JP7062545B2 - 記憶素子 - Google Patents
記憶素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7062545B2 JP7062545B2 JP2018137142A JP2018137142A JP7062545B2 JP 7062545 B2 JP7062545 B2 JP 7062545B2 JP 2018137142 A JP2018137142 A JP 2018137142A JP 2018137142 A JP2018137142 A JP 2018137142A JP 7062545 B2 JP7062545 B2 JP 7062545B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- layer
- conductive
- layer portion
- resistance changing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 77
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 191
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 57
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 41
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 4
- -1 chalcogenide compound Chemical class 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- QIBVQUQUTLXVOH-UHFFFAOYSA-J [Se](=O)(=O)([O-])[O-].[Mo+4].[Se](=O)(=O)([O-])[O-] Chemical compound [Se](=O)(=O)([O-])[O-].[Mo+4].[Se](=O)(=O)([O-])[O-] QIBVQUQUTLXVOH-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N tungsten disulfide Chemical compound S=[W]=S ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B63/00—Resistance change memory devices, e.g. resistive RAM [ReRAM] devices
- H10B63/80—Arrangements comprising multiple bistable or multi-stable switching components of the same type on a plane parallel to the substrate, e.g. cross-point arrays
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/80—Constructional details
- H10N50/85—Magnetic active materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers
- H10N70/023—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers by chemical vapor deposition, e.g. MOCVD, ALD
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/061—Shaping switching materials
- H10N70/063—Shaping switching materials by etching of pre-deposited switching material layers, e.g. lithography
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/231—Multistable switching devices, e.g. memristors based on solid-state phase change, e.g. between amorphous and crystalline phases, Ovshinsky effect
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/861—Thermal details
- H10N70/8616—Thermal insulation means
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/882—Compounds of sulfur, selenium or tellurium, e.g. chalcogenides
- H10N70/8828—Tellurides, e.g. GeSbTe
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)~図1(c)は、第1実施形態に係る記憶素子を例示する模式的断面図である。
図1(b)及び図1(c)は、図1(a)の一部を拡大して模式的に図示している。
この例では、第1領域21は、第1グラファイト21Gを含む。図2(b)に示すように、第1領域21に含まれる複数の層部分21Lのそれぞれは、グラフェンを含む。例えば、第1層部分21aの少なくとも一部及び第2層部分21bの少なくとも一部のそれぞれは、グラフェンを含む。これらの層部分が、第2方向(例えば、X軸方向)に沿って積層される。複数の層部分21LのX軸方向に沿う距離(格子間のX軸方向に沿う距離)が第1距離d1に対応する。
図3(b)及び図3(c)は、図3(a)の一部を拡大して模式的に図示している。
