JP2009123725A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】記録材料と選択素子の両方を薄膜で形成する場合、書換え動作等の熱により、記録材料層と隣接する層からの記録材料への原子拡散を防止し、安定な書換え条件を保つ相変化メモリを提供する。
【解決手段】相変化メモリは、第一金属配線層102上に、第一ポリシリコン層107、第二ポリシリコン層106、半導体層105、不揮発性記録材料層104、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した構造である。不揮発性記録材料層104と第一、第二ポリシリコン層107、106との間に、5nm以上200nm以下の膜厚の半導体層105が設けられているので、書換え動作の際に発生する熱によりpnポリシリコンダイオード内に不純物としてドーピングされている原子が不揮発性記録材料層104まで拡散することを抑制することができる。
【選択図】図1
【解決手段】相変化メモリは、第一金属配線層102上に、第一ポリシリコン層107、第二ポリシリコン層106、半導体層105、不揮発性記録材料層104、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した構造である。不揮発性記録材料層104と第一、第二ポリシリコン層107、106との間に、5nm以上200nm以下の膜厚の半導体層105が設けられているので、書換え動作の際に発生する熱によりpnポリシリコンダイオード内に不純物としてドーピングされている原子が不揮発性記録材料層104まで拡散することを抑制することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、金属化合物の結晶状態と非晶質状態との間の相変化により決まる抵抗値を不揮発に記憶する、電気的に書換え可能な相変化メモリ装置に関する。
不揮発性記憶装置には、金属化合物の結晶状態と非晶質状態を記憶情報として用いるものがある。この記憶材料としては、一般にテルル化合物が用いられる。それらの反射率の違いで情報を記憶する原理は、DVD(ディジタル・バーサタイル・ディスク)のような光学的情報記憶媒体に広く用いられている。
近年になり、この原理を電気的情報記憶にも用いる提案がなされている。これは光学的手法と異なり、非晶質と結晶との電気抵抗の差、即ち、非晶質の高抵抗状態と結晶の低抵抗状態を、電流量あるいは電圧変化で検出する方法である。 後者の電気的情報記憶に用いられるものは相変化メモリと呼ばれ、相変化メモリの基本的なメモリセルの構造は、相変化抵抗素子と選択素子とを組み合わせた構造である。相変化メモリは、相変化抵抗素子に電流を加えることで発生するジュール熱により相変化抵抗素子の構成要素である不揮発性記録材料層を結晶状態、若しくは非晶質状態とする。また、相変化メモリは、不揮発性記憶材料層の結晶状態、若しくは非結晶状態を維持することで情報を記憶、保持する。その書換えは、電気的に高抵抗の非晶質状態にする場合、大電流を印加し不揮発性記憶材料である抵抗変化材料の温度が融点以上となるようにした後、急冷すればよく、電気的に低抵抗の結晶状態にする場合、印加する電流を制限して融点より低い結晶化温度になるようにすればよい。一般に不揮発性記録材料層の抵抗値は相変化により2桁から3桁程度変化する。このため、相変化メモリは、結晶か非晶質かによって読み出し信号が大きく異なり、センス動作が容易である。
従来の相変化メモリの書換えにおいて、結晶状態から非晶質状態に、若しくは非晶質状態から結晶状態に相変化させるため、不揮発性記録材料層は非常に高い温度まで加熱される。このため、書換えを繰り返すにしたがって、不揮発性記録材料層に近接した膜から、不揮発性記録材料層に近接した膜を構成する原子が拡散し、書換え条件が変化するという課題があった。
従来の技術、例えば、特開2006−514392号公報(特許文献1)に記載の技術では、不揮発性記録材料層と選択素子との間に電気的な接続がオーミックとなる金属膜を配置しているが、金属膜から金属元素が不揮発性記録材料層に拡散し、書換え条件が変化することが課題となる。また、特開2001−514392号公報(特許文献2)では、不揮発性記録材料層と選択素子の間に、書換え時に発生する不揮発性記録材料層からの熱の拡散を防ぐため導電性断熱膜を配置しているが、不揮発性記録材料層の非晶質化に必要な急冷が困難となるという課題がある。本発明の目的は、不揮発性記録材料層に隣接する層からの原子拡散を防ぎ、あるいは仮に拡散したとしても書換え条件に影響しない原子となるようにし、さらには非晶質化のための急冷も容易にすることで、安定な書換え条件を保つ相変化メモリを提供することにある。
本発明に係る代表的なものを挙げると、本発明は、第1電極と、第2電極と、第1電極および第2電極との間に形成された、不揮発性記録材料層および選択素子と、不揮発性記録材料層と選択素子との間に形成された、不揮発性記録材料層に含まれる元素を含む半導体層とを有するものである。なお、以下、不揮発性記録材料層と選択素子との間に形成された、不揮発性記録層に含まれる元素を含む半導体層を単に半導体層と呼ぶ。
本発明により、書換え条件が安定な相変化メモリが得られる。例えば、書換え時間が50ns以下で109回以上書換えが可能な不揮発性メモリが実現する。
