JP5156950B2 - 歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法並びに多層膜構造体 - Google Patents
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Description
しかしながら、特開2004−172276号公報に開示された技術によっても、不規則的に導入される60°転位を効果的に減少させることが困難であった。
本実施例は、本発明の製造方法により製造される歪み緩和ゲルマニウム膜及び第1の発明に係る多層膜構造体を半導体デバイスに利用することのできる半導体基板に適用したものである。なお、以下の説明においてGeはゲルマニウムのことである。
<転位制御層形成工程>
シリコン基板(Si(001)基板)2を準備し、このシリコン基板2を洗浄後400℃に加熱し、MBE法を用いてエピタキシャル成長させることにより、厚さ0.5nmの極薄Ge層よりなるGe転位制御層5をシリコン基板2上に形成した(図1(a)参照)。
次いで、Geハットクラスタ6が破壊されることのない低温域、具体的には室温にて、MBE法を用いてアモルファス状のGeをGe転位制御層5上にエピタキシャル成長させることにより、Ge転位制御層5上に膜厚35nmのアモルファスGe膜8を形成した(図1(b)参照)。
そして、Ge転位制御層5及びアモルファスGe膜8が形成されたシリコン基板2を200℃で10分間加熱、保持して、アモルファスGe膜8を熱処理することにより、このアモルファスGe膜8を結晶化して結晶化Ge膜9を形成した(図1(c)参照)。
最後に、結晶化Ge膜9が形成されたシリコン基板2を700℃で10分間加熱、保持して、結晶化Ge膜9を熱処理することにより、欠陥核7を発生源として刃状転位4をシリコン基板2との界面に導入し、この刃状転位4によって歪み緩和された歪み緩和Ge膜3をシリコン基板2上に形成した(図1(c)参照)。
(比較例1)
Ge転位制御層5を形成しないこと以外は、前記実施例1と同様である。
実施例1と同様のシリコン基板(Si(001)基板)を準備し、このシリコン基板を洗浄後室温にて、MBE法を用いてアモルファス状のGeをシリコン基板上にエピタキシャル成長させることにより、シリコン基板上に膜厚35nmのアモルファスGe膜を形成した。
そして、アモルファスGe膜が形成されたシリコン基板を200℃で10分間加熱、保持して、アモルファスGe膜を熱処理することにより、このアモルファスGe膜を結晶化して結晶化Ge膜を形成した。
最後に、結晶化Ge膜が形成されたシリコン基板を700℃で10分間加熱、保持して、結晶化Ge膜を熱処理することにより、刃状転位をシリコン基板との界面に導入し、この刃状転位によって歪み緩和された歪み緩和Ge膜をシリコン基板上に形成した。
前記実施例1及び前記比較例1で得られた歪み緩和Ge膜の平面TEM像を図3に示す。
前記実施例1及び前記比較例1で得られた歪み緩和Ge膜について、市販のX線回折(XRD)装置(商品名「X’Pert Pro MRD」、PANalytical社製)を用いたXRD法により、2次元逆格子空間マップを調べた結果を図4に示す。
前記転位制御層形成工程で、Ge転位制御層を形成する際の温度を400℃から200℃に変更すること以外は、前記実施例1と同様にして比較例2の試料を得た。
前記実施例1及び前記比較例2において、Ge転位制御層を形成した直後の、表面反射高速電子回折(RHEED:Reflection High‐Energy Electron Diffraction)像を図8に示す。
前記比較例2で得られた歪み緩和Ge膜について、前述した市販のX線回折(XRD)装置を用いたXRD法により、2次元逆格子空間マップを調べた結果を図9(a)に示す。また、同試料のGe(004)逆格子点におけるXRD ωスキャンプロファイルを図9(b)に示す。
前記転位制御層形成工程で、Ge転位制御層を形成する際の温度を400℃から450℃、500℃に変更すること以外は、前記実施例1と同様にして比較例3、4の試料を得た。
Ge転位制御層を形成する際の基板温度を450℃とした比較例3及びGe転位制御層を形成する際の基板温度を500℃とした比較例4において、Ge転位制御層を形成した直後の、表面反射高速電子回折(RHEED)像を図10に示す。
前記比較例3及び4で得られた歪み緩和Ge膜の平面TEM像を図11に示す。
前記実施例1、前記比較例1、前記比較例3及び前記比較例4で得られた歪み緩和Ge膜の試料に関して、その算術平均表面粗さRaを原子間力顕微鏡により評価した結果を表4に示す。
表4より、転位制御層形成工程における基板温度を400℃とした実施例1の試料表面が最も平坦性が良好であることがわかる。一方、転位制御層形成工程における基板温度を450℃以上とした比較例3及び4の試料表面は、Ge転位制御層を形成しなかった比較例1の試料表面と比べても、表面平坦性の点で劣ることがわかる。これは、マクロアイランドの形成などによって、結晶化ゲルマニウム膜形成後の試料表面が荒れてしまっている事に起因すると考えられる。
本実施例の多層膜構造体よりなる半導体基板10は、図12(c)に示されるように、シリコン含有基材としてのシリコン基板2と、このシリコン基板2上にエピタキシャル成長により形成され、刃状転位によって歪み緩和された歪み緩和Ge膜に対して、シリコンを固相拡散させてなる歪み緩和SiGe膜11と、この歪み緩和SiGe膜11上にエピタキシャル成長により形成された歪みシリコン膜12とから構成されている。
この半導体基板10は、図12に模式的に示される製造方法により、以下のようにして製造した。
Claims (17)
- 刃状転位によって歪み緩和されたゲルマニウム膜をシリコン含有基材上にエピタキシャル成長により形成する歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法であって、