この例では、第2領域22は、第2グラファイト22Gを含む。図4(b)に示すように、第2領域22に含まれる複数の層部分22Lのそれぞれは、グラフェンを含む。例えば、第3層部分22cの少なくとも一部及び第4層部分22d少なくとも一部のそれぞれは、グラフェンを含む。これらの層部分が、第1方向(例えば、Z軸方向)に沿って積層される。複数の層部分22Lの間のZ軸方向に沿う距離(格子間のZ軸方向に沿う距離)が第2距離d2に対応する。
この例では、第3領域23は、第3グラファイト23Gを含む。図5(b)に示すように、第3領域23に含まれる複数の層部分23Lのそれぞれは、グラフェンを含む。例えば、第5層部分23e少なくとも一部及び第6層部分23f少なくとも一部のそれぞれは、グラフェンを含む。これらの層部分が、第1方向(例えば、Z軸方向)に沿って積層される。複数の層部分23Lの間のZ軸方向に沿う距離(格子間のZ軸方向に沿う距離)が第3距離d3に対応する。
図6に示すように、実施形態に係る記憶素子112は、第1導電部51、第2導電部52、第1抵抗変化部11、第1領域21及び絶縁部60に加えて、第3導電部53、第4導電部54及び第2抵抗変化部12を含む。記憶素子112における第1導電部51、第2導電部52、第1抵抗変化部11及び第1領域21は、記憶素子110におけるそれらと同様であるので、説明を省略する。以下、第3導電部53、第4導電部54及び第2抵抗変化部12の例について説明する。
図7(a)~図7(c)は、第2実施形態に係る記憶素子を例示する模式的断面図である。
図7(b)及び図7(c)は、図7(a)の一部を拡大して模式的に図示している。
図8(b)及び図8(c)は、図8(a)の一部を拡大して模式的に図示している。
図9に示すように、記憶素子122においては、第2導電部52の一部と、第1導電部51と、の間に、第1抵抗変化部11が設けられる。第2導電部52の別の一部と、第3導電部53と、の間に、第2抵抗変化部12が設けられる。記憶素子122におけるこれ以外の構成は、記憶素子120の構成と同様である。
図10に示すように、記憶素子123においては、第2導電部52の一部と、第1導電部51と、の間に、第1抵抗変化部11が設けられる。第2導電部52の別の一部と、第3導電部53と、の間に、第2抵抗変化部12が設けられる。記憶素子123におけるこれ以外の構成は、記憶素子121の構成と同様である。第2導電部52の上記の一部と、第1抵抗変化部11と、の間に、第3領域23が設けられる。第2導電部52の上記の別の一部と、第2抵抗変化部12と、の間に、第6領域26が設けられる。
これらの図において、図の見やすさのために、絶縁部60は省略されている。さらに、第1~第6領域21~26、第1対向領域21A及び第2対向領域22Aは省略されている。
これらの図は、記憶素子における温度の変化のシミュレーション結果の例を示す。シミュレーションの第1モデルMD-1においては、第1領域21として、グラフェンが設けられる。グラフェンの面は、Z-Y平面に沿う(図1(a)参照)。X軸方向において、第1抵抗変化部11と第1領域21との間に、第1絶縁領域61が設けられる。第1絶縁領域61のX軸方向に沿う厚さは2nmである。第1領域21のX軸方向に沿う厚さは、2nmである。第1絶縁領域61は酸化シリコンである。一方、第2モデルMD-2においては、第1抵抗変化部11の周りに酸化シリコンの絶縁部60が設けられ、第1領域21及び第1絶縁領域61が設けられない。これらのモデルにおいて、酸化シリコンの熱伝導率は、1.38W/mKとされる。グラファイトのX軸方向に沿う熱伝導率は、0.06W/mK(実測値)とされる。
本実施形態は、記憶素子の製造方法に係る。
図13(a)~図13(f)は、第3実施形態に係る記憶素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
図13(a)に示すように、第1導電部51となる層、第2領域22となる層、第1抵抗変化部12となる層、及び、第3領域23となる層を含む積層膜を形成し、この積層膜を加工する。第2領域22となる層、及び、第3領域23となる層は、例えばグラフェン(またはグラファイトなど)を含む。第2領域22となる層、及び、第3領域23となる層は、例えば、CVD(chemical vapor deposition)などにより形成できる。加工後の積層膜に、絶縁膜60Fとして酸化シリコン膜を形成する。
Claims (10)
- 第1導電部と、
第2導電部であって、前記第1導電部から前記第2導電部への方向は、第1方向に沿う前記第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1抵抗変化部と、
第1領域であって、前記第1抵抗変化部から前記第1領域への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1領域と、
絶縁部と、
を備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1抵抗変化部と前記第1領域との間に設けられた第1絶縁領域を含み、
前記第1領域は、
第1層部分と、
前記第2方向において前記第1層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第2層部分と、
を含み、
前記第1層部分と前記第2層部分との間の前記第2方向に沿う第1距離は、前記第1層部分における前記第2方向と交差する第1軸方向に沿う第1格子長よりも長く、前記第2層部分における前記第2方向と交差する第2軸方向に沿う第2格子長よりも長く、
前記第1方向において前記第1抵抗変化部と前記第1導電部との間に設けられた第2領域をさらに備え、
前記第2領域は、
第3層部分と、
前記第1方向において前記第3層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第4層部分と、
を含み、
前記第3層部分と前記第4層部分との間の前記第1方向に沿う第2距離は、前記第3層部分における前記第1方向と交差する第3軸方向に沿う第3格子長よりも長く、前記第4層部分における前記第1方向と交差する第4軸方向に沿う第4格子長よりも長い、記憶素子。 - 前記第1方向において前記第1抵抗変化部と前記第2導電部との間に設けられた第3領域をさらに備え、
前記第3領域は、
第5層部分と、