本発明の不揮発性メモリのメモリセルを、図1〜図4を用いて説明する。構造としては、不揮発性記録材料層と選択素子とが別階層となって、プラグを介して電気的に接続されているものとは異なり、プラグを介さずに不揮発性記録材料層と選択素子とが同階層で電気的に接続されている、いわゆるピラー構造で説明する。また、ここでは、選択素子としてpnポリシリコンダイオードを例に説明する。そのため、図1〜図4では、pn接合を形成する第一ポリシリコン層と第二ポリシリコン層とを示しているが、np接合やpin接合、nip接合のような他の接合となる構造であってもよい。若しくは金属配線層とポリシリコン層とのショットキー接合を用いた選択素子をメモリセルに用いてよい。また、不揮発性記録材料層はGe2Sb2Te5を例にここでは説明するが、カルコゲン元素(S,Se,Te)のうちの少なくとも1元素を含む材料で組成を選択することにより同程度の性能を得られる。
以下の各実施例において、それぞれ異なる積層順に積層した構造および、適切な膜厚について、まとめて述べる。
図1は第一金属配線層102上に、第一ポリシリコン層107、第二ポリシリコン層106、半導体層105、不揮発性記録材料層104、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した、実施例1に述べる構造である。
不揮発性記録材料層104を半導体層105、第一ポリシリコン層107および第二ポリシリコン層106上に形成されている。このように、第一ポリシリコン層107および第二ポリシリコン層106により構成されたpnポリシリコンダイオードと不揮発性記録材料層104との間に半導体層105が設けられているので、書換え動作の際に発生する熱によりpnポリシリコンダイオード内に不純物としてドーピングされている原子が不揮発性記録材料層104まで拡散することを抑制することができる。 半導体層105の膜厚は、厚過ぎても薄過ぎても機能を発揮できない。厚過ぎると、導電性であっても抵抗が大きくなり過ぎ、その温度依存性により不揮発性記録材料層104の抵抗値の温度マージンが不足する。薄過ぎると、不揮発性記録材料層104の記憶書き込み時の繰り返し温度上昇で選択素子の特性劣化が防止できない。
膜厚と、低抵抗状態・高抵抗状態の高温での抵抗比の関係は、半導体層105の膜厚が160nmの場合には、低抵抗状態・高抵抗状態の抵抗比は約1:20となり、200nmの場合には、約1:10、240nmの場合には約1:5となる。このような抵抗変化型の不揮発性メモリでは、低抵抗状態と高抵抗状態の抵抗比としては、誤読み出し防止の観点から10倍程度必要とされていることから、半導体層105の膜厚は200nm以下である。
一方、膜厚と書き換え可能回数との関係は、半導体層105の膜厚が3nmの場合には、書換え可能回数は、約10の5乗回であり、5nmの場合には、約10の6乗回、8nmの場合には、約10の6乗回となる。抵抗変化型の不揮発性メモリでは、少なくとも約10の6乗回の書換え可能回数を有する必要があるため、半導体層105の膜厚は5nm以上である。
図2は第一金属配線層102上に、不揮発性記録材料層104、半導体層105、第二ポリシリコン層106、第一ポリシリコン層107、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した、実施例2に述べる構造である。
不揮発性記録材料層104を半導体層105および第二ポリシリコン層106および第一ポリシリコン層107より下に形成されている。このように、第一ポリシリコン層107および第二ポリシリコン層106により構成されたpnポリシリコンダイオードと不揮発性記録材料層104との間に半導体層105が設けられているので、書換え動作の際に発生する熱によりpnポリシリコンダイオード内に不純物としてドーピングされている原子が不揮発性記録材料層104まで拡散することを抑制することができる。 半導体層105の膜厚は、厚過ぎても薄過ぎても機能を発揮できない。厚過ぎると、導電性であっても抵抗が大きくなり過ぎ、その温度依存性により不揮発性記録材料層104の抵抗値の温度マージンが不足する。薄過ぎると、不揮発性記録材料層104の記憶書き込み時の繰り返し温度上昇で選択素子の特性劣化が防止できない。
なお、図2の場合においても、膜厚と抵抗比の関係、膜厚と書換え可能回数との関係は前述した図1の場合と同様である。
図3は第一金属配線層102上に、第一ポリシリコン層107、第二ポリシリコン層106、半導体層105、不揮発性記録材料層104、半導体層105、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した、実施例3に述べる構造である。すなわち、実施例1で述べた構造の半導体層105と、第二金属配線層103との間にさらに半導体層105を新たに追加したものである。これにより、実施例1に述べた効果に加え、さらに第二金属配線層103内の金属原子の不揮発性記録材料層104への拡散を抑制することができ、金属原子起因の書換え条件の変化を抑制することができる。また、新たに追加された半導体層105により第二金属配線層103の熱サイクルによる劣化を抑制することができ、書換え可能回数が5倍以上向上する。
