JP5150673B2 - スピンメモリおよびスピントランジスタ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態によるスピンメモリを図1に示す。この第1実施形態のスピンメモリは、マトリクス状に配列された複数(図1では2個)のメモリセル10を有している。このメモリセル10は、強磁性積層膜20と、ダイオード30とを備えている。強磁性積層膜20は、強磁性層21、非磁性層23、強磁性層25、非磁性層27、および強磁性層29がこの順序で積層された積層構造を有している。強磁性層21、強磁性層25、強磁性層29はそれぞれ、膜面に略垂直な磁化容易軸を有している。すなわち、外部磁界が印加されない場合には、強磁性層のそれぞれの磁化の向きは、膜面に略垂直となる。ここで、膜面とは強磁性層の上面を意味する。強磁性層21、25は強磁性層29に比べて、磁化反転磁界が小さい。また、強磁性層29と強磁性層25とは、非磁性層27を介して反強磁性的磁気交換結合を行っており、強磁性層29の磁化の向きと強磁性層25の磁化の向きは、互いに逆向き(反平行)となっている。すなわち、図1に示すように、強磁性層29の磁化の向きが上向きであるとした場合、強磁性層25の磁化の向きは下向きとなる。
低抵抗のバリアメタル、例えば、Ti、TiN、W等の金属層を挿入してもよい。
また、列デコーダ/読み出し回路150は、ビット線BLに対応して設けられたn型MOSトランジスタからなる選択トランジスタ152と、抵抗154とを備えている。選択トランジスタは一端は対応するビット線BLに接続され、他端は抵抗154を介して接地される。
次に、本発明の第2実施形態によるスピントランジスタを図7に示す。この第2実施形態のスピントランジスタは、半導体層41上に形成されるスピントランジスタである。ここで、半導体層とは、半導体基板、半導体基板に形成されたウェル領域、SOI(Silicon On Insulator)基板におけるSOI層等を意味する。半導体層41の表面領域には、高濃度に不純物がドープされた不純物領域43aおよび不純物領域43bが離間して設けられている。なお、本実施形態においては、半導体層41をn型半導体層、不純物領域43aおよび不純物領域43bをp型不純物領域43aおよびp型不純物領域43bとし、スピントランジスタはp型スピントランジスタとして説明する。この場合、p型不純物領域43aおよびp型不純物領域43bはそれぞれソース領域43aおよびドレイン領域43bとなる。ソース領域43aおよびドレイン領域43bとの間の半導体層41にはチャネル領域42が設けられ、このチャネル領域42上には、ゲート絶縁膜45が設けられ、このゲート絶縁膜45上にはゲート電極47が設けられている。なお、ソース領域43aおよびドレイン領域43bとして、高濃度に不純物をドープする代わりに半導体−金属間化合物(シリサイドなど)を用いても良い。
強磁性層62Aの磁化が反転しないように、ドレイン電極としての第2積層膜60よりも大きくすることが好ましい。
次に、本発明の第3実施形態によるスピントランジスタを説明する。図7に示す第2実施形態のスピントランジスタは横型、すなわち強磁性層を有するソース電極およびソース領域と、ドレイン領域およびドレイン電極とは、チャネル領域の左右に配置された構成となっている。第3実施形態のスピントランジスタは、縦型のスピントランジスタであって、半導体層上に、ソース電極、チャンネル領域、およびドレイン電極が、この順序で積層された構造を有している。
本発明の実施例1として、図1に示す構造を有するスピンメモリの製造方法を説明する。このスピンメモリの製造手順は、以下の通りである。
本実施例として、図8に示す構造を有するスピントランジスタの製造方法を説明する。このスピントランジスタの製造手順は、以下の通りである。
20 強磁性積層膜
21 強磁性層
23 非磁性層
25 強磁性層
27 非磁性層
29 強磁性層
30 ダイオード(整流素子)
41 半導体層
42 チャネル領域
43a 不純物領域
43b 不純物領域
45 ゲート絶縁膜
47 ゲート電極
50 電極(第1強磁性積層膜)
51 非磁性層
52 強磁性層
60 電極(第2強磁性積層膜)
60A 電極(強磁性積層膜)
61 非磁性層
61A 非磁性層
62 強磁性層
62A 強磁性層
63 非磁性層
63A 非磁性層
64 強磁性層
64A 強磁性層
65 非磁性層
65A 非磁性層
66 強磁性層
66A 強磁性層
100 行デコーダ/書き込み回路/読み出し回路
1011〜1013 電流源
1031〜1033 スイッチ
110 選択トランジスタ
150 列デコーダ/読み出し回路
152 選択トランジスタ
153 接続ノード
154 抵抗
Claims (12)
- 第1強磁性層、第1非磁性層、第2強磁性層、第2非磁性層、および第3強磁性層がこの順序または逆の順序で積層された積層構造を有する強磁性積層膜を含むメモリセルであって、前記第3強磁性層の磁化方向は固定され、前記第1強磁性層と前記第3強磁性層との間に電流を流さないときに、前記第3強磁性層と前記第2強磁性層とが前記第2非磁性層を介して反強磁性的な交換結合をする、メモリセルと、
前記第1強磁性層から前記第3強磁性層に向かう単一方向の電流を前記強磁性積層膜に流して、前記電流の大きさに応じて前記第1強磁性層に異なる磁化状態の書き込みを行う書き込み部であって、前記書き込みは、第1書き込み電流を用いて前記第2強磁性層の磁化方向が前記第3強磁性層の磁化方向に略反平行となる状態で前記第1強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略反平行にする第1書き込みと、前記第1書き込み電流よりも大きな第2書き込み電流を用いて前記第2強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略平行にすることにより前記第1強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略平行にする第2書き込みと、を有する書き込み部と、
