣接する導電層とを有し、
前記拡散緩衝領域の結晶構造は、前記半導体層内の前記拡散緩衝領域を除く領域の結晶構造と異なり、
前記半導体層は、前記導電層側に設けられた第1の半導体領域と、前記第1の半導体領域を挟んで前記導電層に対向する第2の半導体領域と、を有し、
前記第1の半導体領域の不純物濃度は、前記第2の半導体領域の不純物濃度よりも高く、
前記拡散緩衝領域は、前記第1の半導体領域中に設けられている、
ことを特徴とする抵抗変化メモリ。 - 前記非オーミック素子は前記半導体層内に真性半導体層を有するpinダイオードであり、前記拡散緩衝領域は前記導電層と前記真性半導体層との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記非オーミック素子は、前記第1の半導体領域としてのp型又はn型の半導体領域と、前記第1の半導体領域と反対の導電型の第3の半導体領域と、前記第1及び第3の半導体領域間に挟まれた前記第2の半導体領域としての真性半導体領域とを前記半導体層内に有するpinダイオードであり、
前記拡散緩衝領域は、前記第1の半導体領域としての前記p型又はn型の半導体領域の内部に設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。 - 前記拡散緩衝領域は、前記半導体層の構成原子の酸化物、窒化物、酸窒化物及び炭化物の中から選択された少なくとも1つから構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記半導体層内の前記拡散緩衝領域を除く半導体領域は、シリコン、シリコンゲルマニウム、シリコンカーバイド及びシリコン錫の中から選択される1つから構成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の抵抗変化型メモリ。
- 前記拡散緩衝領域は、単結晶、多結晶、アモルファス及び結晶粒界の中から選択される1つから構成されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記導電層は、シリサイドからなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記拡散緩衝層は、前記第1及び第2の半導体領域の界面から離れていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
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