図4は第一金属配線層102上に、半導体層105、不揮発性記録材料層104、半導体層105、第二ポリシリコン層106、第一ポリシリコン層107、第二金属配線層103、第三金属配線層101を順に積層した、実施例4に述べる構造である。すなわち、実施例2で述べた構造の半導体層105と、第一金属配線層102との間にさらに半導体層105を新たに追加したものである。これにより、実施例2で述べた効果に加え、さらに第一金属配線層102内の金属原子の不揮発性記録材料層104への拡散を抑制することができ、金属原子起因の書換え条件の変化を抑制することができる。また、新たに追加された半導体層105により第一金属配線層102の熱サイクルによる劣化を抑制することができ、書換え可能回数が5倍以上向上する。
なお、図3〜図4の場合において、膜厚と書換え可能回数との関係は前述した図1の場合と同様である。また、半導体層105の合計膜厚と抵抗比の関係は、図1の場合と同様である。
以下、本発明の不揮発性メモリのメモリセルの製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態では、特に必要なとき以外は同一または同様な部分の説明を原則として繰り返さない。また、実施の形態で用いる図面においては、断面図であっても図面を見易くするためにハッチングを省略する場合もある。また、平面図であっても図面を見易くするためにハッチングを付す場合もある。
本実施形態において、本発明のメモリセルは図5に示す半導体基板201上に形成する。半導体基板201は、不揮発性メモリのみならず、不揮発性メモリのメモリマトリクスを動作させるための周辺回路をも形成するための基板である。周辺回路は既存のCMOS技術を用いて製造する。ここで、半導体基板とメモリマトリクスと周辺回路との位置関係を図6〜図8に示す。図6〜図8は半導体基板であるシリコン基板の素子形成表面に対する垂直方向の断面図を模式化したものである。本実施形態では、図6に示すように、周辺回路部上にメモリマトリクス部を製造する場合を例にとって説明する。すなわち、シリコン基板上に第1層目となる周辺回路部が形成され、第2層目にメモリマトリクス部が形成された積層構造である。なお、メモリマトリクスと周辺回路との位置関係は、図7に示すようにメモリマトリクス部と周辺回路部が同じ層にあってもよいし、図8に示すようにメモリマトリクス部と周辺回路部が同じ層にあり、かつ、メモリマトリクス部の下層にも周辺回路部がある積層構造でもよい。なお、図6および図8ではメモリマトリクス部が2層目となっているが、3層目、4層目であってもよく、少なくとも周辺回路部の上層にある例である。
図5は、半導体基板201上に、第一金属配線層202と、第一ポリシリコン層203と、第二アモルファスシリコン層204と、を順に堆積した構造を示している。第一金属配線層202はスパッタにより形成される。第一金属配線層202の材料はタングステンである。より好ましくは、抵抗率の低い材料の方が電圧降下は小さく、読み出し電流がとれるため、例えば、アルミ又は銅がよい。また、第一金属配線層202と半導体基板201の間には、接着性を向上させるため、TiNなどの金属化合物を堆積してもよい。
第一ポリシリコン層203は、ホウ素やガリウム、インジウムの何れかを含むアモルファスシリコンをLP−CVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition:低圧化学気相蒸着法)により堆積し、その後RTA(Rapid Thermal Annealing:急速加熱処理)により結晶化、及び不純物活性化を行い形成する。第一ポリシリコン層203は、50〜250nmの膜厚を有する。ここで、第一金属配線層202がタングステンである場合、第一ポリシリコン層203を形成するための材料はホウ素を含むアモルファスシリコンの方が、ガリウム又はインジウムを含むアモルファスシリコンよりもタングステンシリサイドが形成されにくいため望ましい。また、タングステンとアモルファスシリコンとが直接接触し、反応することによるタングステンシリサイドの形成を防ぐため、第一ポリシリコン層203と第一金属配線層202との間にTiNなどの金属化合物を堆積してもよい。次に、第二アモルファスシリコン層204はリンや砒素を含むアモルファスシリコンをLP−CVDにより堆積することにより得られる。第二アモルファスシリコン層204は50〜250nmの膜厚を有する。
図9は、図5で堆積した第二アモルファスシリコン層204にレーザアニールを施す工程を示している。レーザアニールにより、第二アモルファスシリコン層204の結晶化と不純物活性化を行うことで、第二ポリシリコン層205を形成する。本実施例において、メモリセルを構成する選択素子はpnダイオードである。そのため、第一ポリシリコン層203と第二ポリシリコン層205との接合はpn接合として説明するが、np接合やpin接合、pi接合のような他の接合、若しくは第一金属配線層203とのショットキー接合の選択素子をメモリセルに用いてもよい。
図10は、図9上に、半導体層206と、不揮発性記録材料層207と、第二金属配線層208を順に堆積した後の構造を示した図である。半導体層206と、不揮発性記録材料層207と、第二配線層208はスパッタにより堆積する。
不揮発性記録材料層207の材料はGe2Sb2Te5であり、5〜300nmの膜厚を有するが、より好ましくは、後工程のドライエッチングや絶縁性材料の埋め込みが行いやすいように、アスペクト比が低くなるよう、5〜50nmの膜厚が望ましい。