前記第1書き込み電流よりも小さな読み出し電流を用いて前記第1強磁性層からの読み出しを行なう読み出し部と、
を備えていることを特徴とするスピンメモリ。 - 前記メモリセルは、前記電流が流れる方向にのみ前記強磁性積層膜に電流を流す整流素子を更に備えていることを特徴とする請求項1記載のスピンメモリ。
- 前記第1乃至第3強磁性層はそれぞれ、膜面に略垂直な磁化を有することを特徴とする請求項1または2記載のスピンメモリ。
- 前記第1および第2強磁性層は、前記第3強磁性層よりも磁化反転磁界が小さいことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のスピンメモリ。
- 前記第1および第2書き込み電流を前記メモリセルに供給する書き込み回路と、前記読み出し電流を前記メモリセルに供給する読み出し回路とを備えていることを特徴する請求項1乃至4のいずれかに記載のスピンメモリ。
- 半導体層に離間して設けられたソース領域およびドレイン領域と、
前記ソース領域と前記ドレイン領域との間のチャネル領域となる前記半導体層上に設けられたゲート電極と、
前記ソース領域および前記ドレイン領域の一方の領域上に設けられ第1強磁性層、第1非磁性層、第2強磁性層、第2非磁性層、および第3強磁性層がこの順序で積層された第1積層構造であって、前記第3強磁性層の磁化方向は固定され、前記第1強磁性層と前記第3強磁性層との間に電流を流さないときに、前記第3強磁性層と前記第2強磁性層とが前記第2非磁性層を介して反強磁性的な交換結合をする、第1積層構造と、
前記第1強磁性層から前記第3強磁性層に向かう単一方向の電流を前記第1積層構造に流して、前記電流の大きさに応じて前記第1強磁性層に異なる磁化状態の書き込みを行う書き込み部であって、前記書き込みは、第1書き込み電流を用いて前記第2強磁性層の磁化方向が前記第3強磁性層の磁化方向に略反平行となる状態で前記第1強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略反平行にする第1書き込みと、前記第1書き込み電流よりも大きな第2書き込み電流を用いて前記第2強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略平行にすることにより前記第1強磁性層の磁化方向を前記第3強磁性層の磁化方向に略平行にする第2書き込みと、を有する、書き込み部と、
前記ソース領域および前記ドレイン領域の他方の領域上に設けられ、第4強磁性層を含む強磁性膜と、
を備えていることを特徴とするスピントランジスタ。 - 前記第1乃至第4強磁性層はそれぞれ、膜面に略垂直な磁化容易軸を有することを特徴とする請求項6記載のスピントランジスタ。
- 前記チャネル領域と前記ゲート電極との間に設けられたゲート絶縁膜を更に備えていることを特徴とする請求項6または7記載のスピントランジスタ。
- 前記一方の領域と前記第1強磁性層との間に設けられた第1トンネルバリア層と、前記他方の領域と前記第4強磁性層との間に設けられた第2トンネルバリア層と、を更に備えていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載のスピントランジスタ。
- 前記強磁性膜は、前記第4強磁性層上に設けられた第3非磁性層と、前記第3非磁性層上に設けられた第5強磁性層と、前記第5強磁性層上に設けられた第4非磁性層と、前記第4非磁性層上に設けられた第6強磁性層とを有し、前記第5強磁性層と前記第6強磁性層とが前記第4非磁性層を介して反強磁性的な交換結合をする第2積層構造を含み、
前記第4強磁性層は、前記第1強磁性層よりも膜面の面積が大きいことを特徴とする請求項6乃至9のいずれかに記載のスピントランジスタ。 - 半導体基板上に設けられた磁化容易軸が膜面に略垂直な第1強磁性層を含む第1電極と、
前記第1強磁性層上に設けられたチャネルとなる半導体層と、
前記半導体層上に設けられた、磁化容易軸が膜面に略垂直な第2強磁性層と、前記第2強磁性層上に設けられた第1非磁性層と、前記第1非磁性層上に設けられた磁化容易軸が膜面に略垂直な第3強磁性層と、前記第3強磁性層上に設けられた第2非磁性層と、前記第2非磁性層上に設けられた磁化容易軸が膜面に略垂直な第4強磁性層とを含む積層構造であって、前記第4強磁性層の磁化方向は固定され、前記第2強磁性層と前記第4強磁性層との間に電流を流さないときに、前記第4強磁性層と前記第3強磁性層とが前記第2非磁性層を介して反強磁性的な交換結合をする、積層構造と、
前記第2強磁性層から前記第4強磁性層に向かう単一方向の電流を前記積層構造に流して、前記電流の大きさに応じて前記第2強磁性層に異なる磁化状態の書き込みを行う書き込み部であって、前記書き込みは、第1書き込み電流を用いて前記第3強磁性層の磁化方向が前記第4強磁性層の磁化方向に略反平行となる状態で前記第2強磁性層の磁化方向を前記第4強磁性層の磁化方向に略反平行にする第1書き込みと、前記第1書き込み電流よりも大きな第2書き込み電流を用いて前記第3強磁性層の磁化方向を前記第4強磁性層の磁化方向に略平行にすることにより前記第2強磁性層の磁化方向を前記第4強磁性層の磁化方向に略平行にする第2書き込みと、を有する、書き込み部と、
前記半導体層の側面に設けられたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜に対して前記半導体層と反対側に設けられたゲート電極と、
を備えていることを特徴とするスピントランジスタ。 - 前記第1強磁性層と前記半導体層との間に設けられた第1トンネルバリア層と、前記半導体層と前記第2強磁性層との間に設けられた第2トンネルバリア層とを、更に備えていることを特徴とする請求項11記載のスピントランジスタ。
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