前記シリコン含有基材上に、ゲルマニウム結晶粒よりなる複数のハットクラスタにより構成されるとともに各該ハットクラスタ同士の衝突部分に前記刃状転位の発生源となりうる欠陥核を有するゲルマニウム転位制御層を、エピタキシャル成長により形成する転位制御層形成工程と、
前記ゲルマニウム転位制御層上に、前記ハットクラスタが破壊されることのない低温域で、アモルファスゲルマニウム膜をエピタキシャル成長により形成する低温堆積工程と、
前記低温域よりも高温の高温域で前記アモルファスゲルマニウム膜を熱処理することにより、該アモルファスゲルマニウム膜を結晶化して結晶化ゲルマニウム膜を形成する結晶化工程と、
前記結晶化ゲルマニウム膜を熱処理することにより、前記欠陥核を発生源とする前記刃状転位を前記シリコン含有基材との界面に導入し、該刃状転位によって歪み緩和された前記歪み緩和ゲルマニウム膜を前記シリコン含有基材上に形成する熱処理工程とを備えていることを特徴とする歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。 - 前記転位制御層形成工程では、前記ゲルマニウム転位制御層を0.1〜2nmの厚さで形成することを特徴とする請求項1に記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記転位制御層形成工程では、200℃を超え、かつ、600℃以下の温度で前記ゲルマニウム転位制御層を形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲における60°転位の転位線の総計長さが10μm以下とされた前記歪み緩和ゲルマニウム膜が前記熱処理工程で形成されるように、前記転位制御層形成工程で温度制御しながら前記ゲルマニウム転位制御層を形成することを特徴とする請求項3に記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記低温堆積工程では、0℃以上、かつ、200℃未満の温度で前記アモルファスゲルマニウム膜を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記結晶化工程では、200〜500℃の温度で熱処理することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一つに記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記熱処理工程では、500℃を超え、かつ、900℃以下の温度で熱処理することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一つに記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲において、60°転位の転位線の総計長さが10μm以下とされていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一つに記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法。
- シリコン含有基材と、該シリコン含有基材上にエピタキシャル成長により形成され、該シリコン含有基材との界面に導入された、欠陥核を発生源とする刃状転位を有する歪み緩和ゲルマニウム膜とから構成され、
前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲において、60°転位の転位線の総計長さが10μm以下とされ、かつ算術平均表面粗さRaが8nm以下であることを特徴とする多層膜構造体。 - シリコン含有基材と、該シリコン含有基材上にエピタキシャル成長により形成され該シリコン含有基材との界面に導入された刃状転位を有する歪み緩和ゲルマニウム膜に対して、シリコンを固相拡散させてなるシリコンゲルマニウム膜とを備え、
前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲において、60°転位の転位線の総計長さが10μm以下とされていることを特徴とする多層膜構造体。 - 前記シリコンゲルマニウム膜上に形成されたシリコン膜をさらに備えていることを特徴とする請求項10に載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲において、60°転位の転位線の総計長さが8μm以下とされていることを特徴とする請求項9に記載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、膜厚が5〜1000nmであることを特徴とする請求項9又は12に記載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、前記シリコン含有基材との界面の1μm四方の範囲において、60°転位の転位線の総計長さが8μm以下とされていることを特徴とする請求項10又は11に記載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、膜厚が5〜1000nmであることを特徴とする請求項10、11又は14に記載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、算術平均表面粗さRaが8nm以下であることを特徴とする請求項10、11、14又は15に記載の多層膜構造体。
- 前記歪み緩和ゲルマニウム膜は、請求項1〜8のいずれか1項に記載の歪み緩和ゲルマニウム膜の製造方法により製造されてなる請求項9、12又は13に記載の多層膜構造体。
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