前記第1方向において前記第5層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第6層部分と、
を含み、
前記第5層部分と前記第6層部分との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記第5層部分における前記第1方向と交差する第5軸方向に沿う第5格子長よりも長く、前記第6層部分における前記第1方向と交差する第6軸方向に沿う第6格子長よりも長い、請求項1記載の記憶素子。 - 第1導電部と、
第2導電部であって、前記第1導電部から前記第2導電部への方向は、第1方向に沿う前記第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1抵抗変化部と、
第1領域であって、前記第1抵抗変化部から前記第1領域への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1領域と、
絶縁部と、
を備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1抵抗変化部と前記第1領域との間に設けられた第1絶縁領域を含み、
前記第1領域は、
第1層部分と、
前記第2方向において前記第1層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第2層部分と、
を含み、
前記第1層部分と前記第2層部分との間の前記第2方向に沿う第1距離は、前記第1層部分における前記第2方向と交差する第1軸方向に沿う第1格子長よりも長く、前記第2層部分における前記第2方向と交差する第2軸方向に沿う第2格子長よりも長く、
前記第1方向において前記第1抵抗変化部と前記第2導電部との間に設けられた第3領域をさらに備え、
前記第3領域は、
第5層部分と、
前記第1方向において前記第5層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第6層部分と、
を含み、
前記第5層部分と前記第6層部分との間の前記第1方向に沿う第3距離は、前記第5層部分における前記第1方向と交差する第5軸方向に沿う第5格子長よりも長く、前記第6層部分における前記第1方向と交差する第6軸方向に沿う第6格子長よりも長い、記憶素子。 - 第3導電部と、
第4導電部であって、前記第3導電部から前記第4導電部への方向は、前記第1方向に沿う前記第4導電部と、
前記第3導電部と前記第4導電部との間に設けられた第2抵抗変化部と、
をさらに備え、
前記第2方向において、前記第1抵抗変化部と前記第2抵抗変化部との間に前記第1領域が設けられ、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1領域と前記第2抵抗変化部との間に設けられた絶縁領域をさらに含む、請求項1~3のいずれか1つに記載の記憶素子。 - 第1導電部と、
第2導電部であって、前記第1導電部から前記第2導電部への方向は、第1方向に沿う前記第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1抵抗変化部と、
第1領域であって、前記第1抵抗変化部から前記第1領域への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1領域と、
絶縁部と、
を備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1抵抗変化部と前記第1領域との間に設けられた第1絶縁領域を含み、
前記第1領域は、
第1層部分と、
前記第2方向において前記第1層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第2層部分と、
を含み、
前記第1層部分と前記第2層部分との間の前記第2方向に沿う第1距離は、前記第1層部分における前記第2方向と交差する第1軸方向に沿う第1格子長よりも長く、前記第2層部分における前記第2方向と交差する第2軸方向に沿う第2格子長よりも長く、
第3導電部と、
第4導電部であって、前記第3導電部から前記第4導電部への方向は、前記第1方向に沿う前記第4導電部と、
前記第3導電部と前記第4導電部との間に設けられた第2抵抗変化部と、
をさらに備え、
前記第2方向において、前記第1抵抗変化部と前記第2抵抗変化部との間に前記第1領域が設けられ、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1領域と前記第2抵抗変化部との間に設けられた絶縁領域をさらに含む、記憶素子。 - 前記第1方向において前記第2抵抗変化部と前記第3導電部との間に設けられた第5領域をさらに備え、
前記第5領域は、
第9層部分と、
前記第1方向において前記第9層部分と前記第2抵抗変化部との間に設けられた第10層部分と、
を含み、
前記第9層部分と前記第10層部分との間の前記第1方向に沿う第5距離は、前記第9層部分における前記第1方向と交差する第9軸方向に沿う第9格子長よりも長く、前記第10層部分における前記第1方向と交差する第10軸方向に沿う第10格子長よりも長い、請求項4または5に記載の記憶素子。 - 第3導電部と、
第4導電部であって、前記第3導電部から前記第4導電部への方向は、前記第1方向に沿う前記第4導電部と、
前記第3導電部と前記第4導電部との間に設けられた第2抵抗変化部と、
第4領域であって、前記第2抵抗変化部から前記第4領域への方向は、前記第2方向に沿う、前記第4領域と、
をさらに備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第4領域との間に設けられた第2絶縁領域を含み、
前記第4領域は、
第7層部分と、
前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第7層部分との間に設けられた第8層部分と、
を含み、
前記第7層部分と前記第8層部分との間の前記第2方向に沿う第4距離は、前記第7層部分における前記第2方向と交差する第7軸方向に沿う第7格子長よりも長く、前記第8層部分における前記第2方向と交差する第8軸方向に沿う第8格子長よりも長い、請求項1~3のいずれか1つに記載の記憶素子。 - 第1導電部と、