半導体層206は、不揮発性記録材料層104の構成元素を含む材料で構成された半導体層である。このような層を用いることにより、レーザアニールでの高温状態により、不揮発性記録材料層への半導体層206からの一部元素の拡散が起きたとしても、書き換え特性やダイオード特性への影響を実用上問題ない程度に抑制することができる。例えばGe−Sb−Te系材料中にGeが拡散しても、メモリ特性の変化は問題が無い程度である。
半導体層206は、不揮発性記録材料層207の書換え条件の変化が発生しにくいGeを材料とし、5nm以上200nm以下の膜厚を有する。この膜厚の範囲の理由は、前述した通りである。そして、Geの含有量は90原子%以上が望ましい。また、Geに変えて、Ge−Si混合材料を用いても同様の効果が得られる。この場合においても、膜厚については、5nm以上200nm以下が望ましい。さらに、この他、Geと、Si以外の元素とを含む材料でも良い。この場合には、Ge含有量が40原子%以上であれば、不揮発性メモリの書換え特性が劣化しにくく、好ましい。すなわち、半導体層206としては、Ge−Si混合材料以外の場合において、少なくとも40原子%以上のGeが含有されている材料で構成されている。さらに、この半導体層206として、Ge以外の公知の各種半導体材料を用いてもよく、InSb、GaSbを用いても良い。特に半導体層として重要な点は、該半導体層が、不揮発性記録材料層を構成する材料を含む半導体材料で構成されていることである。これらの場合であっても、膜厚については、5nm以上200nm以下が望ましい。
本実施例において、不揮発性記録材料層207の構成元素はGe2Sb2Te5を例にとったが、Ge3Sb2Te6やGe5Sb2Te8、Ge−Teなどの不揮発性記録材料層を用いてもよい。情報書き換え原理として相変化メモリの原理が1例であるが、それ以外に固体電解質メモリの原理を用いる場合は、例えばCu2Se層やGeSe層を不揮発性記録材料層とし、第一金属配線層および第二金属配線層の少なくとも一方をCuとしても良い。但し、固体電解質メモリは、書き込み動作と消去動作とで逆の方向の電圧を印加する双方向の動作方式と、書き込み動作と消去動作とで同方向の電圧を印加する1方向の動作方式とがあるが、ここでは不揮発性記録材料層の選択素子としてダイオードを用いるため、1方向電圧で駆動する必要がある。
半導体層206の膜厚は、厚過ぎても薄過ぎても機能を発揮できない。厚過ぎると、導電性であっても抵抗が大きくなり過ぎ、その温度依存性により不揮発性記録材料層207の抵抗値の温度マージンが不足する。薄過ぎると、不揮発性記録材料層207の記憶書き込み時の繰り返し温度上昇で選択素子の特性劣化が防止できない。前述した理由から、半導体層206の膜厚は5nm以上200nm以下である。
図11は、図10上に既知のリソグラフィ技術を用いてレジストをパターニングした後の構造を示す。レジスト209のパタンは、メモリマトリクスのワード線のパタンであり、隣接のワード線のパタンと平行して延在し、縦縞状のパタンである。
図12は、図11に示すレジスト209をマスクに既知のドライエッチング技術を用いて、第二配線層208、不揮発性記録材料層207、半導体層206、第二ポリシリコン層205、第一ポリシリコン層203、及び第一金属配線層202をエッチングし、既知の技術を用いてレジスト209を除去した後の構造を示す。第一金属配線層210、第一ポリシリコン層211、第二ポリシリコン層212、半導体層213、不揮発性記録材料層214、及び第二金属配線層215からなる積層膜のパタンはレジスト209のパタンを反映し、縦縞状のパタンを形成する。また、第一金属配線層210は、不揮発性メモリの読み出し、及び書き込みが行えるよう、メモリマトリクスのワード線として半導体基板201と電気的に接続されるが、図示は省略した。
図13は、図12におけるパタン間に絶縁性材料を充填させた後に、その絶縁性材料を、既知の技術であるCMP(Chemical Mechanical Polishing:化学的機械的研磨法)を用いて、削り込みを行った後の構造を示す。この削りこみ量は、絶縁性材料217と第二金属配線層215との表面高さが同じとなる量である。
図14は、図13における絶縁性材料217と第二金属配線層215の上に第三金属配線層218を、スパッタにより堆積した構造である。第三金属配線層218の材料は、タングステンであるが、より好ましくは、抵抗率の低いアルミニウムや銅である。
図15は、図14における第三金属配線層218の上に既知のリソグラフィ技術を用いてレジストをパターニングした後の構造を示す。レジスト219のパタンは、メモリマトリクスのビット線のパタンであり、隣接のビット線のパタンと平行して延在し、横縞状のパタンである。また、レジスト219のパタンは第一金属配線層210のパタンと交差する。
図16は、図15に示すレジスト219をマスクに、既知のドライエッチング技術を用いて、第三金属配線層218、第二金属配線層215、不揮発性記録材料層214、半導体層213、第二ポリシリコン層212、第一ポリシリコン層211、及び絶縁性材料217を加工し、既知の技術を用いてレジスト219を除去した後の構造を示す。この際、メモリセルを選択できるようにするため、メモリマトリクスのワード線にあたる第一金属配線層210を残す必要がある。第一ポリシリコン層220、第二ポリシリコン層221、半導体層222、不揮発性記録材料層223、及び第二金属配線層224からなる積層膜PU1は柱状である。メモリマトリクスのビット線にあたる第三金属配線層226は、隣接する第三金属配線層226と平行した縦縞の形状であり、第一金属配線層210と交差するように配置される。また、第三金属配線層226は、不揮発性メモリの読み出し、及び書き込みが行えるよう、メモリマトリクスのビット線として半導体基板201と電気的に接続されるが、図示は省略した。
