JP5111949B2 - 薄膜トランジスタの製造方法及び薄膜トランジスタ装置 - Google Patents
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Description
チャネルを形成する半導体膜が前記n型およびp型の双方のTFTで同一の材料で構成され、ソースおよびドレイン電極が双方のTFTで同一の材料で構成され、前記n型TFTもしくはp型TFTのどちらか、もしくは双方のTFTにおいて、ゲート絶縁膜と半導体の界面に、第1の分極性薄膜を有し、前記ソースおよびドレイン電極と前記半導体膜の界面に、第2の分極性薄膜を有することを特徴とするものである。
工程1:まず、図4に示すように、透明なプラスチック基板1の上に金属インク材料を用いて、印刷パターニング製法によりゲート電極2を形成し、次に、例えば塗布型Si酸化膜3を塗布し、接続部を開口する。これは印刷製法により、塗布型Si酸化膜3を部分塗布することもできる。その後、撥水性レジスト膜4を塗布する。
工程2:次に、図5に示すように、透明基板1の裏面から露光、現像することにより、撥水性レジスト膜4をパターニングする。この時ゲート電極2が遮光マスクとなり、ゲート電極2の上方のレジスト4が残り、それ以外の領域からレジスト4が除去される。
工程3:次に、図6に示すように、例えばAuのような金属インクの印刷パターニング技術により、ソースドレイン電極5を選択的に塗布する。この時レジスト膜4が撥水性を有するため、レジスト膜4の上には金属インク材が塗布されない。従って、ソースドレイン5の位置が、ゲート電極2に自己整合され、両電極のオーバラップを抑制できる。
工程4:次に、図7に示すように、撥水性レジスト膜4を除去した後、印刷パターニング製法で配線層6を形成し、ゲート電極2とソースドレイン電極5の接続や、その他回路形成に必要な電極間の接続を行う。
工程5:次に、図8に示すように、第1の分極性薄膜7を塗布する。この分極性薄膜7は、Si酸化膜上に付着するシランカップリング基を有するため、Si酸化膜3上に選択的に塗布される。
工程6:次に、第2の分極性薄膜8を塗布する。この第2の分極性薄膜8は、金属電極上に付着するSH基を有するため、ソースドレイン電極5と配線層6上に選択的に塗布される。なお本実施例では、第1の分極性薄膜7と第2の分極性薄膜8を順番に塗布したが、これらを混合した材料を一度に塗布しても、それぞれSi酸化膜3上と、ソースドレイン電極5および配線層6上に、選択的に塗布することが可能である。
工程7:次に、図9に示すように、ホトマスクを用いたリソグラフィ技術やマスクを必要としないダイレクト露光技術により、p型TFT領域のみ選択的に紫外光で露光する。このようにすることで、第1および第2の分極性薄膜材料が分解され、p型TFT領域から分極機能が除去される。この時の分極基が分解・除去される概念図は、図14に示す通りであり、分極基50が紫外光により分解し除去される。図14において、参照符号50は分極基、51はシランカップリング基であり、露光後に分極基50が分解される様子を模式的に示している。
工程8:次に、図10に示すように、印刷パターニング製法により有機TFTのチャネルとなる領域にのみ、例えば、塗布型ペンタセンのような有機半導体膜9を選択的に塗布する。
工程9:最後に図1に示すように、例えば有機高分子材料よりなる保護膜10を塗布、所望領域を選択的に開口し、相補型TFT回路により構成される薄膜トランジスタ装置を完成する。なお、保護膜10の形成は、例えば印刷パターニング製法により選択的に塗布することも可能である。
すなわち図11に示すように、透明なプラスチック基板1の上に金属インク材料を用いて、印刷パターニング製法でゲート電極2を形成し、例えば塗布型Si酸化膜3を塗布し、接続部を開口する工程は、実施例1の工程1と同じである。
次に、図8に示すように、化学式8のXがシランカップリング基である第1の分極性SAM膜7を、Si酸化膜3上に選択的に塗布する。
次に、化学式8のXがSH基である第2の分極性SAM膜8を、ソースドレイン電極5と配線層6上に選択的に塗布する。
次に、図9に示すように、ホトマスクを用いたリソグラフィ技術やマスクを必要としないダイレクト露光技術により、p型TFT領域のみ選択的に、波長が350nm以上の光源による露光および現像液リンスおよび純水洗浄のような後処理を行う。
次に、図16に示すように、化学式10のXがシランカップリング基である第1の分極性SAM膜30を、Si酸化膜3上に選択的に塗布する。
次に、化学式10のXがSH基である第2の分極性SAM膜31を、ソースドレイン電極5と配線層6上に選択的に塗布する。
次に、濃度が約5%前後のNaOH溶液によるリンスを行う。
Claims (7)
- ゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
n型TFTとp型TFT双方のソースおよびドレイン電極を、前記ゲート電極に自己整合させて同一の材料で形成する工程と、
前記ゲート電極と前記ゲート絶縁膜と前記ソースおよびドレイン電極を形成した後、前記ゲート絶縁膜と前記ソースおよびドレイン電極に、それぞれ第1および第2の分極性薄膜を形成する工程とを含み、
前記n型TFTまたはp型TFTのどちらかの領域を選択的に露光し、当該露光領域の前記第1及び第2の分極性薄膜から分極機能を除去した後、前記n型TFTおよびp型TFTの双方で、チャネルを形成する半導体膜を同一材料で形成することを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。 - 前記ゲート電極、前記ゲート絶縁膜、前記ソースドレイン電極、前記第1および第2の分極性薄膜、前記半導体膜を、塗布または印刷技術で形成することを特徴とする、請求項1に記載の薄膜トランジスタ装置の製造方法。
- 前記選択的に露光する工程において、当該露光領域の前記第1および第2の分極性薄膜が、前記露光により分解し除去されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ装置の製造方法。
- 前記第1および第2の分極性薄膜が、分極基と感光基を有する感光性自己組織化単分子膜(SAM)膜であり、選択的に露光することにより、当該露光領域の前記第1および第2の分極性薄膜から前記分極基が離脱することを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ装置の製造方法。
- 前記半導体膜は有機半導体であることを特徴とする請求項1に記載の薄膜トランジスタ装置の製造方法。
- n型TFTとp型TFTを具備してなり、
チャネルを形成する半導体膜が前記n型およびp型の双方のTFTで同一の材料で構成され、
ソースおよびドレイン電極が双方のTFTで同一の材料で構成され、
前記n型TFTもしくはp型TFTのどちらか、もしくは双方のTFTにおいて、ゲート絶縁膜と半導体の界面に、第1の分極性薄膜を有し、前記ソースおよびドレイン電極と前記半導体膜の界面に、第2の分極性薄膜を有し、
前記分極性薄膜が、n型TFTとp型TFTで、その分極により生ずる双極子ベクトルの向き及び/又は電位差が異なることを特徴とする薄膜トランジスタ装置。 - n型TFTとp型TFTを具備してなり、
チャネルを形成する半導体膜が前記n型およびp型の双方のTFTで同一の材料で構成され、
ソースおよびドレイン電極が双方のTFTで同一の材料で構成され、
前記n型TFTもしくはp型TFTのどちらか、もしくは双方のTFTにおいて、ゲート絶縁膜と半導体の界面に、第1の分極性薄膜を有し、前記ソースおよびドレイン電極と前記半導体膜の界面に、第2の分極性薄膜を有し、
前記第2の分極性薄膜が、SH基と前記分極基を有する分子からなり、前記SH基が前記ソースおよびドレイン電極面に付着し、その分極により生ずる双極子ベクトルの方向が電極面に略垂直方向であることを特徴とする薄膜トランジスタ装置。
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