第2導電部であって、前記第1導電部から前記第2導電部への方向は、第1方向に沿う前記第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1抵抗変化部と、
第1領域であって、前記第1抵抗変化部から前記第1領域への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1領域と、
絶縁部と、
を備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1抵抗変化部と前記第1領域との間に設けられた第1絶縁領域を含み、
前記第1領域は、
第1層部分と、
前記第2方向において前記第1層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第2層部分と、
を含み、
前記第1層部分と前記第2層部分との間の前記第2方向に沿う第1距離は、前記第1層部分における前記第2方向と交差する第1軸方向に沿う第1格子長よりも長く、前記第2層部分における前記第2方向と交差する第2軸方向に沿う第2格子長よりも長く、
第3導電部と、
第4導電部であって、前記第3導電部から前記第4導電部への方向は、前記第1方向に沿う前記第4導電部と、
前記第3導電部と前記第4導電部との間に設けられた第2抵抗変化部と、
第4領域であって、前記第2抵抗変化部から前記第4領域への方向は、前記第2方向に沿う、前記第4領域と、
をさらに備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第4領域との間に設けられた第2絶縁領域を含み、
前記第4領域は、
第7層部分と、
前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第7層部分との間に設けられた第8層部分と、
を含み、
前記第7層部分と前記第8層部分との間の前記第2方向に沿う第4距離は、前記第7層部分における前記第2方向と交差する第7軸方向に沿う第7格子長よりも長く、前記第8層部分における前記第2方向と交差する第8軸方向に沿う第8格子長よりも長く、
前記第1方向において前記第2抵抗変化部と前記第3導電部との間に設けられた第5領域をさらに備え、
前記第5領域は、
第9層部分と、
前記第1方向において前記第9層部分と前記第2抵抗変化部との間に設けられた第10層部分と、
を含み、
前記第9層部分と前記第10層部分との間の前記第1方向に沿う第5距離は、前記第9層部分における前記第1方向と交差する第9軸方向に沿う第9格子長よりも長く、前記第10層部分における前記第1方向と交差する第10軸方向に沿う第10格子長よりも長い、記憶素子。 - 前記第1方向において前記第2抵抗変化部と前記第4導電部との間に設けられた第6領域をさらに備え、
前記第6領域は、
第11層部分と、
前記第1方向において前記第11層部分と前記第2抵抗変化部との間に設けられた第12層部分と、
を含み、
前記第11層部分と前記第12層部分との間の前記第1方向に沿う第6距離は、前記第11層部分における前記第1方向と交差する第11軸方向に沿う第11格子長よりも長く、前記第12層部分における前記第1方向と交差する第12軸方向に沿う第12格子長よりも長い、請求項4~8のいずれか1つに記載の記憶素子。 - 第1導電部と、
第2導電部であって、前記第1導電部から前記第2導電部への方向は、第1方向に沿う前記第2導電部と、
前記第1導電部と前記第2導電部との間に設けられた第1抵抗変化部と、
第1領域であって、前記第1抵抗変化部から前記第1領域への第2方向は、前記第1方向と交差した、前記第1領域と、
絶縁部と、
を備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第1抵抗変化部と前記第1領域との間に設けられた第1絶縁領域を含み、
前記第1領域は、
第1層部分と、
前記第2方向において前記第1層部分と前記第1抵抗変化部との間に設けられた第2層部分と、
を含み、
前記第1層部分と前記第2層部分との間の前記第2方向に沿う第1距離は、前記第1層部分における前記第2方向と交差する第1軸方向に沿う第1格子長よりも長く、前記第2層部分における前記第2方向と交差する第2軸方向に沿う第2格子長よりも長く、
第3導電部と、
第4導電部であって、前記第3導電部から前記第4導電部への方向は、前記第1方向に沿う前記第4導電部と、
前記第3導電部と前記第4導電部との間に設けられた第2抵抗変化部と、
第4領域であって、前記第2抵抗変化部から前記第4領域への方向は、前記第2方向に沿う、前記第4領域と、
をさらに備え、
前記絶縁部は、前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第4領域との間に設けられた第2絶縁領域を含み、
前記第4領域は、
第7層部分と、
前記第2方向において前記第2抵抗変化部と前記第7層部分との間に設けられた第8層部分と、
を含み、
前記第7層部分と前記第8層部分との間の前記第2方向に沿う第4距離は、前記第7層部分における前記第2方向と交差する第7軸方向に沿う第7格子長よりも長く、前記第8層部分における前記第2方向と交差する第8軸方向に沿う第8格子長よりも長く、
前記第1方向において前記第2抵抗変化部と前記第4導電部との間に設けられた第6領域をさらに備え、
前記第6領域は、
第11層部分と、
前記第1方向において前記第11層部分と前記第2抵抗変化部との間に設けられた第12層部分と、
を含み、
前記第11層部分と前記第12層部分との間の前記第1方向に沿う第6距離は、前記第11層部分における前記第1方向と交差する第11軸方向に沿う第11格子長よりも長く、前記第12層部分における前記第1方向と交差する第12軸方向に沿う第12格子長よりも長い、記憶素子。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018137142A JP7062545B2 (ja) | 2018-07-20 | 2018-07-20 | 記憶素子 |
CN201910142954.9A CN110739392B (zh) | 2018-07-20 | 2019-02-26 | 存储装置 |
TW108106687A TWI709966B (zh) | 2018-07-20 | 2019-02-27 | 記憶裝置 |