図17は、図16のパタン間に絶縁性材料を堆積した後に、堆積した絶縁性材料を、既知の技術であるCMPを用いて、削り込みを行った後の構造を示す。削りこみ量は、絶縁性材料228と第三金属配線層226との表面高さが同じとなる量である。
図18は、図17の構造上に、絶縁性材料229を堆積させた後の構造を示す。
以上、図5から図18を用いて説明した製造方法で作製したメモリセルの上面図を図19に示す。メモリセルのワード線である第一金属配線層210と、ビット線である第三金属配線層226は交差し、積層膜PU1はその交点に配置される。
以下、本発明の不揮発性メモリのメモリセルを適用したメモリマトリクスの動作方式について図を用いて説明する。
図20は、不揮発性メモリのメモリセルアレイの構成図である。メモリセルMCij(i=1,2,3,・・・,m)(j=1,2,3,・・・,n)は、複数本平行に配置された第一配線(以下、ワード線)WLi(i=1,2,3,・・・,m)と、ワード線WLiと交差するように複数本並行に配置された第二配線(以下、ビット線)BLj(j=1,2,3,・・・,n)との交点に配置され、選択素子SEと相変化抵抗素子VRとが直列に接続された構造となっている。この図において、選択素子SEの一端はワード線WLiと、相変化抵抗素子VRの一端はビット線BLjと接続されているが、後述するように、ワード線WLiとビット線BLjへの電圧のかけ方でメモリセルを選択するため、選択素子SEの一端がビット線BLjと、相変化抵抗素子VRの一端がワード線WLiと接続されていてもよい。
不揮発性メモリの記録は次のように行う。例えば、メモリセルMC11を書き換える場合、1番目のワード線WL1に電圧Vhを、他のワード線WLiに電圧Vlを、1番目のビット線BL1に電圧Vlを、他のビット線BLjに電圧Vlを印加し、MC11の相変化抵抗素子に電流を流して情報を記憶する。ここで、電圧Vhは電圧Vlよりも高い電圧である。書換えの際、非選択のメモリセルに誤書込みが行われないようにするため、作用を持つ選択素子SEが必要となる。また、当然、電圧Vhは選択素子SEの降伏電圧以下でなければいけない。不揮発性メモリの読み出しは次のように行う。例えば、メモリセルMC11の情報を読み出す場合、1番目のワード線WL1に電圧Vmを、他のワード線WLiに電圧Vlを、1番目のビット線BL1に電圧Vlを印加し、BL1に流れる電流の大きさから情報を読み出す。
上記にメモリマトリクスは第一層のみの単層での書き込み、読出しを述べたが、多層とするとさらに大容量化でき、好ましい。例えば。図21に示すようにメモリマトリクスを二層積層する場合、図18の構造上、つまり絶縁性材料310上に、実施例1の図5から図18と同様にして、メモリマトリクスの第二層目のワード線である第一金属配線層402と、第二層目の第一ポリシリコン層403及び第二層目の第二ポリシリコン層404及び第二層目の半導体層405及び第二層目の不揮発性記録材料層406及び第二層目の第二金属配線層407からなる柱状の第二層目の積層膜PU11と、メモリマトリクスの第二層目のビット線にあたる第三金属配線層409とを形成し、絶縁性材料408及び絶縁性材料410を形成すればよい。
この場合には、二層目のポリシリコン層をアニールする際に、同時に一層目の不揮発性記録材料層214が過熱されるが、不揮発性記録材料214が配線層や絶縁層により覆われているため、変形や剥離を防ぐことができる。
さらにメモリマトリクスをk層(k=1,2,3,・・・,l)積層する場合も同様の方法でメモリマトリクスを製造する。当然、メモリマトリクスを積層する場合は、不揮発性メモリの記録および読み出しの際、層を選択する必要がある。層の選択は、例えば各層のワード線を共通とした場合、書き込む層をビット線で選択できるようにすればよい。
このように、メモリマトリクスを積層にすることにより、メモリセルのビット密度は高くなるため、低コストでの不揮発性メモリの製造が可能となる。
本実施形態において、本発明のメモリセルは図22に示す半導体基板201上に形成する。半導体基板201は、不揮発性メモリのみならず、不揮発性メモリのメモリマトリクスを動作させるための周辺回路をも形成するための基板である。周辺回路は既存のCMOS技術を用いて製造する。周辺回路とメモリマトリクスの位置関係は実施例1と同様である。
図22は、半導体基板201上に、第一金属配線層202と、不揮発性記録材料層207と、半導体層206と、第二アモルファスシリコン層204と、第一アモルファスシリコン層251と、を順に堆積した構造を示す。第一金属配線層202はスパッタにより形成される。第一金属配線層202の材料はタングステンである。より好ましくは、抵抗率の低い材料の方が電圧降下は小さく、読み出し電流がとれるため、例えば、アルミ又は銅がよい。また、第一金属配線層202と半導体基板201の間には、接着性を向上させるため、TiNなどの金属化合物を堆積してもよい。不揮発性記録材料層207と、半導体層206はスパッタにより堆積する。不揮発性記録材料層207の材料は例えば結晶―非晶質相変化で記録するのに適したGe2Sb2Te5であり、5〜300nmの膜厚を有するが、より好ましくは、後工程のドライエッチングや絶縁性材料の埋め込みが行いやすいように、アスペクト比が低くなるよう、5〜50nmの膜厚が望ましい。ここ迄積層した段階で、半導体層206を保護層として不揮発性記録材料層をレーザアニールしても良い。この場合、半導体層206へのレーザアニールは、ポリシリコン層が透過する波長460nm以上1μm以下の長波長レーザを用いるのが好ましいが、ポリシリコン層で光が吸収され、熱伝導で不揮発性記録材料層が加熱されるように450nm以下の短波長のレーザを用いても良い。レーザ照射は連続、またはパルス照射とする。
第二アモルファスシリコン層204はリン若しくは砒素を含むアモルファスシリコンをLP−CVDにより堆積する。第二アモルファスシリコン層204は50〜250nmの膜厚を有する。第一アモルファスシリコン層251は、ホウ素、ガリウム、若しくはインジウムを含むアモルファスシリコンをLP−CVDにより堆積する。第一アモルファスシリコン層251は、50〜250nmの膜厚を有する。
半導体層206の膜厚は、厚過ぎても薄過ぎても機能を発揮できない。厚過ぎると、導電性であっても抵抗が大きくなり過ぎ、その温度依存性により不揮発性記録材料層207の抵抗値の温度マージンが不足する。薄過ぎると、不揮発性記録材料層207の記憶書き込み時の繰り返し温度上昇で選択素子の特性劣化が防止できない。前述した理由から、半導体層206の膜厚は5nm以上200nm以下である。
また、半導体層206は、不揮発性記録材料層207の書換え条件の変化が発生しにくい、Geの含有量が90%以上の材料である。なお、実施例1で述べた材料でも良い。本実施例において、不揮発性記録材料層の構成元素はGe2Sb2Te5を例にとったが、Ge3Sb2Te6やGe5Sb2Te8、Ge−Teなどの不揮発性記録材料層を用いてもよい。固体電解質メモリ記録に適した固体電解質材料を用いても良い。
図23は、図22で堆積した第二アモルファスシリコン層204と第一アモルファスシリコン層251とにレーザアニールを施す工程を示す。レーザアニールにより、第二アモルファスシリコン層204と第一アモルファスシリコン層251の結晶化、及び不純物活性化を行うことで、第二ポリシリコン層205、及び第一ポリシリコン層203を形成する。本実施例において、メモリセルを構成する選択素子はpnダイオードとする。そのため、第一ポリシリコン層203と第二ポリシリコン層205との接合はpn接合とするが、np接合やpin接合、pi接合のような他の接合の選択素子をメモリセルに用いてよい。
不揮発性記録材料層207を半導体層206および第二アモルファスシリコン層204および第一アモルファスシリコン層251より下に形成すると、少なくとも半導体層206を保護層として不揮発性記録材料層207をレーザ照射によりアニールして、as−depo状態の原子配列の乱れを大幅に減らし、メモリ素子の動作歩留まりを10%以上向上させることができる。ポリシリコン層をアニールする場合は、半導体層206を介して下にある不揮発性記録材料層207も融点より大幅に高温になる可能性が有るが、短波長の短パルスレーザでアニールすれば、下への熱拡散を抑制し、変形や剥離を防止できる。波長が450nm以下、パルス幅100μs以下のパルスレーザ照射の場合は、変形や剥離は観察されない。
図24は、図23のポリシリコン層上に、第二金属配線層208をスパッタにより堆積した構造を示す。第二金属配線層208の材料はタングステンであるが、より好ましくは、抵抗率の低いアルミニウムや銅である。
図25は、実施例1の図11と図12で説明した方法と同様に、図24の第二金属配線層208上に既知のリソグラフィ技術、ドライエッチング技術を用いて、第二配線層208、第一ポリシリコン層203、第二ポリシリコン層205、半導体層206、不揮発性記録材料層207、及び第一金属配線層202を加工した後の構造を示す。第一金属配線層210、第一ポリシリコン層211、第二ポリシリコン層212、半導体層213、不揮発性記録材料層214、及び第二金属配線層215からなる積層膜のパタンは、メモリマトリクスのワード線のパタンと同じであり、隣接するパタンと平行して延在し、縦縞状のパタンである。また、第一金属配線層210は、不揮発性メモリの読み出し、及び書き込みが行えるよう、メモリマトリクスのワード線として半導体基板201と電気的に接続されるが、図示は省略した。
図26は、図25の構造形成後に、HDP−CVDを用いて絶縁性材料をパタン間に充填させ、CMPにより平坦化を行った後、第三金属配線層218を、既知のスパッタにより堆積した構造である。第三金属配線層218の材料は、タングステンであるが、より好ましくは、抵抗率の低いアルミニウムや銅である。
図27は、図26上に既知のリソグラフィ技術、ドライエッチング技術を用いて、第三金属配線層218、第二金属配線層215、不揮発性記録材料層214、半導体層213、第二ポリシリコン層212、第一ポリシリコン層211、及び絶縁性材料217を加工した後の構造を示す。この際、メモリセルを選択できるようにするため、メモリマトリクスのワード線にあたる第一金属配線層210を残す必要がある。不揮発性記録材料層223、半導体層222、第二ポリシリコン層221、第一ポリシリコン層220、及び第二金属配線層224からなる積層膜PU2は柱状である。第三金属配線層226のパタンは、メモリマトリクスのビット線のパタンであり、隣接のビット線のパタンと平行して延在し、横縞状のパタンである。また、第三金属配線層226のパタンは第一金属配線層210のパタンと交差する。また、第三金属配線層226は、不揮発性メモリの読み出し、及び書き込みが行えるよう、メモリマトリクスのビット線として半導体基板201と電気的に接続されるが、図示は省略した。
半導体層を最適化すれば、第一ポリシリコン層まで積層してから波長350nm以上450nm以下、連続またはパルスレーザで第一ポリシリコン層と不揮発性記録材料層のレーザアニールを同時に行ってもよい。この場合には、半導体層の材料はSi−Ge混合材料が良い。Si−Ge系の屈折率及び消衰係数の波長依存性は、図28に示すようになるため、ポリシリコン層を透過する波長460nm以上1μm以下の長波長レーザで不揮発性記録材料層をアニールし、次に波長350nm以下の短波長レーザでポリシリコン層をアニールしても良い。より好ましくは、Siを77原子%以上94原子%以下含むSi−Geで膜厚5nm以上200nm以下とした時、ポリシリコン層も不揮発性記録材料層も最適なアニールが成される。
図29は、図27の構造形成後に、HDP−CVDを用いて絶縁性材料228をパタン間のギャップに充填させ、CMPにより平坦化を行った後、絶縁性材料229を既知のスパッタにより堆積した図である。
以上、図22から図27および図29を用いて説明した製造方法で作製したメモリセルの上面図を図30に示す。メモリセルのワード線である第一金属配線層210と、ビット線である第三金属配線層226は交差し、積層膜PU2はその交点に配置される。各層に用いた材料は実施例1と同様である。また、実施例1と同様にメモリマトリクスを複数層積層してもよい。
本実施例の不揮発性メモリのメモリセルを適用したメモリマトリクスの動作方式は実施例1と同様である。
図31は、実施例1の図5から図18と同様にして、半導体基板201上にメモリマトリクスのワード線である第一金属配線層210と、第一ポリシリコン層220及び第二ポリシリコン層221及び半導体層222及び不揮発性記録材料層223及び半導体層222及び第二金属配線層224からなる柱状の積層膜PU5と、メモリマトリクスのビット線にあたる第三金属配線層226とを形成し、絶縁性材料229及び絶縁性材料228を形成した図を示す。
半導体層を設けたことにより、不揮発性記録材料層に繰り返し書き込みを行うときの熱サイクルによる劣化を防ぎ、書き換え可能回数が5倍以上に向上する。半導体層の合計膜厚については実施例1と同じである。各層に用いた材料は実施例と同様である。また、実施例1と同様にメモリマトリクスを複数層積層してもよい。
本実施例においては、第2金属配線層の下の半導体層が無い場合と比べ、半導体材料を形成後、この層を保護層として、不揮発性記録材料層をレーザアニールすることができる。半導体層の膜厚については実施例1と同じである。各層に用いた材料は実施例と同様である。また、実施例1と同様にメモリマトリクスを複数層積層してもよい。
本実施例の不揮発性メモリのメモリセルを適用したメモリマトリクスの動作方式は実施例1と同様である。また、周辺回路とメモリマトリクスの位置関係は実施例1と同様である。
図32は、実施例1の図5から図18と同様にして、半導体基板201上にメモリマトリクスのワード線である第一金属配線層210と、半導体層222及び不揮発性記録材料層223及び半導体層222及び第二ポリシリコン層221及び第一ポリシリコン層220及び第二金属配線層224からなる柱状の積層膜PU6と、メモリマトリクスのビット線にあたる第三金属配線層226とを形成し、絶縁性材料228及び絶縁性材料229を形成した図を示す。
半導体層を設けたことにより、不揮発性記録材料層に繰り返し書き込みを行うときの熱サイクルによる劣化を防ぎ、書き換え可能回数が5倍以上に向上する。半導体層の合計膜厚については実施例1と同じである。各層に用いた材料は実施例と同様である。また、実施例1と同様にメモリマトリクスを複数層積層してもよい。
本実施例の不揮発性メモリのメモリセルを適用したメモリマトリクスの動作方式は実施例1と同様である。また、周辺回路とメモリマトリクスの位置関係は実施例1と同様である。 以上、各実施例について説明した。各実施例において、ポリシリコンダイオードと、不揮発性記録材料層との間に、不揮発性記録材料層に含まれる元素を含む半導体層を設けたことにより、書換え動作の際に発生する熱によりポリシリコンダイオードに含まれる不純物が不揮発性記録材料層まで拡散することを抑制することができる。また、該半導体層は不揮発性記録材料に含まれる元素を含んでいるため該半導体層内の元素が不揮発性記録材料層まで拡散したとしても書換え条件に与える影響は少ない。そのため、書換え条件が安定な不揮発性メモリ又はこれまでより書き換え可能回数の多い不揮発性メモリが得られる。
以上の各実施例においては相変化メモリについて説明したが、本発明の思想を逸脱しない限りにおいて、不揮発性記録材料層には公知の各種不揮発記録材料を用いることができる。例えば相変化材料、固体電解質材料、磁性材料などである。この場合には、半導体材料として、各材料に含まれる元素を含む半導体層を設けることにより、同様の効果が得られる。
101…第三金属配線層、102…第一金属配線層、103…第二金属配線層、104…不揮発性記録材料層、105…半導体層、106…第二ポリシリコン層、107…第一ポリシリコン層、201…半導体基板、202…第一金属配線層、203…第一ポリシリコン層、204…第二アモルファスシリコン層、205…第二ポリシリコン層、206…半導体層、207…不揮発性記録材料層、208…第二金属配線層、209…レジスト、210…第一金属配線層、211…第一ポリシリコン層、212…第二ポリシリコン層、213…半導体層、214…不揮発性記録材料層、215…第二金属配線層、217…絶縁性材料、218…第三金属配線層、219…レジスト、220…第一ポリシリコン層、221…第二ポリシリコン層、222…半導体層、223…不揮発性記録材料層、224…第二金属配線層、225…絶縁性材料、226…第三金属配線層、228…絶縁性材料、229…絶縁性材料、402…第二層目の第一金属配線層、403…第二層目の第一ポリシリコン層、404…第二層目の第二ポリシリコン層、405…第二層目の半導体層、406…第二層目の不揮発性記録材料層、407…第二層目の第二金属配線層、408…第二層目の絶縁性材料、409…第二層目の第三金属配線層、410…第二層目の絶縁性材料、251…第一アモルファスシリコン層、SE…選択素子、VR…相変化抵抗素子、WL1…1番目のワード線、WL2…2番目のワード線、WLi…i番目のワード線、WLm…m番目のワード線、BL1…1番目のビット線、BL2…2番目のビット線、BLj…j番目のビット線、BLn…n番目のビット線、MC11…1番目のワード線と1番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCi1…i番目のワード線と1番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCm1…m番目のワード線と1番目のビット線の交点にあるメモリセル、MC1j…1番目のワード線とj番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCij…i番目のワード線とj番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCmj…m番目のワード線とj番目のビット線の交点にあるメモリセル、MC1n…1番目のワード線とn番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCin…i番目のワード線とn番目のビット線の交点にあるメモリセル、MCmn…m番目のワード線とn番目のビット線の交点にあるメモリセル、Laser…レーザ、PU1…積層膜、PU12…第二層目の積層膜、PU2…積層膜、PU5…積層膜、PU6…積層膜。
Claims (12)
- 第1電極と、
第2電極と、
前記第1電極および前記第2電極との間に形成された、不揮発性記録材料層および選択素子と、
前記不揮発性記録材料層と前記選択素子との間に形成された、前記不揮発性記録材料層に含まれる元素を含む半導体層と、
を有することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、前記選択素子上に形成され、
前記不揮発性記録材料層は、前記半導体層上に形成されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、前記不揮発記録材料層上に形成され、
前記選択素子は、前記半導体層上に形成されていることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記不揮発性記録材料層は、カルコゲン元素のうちの少なくとも1元素を含む材料を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、Geを40原子%以上含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項5記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、Geを90原子%以上含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、GeとSiとの混合材料であることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、InSb又はGaSbであるとこを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記半導体層は、5nm以上200nm以下の膜厚を有することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記選択素子は、ダイオードであることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項10記載の不揮発性半導体記憶装置において、
前記ダイオードは、pinポリシリコンダイオードであることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置において、
メモリセルは、前記不揮発性記録材料層と前記選択素子とを含み、
前記メモリセルは、相変化メモリのメモリセルであることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
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