TW109119741A TWI752524B (zh) | 2018-07-20 | 2019-02-27 | 記憶裝置 |
US16/299,660 US10644068B2 (en) | 2018-07-20 | 2019-03-12 | Memory device |
US16/827,782 US11114503B2 (en) | 2018-07-20 | 2020-03-24 | Memory device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018137142A JP7062545B2 (ja) | 2018-07-20 | 2018-07-20 | 記憶素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020013968A JP2020013968A (ja) | 2020-01-23 |
JP7062545B2 true JP7062545B2 (ja) | 2022-05-06 |
Family
ID=69161165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018137142A Active JP7062545B2 (ja) | 2018-07-20 | 2018-07-20 | 記憶素子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10644068B2 (ja) |
JP (1) | JP7062545B2 (ja) |
CN (1) | CN110739392B (ja) |
TW (2) | TWI709966B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240026683A (ko) | 2022-08-22 | 2024-02-29 | 엘지전자 주식회사 | 공기청정기 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007243169A (ja) | 2006-02-07 | 2007-09-20 | Qimonda Ag | 遮熱機構を有する相変化メモリセル |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7394088B2 (en) | 2005-11-15 | 2008-07-01 | Macronix International Co., Ltd. | Thermally contained/insulated phase change memory device and method (combined) |
TW200847398A (en) | 2007-05-16 | 2008-12-01 | Ind Tech Res Inst | Phase-change memory element |
JP4792010B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2011-10-12 | 株式会社東芝 | 情報記録再生装置 |
JP5161911B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2013-03-13 | 株式会社東芝 | 抵抗変化メモリ |
JP2013045892A (ja) | 2011-08-24 | 2013-03-04 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 不揮発性半導体記憶装置 |
US8710481B2 (en) * | 2012-01-23 | 2014-04-29 | Sandisk 3D Llc | Non-volatile memory cell containing a nano-rail electrode |
KR101925449B1 (ko) * | 2012-11-29 | 2018-12-05 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 가변 저항 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
US9536840B2 (en) | 2013-02-12 | 2017-01-03 | Qualcomm Incorporated | Three-dimensional (3-D) integrated circuits (3DICS) with graphene shield, and related components and methods |
US9153777B2 (en) | 2013-06-03 | 2015-10-06 | Micron Technology, Inc. | Thermally optimized phase change memory cells and methods of fabricating the same |
KR20150021362A (ko) | 2013-08-20 | 2015-03-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 및 이의 제조 방법 |
KR102237826B1 (ko) * | 2014-07-18 | 2021-04-08 | 삼성전자주식회사 | 그래핀 소자와 그 제조 및 동작방법과 그래핀 소자를 포함하는 전자장치 |
US20160104840A1 (en) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | Beth Cook | Resistive memory with a thermally insulating region |
US9634245B2 (en) | 2015-01-09 | 2017-04-25 | Micron Technology, Inc. | Structures incorporating and methods of forming metal lines including carbon |
-
2018
- 2018-07-20 JP JP2018137142A patent/JP7062545B2/ja active Active
-
2019
- 2019-02-26 CN CN201910142954.9A patent/CN110739392B/zh active Active
- 2019-02-27 TW TW108106687A patent/TWI709966B/zh active
- 2019-02-27 TW TW109119741A patent/TWI752524B/zh active
- 2019-03-12 US US16/299,660 patent/US10644068B2/en active Active
-
2020
- 2020-03-24 US US16/827,782 patent/US11114503B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007243169A (ja) | 2006-02-07 | 2007-09-20 | Qimonda Ag | 遮熱機構を有する相変化メモリセル |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Y. Ni, Y. Chalopin, S. Volz,Few layer graphene based superlattices as efficient thermal insulators,Applied Physics Letters,米国,AIP publishing LLC.,2013年10月01日,141905-1~141905-5 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020013968A (ja) | 2020-01-23 |
TWI709966B (zh) | 2020-11-11 |
TW202044255A (zh) | 2020-12-01 |
US20200227479A1 (en) | 2020-07-16 |
US10644068B2 (en) | 2020-05-05 |
TW202008364A (zh) | 2020-02-16 |
CN110739392A (zh) | 2020-01-31 |
CN110739392B (zh) | 2023-11-03 |
US20200027923A1 (en) | 2020-01-23 |
US11114503B2 (en) | 2021-09-07 |
TWI752524B (zh) | 2022-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3125291B1 (en) | Multilayer structure including diffusion barrier layer and device including the multilayer structure | |
US10153429B2 (en) | Memory device | |
JP2016192514A (ja) | 記憶装置及びその製造方法 | |
JP2006080523A (ja) | アンチモン前駆体、相変化メモリ素子およびその製造方法 | |
CN105870320B (zh) | 存储装置 | |
JP7062545B2 (ja) | 記憶素子 | |
JP5160086B2 (ja) | フラーレン層を具備した相変化メモリ素子の製造方法 | |
US20140166065A1 (en) | Structure of thermoelectric film | |
KR102526647B1 (ko) | 그래핀이 삽입된 상변화 메모리 소자 및 그 제조방법 | |
US20240324479A1 (en) | Switch device and memory unit | |
KR101171256B1 (ko) | 저항 소자를 구비하는 반도체 메모리 장치 | |
KR102304301B1 (ko) | 저항변화 물질막, 이를 포함하는 저항변화 메모리 장치 | |
Choi et al. | Simulation-based analysis of novel phase change memory structure with separated program and read paths for low program current and endurance enhancement | |
KR101864028B1 (ko) | 스핀트로닉스 소자 및 이의 제조 방법 | |
CN111009544A (zh) | 包括数据存储图案的半导体器件 | |
US20220399489A1 (en) | Storage device | |
Li et al. | Internal reverse-biased p–n junctions: A possible origin of the high resistance in chalcogenide superlattice for interfacial phase change memory | |
WO2023089957A1 (ja) | 記憶素子及び記憶装置 | |
TWI807314B (zh) | 半導體記憶裝置及半導體記憶裝置之製造方法 | |
US11856880B2 (en) | Semiconductor storage device | |
CN112436008B (zh) | 半导体存储装置及其制造方法 | |
US9812639B2 (en) | Non-volatile memory device | |
JP2013058581A (ja) | 相変化メモリ及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20180905 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220420 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7062545 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |